KR200198449Y1 - 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치에 관한 것으로, 종래에는 서셉터 및 핑거의 레벨링작업을 육안확인에 의존하며 실시하기 때문에 부정확하고 번거로운 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치는 십자형의 레벨 바(12) 단부에 각각 캐패시턴스 센서(13)를 설치하고, 그 4개의 캐패시턴스 센서(13)들에서 감지되는 전압값을 확인하기 위한 콘트를러(14)를 연결설치하여, 펌핑 플레이트(11)의 상면에 레벨 바(12)를 얹어 놓은 상태에서 서셉터 및 웨이퍼가 얹혀진 핑거들의 접촉시 발생되는 위치별 전압차를 확인하며 수평을 조절하도록 함으로써, 종래와 같이 육안에 의한 수평검사를 배제하고, 접촉시 발생되는 위치별 전압값을 확인하며 수평을 조절하게 되어, 정확하고 용이하게 수평을 조절할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 고안은 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치에 관한 것으로, 특히 정확한 수평조절이 가능하고, 수평조절작업을 용이하게 실시할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치에 관한 것이다.
제1도는 종래 반도체 화학기상증학장비의 구성을 보인 사시도이고, 제2도는 종래 서셉터의 구조를 보인 사시도이며, 제3도는 종래 웨이퍼 리프트 후프의 구조를 보인 사시도로서 도시된 바와 같이, 종래 반도체 화학기상증착장비는 챔버(1)의 상부에 복개가능토록 챔버 리드(2)가 설치되어 있고, 그 챔버 리드(2)의 하측에는 샤워 헤드(3)가 설치되어 있어서, 그 샤워 헤드(3)를 통하여 공정가스가 챔버(1)의 내측으로 분사될수 있도록 되어 있다.
그리고, 상기 챔버(1)의 내측 가장자리에는 펌핑홀(미도시)이 구비된 펌핑 플레이트(5)가 설치되어 있고, 그 펌핑 플레이트(5)의 내측에는 4방향에 핑거(6)가 설치된 웨이퍼 리프트 후프(7)가 설치되어 있으며, 그 웨이퍼 리프트 후프(7)의 내측에는 4방향에 관통공(8a)이 형성된 서셉터(8)가 설치되어 있어서, 그 서셉터(8)의 관통공(8a)에 상기 4개의 핑거(6)가 상방향으로 삽입되도록 조립되어 있다.
도면중 미설명 부호 9는 챔버 슬릿 밸브이다.
상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 화학기상증착장비는 챔버 리드(2)가 복개된 상태에서 서셉터(8)의 관통공(8a)에 삽입되어 상방향으로 돌출된 4개의 핑거(6) 상면에 로봇 암(미도시)이 챔버 슬랫 밸브(9)를 통하여 웨이퍼를 이송하여 얹어 놓는다. 그런 다음, 서셉터(8)가 상승하여 웨이퍼가 서셉터(8)의 상부에 얹혀지면 샤워헤드(4)를 통하여 공정가스를 분사하여 웨이퍼의 상면에 증착막을 형성하게 된다.
그리고 상기 서셉터(8)와 핑거(6)는 웨이퍼가 수평이 유지되지 못할시 발생되는 증착막의 두께편차를 방지하기 위하여 필요시 레벨링작업을 실시하게 되는데, 먼저 펌핑 플레이트(5)의 상면에 대각선 방향으로 수평 게이지(미도시)를 올려놓고, 수동으로 서셉터(8)를 상승시키며 수평 게이지의 하면에 닿은 상태에서 서셉터(8)의 수평상태를 맞추게 된다. 그런 다음 서셉터(8)에 형성된 관통공(8a)에 핑거(6)가 삽입되어 돌출되도록 하고, 그 핑거(6)가 웨이퍼의 하면에 닿는지를 육안으로 확인하며 핑거(6)의 수평상태를 맞추게 된다.
그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 화학기상증착장비에서는 서셉터(8)와 핑거(6)의 레벨링작업을 육안확인에 의존하여 실시하기 때문에 정확한 레벨링이 이루어지지 못할뿐 아니라, 번거로운 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 정확한 레벨링작업을 용이하게 실시할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치를 제공함에 있다.
제1도는 종래 반도체 화학기상증착장비의 구성을 보인 사시도.
제2도는 종래 서셉터의 구조를 보인 사시도.
제3도는 종래 웨이퍼 리프트 후프의 구조를 보인 사시도.
제4도는 본 고안 수평조절장치를 이용하여 수평조절하는 상태를 보인 평면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
6 : 핑거 7 : 리프트 후프
11 : 펑핑플레이트 12 : 레벨바
13 : 캐패시턴스 센서 14 : 콘트롤러
15 : 서셉터
상기와 같은 본 고안의 목석을 달성하기 위하여 챔버의 내측에 펌핑 플레이트가 설치되어 있고, 그 펌핑플레이트의 내측에는 4방향에 핑거가 설치된 웨이퍼 리프트후프가 설치되어 있으며, 그 웨이퍼 리프트 후프의 내측에는 서셉터가 설치되어 있는 반도체 화학기상증착장비에 있어서, 펌핑플레이트의 상면에 얹혀지는 십자형의 레벨 바와, 그 레벨 바의 십자형 단부에 각각 설치되어 서셉터와 리프트 후프의 핑거들의 접촉시 발생되는 위치별 전압차를 검출하기 위한 캐패시턴스 센서와, 그 각각의 캐패시턴스 센서에서 감지되는 전압값을 출력함과 아울러 캐패시턴스 센서의 시그널을 증폭시켜서 위치별 전압값을 확인하여 서셉터 또는 핑거들의 수평을 조절할 수 있도록 하기 위한 콘트롤러를 포함하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치가 제공된다.
이하, 상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
제4도는는 본 고안 수평조절장치를 이용하여 수평조절하는 상태를 보인 평면도로서, 도시된 바와 같이, 본 고안 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치는 펌핑 플레이트(11)의 상면에 얹혀지는 십자형의 레벨 바(LEYEL BAR)(12)와, 그 십자형 레벨바(12)의 단부에 각각 설치되는 캐패시턴스 센서(CIPACITANCE SENSOR)(3)와, 그 각각의 캐패시턴스 센서(13)에 연결되어 캐패시턴스 센서(13)에서 감지되는 전압값을 출력함과 아울러 시그널(SIGNAL)을 증폭시키기 위한 콘트롤러(CONTROLLER)(14)를 포함하여 구성되어 있다.
도면중 미설명 부호 15는 서셉터이고, 16은 콘트롤러(14)를 조작하기 위한 보드이다.
상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치를 이용하여 레벨링을 실시하는 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 십자형의 레벨 바(12)를 펌핑 플레이트(11)의 상면에 얹어 놓고, 4개의 캐패시턴스 센서(13)에 파워를 인가시킨 다음, 서셉터(15)를 상승시켜서 서셉터(15)의 상면을 레벨 바(12)의 하면에 접촉시키며 서셉터(15)와 레벨 바(12)의 접촉시 발생되는 접압차가 위치별로 발생되는지를 확인하고, 그 전압차가 4곳의 캐패시턴스 센서(13)에서 발생되지 않도록 서셉터(15)의 수평을 맞춘다.
상기와 같이 서셉터(15)의 수평을 조절한 다음에는 서셉터(15)의 상면으로 4개의 핑거(6)가 돌출되도록 웨이퍼 리프트 후프(7)를 상승시킨 다음, 상기 핑거(6)들의 상면에 웨이퍼를 얹어 놓고, 웨이퍼 리프트 후프(7)를 상승시켜서 핑거(6) 위에 얹혀진 웨이퍼에 접촉되는 레벨 바(12)의 위치별로 캐패시턴스 센서(13)의 전압차가 발생되는지 확인하며, 핑거(6)들의 수평을 맞춘다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치는 십자형의 레벨 바 단부에 각각 캐패시턴스 센서를 설치하고, 그 4개의 캐패시턴스 센서들에서 감지되는 전압값을 확인하기 위한 콘트롤러를 연결설치하여, 펌핑 플레이트의 상면에 레벨 바를 얹어 놓은 상태에서 서셉터 및 웨이퍼가 언혀진 핑거들의 접촉시 발생되는 위치별 전압차를 확인하며 수평을 조절하도록 함으로써, 종래와 같이 육안에 의한 수평검사를 배제하고, 접촉시 발생되는 위치별 전압값을 확인하며 수평을 조절하게 되어, 정확하고 용이하게 수평을 조절할 수 있는 효과가 있다.
Claims (1)
- 챔버의 내측에 펌핑 플레이트가 설치되어 있고, 그 펌핑플레이트의 내측에는 4방향에 핑거가 설치된 웨이퍼 리프트 후프가 설치되어 있으며, 그 웨이퍼 리프트 후프의 내측에는 서셉터가 설치되어 있는 반도체 화학기상증착장비에 있어서, 펌핑플레이트의 상면에 얹혀지는 십자형의 레벨 바와, 그 레벨 바의 십자형 단부에 각각 설치되어 서셉터와 리프트 후프의 핑거들의 접촉시 발생되는 위치별 전압차를 검출하기 위한 캐패시턴스 센서와, 그 각각의 캐패시턴스 센서에서 감지되는 전압값을 출력함과 아울러 캐패시턴스 센서의 시그널을 증폭시켜서 위치별 전압값을 확인하여 서셉터 또는 핑거들의 수평을 조절할 수 있도록 하기 위한 콘트롤러를 포함하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 화학기상증착장비의 수평조절장치.
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