KR200198437Y1 - Pump assembly for inplanter - Google Patents
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Abstract
본 고안은 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치에 관한 것으로, 종래에는 고진공 밸브의 클로즈시 에어가 빠르게 배기되지 못하여 크라이오 펌프를 웜-업시키는 문제점이 있었다. 본 고안 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치는 오픈 에어 라인(7) 상에 급속배기밸브(10)를 설치하여, 고진공 밸브(3)의 클로즈시 밸브의 내측에 존재하는 에어가 급속배기밸브(10)를 통하여 빠르게 배기될 수 있도록 함으로써, 종래와 같이 크라이오 펌프가 웜-업되는 것을 차단하여 고장을 방지하게 되는 효과가 있다.The present invention relates to a rapid exhaust device of the pump assembly for ion implantation equipment, conventionally there was a problem that the air is not exhausted quickly when closing the high vacuum valve to warm up the cryo pump. In the rapid exhaust device of the pump assembly for ion implantation equipment, the rapid exhaust valve 10 is installed on the open air line 7 so that the air present inside the valve when the high vacuum valve 3 is closed is rapidly exhausted. By allowing it to be quickly exhausted through (10), there is an effect that prevents the failure by preventing the cryo pump from warm-up as in the prior art.
Description
보 고안은 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치에 관한 것으로, 특히 크라이오 펌프의 배기시 고진공 밸브가 빠르게 오픈될 수 있도록 하는데 적합한 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치에 관한 것이다.The invention relates to a rapid exhaust device of a pump assembly for ion implantation equipment, and more particularly to a rapid exhaust device of a pump assembly for ion implantation equipment suitable for allowing a high vacuum valve to be opened quickly when the cryo pump is exhausted.
도 1은 종래 이온주입장비의 크라이오 펌프가 설치된 상태를 보인 상태도로써, 도시된 바와 같이, 종래에는 크라이오 펌프(1)의 하부에 피스톤(2)이 구비된 고진공 밸브(3)가 설치되어 있고, 그 고진공 밸브(3)의 하측에는 앤드 스테이션 챔버(4)가 설치되어 있으며, 그 앤드 스테이션 챔버(4)의 하측에는 솔레노이드 밸브(5)가 구비된 뉴메틱 모듈(PNEUMATIC VALVE)(6)이 설치되어 있다.1 is a state diagram showing a state in which a cryopump of a conventional ion implantation equipment is installed. As shown in the related art, a high vacuum valve 3 having a piston 2 is provided in a lower portion of the cryopump 1. An end station chamber 4 is provided below the high vacuum valve 3, and a pneumatic module 6 provided with a solenoid valve 5 below the end station chamber 4. Is installed.
그리고, 상기 솔레노이드 밸브(5)와 고진공 밸브(3)는 오픈 에어 라인(7)과 클로즈 에어 라인(7')이 일정간격을 두고 연결설치되어 있다.The solenoid valve 5 and the high vacuum valve 3 are connected to the open air line 7 and the closed air line 7 'at regular intervals.
도면중 미설명 부호 8은 앤투 밸브(N2VALVE)이다.In the figure, reference numeral 8 denotes an N 2 valve.
상기와 같이 구성되어 있는 종래 이온주입장비용 펌프 어셈블리는 상기 클로즈 에어 라인(7')을 통하여 항상 에어가 공급되며, 고진공 밸브(3)의 오픈시에는 솔레노이드 밸브(5)에 12V 전원이 공급되고, 오픈 에어 라인(7)으로 에어가 공급되면서 고진공 밸브(3)의 내측에 설치된 피스톤(2)을 후진시켜서 고진공 밸브(3)를 오픈하게 된다. 그리고, 상기와 같이 고진공 밸브(3)가 오픈되면 클로즈 에어 라인(7')으로 공급되는 에어는 차단되며 라인의 내부에 존재하는 에어는 솔레노이드 밸브(5)의 이그저스트(EXHAUST)를 통하여 배기된다.In the conventional pump assembly for ion implantation equipment configured as described above, air is always supplied through the closed air line 7 ', and 12V power is supplied to the solenoid valve 5 when the high vacuum valve 3 is opened. As the air is supplied to the open air line 7, the high vacuum valve 3 is opened by reversing the piston 2 installed inside the high vacuum valve 3. When the high vacuum valve 3 is opened as described above, the air supplied to the closed air line 7 'is cut off, and the air present in the line is exhausted through the EXHAUST of the solenoid valve 5. do.
그러나, 상기와 같이 고진공 밸브(3)를 오픈한 다음, 앤드 스테이션 챔버(4)의 공기를 배기하기 위하여 고진공 밸브(3)를 클로즈 할 때, 오픈시 공급되었던 에어가 솔레노이드 밸브(5)의 이그저스트를 통하여 배기되나, 라인이 길어서 빠르게 배기되지 못하여 크라이오 펌프(1)를 웜-업(WARM UP)시키게 되어 고장을 유발하는 문제점이 있었다.However, when the high vacuum valve 3 is opened as described above and then the high vacuum valve 3 is closed to exhaust the air in the end station chamber 4, the air supplied at the time of opening is removed from the solenoid valve 5. Exhausted through the just, but the line is long and can not be exhausted quickly to warm up the cryo pump (1) (WARM UP) there was a problem causing a failure.
상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 앤드 스테이션 챔버의 배기시 고진공 밸브에 공급되었던 에어가 빠르게 배기 될 수 있도록 하는데 적합한 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치를 제공함에 있다.The object of the present invention devised in view of the above problems is to provide a rapid exhaust device of the pump assembly for ion implantation equipment suitable for allowing the air supplied to the high vacuum valve when the end station chamber is exhausted quickly.
도 1은 종래 이온주입장비의 크라이오 펌프가 설치된 상태를 보인 상태도.1 is a state diagram showing a state in which the cryopump of the conventional ion implantation equipment is installed.
도 2는 본 고안 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치가 설치된 상태를 보인 상태도.Figure 2 is a state showing a state in which the rapid exhaust device of the pump assembly for the present invention ion implantation equipment is installed.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **
1 : 크라이오 펌프 3 : 고진공 밸브1: cryopump 3: high vacuum valve
5 : 솔레노이드 밸브 7 : 오픈 에어 라인5: solenoid valve 7: open air line
7': 클로즈 에어 라인 10 : 급속배기밸브7 ': Closed air line 10: Quick exhaust valve
상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 크라이오 펌프의 하측에 고진공 밸브가 연결설치되어 있고, 그 고진공 밸브와 솔레노이드 밸브가 오픈 에어 라인과 클로즈 에어 라인으로 연결되어 있는 이온주입장비용 펌프 어셈블리에 있어서, 상기 고진공 밸브의 클로즈시 오픈 에어 라인내에 잔류하는 에어를 빠르게 배기하여 크라이오 펌프가 웜업되지 않도록 하기 위한 급속배기밸브를 오픈 에어 라인 상에 설치하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the high vacuum valve is connected to the lower side of the cryo pump, and the high vacuum valve and the solenoid valve are connected to the open air line and the close air line to the pump assembly for ion injection equipment. The pump for ion implantation equipment comprising: a quick exhaust valve installed on the open air line to quickly exhaust air remaining in the open air line when the high vacuum valve is closed so that the cryopump does not warm up. A rapid exhaust device of the assembly is provided.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the embodiment of the accompanying drawings, the rapid exhaust device of the pump assembly for the present invention ion implantation equipment configured as described above in more detail as follows.
도 2는 본 고안 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치가 설치된 상태를 보인 상태도로써, 도시된 바와 같이, 본 고안은 크라이오 펌프(1)의 하측에 피스톤(2)이 구비된 고진공 밸브(3)가 연결설치되어 있고, 그 고진공 밸브(3)의 하측에 앤드 스테이션 챔버(4)가 연결설치되어 있으며, 그 앤드 스테이션 챔버(4)의 하측에는 솔레노이드 밸브(5)가 구비된 뉴메틱 밸브(6)가 설치되어 있으며, 상기 고진공 밸브(3)와 솔레노이드 밸브(5)는 오픈 에어 라인(7)과 클로즈 에어 라인(7')으로 연결설치되어 있는 구성은 종래와 동일하다.2 is a state diagram showing a state in which a rapid exhaust device of the pump assembly for the present invention ion implantation equipment is installed, as shown, the present invention is a high vacuum valve having a piston (2) below the cryo pump ( 3) is connected, and the end station chamber 4 is connected to the lower side of the high vacuum valve 3, and the pneumatic valve provided with the solenoid valve 5 below the end station chamber 4 is provided. (6) is provided, and the configuration in which the high vacuum valve 3 and the solenoid valve 5 are connected by an open air line 7 and a closed air line 7 'is the same as in the prior art.
여기서, 본 고안은 상기 오픈 에어 라인(7) 상에 급속배기밸브(10)를 설치하여, 상기 고진공 밸브(3)의 클로즈시 급속배기밸브(10)를 통하여 자체적으로 에어를 빠르게 배기할 수 있도록 하였다.Here, the present invention is to install a rapid exhaust valve 10 on the open air line 7, so that the air can be quickly exhausted through the rapid exhaust valve 10 when closing the high vacuum valve (3) itself It was.
상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 급속배기장치가 구비된 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 동작은 종래와 유사하다.Operation of the pump assembly for ion implantation equipment equipped with the present invention rapid exhaust device is configured as described above is similar to the conventional.
즉, 상기 클로즈 에어 라인(7')을 통하여 항상 에어가 공급되며, 고진공 밸브(3)의 오픈시에는 솔레노이드 밸브(5)에 12V 전원이 공급되고, 오픈 에어 라인(7)으로 에어가 공급되면서 고진공 밸브(3)의 내측에 설치된 피스톤(2)을 후진시켜서 고진공 밸브(3)를 오픈하게 된다. 그리고, 상기와 같이 고진공 밸브(3)가 오픈되면 클로즈 에어 라인(7')으로 공급되는 에어는 차단되며 라인의 내부에 존재하는 에어는 솔레노이드 밸브(5)의 이그저스트(EXHAUST)를 통하여 배기된다.That is, air is always supplied through the closed air line 7 ', and when the high vacuum valve 3 is opened, 12V power is supplied to the solenoid valve 5, and air is supplied to the open air line 7. The high vacuum valve 3 is opened by reversing the piston 2 provided inside the high vacuum valve 3. When the high vacuum valve 3 is opened as described above, the air supplied to the closed air line 7 'is cut off, and the air present in the line is exhausted through the EXHAUST of the solenoid valve 5. do.
그리고, 앤드 스테이션 챔버(4)의 공기를 배기하기 위하여 고진공 밸브(3)를 클로즈 할 때, 오픈시 공급되었던 에어가 솔레노이드 밸브(5)의 이그저스트를 통하여 배기됨과 동시에 상기 오픈 에어 라인(7) 상에 설치된 급속배기밸브(10)를 통하여 자체적으로 빠르게 배출되어 크라이오 펌프(1)가 웜업되는 것을 방지하게 된다.When the high vacuum valve 3 is closed to exhaust the air of the end station chamber 4, the air supplied at the time of opening is exhausted through the exhaust of the solenoid valve 5 and at the same time the open air line 7 is closed. It is quickly discharged itself through the quick exhaust valve 10 installed on the) to prevent the cryopump (1) is warmed up.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안 이온주입장비용 펌프 어셈블리의 급속배기장치는 오픈 에어 라인 상에 급속배기밸브를 설치하여, 고진공 밸브의 클로즈시 밸브의 내측에 존재하는 에어가 급속배기밸브를 통하여 빠르게 배기될 수 있도록 함으로써, 종래와 같이 크라이오 펌프가 웜-업되는 것을 차단하여 고장을 방지하게 되는 효과가 있다.As described in detail above, the rapid exhaust device of the pump assembly for the ion implantation equipment of the present invention installs a rapid exhaust valve on an open air line, so that the air existing inside the valve when the high vacuum valve is closed is formed through the rapid exhaust valve. By allowing it to be exhausted, the cryo pump is prevented from being warmed up as in the prior art, thereby preventing failure.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970025864U KR200198437Y1 (en) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | Pump assembly for inplanter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970025864U KR200198437Y1 (en) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | Pump assembly for inplanter |
Publications (2)
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| KR19990012737U KR19990012737U (en) | 1999-04-15 |
| KR200198437Y1 true KR200198437Y1 (en) | 2000-11-01 |
Family
ID=19510295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019970025864U KR200198437Y1 (en) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | Pump assembly for inplanter |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR200198437Y1 (en) |
-
1997
- 1997-09-12 KR KR2019970025864U patent/KR200198437Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990012737U (en) | 1999-04-15 |
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