KR20020012610A

KR20020012610A - 스퍼터링-코팅된 제품을 위한 보호층

Info

Publication number: KR20020012610A
Application number: KR1020017016153A
Authority: KR
Inventors: 오서네시데니스제이
Original assignee: 리타 버어그스트롬; 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드
Priority date: 1999-06-16
Filing date: 2000-06-06
Publication date: 2002-02-16
Also published as: JP2003502259A; EP1194385B1; AU5467300A; ATE527219T1; CA2374768A1; EP1194385B9; WO2000076930A1; ES2372024T3; AU764332B2; EP1194385A1; MXPA01012881A; KR100822516B1; CA2374768C; JP4836376B2; AR025532A1

Abstract

아연 음극 타겟에 주석을 첨가하면 타겟의 스퍼터링 효율이 강화된다. 예를 들어, 0 중량% 이상 10 중량% 미만의 주석 및 90 중량% 이상 100 중량% 미만의 아연을 함유하는 음극을 사용하여 증착시킨 필름은 고투과성, 저방출성 코팅물 스택의 화학적 내구성을 산화주석은 함유하지 않고 산화아연만을 함유하는 코팅물 스택 이상으로 강화시킨다. 고투과성, 저방출성 코팅물 스택을 가열하며, 적외선 반사성 필름, 예를 들면, 은 필름과 유전성 필름, 예를 들면, 52-48 주석산아연, 산화아연, 산화주석 필름; 또는 산화아연 필름 사이의 금속 하도층의 두께를 선택함으로써 가열된 코팅은 감소된 헤이즈를 갖는다. 또한, 본 발명은 그 위에 증착된 은 필름의 저항을 저하시키고 코팅물 스택의 화학적 내구성을 강화시키는 강화된 필름도 개시한다.

Description

스퍼터링-코팅된 제품을 위한 보호층{PROTECTIVE LAYERS FOR SPUTTER COATED ARTICLE}

미국 특허 제 4,610,771 호(이하 "USPN '771"이라 칭한다)에는 아연/주석 합금 타겟(target)을 사용하여 증착시킨 스퍼터링된 반사방지성 금속 산화물 필름이개시되어 있다. 상기 USPN '771의 칼럼 3의 26행부터 칼럼 4의 12행에서는, 일반적으로는 아연 및 주석의 산화물을, 바람직하게는 10 내지 90%의 아연과 90 내지 10%의 주석의 비율로 함유하는 주석산아연 필름을 증착시키기 위한 합금 타겟의 용도에 대해 논의되어 있다.

주석산아연 필름을 증착시키는데 USPN '771에 개시된 아연/주석 합금 타겟이 허용될 수 있지만, 여기에는 한계가 있다. 더욱 구체적으로는, USPN '771에 기술된 유형과 같은 낮은 E 코팅에서는, 적외선 반사성 금속 필름 또는 층, 예컨대 은이 주석산아연 필름상에 증착된다. 스퍼터링된 주석산아연 필름상에 증착된 은 필름은, 스퍼터링된 산화아연 필름 또는 층상에 증착된 은 필름보다 더 높은 전기저항성 및 더 높은 방출성을 갖는다. 더욱 구체적으로, 미국 특허 제 5,821,001 호(이하, "USPN '001"이라 칭한다)에는 산화아연 필름상에 증착된 은 필름(여기서, 은 필름의 원자는 낮은 방출성을 갖는 은 필름을 제공하는 낮은 전기저항성을 특징으로 하는 형태로 증착된다)이 개시되어 있다. 산화아연 필름을 증착시키는 경우, 공정 파라미타는 은 필름의 은 원자를 유리하게 증착시키는데 영향을 미치는 적합한 결정성 또는 우세한 결정 성장성을 갖는 산화아연 층이 증착되도록 선택한다.

반응성 대기, 예를 들면, 산소중에서 아연을 스퍼터링시켜 낮은 전기저항성을 갖는 은 필름이 증착된 산화아연 필름을 제공하는 방법은 결점이 있다. 예를 들면, 아래에서 상세히 논의되는 이유로 인하여 산소와 같은 반응성 대기중에서 순수한 아연 타겟, 즉, 약 100% 아연 금속의 타겟을 반응적으로 스퍼터링시키기가 어렵다.

또한, USPN '001에는 열처리가능한 저방출성 필름(heat treatable low emissivity film)이 개시되어 있다. 하도층(primer layer), 예컨대 티탄 필름의 두께를 증가시켜 강화된 기계적 내구성을 제공할 수 있다. 즉, 전단변형저항을 강화시킬 수 있다. 전단변형저항 시험은 유리의 코팅된 표면에 대하여 탈이온수로 습윤시킨 의복의 20회의 연속 파괴시험 단계를 행한 다음, 시험된 영역을 가시적으로 검사하는 단계로 이루어진다. 시험된 영역의 외관에 따라, 코팅에 대해 D^-, D, D⁺... A, A⁺의 문자로 등급을 매긴 후, 수치적 분석을 위하여, D^-에 대해서는 5점을, D에 대해서는 10점을, A에 대해서는 55점을, 그리고 A⁺에 대해서는 60점을 부여한다. 코팅물이 전단변형의 부호를 전혀 나타내지 않을 뿐만 아니라 가시적인 스크레치도 거의 나타내지 않는 경우, 이는 최대 등급인 60점을 부여한다. 시험 영역내의 다층 코팅물의 특정 계면에서 균일한 전단변형 및 박리를 나타내는 코팅은 실패 등급인 0점을 부여한다. 다른 수준의 성능은 중간 점수를 부여한다. 이러한 코팅 내구성 특성화 방법은 코팅물의 필드 성능과 깊은 관계가 있는 것으로 밝혀졌다. 두꺼운 하도층을 이용할 경우의 결점은 가열 후, 예컨대 유리 담금질 또는 유리 굴곡 작업 후의 코팅물 스택(coating stack)이 암실 투광조명 헤이즈 시험을 이용하여 관찰하였을 때 흐릿한 외관을 갖는다는 것이다. 암실 투광조명 헤이즈 시험에 있어서, 코팅된 시편은 광선의 기하학적으로 감화를 받기 쉬운 최대 산란을 발견하기 위하여, 또는 달리 말하면, 코팅물로부터 가능한 헤이즈를 발견하기 위하여 스포트라이트(spotlight)에 대해 암실내에서 다양한 관찰각도에서의 반사를 관찰한다. 헤이즈를 관찰할 수 있는 기하구조가 전혀 없는 경우, 샘플에 A⁺등급을 매긴다. 매우 열악한 샘플에는 D^-점수를 부여한다. 수치 분석을 위하여, 전단변형 시험에 대하여 상술한 바와 같이 문자 등급에 5 내지 60점을 부여한다. 더 낮은 헤이즈는 더 높은 수치값에 상응한다.

스퍼터링 코팅물을 제조하는 기술 분야의 전문가들이 알고 있는 바와 같이, 현재 구입가능한 아연 타겟의 결점이 없이 반응성 대기중에서 스퍼터링될 수 있는 아연 타겟을 제공하고, 코팅된 제품을 선적하고 계속하여 헤이즈를 갖는 가열된 코팅물이 없이 가열할 수 있도록 기계적 내구성을 갖는 저방출성 코팅된 제품을 제공하는 것이 유리하다.

USPN '771 및 '001의 개시내용을 본원에서 참고로 인용한다.

관련 출원

본원은 1999년 4월 30일자로 출원된 미국 특허출원 제 09/302,409 호의 일부 계속출원이다.

발명의 분야

본 발명은 일반적으로는 코팅 또는 코팅되지 않은 유리 또는 투명체와 같은 스퍼터링-코팅된 제품을 위한 보호층에 관한 것이다. 이러한 보호층을 가진 제품은 선적가능하고 열처리가능하며, 저방출성 코팅물 또는 코팅물들을 가질 수 있다. 또한, 본 발명은 이러한 코팅된 제품 및 이러한 코팅된 제품을 제조하는 방법에 관한 것이다.

발명의 개요

본 발명은 바람직하게는 타겟 물질의 총 중량을 기준으로 0 중량% 내지 10 중량%의 양의 주석, 및 바람직하게는 타겟 물질의 총 중량을 기준으로 100 중량% 내지 90 중량%의 양의 아연을 갖는 스퍼터 음극 타겟(sputter cathode target)에 관한 것이다. 이후에는 별도의 언급이 없는 한, "중량%"란 용어는 타겟 물질의 총 중량을 기준으로 하는 중량%를 의미한다.

본원에서 사용된, 예컨대 USPN '771에서 논의된 유형의 "주석산아연필름(zinc stannate film)"이란 용어는 아연과 주석의 합금의 산화물이다. 사용되는 음극은 아연과 주석의 합금으로 제조된다. "산화아연, 산화주석 필름"은 주석과 아연의 산화물을 갖는 필름이다. 산화아연, 산화주석 필름을 스퍼터링시키는데 사용되는 음극은 아래에서 상세히 논의되는 바와 같이 주석이 첨가된 아연으로 제조된다.

본 발명의 한 실시태양에서, 코팅물 스택은 유리 기재상에 증착된 주석산아연 필름, 주석산아연 필름상에 증착된 산화아연, 산화주석 필름; 산화아연, 산화주석 필름상에 증착된 적외선 반사성 필름, 예를 들면, 은 필름; 적외선 반사성 필름상에 증착된 하도층, 예를 들면, 티탄 금속 필름; 하도 필름상에 증착된 산화아연, 산화주석 필름, 산화아연, 산화주석 필름상에 증착된 주석산아연 필름; 주석산아연 필름상에 증착된 적외선 반사성 필름; 적외선 반사층상에 증착된 하도층; 하도층상에 증착된 산화아연, 산화주석 필름, 산화아연, 산화주석 필름상에 증착된 주석산아연 필름; 및 주석산아연 필름상에 임의 순서로 증착된 보호층, 예를 들면, 티탄 금속 필름 및/또는 산회티탄 필름을 갖는다. 본 발명의 다른 실시태양에 있어서는, 산화아연, 산화주석 필름 대신에 산화아연 필름이 사용된다. 본 발명의 또 다른 실시태양에 있어서는, 산화아연, 산화주석 필름 대신에 주석산아연 필름이 사용된다. 산화아연, 산화주석 필름 대신에 주석산아연 필름이 사용된 경우, 주석산아연 필름은 그의 조성에 있어서 5 중량% 이상의 차이가 있다. 예를 들면, 주석산아연 필름중의 하나가 약 50 중량% 아연 및 50 중량% 주석인 경우, 다른 주석산아연 필름은 약 10 내지 45 중량% 또는 55 내지 90 중량% 아연 및 55 내지 90 중량% 또는 45 내지 10 중량% 주석이다. 본 발명의 또 다른 실시태양에 있어서는, 제 1의 증착된 주석산아연 필름은 50 ± 10 중량% 아연 및 50 ± 10 중량% 주석이다. 제 2의 증착된 또는 중첩된 주석산아연 필름은 10 중량% 내지 40 중량%, 바람직하게는 20 중량% 미만의 주석을 가지며, 90 중량% 내지 60 중량%, 바람직하게는 80 중량% 이상의 아연을 갖는다. 90 중량% 아연 및 10 중량% 주석을 갖는 중첩된 주석산아연 필름이 사용되어 왔다.

본 발명의 또 다른 양태는 보호층의 조성물 또는 필름이다. 물론, 보호층은 기재상에 하나 이상의 반사방지층을 가진 특정의 다층 스택(multi-layered stack)에 대한 것일 수 있다. 이러한 다층 스택은 하나 이상의 유전성 필름 및/또는 아연- 및/또는 주석-함유 필름에 의해 기재에 근접한 측면상에서 우세할 수 있고 하나 이상의 유전성 필름 및/또는 아연- 및/또는 주석-함유 필름 및/또는 하도층에 의해 기재에서 멀리 떨어진 측면상에서 뒤따를 수 있는 하나 이상의 적외선 반사성 필름의 하나 이상의 층을 갖는다. 이것도 또한 보호층을 위한 다층 스택의 유형이다. 특정의 아연- 및/또는 주석-함유 필름은 USPN '771 및 '001에 개시된 것과 유사한 아연 산화물 또는 주석 산화물 또는 주석산아연일 수 있다. 보호층은 금속 필름이거나 또는 규소 필름이거나 또는 금속 옥시-물질 필름이거나 또는 규소 옥시-물질 필름이거나 또는 이들 두가지 모두일 수 있다. 금속 옥시-물질 또는 규소 옥시-물질 필름은 하나 또는 둘 모두 산화금속 또는 산화규소 필름이거나 또는 옥시질화금속 또는 옥시질화규소 필름일 수 있다. 이러한 금속, 산화금속 및 옥시질화금속 필름은 금속 산화물 또는 옥시질화물 필름(여기서, 금속은 18개 이하의그룹을 가진 개량된 화학 원소 그룹 표시법(Revised Chemical Element Group Notation)에 대한 원소 주기율표의 4족, 5족 및 10족의 전이금속 또는 스퍼터링 코팅시킬 수 있는 그들의 합금이다)에 대한 금속 필름과 같거나 다른 하나 이상의 금속을 갖는다. 보호층의 경우, 이들의 순서는 금속 필름 및 산화물 또는 옥시질화물 필름의 순서이거나 또는 그 반대의 순서일 수 있다. 보호층은 다층 스택상의 최외곽 층일 수 있지만, 그것이 다층 스택에 얼마간의 화학적 및/또는 기계적 내구성을 제공하기 위한 보호 기능을 수행할 수 있는 경우에는 그것은 단지 다층 스택내의 적당한 위치에 존재할 필요가 있다. 따라서, 경우에 따라서는 보호층상에 추가의 필름 또는 코팅층이 있을 수 있다.

상술된 코팅물 스택은 기계적 및 화학적 내구성을 갖는다. 본 발명의 코팅은 선적이 가능하게 하는 기계적 및 화학적 내구성을 갖는 것 이외에도 감소된 헤이즈를 갖는 열처리된 코팅물로 열처리할 수 있다. 가열후의 헤이즈의 감소는 아래에서 논의되는 금속 하도제 두께를 선택함으로써 달성된다. 헤이즈를 측정하는 절차는 상기에서 논의되었다. 본원에서 사용된 바와 같이, 헤이즈에 있어서의 감소는 약 10의 수치 증가이다. 본 발명의 코팅물의 잇점은 본 발명의 코팅물을 기재상에 증착시킬 수 있고, 코팅된 기재를 열처리, 예를 들면, 약 1350℉(732℃)이하의 온도로 가열하는 경우 코팅된 기재는 선적이 용이하다는 것이다. 본 발명의 코팅은 태양제어 자동차 방풍유리의 제조시에 특정 용도를 갖는다. 본 발명의 저방출성 코팅물을 갖는 유리의 시이트는 코팅된 유리 시이트를, 예를 들면, 자동차 방풍유리로 가공하는 경우 하나는 코팅이 용이하고 따라서 다른 하나는 선적이 용이하다.

발명의 고찰

본 발명의 다양한 실시태양을 완전히 이해하기 위하여, 이들 실시태양을 개별적으로 고찰하고, 이어서 함께 고찰할 것이다. 고찰할 본 발명의 제 1 실시태양은 산화아연 필름의 증착을 강화시키기 위한 소량의 주석을 함유하는 아연 음극의 용도 및 소량의 주석을 함유하는 산화아연 필름의 잇점에 대한 것이다.

소량의 주석을 함유하는 아연 스퍼터링 타겟 및 이러한 아연 타겟을 반응적으로 스퍼터링시켜 산화아연, 산화주석 필름을 스퍼터링 증착시키는 방법과 관련한 본 발명의 실시태양을 고찰할 것이다. 알고있는 바와 같이, 본 발명은 본 발명의 타겟을 이용하여 적외선 반사성 필름, 예를 들면, 금, 은 또는 알루미늄 필름, 다른 금속 필름, 예를 들면, 티탄 금속과 같은 하도 필름, 또는 세라믹 필름, 또는 다른 유전성 필름상에 또는 그 아래에 산화아연, 산화주석 필름을 증착시키는 것에 대한 것이다.

본 발명의 하나의 실시태양에 있어서의 스퍼터링 음극 타겟은 산화아연, 산화주석 필름상에 증착된 적외선 반사성 필름, 예를 들면, 은 필름의 방출성을 강화시키고 소량의 주석을 함유하는 아연 음극 타겟의 스퍼터링을 강화시키기 위하여 0 중량% 내지 10 중량%의 주석 및 100 중량% 내지 90 중량%의 아연을 함유한다. 또한, 본 발명의 음극 타겟은 0 중량% 내지 10 중량%의 주석과 나머지 아연을 함유하는 것으로 정의되거나, 또는 100 중량% 내지 90 중량%의 아연과 나머지 주석을함유하는 것으로서 정의될 수 있다. 이러한 본 발명의 실시태양을 고찰하기 이전에, 본 발명을 더욱 잘 이해하기 위하여 주석이 없이 아연 음극 타겟을 반응적으로 스퍼터링할 때의 결점 및/또는 한계 및 이러한 음극을 사용하여 증착시킨 산화아연 필름의 한계에 대해 고찰한다.

전형적으로, 금속 타겟은 산소와 같은 가스중에서, 또는 산소와 질소, 아르곤 또는 헬륨과 같은 다른 가스와의 가스 혼합물중에서 반응적으로 스퍼터링시킨다. 가스 혼합물중에서 스퍼터링시키면 안정한 공정을 위한 더 높은 스퍼터링 속도가 얻어지지만 공정 안정성을 유지하기 위해서는 더욱 세심한 제어가 필요하다, 예를 들면, 이들 2가지 가스의 유량을 제어하는 것이 필요하다. 높은 스퍼터링 속도로 인하여, 산소 단독보다는 가스 혼합물중에서 스퍼터링시키는 것이 바람직하다. 이들 두가지 모두의 경우에, 생성되는 코팅은 산화금속, 예를 들어, 아연 타겟이 사용된 경우에는 산화아연이다.

산화아연은 낮은 방출성을 갖는 코팅물 스택에서 고 굴절률 코팅물로서 사용되는 통상의 유전재료이다. 평판유리 공업에 있어서, 이러한 코팅은 통상적으로는 직류 전원으로부터 공급된 고전력을 이용하여 유리 기재상에 층들을 스퍼터링시키는 음극에 전류를 통하게 하는 수평 진공 코팅기(horizontal vacuum coater)를 사용하여 적용시킨다. 코팅기 작업처리량(throughput)을 높이기 위해서는 음극 타겟에 대해 더 높은 전력밀도가 요구된다. 이는 실제로는 특히 반응적 스퍼터링 도중에 타겟에 대해 아아크(arc)를 일으키는 경향을 증가시킨다.

반응적 스퍼터링 도중에, 아연 음극 타겟의 아아크 발생빈도는 시간, 및 전력 형태에 있어서의 잔해 및 타겟 표면 또는 인접한 영역상에 축적된 플레이크에 따라 증가한다. 전력의 형태에 있어서의 잔해, 플레이크 및 스플래터(splatter)는 실질적으로 코팅시킬 기재의 표면상에 침강하여 용인될 수 없는 코팅된 제품을 생성시킨다. 또한, 아아크 발생은 공정이 불안정해지는 지점(point)을 증가시킨다. 또한, 타겟 표면의 영역은 시간이 지남에 따라 흑색화되는 경향이 있다. 이러한 흑색화된 영역은 비전도성이며, 따라서 스퍼터링 속도가 제한되고 코팅에서 불균일성이 유발된다.

아아크 및 잔해 축적은 스퍼터링-코팅 기술분야의 전문가들에게 알려져 있는 바와 같이 주기적인 스퍼터 클리닝에 의해 어느 정도까지는 감소시킬 수 있다. 한가지의 스퍼터 클리닝 방법은 타겟을 타겟을 금속으로서 스퍼터링시키는 아르곤 또는 헬륨과 같은 불활성 가스중에서 특정 시간동안 주기적으로 스퍼터링시키는 방법이다. 스퍼터 클리닝 방법은 타겟 표면상에서 아아크를 발생시키는 산화물 축적을 어느 정도까지 제거시켜 준다. 타겟상의 흑색 영역(black area)은 스퍼터 클리닝에 의해 감소시킬 수 없다. 그러나, 잔해 및 아아크 발생은 타겟을 연속적으로 분해시키며, 일정시간이 경과한 이후에는, 코팅기 휴지시간(downtime)이 증가하여 결과적으로는 코팅기의 생산시간이 저하된다. 아연 타겟은 스퍼터링 도중에 빈번히 아아크를 발생시키는 그들의 성향으로 인하여 스퍼터 클리닝하기가 어려우며 더 길고 더욱 빈번한 클리닝을 필요로 한다.

본 발명의 실시에 있어서, 상기 결점이 제거되지 않은 경우에는 주석을 아연 타겟에 첨가하여, 예를 들면, 플레이크화 잔해물의 양을 감소시키고, 타겟상의 분말상 퇴적물을 감소시키고, 아아크 발생을 최소화시키고, 제거되지 않은 경우 타겟 표면영역의 흑색화를 최소화시킨다. 본 발명의 아연 타겟의 잔해물의 양 및 분해량은 순수한 아연 타겟에 비해 시간에 따라 상당히 적다. 결과적으로, 주기적인 타겟 클리닝이 덜 필요하게 되며, 불활성 가스중에서의 클리닝 기간이 거의 없다.

상기에서 논의된 바와 같이, USPN '771 에는 주석산아연, 즉, 10 내지 90 중량%의 아연 및 90 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 아연 주석 합금의 산화물을 증착시키기 위한 아연-주석 합금 타겟이 개시되어 있다. USPN '771의 아연-주석 합금 음극 타겟은 산화아연 필름보다 우수한 화학적 내구성을 갖는 주석산아연 필름을 제공한다. 또한, 아연-주석 합금 음극 타겟은 아아크 발생이 적으며 잔해물 축적이 최소이다, 예를 들면, 분말 퇴적물이 전혀 측정되지 않는다. 스퍼터링-코팅 기술분야에 잘 알려져 있는 바와 같이, 산화아연 필름은 산 및 염기 용액중에서 쉽게 용해되며; 주석산아연 필름은 산 또는 염기중에서 감소된 용해도를 갖는다.

본 발명의 산화아연, 산화주석 필름의 성질을 아주 상세하게 연구하지는 않았지만, 아래의 것들이 발생할 것으로 생각된다. 주석의 양이 제로(0) 중량%에 접근하게 되면, 증착된 필름의 화학적 내구성이 감소하며, 반응성 대기중에서 아연 타겟을 스퍼터링시키는 것과 연관된 문제점들이 증가한다. 주석의 양이 10 중량%에 접근하게 되면, 산화아연 필름의 화학적 내구성이 증가하며, 따라서, 반응성 대기중에서 아연 타겟을 스퍼터링시키는 것과 연관된 문제점들이 감소한다. 산화아연, 산화주석 필름상에 증착된 은 필름의 전기저항은 산화아연 필름상에 증착된 은 필름과 유사한 것으로 예견된다. 이러한 본 발명의 실시태양을 실시하는 경우, 0중량% 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 아연 타겟이 사용가능한 범위이며; 실용적인 범위는 0.5 내지 9.5 중량% 주석이고; 바람직한 범위는 4 내지 8.5 중량% 주석이고; 더욱 바람직한 범위는 5 내지 9.5 중량% 주석이다. 산화아연, 산화주석 필름내의 아연 및 주석의 중량%는 타겟내의 아연 및 주석의 중량%와 유사한 것으로 생각된다.

지금까지 설명한 내용으로부터 알 수 있는 바와 같이, 아연 음극내의 주석의 중량%가 증가하면, 증착된 필름의 화학적 내구성이 증가할 것으로 예견된다. 또한, 0 중량% 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 산화아연 필름의 결정질 구조는 0 중량%의 주석을 함유하는 산화아연 필름의 결정질 구조와 동일하지 않은 경우에 서로 유사하다. 또한, 60 내지 90 중량% 아연 및 10 내지 40 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름도 산화아연과 유사한 결정질 구조를 갖는다. 그러므로, 산화아연 필름상에 증착된 은 필름의 방출성은 60 내지 90 중량% 아연 및 10 내지 40 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름상에 증착된 은 필름과 유사할 것으로 생각된다. 60 중량% 미만의 아연의 값에서, 결정성 구조가 변화하기 시작하고 방출성 및 저항이 증가하기 시작한다. 투과전자현미경은 66 중량% 아연 및 34 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름에 대해서는 약한 산화아연 전자 회절 패턴을 나타내었으며, 47중량% 아연 및 53 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름에 대해서는 무정형 구조를 나타내었다.

USPN '001 및 1998년 2월 13일자에 메란 아르바브(Mehran Arbab), 러셀 씨. 크리스(Russell C. Criss), 게리 제이. 마리에티(Gary J. Marietti) 및 폴 에이.메드윅(Paul A. Medwick)이 "코팅된 제품(Coated Articles)"이란 발명의 명칭으로 출원한 미국 특허출원 제 09/023,746 호(이하, "U.S.P.A. No. 09/023,746"이라 칭한다)에 개시된 코팅된 제품은 75% 이상의 산소 및 잔량의 아르곤을 함유하는 대기중에서 92 중량% 아연 및 8 중량% 주석을 함유하는 음극 타겟을 스퍼터링시키는 것을 포함하는 본 발명의 이러한 실시태양을 실시하여 제조할 수 있지만, 이러한 실시태양으로 국한되는 것은 아니다. 또한, 아연 타겟을 스퍼터링시키는 것과 연관된 상기 논의된 문제들은 제거되지 않은 경우에 최소화되는 것으로 생각된다.

이제부터는 코팅물 스택의 화학적 내구성을 강화시키고, 코팅물 스택의 헤이즈를 감소시키고, 적외선 반사성 금속, 예를 들면, 은의 방출성을 감소시키는 것에 관하여 논의할 것이다. "화학적 내구성(Chemical durability)"이란 코팅물이 산 또는 염기 용액에 의해 쉽게 공격당하지 않는 것을 의미한다. 화학적 내구성에 대해 논의하기 위해서는 USPN '001 및 '771을 참고할 수 있다. 헤이즈에 대한 시험은 상기에서 고찰하였다.

상기 고찰내용으로부터, 은 필름의 방출성은 산화아연 필름; 산화아연, 산화주석 필름; 또는 60 내지 90 중량% 범위의 아연 및 10 내지 40 중량% 범위의 주석을 함유하는 주석산아연 필름상에 은 층을 증착시킴으로써 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 고찰내용으로부터, 은 필름 아래 및 주석산아연 필름상에 산화아연 필름을 가진 층의 내구성은 주석을 아연 타겟에 첨가하여 산화아연, 산화주석 필름, 또는 주석산아연 필름을 제공함으로써 강화시킬 수 있다. 본원에서 사용된 바와 같이, "화학적 및 전기적 강화 필름(chemical and electrical enhancement film)"은산화아연, 산화주석 필름 및/또는 60 내지 90 중량% 범위의 아연 및 10 내지 40 중량% 범위의 주석을 함유하는 주석산아연 필름이다. 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 필름은 낮은 방출성을 갖는 은 필름을 얻는 동시에 코팅물 스택의 화학적 내구성을 강화시키기 위하여 산화아연 필름 대신에 사용될 수 있다. 예시를 위하여, 하기 코팅물 스택의 산화아연 필름(들)중의 하나 이상 또는 모두에 대하여 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 필름을 사용함으로써 유리 기재/주석산아연 필름/산화아연 필름/은 필름/티탄 금속 하도 필름/산화아연 필름/주석산아연 필름/산화아연 필름/주석산아연 필름/티탄 금속 및/또는 산화티탄 또는 옥시질화티탄 보호 상도막(overcoat)을 갖는 코팅된 제품을 화학적으로 강화시킬 수 있다.

또 다른 코팅된 제품은 유리 기재/주석산아연 필름/산화아연 필름/은 필름/티탄 금속 하도 필름/산화아연 필름/주석산아연 필름/티탄 금속 및/또는 산화티탄 또는 옥시질화티탄 보호 상도막을 포함한다. 이제까지의 내용으로부터 알 수 있는 바와 같이, 상기 코팅물의 산화아연 필름(들)중의 하나 이상 또는 모두를 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 필름으로 대체할 수 있다.

본 발명의 실시에 있어서, 유전층은 주석산아연 필름 및 화학적 및 전기적 강화 필름을 포함할 수 있다. 화학적 및 전기적 강화 필름이 주석산아연인 경우, 주석산아연 필름의 조성과 화학적 및 전기적 강화 필름의 주석산아연 필름의 조성 사이의 차이는 5 중량% 아연 이상이다. 예를 들면, 본 발명을 제한하려는 것은 아니지만, 58 중량% 아연 및 42 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름을 63 내지 90 중량% 아연 및 10 내지 37 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름(화학적 및전기적 강화 필름)과 함께 사용할 수 있다.

이제부터는, 코팅물 스택을 승온, 예를 들면, 실온 내지 약 1350℉(732℃) 이하의 온도(본 발명이 이로 국한되는 것은 아니다)로 처리한 후의 화학적 및 기계적으로 내구성이 있는 코팅물 스택 및 감소된 헤이즈를 갖는 코팅물 스택을 제공하는 본 발명의 실시태양에 관하여 논의할 것이다. 본 기술분야의 전문가들이 알고 있는 바와 같이, 본 발명이 단지 예시 목적으로 나타낸 하기에서 논의되는 코팅물로 국한되는 것은 아니다. 하기 표 1은 본 발명을 실시하는데 사용될 수 있는 코팅물 스택의 몇가지 실시태양을 제공하지만; 알고 있는 바와 같이, 본 발명이 이들로 국한되는 것은 아니다.

코팅물 샘플

기재

필름

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

1

×

2

×

3

×

4

×

5

×

6

×

7

×

8

×

9

×

10

×

11

×

12

×

13

×

층

A

B

C

D

E

F

G

H

상기 표의 좌측으로부터 두 번째 칼럼은 "기재(Substrate)"로 명명되어 있다. 기재 물질은 특정의 물질, 예를 들면, 유리, 유리섬유, 플라스틱, 금속, 목재 또는 세라믹으로 제조할 수 있지만, 본 발명이 이들로 국한되는 것은 아니다. 본발명의 바람직한 실시에서 제조되는 유형의 제품은 주거용 및 상업용 빌딩, 및 육상, 항공교통, 우주, 지상, 수상 및 수중 운송수단용 투명체이며, 따라서, 이러한 기재는 바람직하게는 투명하며 유리, 및 유연한 플라스틱 및 경질 플라스틱으로 제조한다. 사용된 경우의 유리는 투명하거나 색조를 띨 수 있으며, 부유 유리 제조공정을 비롯한 특정의 공정으로 제조할 수 있지만, 본 발명이 이러한 유형의 유리로 국한되는 것은 아니다. 코팅된 제품은 승온으로 처리될 것으로 예견되며; 따라서, 선택된 기재는 승온에서 견딜 수 있어야만 한다. 본 발명자들이 고찰한 결과, 본 발명이 이로 국한되는 것은 아니지만, 기재는 유리 시이트 또는 유리 단편이다.

상기 표의 1 내지 13번 칼럼은 필름이며, A-H 로 라벨이 붙여진 칼럼은 본 발명의 특징을 가진 코팅물 스택의 층들이다. 이러한 층들(표 1의 하단부 참조)은 하나 이상의 필름 및, 표 1 에 나타나 있는 바와 같이, 3개 이하의 필름을 포함한다. 층 A, D 및 G는 유전층이다. 층 A, D 및 G의 유전성 필름의 굴절률은 바람직하게는 적외선 반사층을 반사방지시키기 위한 투명 기재의 굴절률보다 더 크다. 본 발명이 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 필름과 함께 사용될 수 있는 유형의 유전성 필름으로 국한되는 것은 아니다. 본 발명의 실시에 사용될 수 있는 유전성 필름의 예로는 산화아연, 산화주석, 산화규소, 질화규소, 및 옥시질화규소가 있지만, 이들로 국한되는 것은 아니다. 층 A, D 및 G의 필름 1, 6 및 11은 각각 52 중량% 아연 및 48 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름이 바람직하다. 층 A, D 및 G의 필름 2, 5, 7 및 10은 각각 산화아연 필름, 또는 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 필름이다. 표 1의 코팅 실시예 12 내지 13은 예상 실시예이지만, 이들 코팅 실시예는 층 H 로서 필름 12 및/또는 13 중의 하나 또는 둘 모두의 존재를 나타낸다. 코팅 실시예 12 및 13은 보호층을 위한 보호 필름중의 하나 또는 둘 모두를 가질 수 있는 최소 개수의 필름을 갖는 것이다. 물론, 다른 코팅 실시예 2 내지 8 도 또한 H 층을 위해 하나 또는 둘 모두를 가질 수 있다.

하기 논의에서, 기재는 소다회-실리케이트 투명 유리이며, 약 1.5의 굴절률을 갖는다. 본 기술분야에 알려진 바와 같이, 필름 및 층의 두께를 변화시키면 코팅된 제품의 색상이 변하거나, 또는 중성 색상을 갖는 코팅물이 제공될 수 있다. 본 발명의 실시에 있어서는, 유전층 및/또는 유전성 필름이 600 ± 500Å 범위의 두께를 갖는 것으로 생각된다. 산화아연 필름 또는 화학적 및 전기적 강화 필름의 두께는 그 위에 증착되는 은 필름의 결정 구조에 영향을 미치기에 충분하여야 한다.

층 B 및 E의 필름 3 및 8은 각각 적외선 반사성 필름이며, 적외선 에너지를 반사하는 특정의 물질, 예를 들면, 금, 은 및 알루미늄일 수 있지만, 이들로 국한되는 것은 아니다. 본 발명의 실시에 있어서는 은이 바람직하다. 은의 두께는 본 발명에 국한되는 것은 아니며, 낮은 방출성을 갖는 투명 코팅물을 제공하도록 선택된다. 200 ± 150Å, 바람직하게는 100 ± 25Å 범위의 두께를 갖는 은 필름이 본 발명의 실시에 사용될 수 있다.

층 C 및 F의 필름 4 및 9는 각각 (1) 유전성 필름의 스퍼터링 도중에 적외선 금속층이 산화되는 것을 보호하고, (2) 고온 가공도중에 적외선 반사층을 보호하고, (3) 가열도중에 코팅물 스택내에서의 헤이즈 형성을 감소시키고/시키거나, (4)코팅된 제품을 선적하기 위한 기계적 내구성을 갖는 코팅물 스택을 제공하는 기능을 가진 하도 필름(primer film)이다. 하도 필름은 본 기술분야에 알려져 있는 유형중 특정한 것, 예를 들면, 개시내용이 본원에서 참고로 인용된, 1998년 12월 8일자로 출원된 미국 특허출원 제 09/215,560 호 개시되어 있는 유형의 금속, 예를 들면, 티탄 또는 세라믹과 같은 금속일 수 있다. 본 발명의 실시에 있어서, 하도층은 바람직하게는 티탄이다.

층 H의 필름 12 및 13은 선적 및 저장도중에 코팅물 스택에 대해 추가의 화학적 및 기계적 내구성을 제공하기 위한 보호 필름이다. 보호 필름은 금속 또는 규소 및 금속 또는 규소 옥시-물질(여기서, 사용될 수 있는 금속 또는 금속 옥시-물질은 티탄, 이산화티탄, 옥시질화티탄, 지르코늄, 산화지르코늄, 옥시질화지르코늄, 니오븀, 산화니오븀, 옥시질화니오븀, 탄탈륨, 산화탄탈륨, 옥시질화탄탈륨, 크롬, 산화크롬, 옥시질화크롬, 산화니켈 및/또는 옥시질화니켈, 및 산화규소, 이산화규소, 규소 알루미늄 질화물 및 합금, 니켈 크롬, 규소 크롬, 규소 크롬 니켈, 및 규소 니켈과 같은 것들을 비롯한 이들중 2가지 이상의 혼합물일 수 있다)의 박막 스퍼터링-코팅물이다. 또한, 상기 언급된 산화물은 옥시질화물일 수도 있다. 상기 언급된 금속은 필름의 스택을 열처리하고 금속을 가열하여 산화금속 필름 또는 옥시질화금속 필름으로 전환시키는 경우에 층의 스택내의 많은 위치에서 보호층을 위한 단일 필름으로서 유용하다. 가열온도는 일반적으로 형상을 변화시키기 위하여 기재를 담금질하고 가열하는 경우에 통상적으로 직면하게 되는 온도이다. 금속 및 금속 옥시-물질 필름이 모두 사용되는 경우, 이들중 하나를 보호층에 일차적으로 증착시킨 다음, 다른 하나의 필름을 층 H를 위한 제 1 증착 필름상에 증착시킬 수 있다. 일반적으로, 필름의 두께는 금속 필름의 경우 약 5 내지 약 60Å, 바람직하게는 약 10 내지 약 30Å, 가장 바람직하게는 15 내지 25Å이다. 금속 옥시 필름은 약 20내지 약 50Å, 바람직하게는 30 내지 40Å 범위의 두께를 가질 수 있다. 또한, 하나 이상의 보호 필름이 사용될 수도 있다. 예를 들면, 본 발명을 제한하려는 것은 아니지만, 이산화티탄상에 산화아연 필름이 사용될 수 있다. 층 H의 두께는 본 발명에 국한되는 것은 아니지만, 이러한 두께는 보호능을 제공하기에 충분히 두꺼워야 한다. 금속, 금속 옥시 필름은 본 기술분야의 전문가들에게 알려져 있는 특정의 방법을 이용하여 증착시킬 수 있다. 또한, 금속 필름의 일부는 개개의 산화금속 필름을 증착시키기보다는 차라리 가열하여 산화시킬 수도 있다.

표 1의 샘플들에 대해 상세히 논의하기 전에, 본 발명을 더욱 잘 이해하기 위하여 하기의 배경 정보를 제공한다.

상기 논의된 바와 같이, 산화아연 필름을 사용하여 약 60 중량% 미만의 아연 및 약 40 중량% 이상의 주석을 함유하는 주석산아연 층상에 증착된 은 층보다 더 낮은 저항 및 방출성을 갖는 은 층을 제공한다.

USPN '001에는 하도층의 두께를 증가시켜 코팅된 제품의 기계적 내구성을 증가시킴으로써 코팅된 제품을 선적가능하게 만드는 것에 대해 논의되어 있다. 더욱 구체적으로, USPN '001에는 코팅된 제품이 그의 제조도중에 열처리에 노출된 경우, 하도층이 너무 얇거나 너무 두껍게 될 수 있는 지점이 있는 것으로 밝혀졌다고 개시되어 있다. 하도층이 너무 얇으면 고온에서의 산화로 인하여 반사성 금속 필름에 대한 보호능이 결핍되어 코팅된 제품을 열처리할 수 없게 되며, 전단저항이 빈약하게 되어 이후의 열 가공을 위한 장거리 선적에 부적합한 제품이 제조된다. 하도층이 너무 두꺼우면 열처리후에 코팅된 제품내에서 바람직하지 못한 헤이즈가 형성되어 그것을 열처리할 수 없게 된다. 그러나, 한계는 이러한 필름이 열처리후에 헤이즈를 갖는다는 것이다.

유전성 필름 및 하도층을 선택함으로써 가열후에 감소된 헤이즈를 갖는 코팅물 스택을 제조할 수 있는 것으로 측정되었다. 선적되었지만 가열되지는 않은 코팅된 제품의 경우, 하도층은 은 층상에 중첩되는 유전성 필름 또는 층을 증착시키는 도중에 은을 보호하기에 충분히 두꺼워야만 한다. 약 8 내지 12Å 범위의 두께를 갖는 하도층이면 충분하다. 코팅된 제품을 가열하는 도중에 하도층이 은을 보호하는 경우, 하도층의 두께는 증가한다. 허용되는 두께는 약 20 ± 5Å이다.

감소된 헤이즈를 갖는, 선적가능하고 가열가능한 코팅된 제품의 경우, 하도 필름의 두께를 조정하여 유전층 또는 필름 배열을 제공한다. 본 발명의 교시내용에 따르면, 가열후에 감소된 헤이즈를 갖는 코팅물 스택을 제공하는데 허용될 수 있는 하도층 두께는 18 내지 32Å, 바람직하게는 18 내지 40Å 범위이다. 하기의 실시예들은 본 발명을 예시하는 것이다.

하기 논의에서, 금속 하도층의 두께는 증착된 것이다. 알고 있는 바와 같이, 가열하여 티탄 금속 하도 필름의 일부가 산화티탄으로 변화된 후에는 두께가 증가한다. "XRF 방법"으로 지칭되는 방법이 USPN '001에 논의되어 있다. 일반적으로, XRF 방법은 금속층의 두께를 측정하는데 이용된다. XRF 방법에서는 검정된X-선 형광기구를 사용하여 코팅물의 단위면적당의 금속의 중량(즉, ㎍/㎠)을 측정한다. 이러한 가설을 이용하여, 단위면적당 필름의 측정된 중량을 그의 부피 밀도를 사용하여 두께로 변환시킨다. 완성을 위해서는, 스퍼터링된 금속 필름이 때로는 그들의 상응하는 벌크상 금속보다 덜 조밀하므로, 상술된 가설이 항상 정밀하게 정확한 것은 아니며, XRF 방법이 몇몇 경우에는 밀도에 있어서의 이러한 변화로 인하여 금속 필름의 두께를 적게 평가할 수 있다는 사실을 알아야만 한다. 따라서, 얇은 금속 필름의 경우에는, 단위 면적당 중량(㎍/㎠)의 초기 측정치가 부피 밀도를 기초로 하여 측정한 상응하는 두께 변환치보다 더 정밀하다. 그럼에도 불구하고, XRF 방법은 코팅에 있어서의 층들의 상대적인 두께를 비교하는데 유용한 근사값을 제공한다.

하기 논의에서, 유전층 및/또는 필름의 두께는 범위로 주어진다. 본 기술분야의 전문가들이 알고 있는 바와 같이, 이러한 범위가 본 발명을 제한하는 것은 아니며, 이러한 두께는 목적하는 색상을 갖는 코팅물 스택을 제공하도록 선택될 수 있다.

실시예 1

본 실시예 1은 상기 표 1의 샘플 1이다. 샘플 1은 선적가능하고 가열가능한 코팅된 제품이다. 코팅은 단 하나의 적외선 반사층을 가진 고투과율, 저방출성 코팅된 제품이다. 샘플 1의 코팅물 스택을 갖는 생성물이 제조되며, 이러한 코팅물스택은 투명한 유리 기재; 상기 기재상에 증착된 유전성 반사방지층(여기서, 상기 유전성 반사방지층은 (1) 52 중량% 아연 및 48 중량% 주석을 함유하고 260 ± 40Å의 두께를 갖는 주석산아연 필름(이후에는 52-48 주석산아연 필름이라 지칭한다), 및 (2) 90 중량% 아연 및 10 중량% 주석을 함유하고 약 80 ± 45Å의 두께를 갖는 주석산아연 필름(이후에는 90-10 주석산아연 필름이라 지칭한다)을 포함한다); 90-10 주석산아연 필름상에 증착된 약 115 ± 15Å의 두께를 갖는 은 필름; 금속성 반사필름상에 증착된 24 내지 28Å의 두께를 갖는 티탄 하도 필름; 티탄 하도 필름상에 증착된 유전성, 반사방지성 상부층(여기서, 유전성, 반사방지성 상부 필름은 하도층 산화금속상에 증착된 약 230 ± 60Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름을 포함한다); 및 52-48 주석산아연 층 또는 필름상에 증착된 36 ± 7Å의 두께를 갖는 산화티탄층을 포함한다.

실시예 2

본 실시예 2는 상기 표 1의 샘플 2이다. 감소된 헤이즈를 갖는 선적가능하고 가열가능한 코팅된 제품이 제조된다. 코팅된 제품은 유리 기재/약 230 ± 40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름 및 약 80 ± 40Å의 두께를 갖는 산화아연 필름의 층; 110 ± 10Å의 두께를 갖는 은 필름; 약 18 내지 23Å, 바람직하게는 19.5Å의 두께를 갖는 티탄 금속 하도 필름; 약 820 ± 40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름; 약 110 ± 10Å의 두께를 갖는 은 필름; 약 18 내지 31Å, 바람직하게는 25Å의 두께를 갖는 금속 하도층; 약 200 ± 20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름; 및 약 29 ± 3Å의 두께를 갖는 티탄 필름을 포함한다.

실시예 3

본 실시예 3은 표 1의 샘플 3이다. 코팅된 제품을 제조하지는 않았지만, 하기의 코팅된 제품은 선적가능하고 가열가능하며 감소된 헤이즈를 가질 것으로 생각된다. 실시예 3은 투명한 유리 기재; 유리 기재상에 증착된 약 310 ± 20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름을 포함하는, 유리 기재상에 증착된 유전성, 반사방지성 베이스층; 52-48 주석산아연 필름상에 증착된, 약 110 ± 10Å의 두께를 갖는 제 1 은 필름; 제 1 은 필름상에 증착된, 18 내지 29Å의 두께를 갖는 제 1 티탄 하도 필름; 제 1 하도 필름상에 증착된 80 ± 40Å의 두께를 갖는 산화아연 필름, 및 산화아연 필름상에 증착된 740 ± 40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름을 포함하는, 제 1 하도 필름상에 증착된 유전성, 반사방지성 중간층; 중간층의 52-48 주석산아연 필름상에 증착된 약 110 ± 10Å의 두께를 갖는 제 2 은 필름; 제 2 은 필름상에 증착된 약 18 내지 31Å의 두께를 갖는 제 2 티탄 하도 필름; 제 2 하도 필름상에 증착된 유전성, 반사방지성 상부층(여기서, 유전성 상부층은 약 200 ± 20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름이다); 및 유전성 상부층의 52-48 주석산아연 필름상에 증착된, 약 29 ± 3Å의 두께를 갖는 티탄 금속 보호필름을 포함한다.

실시예 4

본 실시예 4는 표 1의 샘플 4이다. 실시예 4의 코팅된 제품이 제조되었으며, 이는 선적가능하고 가열가능하며, 가열되고 코팅된 제품은 감소된 헤이즈를 갖는다. 이러한 실시예 4의 코팅된 제품은 투명한 유리 기재; 유리 기재상에 증착된310 ± 20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름; 52-48 주석산아연 필름상에 증착된 110 ± 10Å의 두께를 갖는 제 1 은 필름; 제 1 은 필름상에 증착된, 18 내지 29Å, 바람직하게는 22.5Å의 두께를 갖는 제 1 티탄 하도 필름; 제 1 티탄 필름상에 증착된 약 820 ± 40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름; 52-48 주석산아연 필름상에 증착된 약 110 ± 10Å의 두께를 갖는 제 2 은 필름; 제 2 은 필름상에 증착된 약 18 내지 32Å, 바람직하게는 21.5Å의 두께를 갖는 제 2 티탄 필름; 제 2 티탄 하도층상에 증착된 80 ± 40Å의 두께를 갖는 산화아연 필름; 산화아연 필름상에 증착된 120 ± 40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름; 및 52-48 주석산아연 필름상의 약 29 ± 3Å의 두께를 갖는 티탄 상도막 필름을 포함한다.

실시예 5

본 실시예 5는 표 1의 샘플 5이다. 코팅된 제품을 제조하지는 않았지만, 이러한 코팅된 제품은 선적 및 열처리에 적합하며, 가열된 코팅된 제품은 감소된 헤이즈를 갖는 것으로 생각된다. 본 실시예 5의 코팅된 제품은 샘플 5 가 기재상에 증착된 약 230 ± 40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름 및 52-48 주석산아연 필름상에 증착된 약 80 ± 40Å의 두께를 갖는 산화아연 필름을 갖는 것을 제외하고는 실시예 3 에서와 유사한 필름 및 층들을 포함한다. 제 1 은 층상의 제 1 티탄 하도 필름은 약 18 내지 29Å의 두께를 가지며; 제 2 은 층상의 제 2 티탄 하도 필름은 약 18 내지 31Å의 두께를 갖는다. 샘플 5의 나머지 층들은 상기 표에 나타나 있는 바와 같으며, 실시예 3에서 기술된 바와 동일한 필름에서와 동일한 조성 및 두께를 갖는다.

실시예 6

본 실시예 6은 표 1의 샘플 6이다. 제조된 코팅된 제품을 선적 및 열처리가 가능하며, 가열된 코팅된 제품은 감소된 헤이즈를 갖는다. 코팅물 스택은 약 80 ± 40Å의 두께를 갖는 산화아연 필름이 제 2 티탄 하도 필름상에 증착되고, 120 ± 40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산아연 필름이 산화아연 필름상에 증착되었다는 것을 제외하고는, 코팅된 제품은 실시예 2의 코팅물 스택과 유사하다. 제 1 티탄 하도층은 19 내지 26Å, 바람직하게는 19.5Å의 두께를 가지며, 제 2 하도층은 약 21.5 내지 31Å, 바람직하게는 25Å의 두께를 가졌다. 표에서 샘플 5 에 대해 나타낸 것과 같은 실시예 6 에 대한 나머지 필름/층들의 조성 및 두께는 실시예 2에서 기술한 바와 같다.

실시예 7

본 실시예 7은 표 1의 샘플 7이다. 제조된 코팅된 제품은 선적 및 열처리가 가능하며, 가열된 코팅물 스택은 감소된 헤이즈를 갖는다. 샘플 7의 코팅물 스택은 약 80 ± 40Å의 두께를 갖는 산화아연 필름이 제 2 티탄 필름상에 증착되고, 52-48 주석산아연 필름이 산화아연 필름상에 증착되었다는 것을 제외하고는 실시예 3의 코팅물 스택과 유사하다. 제 1 티탄 하도층은 22 내지 26Å, 바람직하게는 22.5Å의 두께를 가지며, 제 2 티탄 하도층은 약 18 내지 25Å, 바람직하게는 21.5Å의 두께를 가졌다. 표에서 샘플 7 에 대해 나타낸 것과 같은 실시예 7 에 대한 나머지 필름/층들의 조성 및 두께는 실시예 2에서 기술한 바와 같다.

실시예 8

본 실시예 8은 표 1의 샘플 8이다. 제조된 코팅된 제품은 선적 및 열처리에 적합한 코팅된 제품이며, 가열된 코팅된 제품은 감소된 헤이즈를 갖는다. 본 실시예 8의 코팅된 제품은 투명한 유리 기재상에 증착된 코팅물 스택이다. 이러한 필름의 코팅물 두께 및 순서는 아래와 같으며, 필름 1이 유리 기재상에 증착되었다.

표로부터의 필름번호	필름의 조성	필름의 두께
1	52-48 주석산아연	230 ± 40Å
2	산화아연	80 ± 40Å
3	제 1 은 필름	110 ± 30Å
4	제 1 티탄 하도 필름	17 내지 26Å, 바람직하게는 19.5Å
5	산화아연	80 ± 40Å
6	52-48 주석산아연	740 ± 40Å
8	제 2 은 필름	110 ± 30Å
9	제 2 티탄 필름	18 내지 31Å, 바람직하게는 28Å
10	산화아연	80 ± 40Å
11	52-48 주석산아연	120 ± 40Å
12	티탄 금속 상도막	29 ± 3Å

상기 코팅물을 갖는 코팅 유리를 자동차 방풍유리의 제작시에 사용하였다. 코팅 유리를 적당한 크기로 절단하고 가열하여 코팅 유리를 형상화시킨 다음, 이를 또 다른 형상화된 유리와 적층시켜 자동차 방풍유리를 제공하였다. 적층물의 투과율은 70% 이상이었으며, 적외선 에너지를 반사하였다. 방풍유리는 본 기술분야에 알려져 있는 바와 같이 제조하였다. 또한, 90-10 주석산아연을 산화아연 필름으로 대체하여 자동차 방풍유리에 사용하기 위한 코팅 유리를 제조하였다. 코팅된 제품은 표 2 에 언급된 범위의 필름 두께를 가졌다.

알고 있는 바와 같이, 표 2 에 나타낸 하도층의 두께는 음극 및 스퍼터링 장치에 따라 변할 수 있다. 예를 들면, 18 ± 0.5Å의 두께를 갖는 제 1 티탄 하도필름 및 22 ± 1Å의 두께를 갖는 제 2 티탄 하도 필름을 사용하여 감소된 헤이즈를 갖는 선적가능하고 가열가능한 코팅물 스택을 제조하였다.

실시예 9

본 실시예 9는 표 1의 샘플 9이며, 코팅된 제품을 제조하였다. 코팅된 제품은 선적가능하고 열처리가능하였으며, 가열된 코팅된 제품은 감소된 헤이즈를 가졌다. 본 실시예 9의 코팅된 제품은 투명한 유리 기재상에 증착된 코팅물 스택이다. 이러한 필름의 코팅 두께 및 순서는 아래와 같으며, 필름 1이 유리 기재상에 증착되었다.

표로부터의필름 번호	필름의 조성	필름의 두께
1	52-48 주석산아연	230 ± 40Å
2	90-10 주석산아연	80 ± 40Å
3	제 1 은 필름	107 ± 30Å
4	제 1 티탄 하도 필름	17 내지 24Å, 바람직하게는 21.5Å
5	90-10 주석산아연	80 ± 40Å
6	52-48 주석산아연	600 ± 100Å
7	90-10 주석산아연	80 ± 30Å
8	제 2 은 필름	127 ± 30Å
9	티탄 금속 하도 필름	20 내지 26Å, 바람직하게는 22.5Å
10	90-10 주석산아연	80 ± 40Å
11	52-48 주석산아연	160 ± 60Å
12	산화티탄 상도막	45 ± 15Å

알고 있는 바와 같이, 90-10 주석산아연 필름, 산화아연 필름 및 산화아연, 산화주석 필름을 서로 교환하고 서로 대체하여 감소된 헤이즈를 갖는 선적가능하고 가열가능한 코팅된 제품을 얻을 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시에 있어서는 90-10 주석산아연 필름이 바람직하다.

실시예 10 내지 11

실시예 10 및 11은 표의 샘플 10 및 11이다. 이들 실시예는 아래의 것을 제외하고는 실시예 9와 유사하였다. 실시예 10의 경우에는 티탄 금속이 상도막이었으며, 실시예 11의 경우에는 티탄 금속 및 산화티탄이 상도막이었다. 실시예 11은 교대 방식으로 실시하였으며, 이때 보호층은 그의 상부상에 티탄 필름을 갖는 제 1 산화티탄 필름이었다.

알고 있는 바와 같이, 필름의 두께는 본 발명에 국한되는 것이 아니며, 본 기술분야에 알려져 있는 바와 같이 목적하는 색상의 코팅된 제품이 제공되도록 선택될 수 있다. 또한, 본 발명의 모든 실시예의 필름을 교환하여 본 발명의 양태를 얻을 수도 있다. 코팅 유리 시이트를 가열하여 자동차 방풍유리, 주거용 및 상업용 윈도우 및 기타 투명 제품을 제공하는 것에 대한 완전한 논의는 없었지만, 이러한 기술은 본 기술분야에 알려져 있으며, 알고 있는 바와 같이, 이러한 기술을 본 발명을 실시하는데 이용할 수 있다.

본 발명이 상기 언급된 실시예로 국한되는 것은 아니며, 첨부된 청구의 범위 및 법률이 허용하는 범위내에서 본 발명의 진의 및 범주를 벗어나지 않고서도 다양한 변화 및 변경을 행할 수 있다.

Claims

기재;

상기 기재상에 증착된, 10 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 90 중량% 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 제 1 주석산아연 필름, 및 상기 주석산아연 필름상에 증착된, 산화아연, 산화주석 필름 및 제 2 주석산아연 필름으로 이루어진 필름의 그룹중에서 선택된 전기적 강화 필름을 포함하되, 상기 제 1 주석산아연 필름의 조성과 상기 제 2 주석산아연 필름의 조성의 차이가 약 5 중량% 이상인, 기재상에 스퍼터링 증착된 유전층;

상기 유전층상에 증착된 적외선 반사층;

상기 적외선 반사층상의 금속 하도층(primer layer);

상기 하도층상의 제 2 유전층; 및

금속 및/또는 규소 및 금속 옥시- 및/또는 규소 옥시-물질중에서 선택되는 금속-함유 및/또는 규소-함유 필름중에서 선택되되, 상기 옥시 물질이 산화물 및 옥시질화물중에서 선택되고, 상기 금속이 동일하거나 상이하며 원소 주기율표의 4족, 5족, 6족 또는 10족의 전이금속중에서 선택되는 2개 이상의 필름으로 이루어진 보호층

을 포함하는 적외선 반사성 코팅된 제품(infrared reflective coated article).
제 1 항에 있어서,

적외선 반사성 금속이 은이고, 상기 은이 산화아연, 산화주석 필름상에 증착된 코팅된 제품.
제 1 항에 있어서,

적외선 반사층이 은 필름이고, 상기 은 필름이 제 2 주석산아연 필름상에 증착된 제품 스택(article stack).
제 1 항에 있어서,

유전층이 제 1 유전층이고, 적외선 반사층이 제 1 적외선 반사층이며,

상기 제 1 적외선 반사층상의 금속 하도층; 상기 하도층상의 제 2 유전층; 및 상기 제 2 유전층상의 상도막(overcoat)인 보호층을 추가로 포함하는 제품 스택.
제 4 항에 있어서,

제 2 유전층이 10 내지 90 중량% 아연 및 90 내지 10 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름인 제품.
제 1 항에 있어서,

유전층이 제 1 유전층이고, 적외선 반사층이 제 1 적외선 반사층이며,

상기 제 1 적외선 반사성 금속층상의 제 1 금속 하도층; 상기 제 1 하도층상에 포함하는 제 2 유전층; 상기 제 2 유전층상의 제 2 적외선 반사층; 상기 제 2 적외선 반사층상의 제 2 금속 하도층; 상기 제 2 금속 하도층상에 포함하는 제 3 유전층;및

상기 제 3 유전층상의 보호층을 추가로 포함하는 제품.
제 6 항에 있어서,

제 2 및 제 3 유전층중의 하나 이상이 10 내지 90 중량% 아연 및 90 내지 10 중량% 주석을 함유하는 주석산아연 필름을 포함하는 제품.
제 1 항에 있어서,

유전층이 제 1 유전층이고, 적외선 반사층이 제 1 적외선 반사층이며,

상기 제 1 반사층상의 제 1 금속 하도층;

10 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 90 중량%의 주석을 함유하는 제 1 주석산아연 필름으로서 정의되는 주석산아연 필름, 및 상기 제 1 금속 하도층상에 증착된 제 1 유전성 필름을 포함하는, 제 1 금속 하도층상의 제 2 유전층;

제 2 유전층상에 증착된 제 2 적외선 반사층;

제 2 적외선 반사층상에 증착된 제 2 금속 하도층;

제 2 하도층상에 증착된 제 3 유전층; 및

제 3 유전층상에 존재하는 보호층

을 추가로 포함하는 코팅물 스택(coating stack).
제 8 항에 있어서,

제 2 유전층의 제 1 유전성 필름이 산화아연 필름; 산화아연, 산화주석 필름; 또는 제 2 유전층의 제 1 주석산아연 필름의 조성과 다른 조성을 갖는 제 2 주석산아연 필름으로서 정의되는 주석산아연 필름을 포함하는 코팅물 스택.
제 9 항에 있어서,

제 2 유전층의 제 2 주석산아연 필름이 60 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 40 중량%의 주석을 함유하며,

제 3 유전층이 주석산아연 필름인 코팅물 스택.
제 1 항에 있어서,

유전층이 제 1 유전층이고, 적외선 반사층이 제 1 적외선 반사층이며,

제 1 반사층상의 제 1 금속 하도층;

제 1 금속 하도 필름상의 제 2 유전층;

제 2 유전층상의 제 2 적외선 반사층;

제 2 적외선 반사성 금속층상의 제 2 금속 하도층;

제 1 유전성 필름 및 10 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 90 중량% 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 제 1 주석산아연 필름으로서 정의되는 주석산아연 필름을 포함하는, 제 2 금속 하도층상에 증착된 제 3 유전층; 및

제 3 유전성 필름을 덮고 있는 보호층

을 추가로 포함하는 코팅물 스택.
제 11 항에 있어서,

제 3 유전층의 제 1 유전성 필름이 산화아연 필름; 산화아연, 산화주석 필름; 또는 제 3 유전층의 제 1 주석산아연 필름의 조성과 다른 조성을 갖는 제 2 주석산아연 필름으로서 정의되는 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택되는 제품.
제 12 항에 있어서,

제 3 유전층의 제 2 주석산아연 필름이 60 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 40 중량%의 주석을 함유하는 제품.
제 1 항에 있어서,

유전층이 제 1 유전층이고, 적외선 반사층이 제 1 적외선 반사층이며,

상기 제 1 반사층상의 제 1 금속 하도층;

10 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 90 중량% 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 제 1 주석산아연 필름으로서 정의되는 주석산아연 필름 및 제 1 유전성 필름을 포함하는, 상기 제 1 금속 하도층상에 증착된 제 2 유전층;

제 2 유전층의 제 1 주석산아연 필름상의 제 2 적외선 반사층;

제 2 적외선 반사층상의 제 2 금속 하도층;

제 1 유전성 필름 및 10 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 90 중량% 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 제 1 주석산아연 필름으로서 정의되는 주석산아연 필름을 포함하는, 제 2 금속 하도층상에 증착된 제 3 유전층; 및

유전층의 제 1 주석산아연 필름을 덮고 있는 보호층

을 추가로 포함하는 제품.
제 14 항에 있어서,

제 2 유전층의 제 1 유전성 필름 및 제 3 유전층의 제 1 유전성 필름이 각각 산화아연 필름; 산화아연, 산화주석 필름; 또는 제 2 또는 제 3 유전층 각각의 제 1 주석산아연 필름의 조성과 다른 조성을 갖는 제 2 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택된 필름을 갖는 코팅물 스택.
제 15 항에 있어서,

제 1 및 제 2 유전층의 제 2 주석산아연 필름이 각각 60 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 40 중량%의 주석을 포함하는 코팅물 스택.
제 14 항에 있어서,

제 2 유전층이 제 2 유전층의 제 1 주석산아연 필름상에 제 3 유전성 필름을 추가로 포함하는 코팅물 스택.
제 15 항에 있어서,

제 2 유전층이 제 2 유전층의 제 1 주석산아연 필름상에 제 3 유전성 필름을 추가로 포함하되, 상기 제 2 유전층의 제 3 유전성 필름이 산화아연 필름; 산화아연, 산화주석 필름; 및 제 3 주석산아연 필름으로서 정의되는 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택되는 필름이고,

제 3 주석산아연 필름이 제 3 주석산아연 필름에 가장 근접한 제 2 유전층의 주석산아연 필름의 조성과 다른 조성을 갖는 코팅물 스택.
제 15 항에 있어서,

제 2 유전층의 제 2 유전성 필름 및 제 3 유전층의 제 2 유전성 필름이 각각 산화아연 필름; 산화아연, 산화주석 필름; 또는 제 3 유전층의 제 1 주석산아연 필름의 조성과 다른 조성을 갖는 제 2 주석산아연 필름을 포함하는 코팅물.
제 19 항에 있어서,

제 2 유전층의 제 1 및 제 3 유전성 필름 및 제 3 유전층의 제 1 유전성 필름이 각각 60 중량% 내지 90 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 40 중량%의 주석을 포함하는 코팅물 스택.
제 17 항에 있어서,

제 1 유전층의 제 2 주석산아연 필름이 유리 단편상에 존재하며 230 ± 40Å 범위의 두께를 갖고;

제 1 유전층의 제 1 주석산아연 필름이 제 1 유전층의 제 2 주석산아연 필름상에존재하며 80 ± 40Å 범위의 두께를 갖고;

제 1 적외선 반사성 금속층이 제 1 유전층의 제 1 주석산아연 필름상에 증착된 제 1 은 필름이며 110 ± 30Å 범위의 두께를 갖고;

금속 하도층이 제 1 은층상에 증착된 티탄 필름이며 17 내지 26Å 범위의 두께를 갖고;

제 2 유전층의 제 1 유전성 필름이 티탄 필름상에 증착되며 80 ± 40Å 범위의 두께를 갖고;

제 2 유전층의 제 1 주석산아연 필름이 제 2 유전층의 제 1 유전성 필름상에 증착되며 740 ± 40Å 범위의 두께를 갖고;

제 2 적외선 반사성 금속층이 제 2 유전층의 제 2 유전성 필름상에 증착된 제 2 은 필름이며 110 ± 38Å 범위의 두께를 갖고;

제 2 하도 필름이 제 2 은층상에 증착된 티탄 필름이며 18 내지 31Å 범위의 두께를 갖고;

제 3 유전층의 제 1 유전성 필름이 제 2 티탄 필름상에 증착되며 80 ± 40Å 범위의 두께를 갖고;

제 3 유전층의 제 1 주석산아연 층이 제 3 유전층의 제 1 유전성 필름상에 증착되며 120 ± 40Å 범위의 두께를 갖고;

보호층이 제 3 유전층의 제 1 주석산아연 층상에 증착된 티탄 금속 필름이며 29 ± 3Å 범위의 두께를 갖는 코팅물 스택.
제 1 항에 있어서,

보호층이 티탄, 지르코늄, 니오븀, 탄탈륨, 크롬, 니켈 및 이들의 합금으로 이루어진 금속, 및

산화티탄, 옥시질화티탄, 산화지르코늄, 옥시질화지르코늄, 산화니오븀, 옥시질화니오븀, 산화탄탈륨, 옥시질화탄탈륨, 산화크롬, 옥시질화크롬, 산화니켈, 옥시질화니켈, 산화규소, 이산화규소, 규소 알루미늄 질화물 및 이들중 2가지 이상의 조합물 또는 혼합물중에서 선택된 금속 옥시 물질중에서 선택되되,

상기 규소, 금속 또는 금속 옥시 물질중의 하나가 층의 제 1 필름인 2개 이상의 필름을 갖는 코팅물 스택.
기재;

상기 기재상의 제 1 유전층;

상기 제 1 유전층상의 제 1 적외선 반사층;

상기 제 1 적외선 반사층상의 제 1 금속 하도층;

산화아연, 산화주석 필름 및 제 1 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택된 제 1 유전성 필름, 및 제 2 유전층의 제 1 유전성 필름과 다른 조성을 가진 제 2 유전성 필름을 갖는, 제 1 금속 하도층상의 제 2 유전층;

상기 제 2 유전층상의 제 2 적외선 반사층;

상기 제 2 적외선 반사층상의 제 2 하도층;

상기 제 2 금속 하도층상의 제 3 유전층; 및

금속 및/또는 규소 및 금속 옥시- 및/또는 규소 옥시-물질중에서 선택되되, 상기 옥시 물질이 산화물 및 옥시질화물중에서 선택되고, 상기 금속이 동일하거나 상이하며 원소 주기율표의 4족, 5족, 6족 또는 10족의 전이금속중에서 선택되는 금속-함유 및/또는 규소-함유 필름중에서 선택되는 2개 이상의 필름으로 이루어진 보호층

을 포함하는 코팅된 제품.
제 23 항에 있어서,

제 1 유전층이 주석산아연 필름을 포함하고,

제 2 유전층의 제 2 유전성 필름이 주석산아연 필름이고,

제 3 유전층이 주석산아연 필름을 포함하며,

상기 각각의 주석산아연 필름이 10 내지 90 중량%의 아연 및 90 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 코팅된 제품.
제 24 항에 있어서,

제 2 유전층의 제 1 유전성 필름이 90 중량% 내지 60 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 40 중량%의 주석을 함유하는 제 1 주석산아연 필름인 코팅된 제품.
기재;

상기 기재상의 제 1 유전층;

상기 제 1 유전층상의 제 1 적외선 반사층;

상기 제 1 적외선 반사층상의 제 1 금속 하도층;

상기 제 1 금속 하도층상의 제 2 유전층;

상기 제 2 유전층상의 제 2 적외선 반사층;

상기 제 2 반사성 금속층상의 제 2 금속 하도층;

산화아연 필름; 산화아연, 산화주석 필름; 및 제 1 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택된 제 1 유전성 필름, 및 제 1 유전성 필름의 조성과 다른 조성을 갖는, 제 1 유전성 필름을 덮고 있는 제 2 유전성 필름을 가진 제 3 유전층; 및

금속 및/또는 규소 및 금속 옥시- 및/또는 규소 옥시-물질중에서 선택되되, 상기 옥시 물질이 산화물 및 옥시질화물중에서 선택되고, 상기 금속이 동일하거나 상이하며 원소 주기율표의 4족, 5족, 6족 또는 10족의 전이금속중에서 선택되는 금속-함유 및/또는 규소-함유 필름중에서 선택되는 2개 이상의 필름으로 이루어진, 제 3 유전층을 덮고 있는 보호층

을 포함하는 코팅된 제품.
제 26 항에 있어서,

제 1 및 제 2 유전층이 각각 주석산아연 필름이고,

제 3 유전층의 제 2 유전성 필름이 주석산아연 필름이며,

상기 각각의 주석산아연 필름이 10 내지 90 중량%의 아연 및 90 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 코팅된 제품.
제 27 항에 있어서,

제 2 유전층의 제 1 유전성 필름이 90 중량% 내지 60 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 40 중량%의 주석을 함유하는 코팅된 제품.
기재;

상기 기재상의 제 1 유전층;

상기 제 1 유전층상의 제 1 적외선 반사층;

상기 제 1 반사성 금속층상의 제 1 금속 하도층;

산화아연, 산화주석 필름 및 제 1 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택된 제 1 유전성 필름, 및 제 2 유전층의 제 1 유전성 필름과 다른 조성을 가진, 제 1 유전성 필름을 덮고 있는 제 2 유전성 필름을 갖는 제 2 유전층;

상기 제 2 유전층상의 제 2 적외선 반사층;

상기 제 2 반사층상의 제 2 하도층;

산화아연, 산화주석 필름 및 제 1 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택된 제 1 유전성 필름, 및 제 3 유전층의 제 2 유전성 필름의 조성과 다른 조성을 갖는 제 3 유전층의 제 2 유전성 필름을 가진, 제 2 금속 하도층상의 제 3 유전층; 및

금속 및/또는 규소 및 금속 옥시- 및/또는 규소 옥시-물질중에서 선택되되, 상기 옥시 물질이 산화물 및 옥시질화물중에서 선택되고, 상기 금속이 동일하거나 상이하며 원소 주기율표의 4족, 5족, 6족 또는 10족의 전이금속중에서 선택되는 금속-함유 및/또는 규소-함유 필름중에서 선택되는 2개 이상의 필름으로 이루어진, 제 3 유전층을 덮고 있는 보호층

을 포함하는 코팅된 제품.
제 29 항에 있어서,

제 1 유전층, 및 제 2 및 제 3 유전층의 제 2 유전성 필름이 각각 10 내지 90 중량%의 아연 및 90 내지 10 중량%의 주석을 함유하는 주석산아연 필름인 코팅된 제품.
제 30 항에 있어서,

제 2 및 제 3 유전층의 제 1 유전성 필름이 각각 90 중량% 내지 60 중량%의 아연 및 10 중량% 내지 40 중량%의 주석을 함유하는 주석산아연 필름인 코팅된 제품.
제 30 항에 있어서,

투명체인 코팅된 제품.
제 32 항에 있어서,

자동차용 투명체인 코팅된 제품.
제 33 항에 있어서,

자동차용 투명체가 함께 적층된 한쌍의 유리 시이트를 가진 자동차 방풍유리이고,

상기 시이트중의 하나가 코팅물을 가진 기재로부터 제작된 코팅된 제품.
유리 기재상의 제 1 유전층; 상기 제 1 유전성 필름상의 제 1 적외선 반사성 금속층; 상기 제 1 반사층상의 제 1 금속 하도층; 상기 제 1 금속 하도층상의 제 2 유전층; 상기 제 2 유전층상의 제 2 적외선 반사층; 상기 제 2 적외선 반사층상의 제 2 금속 하도층; 금속 및/또는 규소 및 금속 옥시- 및/또는 규소 옥시-물질중에서 선택되되, 옥시 물질이 산화물 및 옥시질화물중에서 선택되고, 상기 금속이 동일하거나 상이하며 원소 주기율표의 4족, 5족, 6족 또는 10족의 전이금속중에서 선택되는 금속-함유 및/또는 규소-함유 필름중에서 선택되는 2개 이상의 필름으로 이루어진, 제 3 유전층의 제 1 주석산아연 필름을 덮고 있는 보호층을 갖되; 유전층중의 적어도 하나가 산화아연, 산화주석 필름 및 제 1 주석산아연 필름으로 이루어진 군중에서 선택된 제 1 유전성 필름, 및 상기 제 1 주석산아연 필름과 다른 조성 및 10 내지 90 중량% 아연 및 90 내지 10 중량% 주석의 조성을 갖는 제 2 주석산아연 필름을 포함하는 제 2 유전성 필름을 포함하는 코팅물을 유리 기재상에 적용하는 단계;

상기 코팅된 기재를 가공하여 코팅된 방풍유리 블랭크(windshield blank)를 제공하되, 상기 코팅된 기재를 그의 굴곡온도로 가열하는 단계를 포함하며, 가열후 코팅물이 감소된 헤이즈를 갖는 단계; 및

코팅된 블랭크를 또 다른 유리 단편과 적층시켜 자동차용 방풍유리를 제공하는 단계를 포함하는 자동차용 투명체의 제조방법.
기재;

상기 기재상의 하나 이상의 유전층;

상기 제 1 유전층상의 하나 이상의 적외선 반사층;

선택적으로, 상기 제 1 적외선 반사층상의 제 1 금속 하도층;

선택적으로, 상기 제 1 금속 하도층상의 제 2 유전층; 및

(A) 금속이 티탄, 지르코늄, 니오븀, 탄탈륨, 크롬, 니켈 및 이들의 합금 및 이들과 규소와의 합금중에서 선택되는 열전환가능한 금속 필름, (B) 금속 및/또는 규소 및 금속 옥시- 및/또는 규소 옥시-물질중에서 선택되되, 옥시 물질이 산화물 및 옥시산화물중에서 선택되고, 상기 금속이 동일하거나 상이하며 원소 주기율표의 4족, 5족, 6족 또는 10족의 전이금속중에서 선택 금속-함유 및/또는 규소-함유 필름중에서 선택되는 2개 이상의 필름중에서 선택되며, 층들의 스택에 화학적 및/또는 기계적 내구성을 제공하기 위하여 층들의 스택내에 위치하는 하나 이상의 보호층

을 포함하는 코팅된 제품.
제 36 항에 있어서,

유전층이 제 1 유전층이고, 적외선 반사층이 제 1 적외선 반사층이며,

제 2 유전층상의 제 2 적외선 반사층; 선택적으로, 제 2 적외선 반사층상의 하도층;

하도층상의 제 2 유전층; 및 제 2 유전층상의 상도막인 보호층을 추가로 포함하는 코팅된 제품.
제 36 항에 있어서,

보호층이 제 1 유전층 이전에 기재상에 위치한 열전환가능한 금속인 코팅된 제품.
제 36 항에 있어서,

보호층이 제 1 유전층 이전에 기재상에 위치한 열전환가능한 금속인 코팅된 제품.
제 36 항에 있어서,

보호층이 제 1 반사층 아래에서 제 1 유전층과 제 2 유전층 사이에 위치한 열전환가능한 금속인 코팅된 제품.
제 37 항에 있어서,

보호층이 반사층상의 제 2 유전층과 제 3 유전층 사이에 임의적인 순서로 위치한 금속 또는 규소 및 금속 옥시-물질 또는 규소 옥시-물질의 2개 이상의 필름을 갖는 코팅된 제품.
제 1 항에 있어서,

보호층이 금속 또는 규소 필름에 대해서는 약 5 내지 약 60Å, 옥시-물질 필름에대해서는 약 20 내지 약 50Å의 필름 두께를 갖는 코팅된 제품.
제 42 항에 있어서,

보호층이 금속 또는 규소 필름에 대해서는 10 내지 약 30Å, 옥시-물질 필름에 대해서는 30 내지 40Å의 필름 두께를 갖는 코팅된 제품.