KR200146505Y1

KR200146505Y1 - 통전, 통전차단 작업화

Info

Publication number: KR200146505Y1
Application number: KR2019970016001U
Authority: KR
Inventors: 조윤제
Original assignee: 조윤제; 동양청정소재주식회사
Priority date: 1997-06-27
Filing date: 1997-06-27
Publication date: 1999-06-15
Also published as: KR19990002437U

Abstract

[기술분야]

반도체산업을 포함한 각종 특수 목적의 작업장용 작업화

[해결하고자 하는 기술적 과제]

반도체에 작업자 인체, 의류 등에서 발생하는 정전기 등을 효과적으로 배출하기 위해 사용하는 상기한 IMΩ의 저항을 가진 저항을 절연피복한 리이드선에 접지시켜 절연보조밑창의 상면에 위치시켰기 때문에 작업자의 몸무게 하중에 의해 저항 및 리이드선의 파손이 용이하여 장기간 사용할 수 없고, 과전류에 의해 저항이 훼손되는 경우에는 저항의 교체가 용이하지 않은 단점이 있었다.

[해결방법의 요지]

반도체칩 제조작업에 정전기 발생으로 피해가 있는 작업에 가장 적당한 조건인 체적저항조건(10⁶-10⁹Ω의 전류유지조건)에서 작업자가 작업하므로써, 정전기 등에 의한 반도체에 영향이 없도록 함과 동시에 정전기를 효과적으로 배출하고, 또한 작업장 내의 과전류가 인체에 역류될 때 이를 근본적으로 차단할 수 있도록 하기 위해 작업자 인체 등에서 발생하는 정전기 등을 유도하는 lMΩ의 저항을 통전, 통전차단 작업화의 바깥에 설치함.

[발명의 중요한 용도]

통전, 통전차단 작업화

Description

통전, 통전차단 작업화

본 고안은 반도체산업을 포함한 각종 특수 목적의 작업장에서 인체 또는 외부의 마찰에 의해 발생하는 정전기를 효과적으로 배출함과 동시에 작업장의 과전류로 인해 작업자에게 미칠 영향을 근본적으로 제거하기 위한 통전, 통전차단 작업화에 관한 것이다.

종래에도 특수목적의 작업장에서 착화하기 위한 작업화가 섬유원단으로 된 덧신형의 커버를 착용한 형태의 것이 있었으나 이는 덧신착용자의 인체로부터 표출되는 분진 및 정전기를 제거하지 못하고 그대로 작업장에 방출되어 왔다.

그리고 이러한 수단에 의해서는 인체와 의복에 발생되는 정전기를 효과적으로 제거하지 못했다.

이러한 단점 때문에 국내 실용신안공고 제94-5511호에서는 첨부한 도면 도에서와 같이 대전방지제를 혼입한 우레탄 또는 합성수지로 형성되는 밑창(4)에 다수의 탄소 세선(1)이 배열직조되는 탄소섬유(2)를 가지는 깔창(3)을 통전성접착제(5)로 접착하여 이루어진 통전작업화를 형성한 것이 공개된 바 있다.

그러나 이러한 작업화는 밑창(4)의 내측부 즉, 착화부에 깔창(3)을 통전성접착제(5)로서 부착 고정한 것이었기 때문에 결국 체내에서 발생되는 각종 정전기를 발바닥을 통해 외부로 즉, 특수작업장 하부를 통하여 외부로 방출할 수는 있으나 작업장의 과전류에 의해 작업자에게 전기가 그대로 전달되어 인체의 쇽크 등의 치명상을 일으킬 우려가 있었다.

이러한 문제점을 방지하고자 본 출원인이 1996,9,5 일자로 실용신안 등록 출원 제 28199호를 출원한 바 있다.

이는 반도체에 작업자 인체 등에서 발생하는 정전기 등에 의해 영향이 없게 1MΩ이 흐르게하고 또한 작업장에 과전류가 발생하여도 이를 효과적으로 차단하여 과전류가 인체에 미치지 않도록 함과 동시에 인체, 의류 등에서 발생하는 정전기 등을 효과적으로 배출할 수 있도록 한 것으로써, 상기한 lMΩ의 저항을 가진 저항을 절연 피복한 리이드선에 접지시켜 절연보조밑창의 상면에 위치시켰기 때문에 작업자의 몸무게 하중에 의해 저항 및 리이드선의 파손이 용이하여 장기간 사용할 수 없고, 과전류에 의해 저항이 훼손되는 경우에는 저항의 교체가 용이하지 않은 단점이 있었다.

이에 본 고안은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출된 것으로서, 그 목적은 작업자의 몸무게 등의 직접적인 하중이 미치어도 이에 대한 영향이 직접 미칠 수 없게 하고, 과전류에 의해 저항이 훼손되어도 용이하게 교환될 수 있도록 하는데 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해 작업자 인체 등에서 발생하는 정전기 등을 유도하는 1MΩ의 저항을 통전, 통전차단 작업화의 바깥에 설치하므로써 제문제점을 해결할 수 있었다.

제1도는 본 고안의 통전, 통전차단 작업화의 참고분해 사시도.

제2도는 본 고안의 통전, 통전차단 작업화의 단면 구조도.

제3도는 본 고안 통전, 통전차단 작업화의 요부 발췌확대단면도.

제4도는 본 고안 통전, 통전차단 작업화에 사용된 어스링의 구조도.

제5도는 본 고안 통전, 통전차단 작업화의 다른 실시 예시도.

제6도는 종래의 통전작업화의 요부 분해 참고사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

29 : 갑피 25 : 도체성 깔판

30 : 제1결착구 26 : 도전성금속판

27 : 도체성 제2결착구 19 : 저항

본 고안은 상기한 기술적 과제를 해결하기 위해 첨부한 도면 제1도 내지 도에 도시하고 있는 바와 같다.

통상의 형상으로 이루어진 작업화 갑피(20)와, 통전 가능한 재료로 제조되는 밑창(4)에 다수의 탄소 세선(1)이 배열직조되는 탄소섬유(2)를 가지는 깔창(3)과 그 하부에 형성된 절연깔판(21)을 접착하여 이루어진 것에 있어서, 상기 갑피(20)의 내측에 일정한 크기를 가진 통전 가능한 도체성 깔판(25)을 위치시켜 상기 갑피(20)의 내, 외측을 연통하도록 설치된 도체성 제1 결착구(30)와 도전성 금속판(26)으로 연결하고, 상기 밑창(4)에는 도체성 제2 결착구(27)의 일부가 밖으로 돌출되도록 매입하여 상기 도체성 제1, 제2 결착구(30),(27)에 각각 착, 탈 가능하게 이루어진 도체성 제3, 제4 결착구(28),(29) 사이에는 1MΩ의 저항을 가진 저항(19)을 연결하는 리이드선(16)을 접지시켜 절연체에 의해 피복된 어스링(31)으로 이루어진다.

이러한 본 고안의 통전, 통전차단 작업화는 인체 또는 작업복 또는 외부의 마찰에 의해 발생된 정전기가 하향하여 발바닥 또는 양말을 통하여 이에 맞닿는 도체성 깔판(25)이나 다수의 탄소 세선(1)이 배열 직조되는 탄소섬유(2)를 가지는 깔창(3)의 탄소세선(1)이 상기 도체성 깔판(25)을 통하여 도전성 금속판(26)에서 도체성 제1 결착구(30)로 통전이 이루어진다.

이때 상기한 도체성 제1 결착구(30)에 결착된 도체성 제3 결착구(28)로 전달되게 되고, 다시 리이드선(16)을 통해 1MΩ의 저항을 가진 저항(19)을 거쳐 다시 리이드선(16)에서 도체성 제4 결착구(29)에 이르게 된다.

이렇게 도체성 제4 결착구(29)에 이른 정전기 등은 이에 결착된 도체성 제2 결착구(27)을 통해 통전 가능한 재료로 제조되는 밑창(4)에 접지상태를 유지하고 있는 작업장의 바닥면을 통하여 외부로 방출되게 된다.

이러한 작용에 의해 반도체칩 제조작업장에서 발생되는 인체 등의 정전기에 의해 반도체에 영향이 없게 하는 체적저항(10⁶-10⁹Ω)의 상태를 유지할 수 있도록 1MΩ에 해당하는 저항(19)이 상기한 바와 같이 인체에 통전되도록 하여 반도체에 인체의 정전기에 의해 반도체에 미칠 영향을 배제하게 된다.

또한 작업장내에서 누전 또는 이와 유사한 것에 의해 과전류가 발생한 경우에는 작업장에서 오히려 작업자에게 역류되게 되어 작업자에게 쇼크 등의 신체 상의 큰 영향을 미치게 된다.

이때에는 적어도 1MΩ 이상의 전류가 흐를 경우 작업장 바닥면의 과전류가 밑창(4)을 통해 전달되고, 다시 이에 매립된 도체성 제2 결착구(27)를 통과하여 이에 결착된 도체성 제4 결착구(29)에 이르러 리이드선(16)에 이르게 되나 1MΩ의 저항(19)에 이르러 과전류가 차단되어 10⁶-19⁹Ω 저항을 유지하게 된다.

결국 lMΩ 이상의 과전류는 저항(19)에서 차단되게 되므로 더 이상의 통전이 불가능하게 되고, 밑창(4)과 깔창(3) 사이에 설치된 절연활판(21)에 의해 과전류는 완전한 차단이 이루어지게 되므로 결국 작업자에게는 과전류의 영향이 전혀 미치지 않게 되는 것이다.

이러한 과전류에 의해 1MΩ의 저항(19)이 훼손되는 경우에는 상기한 바와 같이 도체성 제1, 제2 결착구(30), (27)에 각각 결찰된 어스링(31)을 탈거하여 새로운 어스린(31)으로 교체함으로써 즉시 통전, 통전차단 작업화의 재사용이 가능하게 된다.

이러한 본 고안의 통전, 통전차단 작업화는 첨부한 도면 제5도에 도시하고 있는 바와 같이 보조깔판(32) 상에 도체성 보조판(33)을 적정 위치에 관통시켜서 작업자의 필요에 따라 그사용이 가능하다.

이는 상기한 바와 같이 인체 또는 작업복 또는 외부의 마찰에 의해 발생된 정전기가 하향하여 발바닥 또는 양말을 통하여 이에 맞닿는 보조깔판(32)의 도체성 보조판(33)을 통해 도체성 깔판(25)이나 다수의 탄소 세선(1)이 배열 직조되는 탄소섬유(2)를 가지는 깔창(3)의 탄소세선(1)이 상기 도체성 깔판(25)을 통하여 도전성 금속판(26)에서 도체성 제1 결착구(30)의 통전이 이루어지게 되므로 결국 그 사용이 가능하게 된다.

본 고안은 상기한 바와 같이 반도체에 작업자 인체 등에서 발생하는 정전기 등에 의해 영향이 없게 1MΩ이 흐르게 하고 또한 작업장에 과전류가 발생하여도 이를 효과적으로 차단하여 과전류가 인체에 미치지 않도록 함과 동시에 인체, 의류 등에서 발생하는 정전기 등을 효과적으로 배출할 수 있고, 작업자 인체 등에서 발생하는 정전기 등을 유도하는 lMΩ의 저항을 통전, 통전차단 작업화의 바깥에 설치하므로써 작업자의 인체의 하중이 직접 1MΩ의 저항에 미치지 않게 되고 또한 훼손된 1MΩ의 저항의 교체를 극히 신속하게 취할 수 있는 매우 유용한 고안이다.

Claims

통상의 형상으로 이루어진 작업화 갑피(20)와, 통전 가능한 재료로 제조되는 밑창(4)에 다수의 탄소 세선(1)이 배열직조되는 탄소섬유(2)를 가지는 깔창(3)과 그 하부에 형성된 절연깔판(21)을 접착하여 이루어진 것에 있어서, 상기 갑피(20)의 내측에 일정한 크기를 가진 통전 가능한 도체성 깔판(25)을 위치시켜 상기 갑피(20)의 내, 외측을 연통하도록 설치된 도체성 제1 결착구(30)와 도전성 금속판(26)으로 연결하고, 상기 밑창(4)에는 도체성 제2 결착구(27)의 일부가 밖으로 돌출되도록 매입하여 상기 도체성 제1, 제2 결착구(30), (27) 사이에 1MΩ의 저항을 가진 저항(19)을 착, 탈 가능하게 연결하는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 통전, 통전차단 작업화.
제1항에 있어서, 상기 도체성 제1, 제2 결착구(30), (27)에 각각 착, 탈 가능하게 이루어진 1MΩ의 저항을 가진 저항(19)에 리이드선(16)을 연결하여 도체성 제3, 제4 결착구(28), (29) 사이에 접지되어 피복된 어스링(31)인 것을 특징으로 하는 통전, 통전차단 작업화.