KR20000001507A - Opening and shutting door for rising up and down of a semiconductor washing equipment - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An opening and shutting door for up and down of a semiconductor washing equipment is provided to prevent a drop of the door. CONSTITUTION: The opening and shutting door comprises: a door(12); a unit for rising up and down door(12); a unit for fixing the door; and a controller for controlling an operation of the fixing unit and the rising up and down unit according a set of programs. Accordingly, an operator is protected from being damaged owing to the drop of the door, a washing operation efficiency is improved by preventing a time loss owing to equipment repair, and an efficiency of the equipment is improved.

Description

반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어Lifting and closing door of semiconductor cleaning equipment

본 발명은 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도어의 낙하를 방지하도록 상기 도어를 고정하는 고정수단을 구비하는 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어에 관한 것이다.The present invention relates to a lifting and lowering door of a semiconductor cleaning equipment, and more particularly to a lifting and closing door of a semiconductor cleaning equipment having a fixing means for fixing the door to prevent the door from falling.

일반적으로 반도체장치를 제작하는 반도체장치 제조공정은, 다양한 공정을 직접 실시하여 반도체장치를 제조하는 주요설비들을 구비하여 운행된다.In general, a semiconductor device manufacturing process for manufacturing a semiconductor device operates with main facilities for manufacturing a semiconductor device by performing various processes directly.

또한, 상기 반도체장치 제조공정은 상기 주요설비들을 양호한 상태로 유지시키고, 원활히 동작하도록 보조적인 역할을 수행하는 부대설비들에 의해 운행된다.In addition, the semiconductor device manufacturing process is operated by auxiliary equipments which play an auxiliary role to keep the main equipments in good condition and operate smoothly.

그리고, 상기 주요설비들 및 부대설비들에 이상이 발생하지 않고, 원활히 구동되기 위해서는 상기 주요설비들 및 부대설비들의 핵심부품들을 적절히 교체하거나, 사용한 부품을 세정하는 작업들이 필요하며, 이때 사용되는 것이 반도체 세정설비이다.In order to operate smoothly without any abnormality in the main facilities and auxiliary facilities, operations of appropriately replacing the core parts of the main facilities and auxiliary facilities or cleaning the used parts are necessary, Semiconductor cleaning equipment.

일반적으로 작업자는 상기 반도체 세정설비의 전면에서 상기 핵심부품 또는, 반도체장치 제조공정의 진행시 없어서는 안되는 구성장치들을 세제 및 화학약품들을 사용하여 세정한다.In general, the operator cleans the core parts or components that are indispensable in the semiconductor device manufacturing process by using detergents and chemicals in front of the semiconductor cleaning equipment.

여기서, 상기 반도체 세정설비에는 상기 화학약품에 의한 상기 반도체장치 제조공정라인의 환경오염을 방지하고, 세정작업의 효율을 향상시키기 위하여 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어가 형성되어 있다.Here, the semiconductor cleaning equipment is provided with a lifting and closing door of the semiconductor cleaning equipment in order to prevent the environmental pollution of the semiconductor device manufacturing process line by the chemical and to improve the efficiency of the cleaning operation.

도1을 참조하여 종래의 반도체 세정설비(1)에 형성된 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어에 대해 설명하면, 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어는 도어(2) 및 상기 도어(2)를 승하강시키는 승하강부를 구비하고 있다.Referring to Fig. 1, the lifting / closing door of the semiconductor cleaning equipment formed in the conventional semiconductor cleaning equipment 1 will be described. The lifting / closing door of the semiconductor cleaning equipment wins the door 2 and the door 2. It is provided with the elevating part to make it descend.

상기 도어(2)는 상기 반도체 세정설비(1)에 구비되어 있는 작업대(3)의 전면에 위치하도록 구비되어 있고, 상기 승하강부는 상기 도어(1)에 고정되어 있는 체인(4)과, 구동모터(5) 및 상기 구동모터(5)로부터 상기 체인(4)으로 동력을 전달하는 스프로킷(6)을 구비하고 있다.The door (2) is provided so as to be located in front of the work table (3) provided in the semiconductor cleaning equipment (1), the elevating portion is driven by the chain (4) fixed to the door (1), And a sprocket 6 for transmitting power from the motor 5 and the drive motor 5 to the chain 4.

그리고, 상기 도어(1)의 상, 하 균형을 유지하는 추(7)가 형성되어 있다.And the weight 7 which maintains the upper and lower balance of the said door 1 is formed.

그러나, 상기 도어(1)는 매우 무겁고, 상기 반도체 세정설비의 장시간 사용 및 화학약품에 의한 상기 반도체 세정설비의 노후화로 인해 상기 도어(1)와 연결된 상기 체인(4)이 끊어질 위험이 있다.However, the door 1 is very heavy and there is a risk that the chain 4 connected to the door 1 is broken due to prolonged use of the semiconductor cleaning equipment and aging of the semiconductor cleaning equipment by chemicals.

따라서, 상기 도어가 낙하에 의해 작업자가 직접적인 신체적 상해를 입게 되는 위험이 있고, 설비의 보수에 필요한 시간손실에 의해 세정작업성이 낮아지며, 설비의 효율이 낮아지는 문제점이 있었다.Therefore, there is a risk that the operator is directly injured by the falling of the door, the cleaning workability is lowered by the time loss required for the maintenance of the equipment, there is a problem that the efficiency of the equipment is lowered.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 도어를 고정하는 고정수단을 구비하여 작업자가 입을 수 있는 재해를 사전에 예방하게 하고, 세정작업성 및 설비의 효율을 향상시키게 하는 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, the object is to provide a fixing means for fixing the door to prevent in advance the operator can suffer, to improve the cleaning workability and efficiency of the facility To provide a lifting and closing door of the semiconductor cleaning equipment.

도1은 종래의 반도체 세정설비를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional semiconductor cleaning equipment.

도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 승하강 개폐식 도어를 구비하는 반도체 세정설비를 나타낸 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing a semiconductor cleaning device having a lifting and closing door according to an embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 승하강 개폐식 도어를 구비하는 반도체 세정설비를 나타낸 평면도이다.Figure 3 is a plan view showing a semiconductor cleaning equipment having a lift opening and closing door according to an embodiment of the present invention.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing

1, 10 : 반도체 세정설비 2, 12 : 도어1, 10: semiconductor cleaning equipment 2, 12: door

3, 11 : 작업대 4, 14 : 체인3, 11: workbench 4, 14: chain

5, 16 : 구동모터 6, 15 : 스프로킷(Sprocket)5, 16: drive motor 6, 15: sprocket

7, 21 : 추 13 : 돌기7, 21: weight 13: protrusion

17 : 구동풀리 18 : 회전축17: drive pulley 18: rotating shaft

19 : 종동풀리 20 : 벨트19: driven pulley 20: belt

22 : 고정홈 23 : 고정대22: fixing groove 23: holder

24 : 실린더 25, 26 : 센서24: cylinder 25, 26: sensor

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어는 도어와, 상기 도어를 승하강시키는 승하강수단 및 상기 도어를 고정하는 고정수단을 구비하여 이루어진다.In order to achieve the above object, the elevating opening and closing door of the semiconductor cleaning equipment of the present invention includes a door, an elevating means for elevating the door, and a fixing means for fixing the door.

또한, 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어는 일련의 프로그램에 의해 상기 승하강수단 및 상기 고정수단의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하여 이루어지는 것이 바람직하다.Further, the elevating opening and closing door of the semiconductor cleaning equipment is preferably provided with a control means for controlling the operation of the elevating means and the fixing means by a series of programs.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2 내지 도3을 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어는 반도체 세정설비(10)의 전면에 세정작업을 할 수 있는 작업대(11)가 구비되어 있다.Referring to Figures 2 to 3, the elevating opening and closing door of the semiconductor cleaning equipment according to an embodiment of the present invention is provided with a work table 11 for cleaning the front surface of the semiconductor cleaning equipment (10) It is.

상기 작업대(11)의 전면에는 도어(12)가 형성되어 있으며, 상기 도어(12)는 승하강이 가능하도록 승하강수단과 연결되어 있다.A door 12 is formed on the front surface of the work table 11, and the door 12 is connected to the lifting means so that the lifting and lowering is possible.

그리고, 상기 도어(12)의 양 측면에는 상기 승하강수단과 연결이 가능하도록 돌기(13)가 형성되어 있다.In addition, protrusions 13 are formed at both side surfaces of the door 12 to be connected to the lifting means.

상기 승하강수단은 상기 반도체 세정설비의 상부(10)에 형성되어 있으며, 상기 돌기(13)에 연결된 체인(14)과, 상기 체인(14)에 연결된 스프로킷(15) 및 상기 스프로킷(15)을 회전시키는 구동모터(16)를 구비하고 있으며, 수동으로 상기 스프로킷(15)을 회전시키는 것도 가능하다.The elevating means is formed on the upper portion 10 of the semiconductor cleaning equipment, the chain 14 connected to the projection 13, the sprocket 15 and the sprocket 15 connected to the chain 14 The drive motor 16 which rotates is provided, and it is also possible to rotate the sprocket 15 manually.

상기 구동모터(15)는 구동풀리(17)에 연결되어 있고, 상기 구동풀리(17)는 상기 스프로킷(15)을 연결하는 회전축(18)에 형성되어 있는 종동풀리(19)와 벨트(20)에 의해 연결되어 있으며, 상기 구동모터(16)의 회전력이 상기 벨트(20) 및 풀리(17)(19)의 조합에 의해 상기 회전축(18)으로 전달되어 상기 스프로킷(15)을 회전시킨다.The drive motor 15 is connected to the drive pulley 17, the drive pulley 17 is driven pulley 19 and the belt 20 formed on the rotary shaft 18 for connecting the sprocket 15 Is connected by, the rotational force of the drive motor 16 is transmitted to the rotating shaft 18 by the combination of the belt 20 and the pulleys (17) 19 to rotate the sprocket (15).

그리고, 상기 체인(14)의 반대측 일단에는 상기 도어(12)가 승하강할 때, 상기 도어(12)의 균형을 유지하도록 추(21)가 연결되어 있고, 상기 추(21)의 중량은 상기 도어(12)와 동일하거나 10% 정도 무겁도록 제작한다.In addition, the weight 21 is connected to one end of the opposite side of the chain 14 to maintain the balance of the door 12 when the door 12 is moved up and down, and the weight of the weight 21 is equal to the door. It should be the same as (12) or about 10% heavy.

또한, 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어는 상기 도어(12)가 상승할 때, 상기 체인(14)이 끊어져 낙하하는 것을 방지하도록 고정수단을 구비하고 있다.In addition, the elevating opening / closing door of the semiconductor cleaning equipment is provided with fixing means to prevent the chain 14 from breaking and falling when the door 12 is raised.

상기 고정수단은 상기 반도체 세정설비(10)의 상부에 형성되어 있으며, 상기 도어(12)에 형성되어 있는 고정홈(22)과, 상기 고정홈(22)과 결합하는 고정대(23) 및 상기 고정홈(22)과 상기 고정대(23)가 결합하도록 상기 고정대(23)를 왕복이동시키는 실린더(24)를 구비하여 이루어진다.The fixing means is formed in the upper portion of the semiconductor cleaning equipment 10, the fixing groove 22 formed in the door 12, the fixing member 23 and the fixing groove 22 to be coupled to the fixing groove 22 It is provided with a cylinder 24 for reciprocating the holder 23 so that the groove 22 and the holder 23 are coupled.

그리고, 본 발명에 의한 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어는 일련의 프로그램에 의해 상기 승하강수단 및 상기 고정수단의 동작을 제어하는 제어수단을 더 구비하고 있다.The elevating opening / closing door of the semiconductor cleaning equipment according to the present invention further includes control means for controlling the operation of the elevating means and the fixing means by a series of programs.

상기 제어수단은 상기 체인(14)에 형성되어 이동이 가능한 센서(25)와, 상기 반도체 세정설비(10)의 상부에 형성된 센서(26)를 구비하며, 상기 센서(25)(26)에서 인가된 신호에 의해 상기 실린더(24)에 제어신호를 인가하는 제어부(도시하지 않음)를 구비하여 이루어진다.The control means includes a sensor 25 formed on the chain 14 and movable, and a sensor 26 formed on the semiconductor cleaning facility 10, and applied by the sensors 25 and 26. And a control unit (not shown) for applying a control signal to the cylinder 24 by the received signal.

여기서, 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어의 동작에 대해 설명하면, 상기 반도체 세정설비(10)에 구비된 상기 작업대(11)에서 세정작업을 실시하기 위해 상기 구동모터(16)를 작동시키면, 상기 회전축(18)이 회전하여 상기 스프로킷(15)을 회전시키고, 상기 스프로킷(15)에 맞물려 있는 상기 체인(14)에 의해 상기 도어(12)가 상승한다.Here, if the operation of the elevating opening and closing door of the semiconductor cleaning equipment, the operation of the drive motor 16 to perform the cleaning work in the work table 11 provided in the semiconductor cleaning equipment 10, The rotation shaft 18 rotates to rotate the sprocket 15, and the door 12 is raised by the chain 14 engaged with the sprocket 15.

상기 도어(12)가 일정한 높이로 상승하여 상기 체인(14)과 상기 반도체 세정설비(10)의 상부에 각각 형성된 상기 센서(25)(26)가 접촉에 의해 동작하면, 상기 센서(25)(26)는 상기 제어부에 신호를 인가한다.When the door 12 is raised to a constant height and the sensors 25 and 26 formed on the chain 14 and the upper portion of the semiconductor cleaning equipment 10 are operated by contact, the sensor 25 ( 26 applies a signal to the control unit.

상기 센서(25)(26)에서 인가된 신호에 의해 상기 제어부는 상기 실린더(24)에 제어신호를 인가하고, 상기 실린더(24)의 작동에 의해 상기 고정대(23)가 이동하여 상기 도어(12)에 형성되어 있는 상기 고정홈(22)에 삽입되므로써 상기 도어(12)를 고정한다.The control unit applies a control signal to the cylinder 24 by a signal applied from the sensors 25 and 26, and the stator 23 moves by the operation of the cylinder 24 to move the door 12. The door 12 is fixed by being inserted into the fixing groove 22 formed in the).

세정작업을 마친 후, 상기 도어(12)를 하강시킬 때에는 상기 제어부에서 상기 실린더(24)에 제어신호를 인가하여 상기 고정대(23)를 상기 고정홈(22)과 분리시키고, 상기 구동모터(16)가 역회전력을 상기 회전축(18)에 전달함으로써 상기 도어(12)는 하강하게 된다.After the cleaning operation, when the door 12 is lowered, the control unit applies a control signal to the cylinder 24 to separate the holder 23 from the fixing groove 22, and the driving motor 16. The door 12 is lowered by the reverse rotational force transmitted to the rotating shaft 18.

따라서, 상기 반도체 세정설비에서 세정작업을 실시하기 의하여 상기 도어가 상승하였을 때, 상기 체인이 설비의 노후화나, 유독성 화학약품에 의해 끊어져도 상기 도어는 상기 고정수단에 의해 상기 반도체 세정설비의 상부에 고정되어 있으므로 상기 도어의 낙하를 방지할 수 있게 한다.Therefore, when the door is raised by performing the cleaning operation in the semiconductor cleaning equipment, the door is fixed to the top of the semiconductor cleaning equipment by the fixing means even if the chain is broken by equipment aging or toxic chemicals. Since it is possible to prevent the fall of the door.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어에 의하면 도어의 낙하를 방지하도록 상기 도어를 고정하는 고정수단을 구비하여, 상기 도어가 낙하에 의해 작업자가 직접적인 신체적 상해를 입게 되는 위험을 방지하고, 세정설비의 보수에 필요한 시간손실의 발생을 방지하여 세정작업성을 향상시키며, 설비의 효율을 향상시키게 하는 효과를 갖는다.As described above, according to the elevating opening / closing door of the semiconductor cleaning equipment according to the present invention includes a fixing means for fixing the door to prevent the door from falling, the risk that the operator is directly injured by the falling of the door It has the effect of preventing the occurrence of time loss necessary for the repair of the cleaning equipment, improving the cleaning workability, and improving the efficiency of the equipment.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims.

Claims (4)

도어;door; 상기 도어를 승하강시키는 승하강수단; 및Elevating means for elevating the door; And 상기 도어를 고정하는 고정수단;Fixing means for fixing the door; 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어.Lifting and closing door of the semiconductor cleaning equipment comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 승하강수단은,The lifting means, 동력원;Power source; 상기 도어에 연결된 체인;A chain connected to the door; 상기 동력원으로부터의 동력을 상기 체인으로 전달하도록 상기 체인과 연결된 스프로킷; 및A sprocket connected to the chain to transfer power from the power source to the chain; And 상기 도어의 승하강시, 상기 도어의 균형을 유지하는 추;Weight to maintain the balance of the door when the door is raised and lowered; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어.Lifting opening and closing door of the semiconductor cleaning equipment, characterized in that comprises a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정수단은,The fixing means, 상기 도어에 형성된 고정홈;A fixing groove formed in the door; 상기 고정홈과 결합하는 고정대; 및A fixing table coupled with the fixing groove; And 상기 고정대를 수평이동시켜 상기 고정홈과 결합시키는 실린더;A cylinder for horizontally moving the holder to engage with the fixing groove; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어.Lifting opening and closing door of the semiconductor cleaning equipment, characterized in that comprises a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 일련의 프로그램에 의해 상기 승하강수단 및 상기 고정수단의 동작을 제어하도록, 상기 승하강수단에 형성된 상기 체인의 위치를 감지하는 센서 및 상기 센서에서 인가된 신호에 의해 상기 고정수단에 형성된 상기 실린더의 동작을 제어하기 위하여 제어신호를 인가하는 제어부를 구비하여 이루어지는 제어수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 세정설비의 승하강 개폐식 도어.A sensor for sensing the position of the chain formed in the elevating means and a signal applied from the sensor to control the operation of the elevating means and the fixing means by a series of programs The elevating opening and closing door of the semiconductor cleaning equipment, characterized in that it further comprises a control means comprising a control unit for applying a control signal to control the operation.
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KR101356215B1 (en) * 2012-04-27 2014-01-29 주식회사 테라세미콘 Apparatus for processing substrate

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