KR200177275Y1 - 반도체 종형 확산로의 보트 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 종형 확산로의 보트에 관한 것으로, 종래에는 대구경화되는 웨이퍼가 고온에서 작업시 휨이 발생되어 품질저하의 요인이되는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 종형 확산로의 보트는 웨이퍼 받침수단(20)을 채용하여, 공정진행시 각각의 웨이퍼(W)들의 하면에 받침대(22)로 각각 받친상태에서 공정이 진행되도록 함으로서, 고온작업시 웨이퍼의 휨, 처짐 등의 불량발생이 방지되어 웨이퍼의 품질을 향상시키는 효과가 있다.

Description

반도체 종형 확산로의 보트

본 고안은 반도체 종형 확산로의 보트에 관한 것으로, 특히 고온상태에서 작업이 진행되는 확산로에서 웨이퍼의 휨을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 종형 확산로의 보트에 관한 것이다.

도 1은 종래 반도체 종형 확산로의 보트를 보인 사시도이고, 도 2는 종래 보트에 웨이퍼가 설치된 상태를 부분적으로 보인 종단면도이며, 도 3은 종래 보트에 웨이퍼가 설치된 상태를 부분적으로 보인 횡단면도이다.

도시된 바와 같이, 종래 반도체 종형 확산로의 보트는 원통형의 방열통(1) 상면 가장자리에 일정간격을 두고 4개의 라다(2)가 설치되어 있고, 그 라다(2)의 상면에는 원형의 상부지지판(3)이 라다(2)들을 지지하도록 설치되어 있다.

그리고, 상기 방열통(1)의 하부에는 방열통(1)을 지지하기 위한 지지대(4)가 설치되어 있고, 그 지지대(4)의 일측으로는 상,하구동축(5)이 설치되어 있다.

또한, 상기 라다(2)의 내측 방향에는 상,하방향의 등간격으로 다수개의 슬롯(2a)이 형성되어 있어서, 그 슬롯(2a)에 웨이퍼(W)를 탑재할 수 있도록 되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 종형 확산로의 보트는 슬롯(2a)에 각각 웨이퍼(W)를 탑재한 다음, 상,하구동축(5)을 상승시켜서, 보트(6)를 튜브(미도시)의 내측에 삽입시킨 다음, 약 600℃∼1200℃의 온도로 가열한 상태에서 공정가스를 튜브(미도시)의 내측으로 공급시키며 확산공정을 진행하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래 보트(6)를 이용하여 확산공정을 진행하는 경우에 대구경화되는 웨이퍼(W)가 고온에서 작업이 이루어지므로 도 4에 도시된 바와 같이 중앙이 휨이 발생하여 품질불량이 발생되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 웨이퍼의 휨을 방지하여 품질을 향상시키도록 하는데 적합한 반도체 종형 확산로의 보트를 제공함에 있다.

도 1은 종래 반도체 종형 확산로의 보트를 보인 사시도.

도 2는 종래 보트에 웨이퍼가 설치된 상태를 부분적으로 보인 종단면도.

도 3은 종래 보트에 웨이퍼가 설치된 상태를 부분적으로 보인 횡단면도.

도 4는 종래 웨이퍼가 휨이 발생되는 상태를 보인 단면도.

도 5는 본 고안 반도체 종형 확산로의 보트의 구조를 보인 사시도.

도 6은 본 고안 웨이퍼 받침수단의 구조를 보인 사시도.

도 7a은 본 고안 웨이퍼 받침대의 사용상태를 보인 횡단면도.

도 7b는 본 고안 웨이퍼 받침대의 비사용상태를 보인 횡단면도.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

11 : 발열통 11a: 요홈부

12 : 라다 14 : 지지대

20 : 웨이퍼 받침수단 21 : 가동대

21a: 래크부 22 : 받침대

30 : 승강수단 31 : 피니언기어

32a: 모터축 32 : 제1 스텝모터

33 : 가이더 40 : 회전수단

41 : 브라켓트 42a: 모터축

42 : 제2 스텝 모터

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 방열통의 상면 가장자리에 4개의 라다가 설치되어 있고, 그 방열통의 하면에 방열통을 지지하기 위한 지지대가 설치되어 있는 반도체 종형 확산로의 보트에 있어서, 상기 4개의 라다에 웨이퍼들이 탑재시 웨이퍼들의 하면을 각각 지지하기 위한 웨이퍼 받침수단을 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 종형 확산로의 보트가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 반도체 종형 확산로의 보트를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 고안 반도체 종형 확산로의 보트의 구조를 보인 사시도이고, 도 6은 본 고안 웨이퍼 받침수단의 구조를 보인 사시도이다.

도시된 바와 같이, 본 고안 반도체 종형 확산로의 보트는 원통형의 방열통(11) 상면 가장자리에 상,하방향의 등간격으로 웨이퍼(W)가 삽입가능하도록 슬롯(12a)이 다수개 형성되어 있는 4개의 라다(12)가 일정간격으로 두고 설치되어 있고, 그 라다(12)들의 상면에는 라다(12)들을 지지하기 위한 상부지지판(13)이 설치되어 있다.

그리고, 상기 방열통(11)의 하면에는 방열통(11)을 지지하기 위한 지지대(14)가 설치되어 있고, 그 지지대(14)의 일측으로는 지지대(14)를 상,하승강시키기 위한 상,하구동축(15)이 설치되어 있다.

또한, 상기 방열통(11)의 일측에는 라다(12)들의 슬롯(12a)에 웨이퍼(W)들을 탑재시 각각의 웨이퍼(W) 하면을 받쳐서 열에 의한 웨이퍼(W)들의 처짐을 방지하기 위한 웨이퍼 받침수단(20)이 설치되어 있다.

상기 웨이퍼 받침수단(20)은 상기 방열통(11)의 외측면에 상,하방향으로 형성되어 있는 요홈부(11a)에 설치되며 하단부에 래크부(21a)가 형성되는 가동대(21)와, 그 가동대(21)의 일측에 등간격으로 설치되며 웨이퍼(W)들의 하면을 받치기 위한 다수개의 받침대(22)와, 상기 가동대(21)의 하단부에 연결설치되어 가동대(21)를 승강시키기 위한 승강수단(30)과, 그 승강수단(30)을 일정각도 회전시키기 위한 회전수단(40)으로 구성되어 있다.

상기 승강수단(30)은 가동대(21)의 래크부(21a)에 기어결합되는 피니언기어(31)와, 그 피니언기어(31)의 중심에 모터축(32a)이 압입되는 제1 스텝 모터(32)와, 상기 가동대(21)의 승강시 하단부를 가이드 하기 위한 가이더(33)으로 구성되어 있다.

상기 회전수단(40)은 상기 제1 스텝 모터(32)와 가이더(33)를 고정하기 위한 브라켓트(41)와, 그 브라켓트(41)의 하면에 모터축(42a)이 고정되어 있는 제2 스텝 모터(42)로 구성되어 있다.

상기 받침대(22)들은 웨이퍼(W)의 탑재시 장애가 되지 않도록 라다(12)에 형성된 슬롯(12a)과 슬롯(12a) 사이에 각각 위치되도록 하며, 상기 구동부(23)는 지지대(14)의 내부 일측에 위치되도록 하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 종형 확산로의 보트의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 확산공정을 진행하고자 하는 웨이퍼(W)들을 4개의 라다(12)에 형성된 다수개의 슬롯(12a)에 각각 삽입되도록 탑재한다. 그런 다음, 회전수단(40)의 제2 스텝 모터(42)를 일정각도 정회전시켜서 모터축(42a)에 고정된 브라켓트(41)에 설치되어 있는 제1 스텝 모터(32)와 가이더(33)을 일정각도 정회전(시계방향)시키면, 가동대(21)와 받침대(22)가 일정각도 정회전(시계방향)되어 받침대(22)들이 탑재된 웨이퍼(W)들의 하부에 각각 일정간격을 두고 위치한 상태가 된다.

상기와 같은 상태에서 제1 스텝 모터(32)가 정회전(시계방향)을 하면 모터축(32a)에 고정설치되어 있는 피니언기어(31)가 정회전을 하고, 그 피니언기어(31)에 기어결합되는 래크부(21a)가 형성된 가동대(21)가 일정높이로 상승하게 되어 가동대(21)의 일측에 형성된 받침대(22)들이 상승을 한다. 이와 같이 받침대(22)들이 일정 높이로 상승하여 웨이퍼(W)들의 하면에 위치하면 제1 스텝 모터(32)의 작동을 멈춘다. 이와 같은 상태에서 상,하구동축(15)이 상승하여 보트(50)를 튜브(미도시)의 내측에 위치시킨 다음, 확산공정을 진행하게 된다.

상기와 같이 확산공정을 진행하는 튜브(미도시)의 내측온도는 고온이며, 이와 같이 고온에서 작업이 이루어질 때 도 7a에 도시된 바와 같이, 각각의 웨이퍼(W)들의 하면에는 받침대(22)가 각각 받치고 있기 때문에 휨, 처짐 등의 변형발생이 방지된다.

또한, 웨이퍼(W)들의 언로딩시에는 웨이퍼 받침수단(20)은 상기의 역순으로 동작되며, 받침대(22)들은 도 7b와 같이 비사용상태가 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안 반도체 종형 확산로의 보트는 웨이퍼 받침수단을 채용하여, 공정진행시 각각의 웨이퍼들의 하면에 받침대로 각각 받친상태에서 공정이 진행되도록 함으로서, 고온작업시 웨이퍼의 휨, 처짐 등의 불량발생이 방지되어 웨이퍼의 품질을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 방열통의 상면 가장자리에 4개의 라다가 설치되어 있고, 그 방열통의 하면에 방열통을 지지하기 위한 지지대가 설치되어 있는 반도체 종형 확산로의 보트에 있어서,

   상기 4개의 라다에 웨이퍼들이 탑재시 웨이퍼들의 하면을 각각 지지하기 위한 웨이퍼 받침수단을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 종형 확산로의 보트.
2. 제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼 받침수단은 상기 방열통의 외측면에 상,하방향으로 형성되어 있는 요홈부에 설치되며 하단부에 래크부가 형성되는 가동대와, 그 가동대의 일측에 등간격으로 설치되며 웨이퍼들의 하면을 받치기 위한 다수개의 받침대와, 상기 가동대의 하단부에 연결설치되어 가동대를 승강시키기 위한 승강수단과, 그 승강수단을 일정각도 회전시키기 위한 회전수단을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 종형 확산로의 보트.
3. 제 2항에 있어서, 상기 승강수단은 가동대의 래크부에 기어결합되는 피니언기어와, 그 피니언기어의 중심에 모터축이 압입되는 제1 스텝 모터와, 상기 가동대의 승강시 하단부를 가이드 하기 위한 가이더로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 종형 확산로의 보트.
4. 제 2항에 있어서, 상기 회전수단은 상기 제1 스텝 모터와 가이더를 고정하기 위한 브라켓트와, 그 브라켓트의 하면에 모터축이 고정되어 있는 제2 스텝 모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 종형 확산로의 보트.