KR200198463Y1 - 반도체 장비용 써모커플 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 장비용 써모커플에 관한 것으로서, 종래 와이어를 백그라이트에 설치된 볼트에 연결 고정할 때 상부너트와 하부너트의 사이에 와이어를 넣고 상부너트를 와이어와 접촉한 상태로 회전시켜 누름에 따라 회전력이 와이어에 가해져 와이어의 길이가 변화하면서 온도특성이 변화하던 문제점을 인식하여, 와이어의 길이가 늘어나지 않은 상태로 볼트에 연결 고정하도록 하므로써 써모커플의 온도특성이 일정하게 유지되어 정확한 온도제어가 가능하도록 한 것이다.

Description

반도체 장비용 써모커플

본 고안은 반도체 장비용 써모커플에 관한 것으로서, 특히 써모커플의 와이어를 볼트에 연결 고정할 때 와이어가 늘어남에 의해 온도특성이 변화하는 것을 방지하는데 적합한 반도체 장비용 써모커플에 관한 것이다.

증착로와 같은 반도체 장비에는 로내의 각 존의 온도를 측정하여 제어부로 전달함에 의해 히터블락이 가하는 열을 조절하여 로내를 적정한 온도로 유지하도록 하기 위하여 써모커플이 사용되는데 이를 반도체 장비용 써모커플이라한다.

도 1 은 종래 반도체 장비용 써모커플의 구조를 도시한 측면도이고, 도 2 는 종래 반도체 장비용 써모커플의 구조를 도시한 후면도이다.

이에 도시한 바와 같이, 종래의 반도체 장비용 써모커플은 서로 다른 재질로 되고 일단이 연결되어 와이어 접점(1a)을 구성하는 두가닥의 와이어(1) 혹은 두 개의 와이어 접점(1a)을 가지도록 되는 네 가닥의 와이어(1)가 있고, 상기 와이어(1)를 보호하기 위하여 와이어(1)를 둘러싸는 관인 세라믹 보호관(2)이 있으며, 상기 세라믹 보호관(2)의 후방에 절연재로 형성되어 열이 써모커플의 외부로 나오는 것을 방지하는 백그라이트(3)가 설치된다. 상기 백그라이트(3)의 후방에는 각각의 와이어(1)가 연결 고정되는 볼트(4)와, 상기 볼트(4)에 와이어(1)를 고정시키기 위한 상부너트(5) 및 하부너트(6)가 있다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 종래의 반도체 장비용 써모커플에서는 와이어(1)를 상부너트(5)와 하부너트(6)의 사이에 놓은 상태에서 상부너트(5)를 조여 와이어(1)가 빠지지 않도록 고정하게 된다.

그런데, 상기한 바와 같은 구조로 되는 종래의 반도체 장비용 써모커플에는 다음과 같은 문제점이 있었다.

즉, 상기 볼트(4)에 와이어(1)를 고정할 때 상부너트(5)와 하부너트(6)의 사이에 와이어(1)를 넣은 상태로 상부너트(5)를 조이게 되는데, 이 과정에서 상부너트(5)의 회전력에 의해 와이어(1)의 단부가 말려들어가면서 와이어(1)의 전체적인 길이가 늘어나게 되어 온도특성이 변화하게 되고 이러한 온도특성의 변화는 써모커플 마다 상부너트(5)로 와이어(1)를 고정할 때 가한 힘에 따라 달라지게 되어 정확한 온도제어가 이루어지지 못하게 되는 문제점이 있었던 것이다.

따라서, 상기한 바와 같은 문제점을 인식하여 안출된 본 고안의 목적은 와이어의 길이를 변동시키지 않고 와이어를 볼트와 연결되도록 하는 것이 가능하여 정확한 온도제어가 이루어질 수 있도록 하는 반도체 장비용 써모커플을 제공하고자 하는 것이다.

도 1 은 종래 반도체 장비용 써모커플의 구조를 도시한 측면도.

도 2 는 종래 반도체 장비용 써모커플의 구조를 도시한 후면도.

도 3 은 본 고안의 일실시례에 의한 반도체 장비용 써모커플의 후면도.

도 4 는 도 3 의 A 부분을 확대하여 도시한 측면도.

도 5 는 본 고안의 일례에 적용되는 상부판의 평면도.

도 6 은 본 고안의 일례에 적용되는 하부판의 평면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1;와이어 2;세라믹 보호관

3;백그라이트 4,10;볼트

5;상부너트 6;하부너트

11;하부판 11a,12a;볼트구멍

12;상부판 12b;관통공

13;너트 14;스프링

상기한 바와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 일단에 접점이 형성된 수개의 와이어와 상기 각각의 와이어가 연결 고정되는 볼트와 상기 볼트의 하부가 고정되는 백그라이트를 포함하여 구성되는 반도체 장비용 써모커플에 있어서; 상기 볼트에는 볼트가 삽입되는 볼트구멍이 형성된 하부판이 볼트에 관통되어 설치되고, 상기 하부판의 상측으로는 볼트구멍이 형성된 상부판이 볼트에 관통되어 설치되며, 상기 상부판의 상측으로는 상부판의 상측으로의 이동을 저지하는 너트가 설치되고, 상기 하부판에 상측으로 향하는 힘을 가하여 하부판, 상부판 그리고 너트의 인접면이 접촉하도록 하는 스프링이 하부판의 하측에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 써모커플이 제공된다.

상기 볼트는 하나의 와이어에 대하여 두 개씩 설치되고, 상기 상부판과 하부판은 양단부에 볼트구멍이 형성되어 각각의 볼트구멍이 볼트에 관통되며, 상부판의 중앙부에는 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 써모커플이 제공된다.

이하, 첨부도면에 도시한 본 고안의 일실시례에 의거하여 본 고안을 상세히 설명하기로 한다.

도 3 은 본 고안의 일실시례에 의한 반도체 장비용 써모커플의 후면도이고, 도 4 는 도 3 의 A 부분을 확대하여 도시한 측면도이다.

이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 장비용 써모커플은 와이어(1)와 세라믹 보호관(미도시)을 구비하고 상기 와이어(1)가 연결 고정되는 볼트(10)가 백그라이트(3)에 설치되는 것은 종래와 동일하나, 상기 볼트(10)에 와이어(1)를 연결고정하는 부분의 구조가 종래와 다르게 구성된다. 즉, 본 고안에서는 볼트(10)가 삽입되는 볼트구멍(11a)이 형성된 하부판(11)이 볼트(10)에 관통되어 설치되고, 상기 하부판(11)의 상측으로는 볼트구멍(12a)이 형성된 상부판(12)이 볼트(10)에 관통되어 설치되며, 상기 상부판(12)의 상측으로는 상부판(12)의 상측으로의 이동을 저지하는 너트(13)가 설치되고, 상기 하부판(11)에 상측으로 향하는 힘을 가하여 하부판(11), 상부판(12) 그리고 너트(13)의 인접면이 접촉하도록 하는 스프링(14)이 하부판(11)의 하측에 설치되게 된다.

이때, 상기 볼트(10)는 하나의 와이어(1)에 대하여 두 개씩 설치되고, 상기 상부판(12)과 하부판(11)은, 각각 본 고안의 일례에 적용되는 상부판의 평면도인 도 5 와 본 고안의 일례에 적용되는 하부판의 평면도인 도 6 에 도시한 바와 같이, 양단부에 볼트구멍(11a,12a)이 형성되어 각각의 볼트구멍(11a,12a)이 볼트(10)에 관통되며, 상부판(12)의 중앙부에는 관통공(12b)이 형성되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 반도체 장비용 써모커플에서 와이어(1)가 볼트(10)에 연결 고정되는 것은 하부판(11)을 스프링(14)의 힘에 저항하여 아래로 내린 후 와이어(1)를 상부판(12)과 하부판(11)의 사이로 넣은 후 하부판(11)을 놓는 것에 의해 이루어지게 된다. 이때 상기 관통공(12b)을 상부판(12)에 형성한 경우에는 드라이버나 송곳과 같은 가느다란 물체를 사용하여 관통공(12b)을 관통하며 하부판(11)을 누른 상태에서 와이어(1)를 상부판(12)과 하부판(11)의 사이에 삽입한 후 가하던 힘을 제거하는 것에 의해 이루어지게 된다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 반도체 장비용 써모커플은 와이어를 백그라이트에 설치된 볼트에 연결 고정할 때 종래 와이어와 접촉한 상태로 상부너트에 의해 가해지던 회전력이 와이어에 가해지지 않아 와이어가 늘어나지 않게 되므로 써모커플의 온도특성이 일정하게 유지되어 정확한 온도제어가 가능하게 되는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 일단에 접점이 형성된 수개의 와이어와 상기 각각의 와이어가 연결 고정되는 볼트와 상기 볼트의 하부가 고정되는 백그라이트를 포함하여 구성되는 반도체 장비용 써모커플에 있어서; 상기 볼트에는 볼트가 삽입되는 볼트구멍이 형성된 하부판이 볼트에 관통되어 설치되고, 상기 하부판의 상측으로는 볼트구멍이 형성된 상부판이 볼트에 관통되어 설치되며, 상기 상부판의 상측으로는 상부판의 상측으로의 이동을 저지하는 너트가 설치되고, 상기 하부판에 상측으로 향하는 힘을 가하여 하부판, 상부판 그리고 너트의 인접면이 접촉하도록 하는 스프링이 하부판의 하측에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 써모커플.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 볼트는 하나의 와이어에 대하여 두 개씩 설치되고, 상기 상부판과 하부판은 양단부에 볼트구멍이 형성되어 각각의 볼트구멍이 볼트에 관통되며, 상부판의 중앙부에는 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 써모커플.