KR20020002050A - 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents
프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20020002050A KR20020002050A KR1020000036487A KR20000036487A KR20020002050A KR 20020002050 A KR20020002050 A KR 20020002050A KR 1020000036487 A KR1020000036487 A KR 1020000036487A KR 20000036487 A KR20000036487 A KR 20000036487A KR 20020002050 A KR20020002050 A KR 20020002050A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- film
- metal film
- patterning
- line
- depositing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/13439—Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/134309—Electrodes characterised by their geometrical arrangement
- G02F1/134372—Electrodes characterised by their geometrical arrangement for fringe field switching [FFS] where the common electrode is not patterned
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/123—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode pixel
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 투명성 절연기판 상에 투명 금속막을 증착하고, 상기 투명 금속막을 패터닝하여 카운터 전극을 형성하는 단계;상기 결과물 상에 제1불투명 금속막과 n+ a-Si막을 차례로 증착하고, 상기 막들을 패터닝하여 오믹 콘택층과 소오스/드레인 전극 및 데이터 라인을 형성하는 단계;상기 결과물 상에 a-Si막, SiNX막 및 제2불투명 금속막을 차례로 증착하고, 상기 막들을 패터닝하여 반도체층, 게이트 절연막, 게이트 전극을 포함한 게이트 라인 및 공통전극라인을 형성하고, 그것에 의해서, 스태거형 박막 트랜지스터를 구성하는 단계;상기 결과물 상에 보호막을 증착하고, 상기 보호막을 패터닝하여 상기 게이트 라인 또는 공통전극라인의 일부분을 노출시키는 비아홀을 형성하는 단계; 및상기 결과물 상에 투명 금속막을 증착하고, 상기 투명 금속막을 패터닝하여 상기 게이트 라인 또는 공통전극라인과 콘택되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 화소 전극은 게이트 라인 또는 공통전극라인과 연결되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1불투명 금속막은 Mo막 또는 MoW막인 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1불투명 금속막은 상하 버퍼층으로서 Mo막 또는 Ti막을 갖는 Al막인 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제2불투명 금속막은 Mo막, MoW막, 또는, Mo막과 Al막의 적층막 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 게이트 절연막을 형성하기 위한 식각시,화소 영역에 증착된 SiNX막 부분도 함께 제거하는 것을 특징으로 하는 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000036487A KR100663287B1 (ko) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020000036487A KR100663287B1 (ko) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020002050A true KR20020002050A (ko) | 2002-01-09 |
KR100663287B1 KR100663287B1 (ko) | 2007-01-02 |
Family
ID=19674822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020000036487A KR100663287B1 (ko) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100663287B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101385744B1 (ko) | 2007-12-27 | 2014-04-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판 |
-
2000
- 2000-06-29 KR KR1020000036487A patent/KR100663287B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100663287B1 (ko) | 2007-01-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100325079B1 (ko) | 고개구율 및 고투과율 액정표시장치의 제조방법 | |
KR100299381B1 (ko) | 고개구율 및 고투과율을 갖는 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
US6562645B2 (en) | Method of fabricating fringe field switching mode liquid crystal display | |
KR101322885B1 (ko) | 어레이 기판과 액정 디스플레이 | |
KR20080059889A (ko) | 박막트랜지스터 액정표시장치용 어레이 기판 및 그제조방법 | |
KR20070122158A (ko) | Tft lcd 어레이 기판 및 그 제조 방법 | |
KR100322968B1 (ko) | 프린지 필드 구동 액정 표시 장치의 제조방법 | |
KR100322970B1 (ko) | 프린지 필드 구동 액정표시 장치의 제조방법 | |
CN111223815B (zh) | 薄膜晶体管阵列基板及其制作方法 | |
KR100325072B1 (ko) | 고개구율및고투과율액정표시장치의제조방법 | |
JP4238960B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
KR20010081859A (ko) | 액정 표시장치 제조방법 및 그 제조방법에 따른액정표시장치 | |
KR20070080476A (ko) | 3 마스크 공정에 의한 액정표시장치의 제조방법 | |
US7906356B2 (en) | Method of manufacturing array substrate of horizontal electric field type transreflective liquid crystal display | |
KR20000039794A (ko) | 고개구율 및 고투과율 액정표시장치의 제조방법 | |
US8003451B2 (en) | Method of manufacturing array substrate of liquid crystal display device | |
KR20070045751A (ko) | 포토 마스크 | |
KR100551725B1 (ko) | 고개구율 및 고투과율 액정표시장치의 제조방법 | |
KR100663287B1 (ko) | 프린지 필드 구동 액정표시장치의 제조방법 | |
KR100648211B1 (ko) | 프린지 필드 구동 액정표시장치 및 그의 제조방법 | |
KR100663288B1 (ko) | 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조방법 | |
KR100615438B1 (ko) | 액정표시장치용 어레이 기판 제조 방법 | |
KR100599958B1 (ko) | 고개구율 및 고투과율 액정표시장치의 제조방법 | |
KR100341124B1 (ko) | 고개구율 및 고투과율 액정 표시 장치의 제조방법 | |
KR100417915B1 (ko) | 액정표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
N231 | Notification of change of applicant | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121107 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131118 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141118 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151116 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161118 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171116 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181126 Year of fee payment: 13 |