KR19980015002U - 통전,통전차단 작업화 - Google Patents

Abstract

1. 청구범위에 기재된 고안이 속한 분야

본 고안은 반도체산업을 포함한 각종 특수 목적의 작업장에서 인체 또는 외부의 마찰에 의해 발생하는 정전기를 효과적으로 배출함과 동시에 작업장의 과전류로 인해 작업자에게 미칠 영향을 근복적으로 제거하기 위한 통전,통전차단 작업화에 관한 것임.

2. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제

반도체칩 제조작업에 정전기 발생으로 피해가 있는 작업에 가장 적당한 조건인 체적저항조건(10⁶- 10⁹Ω의 전류유지조건)에서 작업자가 작업하므로써, 정전기 등에 의해 반도체에 영향이 없도록 함과 동시에 정전기를 효과적으로 배출하고, 또한 작업장내의 과전류가 인체에 역류될 때 이를 근본적으로 차단할 수 있도록 한 통전,통전차단 작업화를 제공하고자하는 데 있음.

3. 고안의 해결방법의 요지

절연보조 밑창을 중심으로 하여 통전성금속판 및 금속박판을 통해 인체의 정전기 등은 배출시키되, 작업장에서 발생된 1㏁이상의 과전류는 상기 통전성금속 박판에 접지된 저항의 끊김에 의해 차단되도록 하고, 반도체에는 제적조건을 유지하여 작업자 인체에서 발생하는 정전기 등의 영향이 없도록 함.

4. 고안의 중요한 용도

반도체작업 또는 각종 특수목적의 작업장에서 착화하는 것임.

Description

통전,통전차단 작업화

본 고안은 반도체산업을 포함한 각종 특수 목적의 작업장에서 인체 또는 외부의 마찰에 의해 발생하는 정전기를 효과적으로 배출함과 동시에 작업장의 과전류로 인해 작업자에게 미칠 영향을 근복적으로 제거하기 위한 통전,통전차단 작업화에 관한 것이다.

종래에도 특수목적의 작업장에서 착화하기 위한 작업화가 섬유원단으로 된 덧신형의 커버를 착용한 형태의 것이 있었으나 이는 덧신착용자의 인체로부터 표출되는 분진 및 정전기를 제거하지 못하고 그대로 작업장에 방출되어 왔다. 그리고 이러한 수단에 의해서는 인체와 의복에 발생되는 정전기를 효과적으로 제거하지 못했다. 이러한 단점 때문에 국내 실용신안공고 제 94-5511호에서는 첨부한 도면 제 4 도에서와 같이 대전방지제를 혼입한 우레탄 또는 합성수지로 형성되는 밑창(4)에 다수의 탄소 세선(1)이 배열직조되는 탄소 섬유(2)를 가지는 깔창(3)을 통전성접착제(5)로 접착하여 이루어진 통전작업화를 형성한 것이 공개된 바 있다.

그러나 이러한 작업화는 밑창(4)의 내측부 즉, 착화부에 깔창(3)을 통전성접착제(5)로서 부착고정한 것이었기 때문에 결국 체내에서 발생되는 각종 정전기를 발바닥을 통해 외부로 즉, 특수작업장 하부를 통하여 외부로 방출할 수는 있으나 작업장의 과전류에 의해 작업자에게 전기가 그대로 전달되어 인체의 쇽크 등의 치명상을 일으킬 우려가 있었다.

본 고안은 이러한 단점을 근본적으로 제거하기 위해 반도체칩 제조작업에 정전기 발생으로 피해가 있는 작업에 가장 적당한 조건인 체적저항조건(10⁶- 10⁹Ω의 전류유지조건)에서 작업자가 작업하되 정전기 등에 의해 반도체에 영향이 없도록 하고 또한 작업장내의 과전류가 인체에 역류될 때 이를 근본적으로 차단할 수 있도록 한 통전,통전차단 작업화를 제공하고자 한다.

제 1 도는 본 고안 통전,통전차단 작업화의 참고사시도,

제 2 도는 본 고안 통전,통전차단 작업화의 요부 분해 참고사시도,

제 3 도는 본 고안 통전,통전차단 작업화의 요부 발췌단면도,

제 4 도는 종래의 통전작업화의 요부 분해 참고사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10. 밑창11. 금속판

12. 밑창금속박판13. 절연보조밑창

16. 리이드선18. 통전성접착제

본 고안은 상기한 기술적 과제를 해결하기 위해 첨부한 도면 제 1 도 내지 제 3 도에 도시하고 있는 바와 같다.

인체의 하중이 가장 많이 미치는 발바닥과 뒷꿈치에 해당하는 통전가능한 밑창(10)의 앞, 뒤 부분에 각각 밑창(10)을 통과하는 통전가능한 적어도 한 개 이상의 금속판(11)을 고정하여 금속판(11)의 상, 하면(11')(11)을 밑창(10)의 상, 하면에 노출시키되 상기 금속판(11)의 하면(11)에는 통전이 가능한 밑창금속박판(12)을 부착하여 상기 금속판(11)들을 밑창(10)의 저면에서 서로 접지시키고, 상기 밑창금속박판(12)은 절연체로 이루어진 절연보조밑창(13)의 상면에 고정된 절연보조밑창금속박판(14)에 접지되어지되 상기 절연보조밑창금속박판(14)에는 1㏁의 저항을 가진 저항(19)을 절연피복한 리이드선(16)으로 접지시켜 통전가능케 하고, 상기 저항(19)에는 상기 절연피복한 리이드선(16)을 타측에 접지하여 상기 절연보조밑창(13)의 하면으로 통과시켜 상기 절연보조밑창(13)의 하면에 고정된 하부금속박판(15)에 접지시키고, 상기 하부금속박판(15)은 통전가능한 밑창(17)에 통상의 통전성접착제(18)에 접지되도록 고정한 구조로 이루어진다.

이러한 본 고안의 통전작업화는 인체 또는 작업복 또는 외부의 마찰에 의해 발생된 정전기가 하향하여 발바닥 또는 양말을 통하여 이에 접지되는 금속판(11)의 상면(11')에서 하면(11)를 통해 밑창금속박판(14)에 전달된다.

또한 밑창금속박판(14)에서 절연보조밑창 금속박판(14)과 저항(19)를 통해 다시 하부금속박판(15)에서 통전성접착제(18)과 밑창(17)을 통해 작업장의 바닥면에 통전된 후 외부로 방출되게 된다.

한편 반도체칩 제조작업장에서는 인체 등의 정전기에 의해 반도체에 영향이 없게 하는 체적저항(10⁶- 10⁹Ω)의 상태를 유지할 수 있도록 1㏁에 해당하는 저항(19)이 상기한 바와 같이 인체에 통전되도록 하여 반도체에 인체의 정전기에 의해 반도체에 미칠 영향을 배제하게 된다.

또한 작업장내에서 누전 또는 이와 유사한 것에 의해 과전류가 발생한 경우에는 작업장에서 오히려 작업자에게 역류되게 되어 작업자에게 쇼크 등의 신체상의 큰 영향을 미치게 된다.

이 때에는 적어도 1㏁이상의 전류가 흐를 경우 작업장 바닥면의 과전류가 밑창(17)과 통전성접착제(18)와 하부금속박판(14)를 통과하게 되나 1㏁의 저항(15)에 이르러 과전류가 차단되어 10⁶- 10⁹Ω 저항을 유지하게 된다.

결국 1㏁이상의 과전류는 저항(19)에서 차단되게 되므로 더 이상의 통전이 불가능하게 되고, 밑창(16), 통전성접착제(16)을 통과하는 과전류는 절연보조밑창(13)에서 완전한 차단이 이루어지게 되므로 결국 작업자에게는 과전류의 영향이 전혀 미치지 않게 되는 것이다.

본 고안은 상기한 바와 같이 반도체에 작업자 인체 등에서 발생하는 정전기 등에 의해 영향이 없게 1㏁이 흐르게 하고 또한 작업장에 과전류가 발생하여도 이를 효과적으로 차단하여 과전류가 인체에 미치지 않도록 함과 동시에 인체, 의류 등에서 발생하는 정전기 등을 효과적으로 배출할 수 있는 매우 유용한 고안이다.

Claims (1)

1. 인체의 하중이 가장 많이 미치는 발바닥과 뒷꿈치에 해당하는 통전가능한 밑창(10)의 앞, 뒤 부분에 각각 밑창(10)을 통과하는 통전가능한 적어도 한 개 이상의 금속판(11)을 고정하여 금속판(11)의 상, 하면(11')(11)을 밑창(10)의 상, 하면에 노출시키되 상기 금속판(11)의 하면(11)에는 통전이 가능한 밑창금속박판(12)을 부착하여 상기 금속판(11)을 밑창(10)의 저면에서 서로 접지시키고,

   상기 밑창금속박판(12)은 절연체로 이루어진 절연보조밑창(13)의 상면에 고정된 절연보조밑창 금속박판(14)에 접지되어지되 상기 절연보조밑창 금속박판(14)에는 1㏁의 저항을 가진 저항(19)을 절연피복한 리이드선(16)으로 접지시켜 통전가능케 하고,

   상기 저항(19)에는 상기 절연피복한 리이드선(16)을 타측에 접지하여 상기 절연보조밑창(13)의 하면으로 통과시켜 상기 절연보조밑창(13)의 하면에 고정된 하부금속박판(15)에 접지시키고,

   상기 하부금속박판(15)은 통전가능한 밑창(17)에 통상의 통전성접착제(18)에 접지되도록 고정한 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 통전, 통전차단 작업화.