KR200164444Y1

KR200164444Y1 - Part holder arm for semiconductor cleaning system

Info

Publication number: KR200164444Y1
Application number: KR2019990013451U
Authority: KR
Inventors: 최진관
Original assignee: 현대반도체주식회사
Priority date: 1999-07-09
Filing date: 1999-07-09
Publication date: 2000-02-15

Abstract

본 고안 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암은 일정간격을 두고 튜브(11)를 지지하기 위한 한쌍의 튜브 홀더(12)를 설치하고, 그 튜브 홀더(12)에 각각 보트(13)를 홀딩하기 위한 보트 홀더(14)를 설치하여, 세정시 튜브 홀더(12)와 보트 홀더(13)를 이용하여 튜브(11)와 보트(13)를 동시에 이송하여 세정을 실시할 수 있도록 함으로써, 세정시간의 절감된다.The part holding arm of the inventive semiconductor cleaning equipment is provided with a pair of tube holders 12 for supporting the tubes 11 at a predetermined interval, and each boat for holding the boats 13 in the tube holders 12. By installing the holder 14, the cleaning time is reduced by allowing the tube 11 and the boat 13 to be simultaneously transported using the tube holder 12 and the boat holder 13 for cleaning. .

Description

Part holding arm of semiconductor cleaning equipment {PART HOLDER ARM FOR SEMICONDUCTOR CLEANING SYSTEM}

본 고안은 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암에 관한 것으로, 특히 튜브와 보트를 동시에 이송할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암에 관한 것이다.The present invention relates to a part holding arm of a semiconductor cleaning device, and more particularly, to a part holding arm of a semiconductor cleaning device suitable for being able to transport a tube and a boat at the same time.

반도체 증착장비에 사용되는 튜브와 보트는 장기간 반복사용시 증착물질이 부착되므로, 주기적으로 튜브와 보트에 부착되어 있는 증착물질을 세정장비에서 세정하여야 하는데, 이와 같이 튜브와 보트를 세정하기 위한 세정장비가 도 1과 도 2에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.Tubes and boats used in semiconductor deposition equipment are deposited with long-term repetitive use, so periodically, the deposition materials attached to the tubes and boats should be cleaned in the cleaning equipment. 1 and 2, which is briefly described as follows.

도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 종래에는 홀딩 암(1)에 튜브(2)를 얹어 놓은 다음, 케미컬(3)이 담겨 있는 케미컬 베스(4)의 내부에 튜브(2)를 담근다음 일정시간 지체시켜서 튜브(2)에 부착되어 있는 증착물질을 제거한다.As shown in FIG. 1, conventionally, the tube 2 is placed on the holding arm 1, and then the tube 2 is immersed in the chemical bath 4 in which the chemical 3 is contained. The retardation removes the deposited material attached to the tube 2.

상기와 같이 튜브(2)의 세정작업을 마친 다음에는 도 2와 같이 바스켓(5)에 담겨 있는 보트(6)를 상기 홀딩 암(1)에 얹어 놓고 상기 튜브(2)의 세정방법과 마찬가지로 케미컬(3)이 담겨 있는 케미컬 베스(4)에 보트(6)를 담그고 일정시간 지체하여 보트(6)에 증착되어 있는 증착물질들을 제거하게 된다.After the cleaning of the tube 2 is completed as described above, the boat 6 contained in the basket 5 is placed on the holding arm 1 as shown in FIG. Soaking the boat (6) in the chemical bath (4) containing (3) is delayed for a certain time to remove the deposits deposited on the boat (6).

그러나, 상기와 같이 종래의 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암은 튜브(2)와 보트(6)중 1개만을 이송할 수 있도록 되어 있어서, 반드시 튜브(2) 또는 보트(6)중 1개씩 2번의 세정을 실시하여야 하므로 세정시간의 절감에 따른 생산성을 향상시키는데 한계가 있는 문제점이 있었다.However, as described above, the part holding arm of the conventional semiconductor cleaning equipment is capable of transporting only one of the tube 2 and the boat 6, so that the two of each of the tube 2 or the boat 6 must be used. Since the cleaning should be performed, there was a problem in that the productivity of the cleaning time is limited, thereby improving the productivity.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 1개의 홀더 암으로 튜브와 보트를 동시에 이송할 수 있도록 하여, 1번에 튜브와 보트를 동시에 세정할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암을 제공함에 있다.The object of the present invention devised in view of the above problems is to hold the tube and the boat at the same time with one holder arm, so that the holding part of the semiconductor cleaning equipment suitable for simultaneously cleaning the tube and the boat at the same time In providing cancer.

도 1은 종래 튜브의 세정동작을 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing a cleaning operation of a conventional tube.

도 2는 종래 보트의 세정동작을 보인 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing the cleaning operation of the conventional boat.

도 3은 본 고안에 따른 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암을 보인 정면도.Figure 3 is a front view showing a part holding arm of the semiconductor cleaning equipment according to the present invention.

도 4는 본 고안에 따른 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암을 보인 우측면도.Figure 4 is a right side view showing a part holding arm of the semiconductor cleaning equipment according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

11 : 튜브 12 : 튜브 홀더11: tube 12: tube holder

13 : 보트 14 : 보트 홀더13: boat 14: boat holder

15 : 센타 홀더15: Center Holder

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 반도체 세정장비에 있어서, 일정간격을 두고 설치되어 튜브의 이송시 튜브의 양단부를 지지하기 위한 한쌍의 튜브 홀더와, 그 튜브 홀더에 각각 연장형성되어 보트의 양단부를 지지하기 위한 보트 홀더를 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암이 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, in the semiconductor cleaning equipment, a pair of tube holders for supporting both ends of the tube during the transfer of the tube is installed at a predetermined interval, and the tube holder is extended to each of the boat holder is formed There is provided a part holding arm of a semiconductor cleaning equipment, comprising a boat holder for supporting both ends.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암을 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the embodiment of the accompanying drawings, the part holding arm of the subject innovation semiconductor cleaning equipment configured as described above will be described in more detail.

도 3은 본 고안에 따른 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암을 보인 정면도이고, 도 4는 본 고안에 따른 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암을 보인 우측면도로써, 도시된 바와 같이, 본 고안 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암은 양측에 일정간격을 두고 튜브(11)를 지지하기 위한 고리형상의 튜브 홀더(12)가 각각 설치되어 있고, 그 튜브 홀더(12)에는 중심방향으로 보트(13)를 지지하기 위한 'ㄱ'자형의 보트 홀더(14)가 설치되어 있다.3 is a front view showing a part holding arm of the semiconductor cleaning device according to the present invention, Figure 4 is a right side view showing a part holding arm of the semiconductor cleaning device according to the present invention, as shown, The part holding arm is provided with annular tube holders 12 for supporting the tubes 11 at regular intervals on both sides, and the tube holders 12 for supporting the boats 13 in the center direction. Boat holder 14 of the '-' shape is installed.

즉, 상기 보트 홀더(14)가 보트(13)의 양단부에 형성되어 있는 관통공(13a)에 삽입되어 튜브(11)의 내측면과 일정간격을 유지한 상태로 위치되도록 보트(13)를 홀딩할 수 있도록 되어 있다.That is, the boat holder 14 is inserted into the through holes 13a formed at both ends of the boat 13 to hold the boat 13 so that the boat holder 14 is positioned at a constant distance from the inner surface of the tube 11. I can do it.

또한, 상기와 같이 일정간격을 두고 설치되는 튜브 홀더(12)의 사이에는 센타 홀더(15)가 설치되어 있어서, 튜브(11)의 중앙부를 지지할 수 있도록 되어 있다.In addition, the center holder 15 is provided between the tube holders 12 provided at a predetermined interval as described above, so that the center portion of the tube 11 can be supported.

상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암(20)을 이용하여 튜브(11)와 보트(13)를 동시에 세정하는 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of simultaneously cleaning the tube 11 and the boat 13 using the part holding arm 20 of the inventive semiconductor cleaning equipment configured as described above is as follows.

먼저, 튜브(11)의 내측에 보트(13)를 삽입한 다음, 보트(13)가 내측에 위치한 튜브(11)를 튜브 홀더(12)들의 상측에 올려 놓는다.First, the boat 13 is inserted into the inside of the tube 11, and then the tube 11 on which the boat 13 is located is placed on the upper side of the tube holders 12.

그런 다음, 상기 튜브 홀더(12)에 설치되어 있는 보트 홀더(14)를 튜브(11)의 내측에 위치되어 있는 보트(13)의 관통공(13a)에 삽입하여 튜브(11)의 내측면과 일정간격이 유지되도록 보트(13)를 위치시킨다.Then, the boat holder 14 installed in the tube holder 12 is inserted into the through hole 13a of the boat 13 located inside the tube 11, and the inner surface of the tube 11 Position the boat 13 so that a constant interval is maintained.

상기와 같은 상태에서 파트 홀딩 암(20)을 이용하여 튜브(11)와 보트(13)를 동시에 이송하여 케미컬(3)이 수납되어 있는 케미컬 베스(4)에 담그고, 일정시간 지체하여 튜브(11)와 보트(13)에 증착되어 있는 증착물질을 제거한다.In the above state, the tube 11 and the boat 13 are simultaneously transported using the part holding arm 20 and immersed in the chemical bath 4 in which the chemicals 3 are stored, and delayed for a predetermined time. ) And the deposition material deposited on the boat 13 is removed.

상기와 같이 튜브(11)와 보트(13)에 증착된 증착물질이 제거되면 다시 파트 홀딩 암(20)을 이용하여 튜브(11)와 보트(13)를 케미컬 베스(4)에서 꺼내고, 그와 같이 꺼낸 튜브(11)와 보트(13)는 파트 홀딩 암(20)에 의하여 그대로 린스를 위한 장소로 이송하게 된다.When the deposition material deposited on the tube 11 and the boat 13 is removed as described above, the tube 11 and the boat 13 are removed from the chemical bath 4 by using the part holding arm 20 again. The tube 11 and the boat 13 taken out together are transferred to the place for rinsing as it is by the part holding arm 20.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 반도체 세정장비의 파트 홀딩 암은 일정간격을 두고 설치되는 튜브 홀더와, 그 튜브 홀더에 각각 설치되는 보트 홀더로 구성되어, 세정시 튜브의 내측에 보트를 위치시킨 상태에서 튜브 홀더와 보트 홀더로 튜브와 보트를 동시에 홀딩한 상태에서 케미컬 베스로 이송할 수 있도록 함으로써, 종래와 같이 튜브와 보트를 별개로 세정하는 경우보다 세정시간의 절감에 따른 생산성 향상의 효과가 있다.As described in detail above, the part holding arm of the inventive semiconductor cleaning equipment consists of a tube holder installed at a predetermined interval and a boat holder respectively installed at the tube holder, so that the boat is positioned inside the tube during cleaning. In this state, the tube holder and the boat holder can be transported to the chemical bath while the tube and the boat are held at the same time, thereby improving productivity by reducing the cleaning time than when the tube and the boat are separately washed as in the prior art. have.

Claims

A semiconductor cleaning apparatus comprising: a pair of tube holders installed at regular intervals to support both ends of a tube during transfer of a tube, and boat holders respectively installed at the tube holders to support both ends of a boat. Part holding arm of a semiconductor cleaning equipment, characterized in that.

The part holding arm of the semiconductor cleaning apparatus according to claim 1, wherein a center holder is installed between the tube holders to support the center of the tube.