KR200174441Y1 - Door open/close apparatus for quartz tube cleaner - Google Patents
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Abstract
본 고안은 석영튜브 표면의 오염을 세정하는 세정기의 도어를 간편하게 개폐시킬 수 있는 석영튜브 세정기의 도어 개폐장치에 관한 것으로서, 웨이퍼를 가공하는 공정에 사용한 석영튜브를 세정하는 세정조의 도어를 승강시키는 승강장치에 있어서, 상기 세정조를 소형화 시킴과 동시에 제어부의 작업공간을 확보하기 위하여 상기 도어의 양측에 설치된 실린더로 이루어져 세정기의 전면에 설치된 도어를 실린더의 구동으로 승강시키게 되므로 상기 도어의 승강작업을 간편하고 신속하게 수행할 수 있게 되며, 상기 도어는 실린더에 안내되어 승강되므로 세정기의 일측에 별도의 중량체를 설치하지 않아도 되므로 세정기의 크기를 최소화 할 수 있게 됨은 물론 승강장치의 구조가 단순하게 됨에 따라 제어부의 작업공간이 확보되어 제어부의 내부에 작업공간이 확보되는 등의 효과가 있다.The present invention relates to a door opening and closing device of a quartz tube cleaner that can easily open and close the door of the cleaner to clean the contamination of the surface of the quartz tube. In the apparatus, in order to reduce the size of the cleaning tank and at the same time to secure the working space of the control unit is made of a cylinder installed on both sides of the door to lift the door installed on the front of the washing machine by driving the cylinder to facilitate the lifting operation of the door And the door is guided and lifted by the cylinder, so that it is not necessary to install a separate weight on one side of the scrubber, thereby minimizing the size of the scrubber, as well as simplifying the structure of the lifting device. Work space is secured and work inside the controller. There is an effect, such as securing up space.
Description
본 고안은 석영튜브 세정기의 도어 개폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 석영튜브 표면의 오염을 세정하는 세정기의 도어를 간편하게 개폐시킬 수 있는 석영튜브 세정기의 도어 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to a door opening and closing device of the quartz tube cleaner, and more particularly to a door opening and closing device of the quartz tube cleaner that can easily open and close the door of the cleaner for cleaning the contamination of the surface of the quartz tube.
일반적으로 웨이퍼 가공공정에서 사용되는 석영튜브는 가열을 하여 사용하고 있으며 가열시에는 석영튜브의 표면이 이물질에 의해서 오염이 되므로 상기 석영튜브를 사용후에는 세정조의 내부에서 세정을 하고 있는바, 작업시간의 단축과 작업의 간편하게 할 수 있도록 상기 세정조의 도어를 간편하고 신속하게 개폐시킬 수 있는 장치가 절실히 요구되고 있는 실정이다.In general, the quartz tube used in the wafer processing process is used for heating, and during heating, the surface of the quartz tube is contaminated by foreign matter. Therefore, after the quartz tube is used, the quartz tube is cleaned in the cleaning tank. There is an urgent need for a device that can open and close the door of the cleaning tank simply and quickly to shorten and simplify the work.
종래에는 도 1에 도시된 바와같이 세정조(1)의 상측에 제어부(2)가 설치되어 있고 상기 제어부(2)의 양측에는 체인기어(3)(3a)가 설치되어 있으며 상기 체인기어(3)에는 구동모터(4)가 설치되어 있다.In the related art, as shown in FIG. 1, a control unit 2 is provided above the cleaning tank 1, and chain gears 3 and 3a are provided on both sides of the control unit 2, and the chain gear 3 is installed. ), A drive motor 4 is provided.
그리고 상기 체인기어(3a)에 결합된 체인(5)의 일측에는 세정조(1)의 전면을 밀폐시키는 도어(6)가 설치되어 있고 타측에는 중량체(7)가 설치되어 있다.One side of the chain 5 coupled to the chain gear 3a is provided with a door 6 that seals the front surface of the cleaning tank 1, and a weight 7 is provided on the other side.
따라서 공정을 마친 석영튜브(도면 미도시)를 세정하기 위해서는 제어부(2)의 일측에 설치된 구동모터(4)를 구동시킨다.Therefore, in order to clean the finished quartz tube (not shown), the driving motor 4 installed on one side of the control unit 2 is driven.
상기 구동모터(4)가 회전하게 되면 이에 설치된 체인기어(3)가 회전하게 되어 체인기어(3)에 결합된 체인(5)을 이동시키게 되므로 이의 일측에 결합된 도어(6)가 상승하게 된다.When the drive motor 4 is rotated, the chain gear 3 installed therein is rotated to move the chain 5 coupled to the chain gear 3, so that the door 6 coupled to one side thereof is raised. .
한편 상기 도어(6)가 상승하게 됨과 동시에 상기 체인(5)의 타측에 결합된 중량체(7)는 하강하게 되어 도어(6)가 원활하게 상승된다.Meanwhile, as the door 6 is raised, the weight 7 coupled to the other side of the chain 5 is lowered, so that the door 6 is smoothly raised.
이러한 상태에서 세정조(1)의 내부에 석영튜브를 넣고 상기 구동모터(4)를 역방향으로 구동시키면 체인기어(3)가 역방향으로 회전되어 체인(5)이 이동되므로 도어(6)가 하강하게 됨과 동시에 상기 체인(5)의 타측에 설치된 중량체(7)가 상승하면서 도어(6)가 원활하게 하강하게 된다.In this state, if the quartz tube is inserted into the cleaning tank 1 and the driving motor 4 is driven in the reverse direction, the chain gear 3 rotates in the reverse direction so that the chain 5 is moved so that the door 6 is lowered. At the same time as the weight 7 installed on the other side of the chain 5 is raised, the door 6 is smoothly lowered.
이와같이 세정조(1)를 밀폐시킨후 세정액으로 석영튜브를 세정하는 것이다.In this manner, after the cleaning tank 1 is sealed, the quartz tube is cleaned with the cleaning liquid.
그러나 이러한 종래의 세정조는 도어(6)를 승강시키는 체인(5)이 제어부(2)의 내부를 관통하여 설치되어 있으므로 상기 제어부(2)를 수리하거나 부품을 교환하기 위하여 제어부(2)의 내부에서 작업을 할 때에는 상기 체인(5)으로 인하여 작업자의 작업범위가 제한되어 작업을 신속하고 간편하게 수행할 수 없는 문제점이 있었다.However, in the conventional cleaning tank, since the chain 5 for elevating the door 6 is installed through the inside of the control unit 2, the inside of the control unit 2 to repair the control unit 2 or replace parts. When working, there is a problem in that the work range of the worker is limited due to the chain 5, so that the work cannot be performed quickly and simply.
또한 상기 도어(6)의 원활한 승강을 위하여 설치된 중량체(7)가 세정조(1)의 일측에 반드시 설치되어야 하므로 세정조(1)가 대형화되는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem in that the cleaning tank 1 is enlarged because the weight 7 installed to smoothly lift and lower the door 6 must be installed at one side of the cleaning tank 1.
본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 고안한 것으로서, 세정조의 도어의 양측에 실린더를 설치하여 세정조를 소형화 시킴은 물론 제어부의 작업공간을 확보할 수 있는 석영튜브 세정기의 도어 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is devised to solve the above problems, by providing a cylinder on both sides of the door of the cleaning tank to reduce the size of the cleaning tank, and to provide a door opening and closing device of the quartz tube cleaner to secure the working space of the control unit. The purpose is.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안 석영튜브 세정기의 도어 개폐장치는 웨이퍼를 가공하는 공정에 사용한 석영튜브를 세정하는 세정조의 도어를 승강시키는 승강장치에 있어서, 상기 세정조를 소형화 시킴과 동시에 제어부의 작업공간을 확보하기 위하여 상기 도어의 양측에 설치된 실린더로 이루어진 것이다.The door opening and closing device of the quartz tube cleaner of the present invention for achieving the above object is a lifting device for elevating the door of the cleaning tank for cleaning the quartz tube used in the wafer processing step, the size of the cleaning tank and at the same time the operation of the control unit It is made of a cylinder installed on both sides of the door to secure space.
도 1은 종래 세정기를 도시한 단면도,1 is a cross-sectional view showing a conventional cleaner;
도 2는 본 고안에 따른 도어 개폐장치가 설치된 세정기의 정면도,2 is a front view of the washing machine equipped with a door opening and closing device according to the present invention,
도 3은 본 고안에 따른 도어 개폐장치가 설치된 세정기의 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view of the cleaner installed door opening and closing device according to the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
1 : 세정기 2 : 제어부1: washing machine 2: control unit
6 : 도어 10 : 실린더6: door 10: cylinder
11 : 로드11: loaded
이하 본 고안을 도시한 첨부도면 도 2 및 도 3을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3.
도 2는 본 고안에 따른 도어 개폐장치가 설치된 세정기의 정면도이고, 도 3은 본 고안에 따른 도어 개폐장치가 설치된 세정기의 단면도로서, 본 고안은 세정기(1)의 상측에 제어부(2)가 설치되어 있고 전면에는 도어(6)가 설치되어 있으며 상기 세정기(1)의 전면 양측에는 실린더(10)가 설치되어 있으며 이에 설치된 로드(11)는 도어(6)의 측면에 각각 설치되어 있다.Figure 2 is a front view of the washing machine is installed door opening and closing device according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the washing machine is installed door opening and closing device according to the present invention, the subject innovation is installed on the upper side of the washing machine (1) The front side is provided with a door (6) and the front side of the washing machine (1) is provided with a cylinder (10) and the rods 11 are installed on the side of the door (6), respectively.
한편 상기 실린더(10)를 구동시키는 스위치(20)는 작업자가 사용하기 편리한 위치에 설치하는 것이 바람직하다.On the other hand, the switch 20 for driving the cylinder 10 is preferably installed in a position convenient for the operator.
또는 상기 세정기(1)의 전면 일측에 실린더(10)를 설치하고 타측에는 가이드를 설치할 수도 있다.Alternatively, the cylinder 10 may be installed on one side of the front side of the cleaner 1 and a guide may be installed on the other side.
따라서 공정을 마친 석영튜브(도면 미도시)를 세정하기 위해서는 실린더(10)를 구동시키는 스위치(20)를 작동하면 실린더(10)에 설치된 로드(11)가 상승하게 됨에 따라 이에 설치된 도어(6)가 함께 상승하게 되므로 세정기(1)의 전면이 개방된다.Accordingly, in order to clean the finished quartz tube (not shown), when the switch 20 for driving the cylinder 10 is operated, the rod 11 installed in the cylinder 10 rises, and thus the door 6 installed therein. Is raised together so that the front of the scrubber 1 is open.
이때 상기 세정기(1)의 내부에 석영튜브를 넣고 상기 스위치(20)를 역으로 작동시키면 상기 실린더(10)에 설치된 로드(11)와 도어(6)가 함께 하강하게 되어 세정기(1)의 전면은 밀폐된다.At this time, if the quartz tube is inserted into the cleaner 1 and the switch 20 is operated in reverse, the rod 11 and the door 6 installed in the cylinder 10 are lowered together so that the front of the cleaner 1 is lowered. Is sealed.
이와같이 세정조(1)를 밀폐시킨후 세정액으로 석영튜브를 세정하는 것이다.In this manner, after the cleaning tank 1 is sealed, the quartz tube is cleaned with the cleaning liquid.
이상에서와 같이 본 고안은 세정기(1)의 전면에 설치된 도어(6)를 실린더(10)의 구동으로 승강시키게 되므로 상기 도어(6)의 승강작업을 간편하고 신속하게 수행할 수 있게 되는 것이다.As described above, the present invention is to elevate the door 6 installed on the front of the cleaner 1 by the driving of the cylinder 10, so that the lifting operation of the door 6 can be easily and quickly performed.
또한 상기 도어(6)는 실린더(10)에 안내되어 승강되므로 세정기(1)의 일측에 별도의 중량체(7)를 설치하지 않아도 되므로 세정기(1)의 크기를 최소화 할 수 있게 됨은 물론 승강장치의 구조가 단순하게 됨에 따라 제어부(2)의 작업공간이 확보되어 제어부(2)의 내부에 작업공간이 확보되는 등의 효과가 있다.In addition, since the door 6 is guided and lifted by the cylinder 10, it is not necessary to install a separate weight body 7 on one side of the cleaner 1, so that the size of the cleaner 1 can be minimized. As the structure is simplified, the workspace of the controller 2 is secured, so that the workspace is secured inside the controller 2.
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