KR20010111969A - Inspection apparatus and method for pdp electrode pattern using magnetic heads - Google Patents

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KR20010111969A
KR20010111969A KR1020000032758A KR20000032758A KR20010111969A KR 20010111969 A KR20010111969 A KR 20010111969A KR 1020000032758 A KR1020000032758 A KR 1020000032758A KR 20000032758 A KR20000032758 A KR 20000032758A KR 20010111969 A KR20010111969 A KR 20010111969A
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Abstract

본 발명은 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴에 흐르는 전류에 의해 발생되는 자기장을 자기헤드로 스캔하면서 측정함으로써 단락여부 및 개방여부를 신속하고 용이하게 검사할 수 있는 이점이 있다.The present invention relates to an apparatus for inspecting an electrode pattern of a plasma display panel using a magnetic head and a method thereof, wherein a magnetic field generated by a current flowing through an electrode pattern is applied to both ends of an electrode pattern of a plasma display panel. By measuring while scanning with the advantage that it is possible to quickly and easily check for short circuit and open.

Description

자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법{INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR PDP ELECTRODE PATTERN USING MAGNETIC HEADS}Electrode pattern inspection apparatus for plasma display panel using magnetic head and its method {INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR PDP ELECTRODE PATTERN USING MAGNETIC HEADS}

본 발명은 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴을 따라 흐르는 전류에 의해 발생되는 자기장을 자기헤드로 스캔하면서 관찰함으로써 단락여부 및 개방여부를 파악할 수 있도록 한 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting an electrode pattern of a plasma display panel using a magnetic head and a method thereof. More particularly, the present invention relates to an apparatus for inspecting an electrode pattern of a plasma display panel. The present invention relates to an apparatus for inspecting an electrode pattern of a plasma display panel using a magnetic head and to a method of detecting a short circuit and an opening by observing a magnetic field while scanning with a magnetic head.

일반적으로 PDP(Plasma Display panel;플라즈마 디스플레이 패널)는 상판 글라스와 하판 글라스 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 Ne+Ar, Ne+Xe 등의 가스를 넣어 양극과 음극의 전극에 의해 전압을 인가하여 네온광을 발광시켜 표시광으로 이용하는 전자표시장치를 말하는 것이다.In general, PDP (Plasma Display Panel) is a voltage between the positive electrode and the negative electrode by putting a gas such as Ne + Ar, Ne + Xe between the upper glass and the lower glass and the glass sealed by the partition therebetween. It refers to an electronic display device that emits neon light by applying the light to display light.

따라서, 플라즈마 디스플레이는 마주보는 상판 글라스와 하판 글라스의 세로 전극패턴과 가로 전극사이에 구성 교차점을 방전셀로 형성하여 방전을 온오프함으로써 갖가지 문자나 패턴을 표시한다.Accordingly, the plasma display displays various characters or patterns by forming a discharge point between discharge electrodes formed between the vertical electrode patterns and the horizontal electrodes of the upper and lower glass plates facing each other, as the discharge cells.

PDP는 발광형으로 선명한 대형표시가 가능하기 때문에 FA(공장자동화)용으로 많이 사용되었으나 현재는 표시장치의 소형 경량화, 고성능화와 함께 퍼스널 컴퓨터 등 OA(사무자동화) 등으로 많이 활용하고 있으며 대형 패널로 표시품위가 높을 뿐만 아니라 응답속도가 빠르기 때문에 벽걸이TV로 채용되면서 수요가 급증하고 있다.PDP has been widely used for FA (factory automation) because it is possible to display large size with clear light, but now it is widely used for OA (office automation) such as personal computer with small size, light weight and high performance of display device. As the display quality is high and the response speed is fast, demand is increasing rapidly as it is adopted as a wall-mounted TV.

이와 같은 PDP는 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴의 교차점에서 플라즈마 발생에 의한 방전에 의해 발광하도록 구성되었기 때문에 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴의 전기적인 특성에 따라 완성품의 수율이 결정된다.Since the PDP is configured to emit light by discharge due to plasma generation at the intersection of the electrode patterns formed on the upper glass and the lower glass, the yield of the finished product is determined according to the electrical characteristics of the electrode patterns formed on the upper glass and the lower glass.

도 1은 일반적인 PDP의 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴을 나타낸 도면으로써, (가)는 상판 글라스에 형성된 전극패턴이고, (나)는 하판 글라스에 형성된 전극패턴이다.FIG. 1 is a view illustrating electrode patterns formed on a top glass and a bottom glass of a general PDP. (A) is an electrode pattern formed on a top glass, and (B) is an electrode pattern formed on a bottom glass.

여기에 도시된 바와 같이 상판 글라스(10)와 하판 글라스(11)의 표면에는 다수개의 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)이 형성되어 있음을 볼 수 있다. 또한, 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)에 전원 등을 공급하기 위한 콘넥터 전극(10c)(11c)이 형성되어 있다.As shown here, it can be seen that a plurality of electrode patterns 10a, 10b, 11a, and 11b are formed on the top glass 10 and the bottom glass 11. In addition, connector electrodes 10c and 11c for supplying power and the like to the electrode patterns 10a, 10b, 11a and 11b are formed.

이 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)은 통상, 42인치 PDP의 경우 선폭은 50㎛, 피치(pitch)는 200㎛인 반면, 선길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)을 형성하는 공정에서뿐만 아니라 그 후에 반복되는 열처리와 같은 제조과정에서 배선이 끊어지거나(open) 인접한 다른 배선과 연결되는(short) 경우가 빈번히 발생한다.The electrode patterns 10a, 10b, 11a and 11b are typically 50 m in line width and 200 m in pitch in the case of 42-inch PDP, whereas the line length reaches 1 m. In the manufacturing process, such as heat treatment (10b), (11a) and (11b), as well as subsequent repeated heat treatment, the wiring is frequently opened or shorted with other adjacent wiring.

따라서, PDP 제조공정의 중간중간에 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)의 양측에 형성된 콘넥터 전극(10c)(11c)을 통해 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)의 전기적인 특성을 검사하는 패턴검사 공정이 필수적으로 들어가 전극패턴(10a)(10b)(11a) (11b)의 단락여부 및 합선여부를 검사함으로써 PDP 완성품의 수율을 높일 수 있도록 한다.Therefore, the electrode patterns 10a, 10b, 11a and 11b are formed through the connector electrodes 10c and 11c formed on both sides of the electrode patterns 10a, 10b, 11a and 11b in the middle of the PDP manufacturing process. The pattern inspection process for inspecting the electrical characteristics of the () is essential to increase the yield of the finished PDP by inspecting whether the electrode patterns 10a, 10b, 11a, and 11b are short-circuited and short-circuited.

도 2는 종래의 테스트 핀 블록에 의한 PDP 전극패턴의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치이다.2 is an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of a PDP electrode pattern by a conventional test pin block.

여기에 도시된 바와 같이 테스트 핀 블록(12)의 측면에 다수개의 테스트핀(12a)이 검사하고자 하는 PDP 전극패턴의 선폭 및 피치와 일치하도록 형성된다.As shown here, a plurality of test pins 12a are formed on the side of the test pin block 12 to match the line width and pitch of the PDP electrode pattern to be inspected.

따라서, 도 1에 도시된 전극패턴을 갖는 PDP의 상판 글라스(10)나 하판 글라스(11)에 형성된 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)을 검사하고자 할 때 해당전극패턴(10a)(11a)의 일측에 형성된 콘넥터 패턴(10c)(11c)과 해당 전극패턴(10a)(11a)의 타측 끝단에 테스트핀(12a)을 가압접촉시킨 후 콘넥터 패턴(10c)(11c)에 전압을 인가한 후 타측 끝단에서 전압을 측정함으로써 해당 전극패턴(10a)의 개방 및 단락여부를 검사하게 된다.Accordingly, when the electrode patterns 10a, 10b, 11a, and 11b formed on the upper glass 10 or the lower glass 11 of the PDP having the electrode pattern shown in FIG. 1 are to be inspected, the corresponding electrode pattern 10a The test pins 12a are pressed into the connector patterns 10c and 11c formed at one side of the 11a and the other ends of the electrode patterns 10a and 11a, and then the voltage is applied to the connector patterns 10c and 11c. After applying the voltage and measuring the voltage at the other end to check whether the electrode pattern (10a) open and short.

또한, 해당 전극패턴(10a)(11a)의 양측 끝단에 테스트핀(12a)을 가압접촉시킨 후 전압을 교번하여 인가하면서 인접 전극패턴(10b)(11b)의 양측 끝단에서 전압을 측정함으로써 해당 전극패턴(10a)(11a)과 인접 전극패턴(10b)(11b)의 합선여부를 검사하게 된다.In addition, the test pins 12a are pressed to both ends of the electrode patterns 10a and 11a, and then voltages are alternately applied to measure the voltage at both ends of the adjacent electrode patterns 10b and 11b. The short circuit between the patterns 10a and 11a and the adjacent electrode patterns 10b and 11b is examined.

또한, 도 3은 종래의 본 출원인이 특허 2000-28084호(2000. 05. 24)로 출원한 타이머IC에 의한 비접촉식 프로브를 이용한 비접촉 스캔방식의 검사장치를 나타낸 도면이다.In addition, Figure 3 is a view showing a non-contact scan type inspection apparatus using a non-contact probe by a timer IC filed by the applicant of the prior patent No. 2000-28084 (2000. 05. 24).

여기에 도시된 바와 같이 제 1전극패턴(P1)의 좌측에서 연장된 제 1콘넥터 전극(C1)에 제 1프로브(TP1)가 설치되고, 제 2전극패턴(P2)의 우측에서 연장된 제 2콘넥터 전극(C2)에 제 3프로브(TP3)가 설치된다. 그리고, 제 3전극패턴(P3)의 좌측에서 연장된 제 3콘넥터 전극(C3)에 제 2프로브(TP2)가 설치되고, 제 4전극패턴(P4)의 우측에서 연장된 제 4콘넥터 전극(C4)에 제 4프로브(TP4)가 설치된다.As shown here, the first probe TP1 is installed on the first connector electrode C1 extending from the left side of the first electrode pattern P1, and the second probe extending from the right side of the second electrode pattern P2. The third probe TP3 is installed at the connector electrode C2. The second probe TP2 is installed on the third connector electrode C3 extending from the left side of the third electrode pattern P3, and the fourth connector electrode C4 extending from the right side of the fourth electrode pattern P4. ), The fourth probe TP4 is installed.

또한, 제 1전극패턴(P1)과 제 3전극패턴(P3)의 우측에서 정전용량을 측정하기 위한 제 2비접촉식 프로브(CP2)와 제 2전극패턴(P2)과 제 4전극패턴(P4)의 좌측에서 정전용량을 측정하기 위한 제 1비접촉식 프로브(CP1)가 각각 설치된다.In addition, the second non-contact probe CP2 and the second electrode pattern P2 and the fourth electrode pattern P4 for measuring the capacitance on the right side of the first electrode pattern P1 and the third electrode pattern P3. On the left side, first non-contact probes CP1 for measuring capacitance are provided.

위와 같이 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)와 제 1내지 제 2비접촉식 프로브(CP1,CP2)가 한 조를 이뤄 PDP의 전극패턴을 검사하게 된다.As described above, the first to fourth probes TP1, TP2, TP3 and TP4 and the first to second non-contact probes CP1 and CP2 form a pair to inspect the electrode pattern of the PDP.

위와 같이 전극패턴에 4개의 테스트 프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)와 2개의 비접촉식 프로브(CP1,CP2)를 설치한 상태에서 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 상태를 검사하게 된다.As described above, the state of the electrode pattern of the plasma display panel is inspected with four test probes TP1, TP2, TP3, and TP4 and two non-contact probes CP1 and CP2 installed on the electrode pattern.

도 4는 도 3에 의한 검사장치의 테스트 순서를 나타낸 도면이다.4 is a view showing a test procedure of the inspection apparatus according to FIG.

여기에 도시된 바와 같이 Ⅰ단계에서부터 Ⅴ단계로 이루어진 사이클을 순차적으로 스캔하면서 테스트를 수행하게 된다.As shown here, a test is performed while sequentially scanning a cycle consisting of steps I to V. FIG.

먼저, Ⅰ단계에서는 기준값을 측정하게 된다. 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)에 접지전압(GND) 및 전원전압(VC)을 공급하지 않은 상태에서 제 1내지 제 2비접촉식 프로브(CP1,CP2)의 출력주파수(f)를 측정한다.First, in step I, the reference value is measured. The output frequency f of the first to second non-contact probes CP1 and CP2 without supplying the ground voltage GND and the power supply voltage VC to the first to fourth probes TP1, TP2, TP3, and TP4. Measure

다음으로, Ⅱ단계에서는 제 1전극패턴(P1)의 오픈여부를 측정하는 단계로써 제 1접지스위치(ⅠG)를 온시켜 제 1콘넥터전극(C1)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 2비접촉식 프로브(CP2)에서 측정된 출력주파수(f)의 변화로 제 1전극패턴(P1)의 단락여부를 판정하게 된다. 다시말해, 제 2비접촉식 프로브(CP2)에서 측정된 정전용량값(C)이 기준값과 동일할 경우 타이머IC(81)의 출력주파수(f)가 변화없게 되어 제 1전극패턴(P1)은 끊어진 것으로 판단하고 측정된 정전용량값(C)이 기준값보다 클 경우에는 타이머IC(미도시)의 출력주파수(f)가 높아지기 때문에 정상인 것으로 판단하게 된다.Next, in step II, the first electrode pattern P1 is opened. The first ground switch IG is turned on to apply the ground voltage GND to the first connector electrode C1. The change of the output frequency f measured by the non-contact probe CP2 determines whether the first electrode pattern P1 is short-circuited. In other words, when the capacitance value C measured by the second non-contact probe CP2 is equal to the reference value, the output frequency f of the timer IC 81 is not changed and the first electrode pattern P1 is disconnected. If it is determined that the measured capacitance value C is greater than the reference value, it is determined that the output frequency f of the timer IC (not shown) is high and is normal.

다음으로, Ⅲ단계에서는 제 1전극패턴(P1)과 제 2,3,4전극패턴(P2,P3,P4)간에 합선된 상태를 측정하는 단계로써 제 1접지스위치(ⅠG)를 온시켜 제 1콘넥터전극(C1)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 2,3,4전원스위치(ⅡS,ⅢS,ⅣS)를 온시켜 제 2,3,4콘넥터전극(C2,C3,C4)에 전원전압(VC)을 인가하면서 제 2,3,4프로브(TP2,TP3,TP4)에서 전압을 측정하여 전원전압(VC)이 측정될 경우에는 모두 정상이지만, 제 2,3,4프로브(TP2,TP3,TP4) 중 적어도 어느 하나 이상의 프로브에서 접지전압(GND)이 측정될 경우에는 제 1전극패턴(P1)에 인가되는 접지전압(GND)으로 전류패스가 형성된 것으로써 제 1전극패턴(P1)과 제 2,3,4전극패턴(P2,P3,P4) 중 적어도 어느 하나이상의 전극패턴과 합선된 상태로 판단하게 된다.Next, in step III, a short-circuit state is measured between the first electrode pattern P1 and the second, third and fourth electrode patterns P2, P3, and P4. With the ground voltage GND applied to the connector electrode C1, the second, third and fourth power switches IIS, IIIS and IVS are turned on to the second, third and fourth connector electrodes C2, C3 and C4. When the voltage is measured at the second, third, and fourth probes TP2, TP3, and TP4 while the power supply voltage VC is applied, all of them are normal, but the second, third, and fourth probes TP2 are normal. When the ground voltage GND is measured by at least one of the probes TP3 and TP4, the current path is formed by the ground voltage GND applied to the first electrode pattern P1. ) And the second, third and fourth electrode patterns P2, P3, and P4 are short circuited with at least one of the electrode patterns.

다음으로, Ⅳ단계에서는 제 2전극패턴(P2)의 오픈여부를 측정하는 단계로써 제 3접지스위치(ⅢG)를 온시켜 제 2콘넥터전극(C2)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 1비접촉식 프로브(CP1)에서 측정된 정전용량값(C)의 변화로 제 2전극패턴(P2)의 단락여부를 판정하게 된다. 다시말해, 제 1비접촉식 프로브(CP1)에서 측정된 정전용량값(C)이 기준값과 동일할 경우에는 타이머IC의 출력주파수(f)도 동일하기 때문에 제 2전극패턴(P2)은 끊어진 것으로 판단하고 측정된 정전용량값(C)이 기준값보다 클 경우에는 타이머IC의 출력주파수(f)가 높아지기 때문에 정상인 것으로 판단하게 된다.Next, in step IV, the opening of the second electrode pattern P2 is measured. The third ground switch IIIG is turned on to apply the ground voltage GND to the second connector electrode C2. The short circuit of the second electrode pattern P2 is determined by the change in the capacitance value C measured by the one-contact probe CP1. In other words, when the capacitance C measured by the first non-contact probe CP1 is the same as the reference value, the output frequency f of the timer IC is also the same, so the second electrode pattern P2 is determined to be broken. If the measured capacitance value C is larger than the reference value, it is determined that the output frequency f of the timer IC is high.

다음으로, Ⅴ단계에서는 제 2전극패턴(P2)과 제 1,3,4전극패턴(P1,P3,P4)간에 합선된 상태를 측정하는 단계로써 제 3접지스위치(ⅢG)를 온시켜 제 2콘넥터전극(C2)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 1,2,4전원스위치(ⅠS,ⅡS,ⅣS)를 온시켜 제 1,3,4콘넥터전극(C1,C3,C4)에 전원을 인가하면서 제 1,2,4프로브(TP1,TP2,TP4)에서 전압을 측정하여 전원전압(VC)이 측정될 경우에는 모두 정상이지만, 제 1,2,4프로브(TP1,TP2,TP4) 중 적어도 어느 하나 이상의 프로브에서 접지전압이 측정될 경우에는 제 2전극패턴(P2)에 인가되는 접지전압으로 전류패스가 형성된 것으로써 제 2전극패턴(P2)과 제 1,3,4전극패턴(P1,P3,P4) 중 적어도 어느 하나이상의 전극패턴과 합선된 상태로 판단하게 된다.Next, in step V, a short-circuit state between the second electrode pattern P2 and the first, third and fourth electrode patterns P1, P3, and P4 is measured. The first, third and fourth connector electrodes C1, C3 and C4 are turned on by turning on the first, second and fourth power switches IS, IIS and IVS while the ground voltage GND is applied to the connector electrode C2. When the power supply voltage VC is measured by measuring the voltage at the first, second, and fourth probes TP1, TP2, and TP4 while applying power, the first, second, and fourth probes TP1, TP2, and TP4 are all normal. In the case where the ground voltage is measured by at least one of the probes, the current path is formed by the ground voltage applied to the second electrode pattern P2. Thus, the second electrode pattern P2 and the first, third and fourth electrode patterns are formed. At least one of (P1, P3, P4) is determined as a short circuit state with the electrode pattern.

이와 같이 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)를 한 조로 하여 한 사이클 동안에 제 1전극패턴(P1)과 제 2전극패턴(P2)의 단락여부와 합선여부를 측정하고, 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)를 다음 전극패턴으로 이동한 후 다시 동일한 방법으로 제 3전극패턴(P3)과 제 4전극패턴(P4)의 단락여부와 합선여부를 측정하는 작업을 반복하게 된다.In this manner, the first to fourth probes TP1, TP2, TP3, and TP4 are used as a pair to measure whether the first electrode pattern P1 and the second electrode pattern P2 are short-circuited and short-circuited for one cycle. After moving the first to fourth probes TP1, TP2, TP3, and TP4 to the next electrode pattern, again measuring whether the third electrode pattern P3 and the fourth electrode pattern P4 are short-circuited and short-circuited. You will repeat the work.

위와 같이 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 전기적인 특성을 테스트하기 위해 테스트 핀 블록을 사용하거나 비접촉식 프로브에 의한 스캔방식으로 측정할 때 모두 전극패턴의 규격에 따라 개별적으로 접촉하면서 순차적으로 전극패턴의 전기적인 특성을 측정하여 전극패턴을 검사하였다.As described above, when the test pin block is used to test the electrical characteristics of the electrode pattern of the plasma display panel or the measurement is performed by a non-contact probe, the electrical pattern of the electrode pattern is sequentially contacted individually according to the specification of the electrode pattern. The electrode pattern was examined by measuring the characteristics.

이렇게 전극패턴의 규격에 따라 개별적으로 접촉하면서 순차적으로 테스트하기 때문에 전극패턴의 규격이 변경될 경우 테스트를 위한 장비의 규격도 전극패턴의 규격에 따라 교체를 해야만 하는 문제점이 있다.Since the test is performed sequentially while individually contacting according to the specification of the electrode pattern, there is a problem that the specification of the equipment for testing also needs to be replaced according to the specification of the electrode pattern when the specification of the electrode pattern is changed.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴에 흐르는 전류에 의해 발생되는 자기장을 자기헤드로 스캔하면서 관찰함으로써 빠른 시간내에 단락여부 및 개방여부를 파악할 수 있도록 한 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.The present invention was created to solve the above problems, and an object of the present invention is to scan the magnetic field generated by the current flowing through the electrode pattern with the magnetic head after applying power to both ends of the electrode pattern of the plasma display panel. The present invention provides an apparatus and a method for inspecting an electrode pattern of a plasma display panel using a magnetic head, which can observe whether or not a short circuit and an opening occur in a short time.

또한, 본 발명의 목적은 콘넥터 전극의 패턴 변화에도 전극패턴의 전기적인 특성 테스트를 위한 장비의 교체없이 동일한 장비로 측정할 수 있도록 한 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.In addition, an object of the present invention is to provide an apparatus and a method for inspecting an electrode pattern of a plasma display panel using a magnetic head that can be measured with the same equipment even without changing the equipment for testing the electrical characteristics of the electrode pattern even if the pattern of the connector electrode changes. In providing.

도 1은 일반적인 PDP의 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴을 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a view illustrating electrode patterns formed on a top glass and a bottom glass of a general PDP.

도 2는 종래 제 1실시예의 테스트 핀 블록에 의한 PDP 전극패턴의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치이다.2 is an inspection apparatus for inspecting the electrical characteristics of the PDP electrode pattern by the test pin block of the first embodiment.

도 3은 종래 제 2실시예의 타이머IC에 의한 비접촉식 프로브를 이용한 비접촉 스캔방식의 검사장치를 나타낸 도면이다.3 is a view showing a non-contact scan type inspection apparatus using a non-contact probe by the timer IC of the second embodiment.

도 4는 도 3에 의한 검사장치의 테스트 순서를 나타낸 도면이다.4 is a view showing a test procedure of the inspection apparatus according to FIG.

도 5는 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 개방여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.5 is a view showing a state of measuring the opening of the electrode pattern by the electrode pattern inspection apparatus of the plasma display panel according to the present invention.

도 6은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴에 형성되는 자기장의 분포를 나타낸 도면이다.6 is a diagram illustrating a distribution of a magnetic field formed in an electrode pattern of a plasma display panel.

도 7은 본 발명에 의한 자기헤드에 의해 도 5에서 전극패턴의 개방여부를 측정하는 자속의 변화를 나타낸 그래프이다.7 is a graph illustrating a change in magnetic flux for measuring whether an electrode pattern is opened in FIG. 5 by a magnetic head according to the present invention.

도 8은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 단락여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.8 is a view showing a state of measuring the short circuit of the electrode pattern by the electrode pattern inspection apparatus of the plasma display panel according to the present invention.

도 9는 본 발명에 의한 자기헤드에 의해 도 8에서 전극패턴의 단락여부를 측정하는 자속의 변화를 나타낸 그래프이다.9 is a graph illustrating a change in magnetic flux for measuring whether an electrode pattern is shorted in FIG. 8 by the magnetic head according to the present invention.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawings-

10 : 상판 글라스 11 : 하판 글라스10 top glass 11 bottom glass

10a,10b,11a,11b : 전극패턴 10c,11c : 콘넥터 전극10a, 10b, 11a, 11b: electrode pattern 10c, 11c: connector electrode

51, 52 : 제 1내지 제 2쇼트바 53 : 전원전압 발생부51, 52: first to second short bar 53: power supply voltage generator

54,55,56 : 자기헤드54,55,56: Magnetic head

상기와 같은 목적을 실현하기 위한 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치는 다수개의 콘넥터 전극이나 다수개의 전극패턴에 동시에 전원을 인가하기 위한 전원인가장치와, 전극패턴의 방향과 수직하도록 스캔하면서 전극패턴에 의해 발생되는 자기장을 관찰하기 위한 자기헤드로 이루어진 것을 특징으로 한다.An electrode pattern inspection apparatus of a plasma display panel using a magnetic head for realizing the above object is a power supply device for simultaneously applying power to a plurality of connector electrodes or a plurality of electrode patterns, and to scan perpendicular to the direction of the electrode pattern While it is characterized in that the magnetic head for observing the magnetic field generated by the electrode pattern.

또한, 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 방법은 일측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하고 타측의 모든 전극패턴에 전원을 인가하여 자기장의 발생상태를 자기헤드로 스캔하면서 측정하여 개방여부를 측정하고,양측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하여 자기장의 발생상태를 자기헤드로 스캔하면서 측정하여 단락여부를 측정하는 것을 특징으로 한다.In addition, the method of inspecting the electrode pattern of the plasma display panel using the magnetic head applies power to all the connector electrodes on one side and power to all the electrode patterns on the other side, and scans the state of magnetic field while scanning the magnetic head to determine whether it is open. Measure and measure the presence or absence of a short circuit by applying power to all of the connector electrodes on both sides and scanning while generating the magnetic field with the magnetic head.

위와 같이 이루어진 본 발명은 전극패턴에 전원을 인가할 경우 전극패턴에 전류가 흐름에 따라 발생하는 자기장의 발생상태를 전극패턴의 방향과 수직방향으로 자기헤드를 스캔하면서 관찰함으로써 전극패턴의 개별적인 접촉없이 동시에 쇼트바에 의해 접촉하여 측정하으로써 전극패턴의 규격변화에도 장비의 교체없이 용이하게 측정할 수 있다.When the power is applied to the electrode pattern according to the present invention, the magnetic field generated as the current flows in the electrode pattern is observed while the magnetic head is scanned in a direction perpendicular to the direction of the electrode pattern, without the individual contact of the electrode pattern. At the same time, by measuring by contact with the short bar, it is easy to measure the change of the standard of the electrode pattern without changing the equipment.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, the present embodiment is not intended to limit the scope of the present invention, but is presented by way of example only and the same parts as in the conventional configuration using the same reference numerals and names.

도 5는 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 개방여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.5 is a view showing a state of measuring the opening of the electrode pattern by the electrode pattern inspection apparatus of the plasma display panel according to the present invention.

(가)에 도시된 바와 같이 상판 글라스(10)의 일측의 전극패턴(10a)에 제 1쇼트바(51)를 통해 모두 접속시키고, 전극패턴(10a)에 연장된 타측의 콘넥터 전극(10c)에 제 2쇼트바(52)를 통해 모두 접속시킨다. 그리고, 제 1쇼트바(51)와 제 2쇼트바(52)에 전원전압(V)을 인가하기 위한 전원전압 발생부(53)가 설치된다.As shown in (a), all of the electrode patterns 10a on one side of the upper plate glass 10 are connected to each other through the first short bar 51 and the connector electrodes 10c on the other side extending to the electrode patterns 10a. All of them are connected via the second short bar 52. Then, a power supply voltage generator 53 for applying a power supply voltage V to the first short bar 51 and the second short bar 52 is provided.

또한, 전극패턴의 방향과 수직한 방향으로 스캔하여 전극패턴에 흐르는 전류에 의해 형성되는 자기장을 측정하기 위한 자기헤드(54)가 설치된다.In addition, a magnetic head 54 for scanning a magnetic field formed by a current flowing through the electrode pattern by scanning in a direction perpendicular to the direction of the electrode pattern is provided.

(나)는 자기헤드의 진행방향과 구체적인 형상을 나타낸 도면이다.(B) is a figure which shows the advancing direction and the specific shape of a magnetic head.

본 실시예에서는 자기헤드로써 토로이들(toroidal)형을 사용했으나 자기장의 세기를 측정하기 위한 홀센서 등 다른 타입의 자기헤드를 사용할 수 있다.In this embodiment, a toroidal type is used as the magnetic head, but other types of magnetic heads such as a hall sensor for measuring the strength of the magnetic field may be used.

여기에 도시된 바와 같이 전극패턴이 x축 방향으로 배선되어 있을 때 자기헤드(54)를 y축 방향으로 스캔하면서 자속에 의해 자기헤드(54)에 발생되는 유도기전력의 세기에 따라 전극패턴에서 발생되는 자기장이 세기를 측정하게 된다.As shown here, when the electrode pattern is wired in the x-axis direction, it is generated in the electrode pattern according to the intensity of induced electromotive force generated in the magnetic head 54 by the magnetic flux while scanning the magnetic head 54 in the y-axis direction. The resulting magnetic field will measure the intensity.

도 6은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴에 형성되는 자기장의 분포를 나타낸 도면이다.6 is a diagram illustrating a distribution of a magnetic field formed in an electrode pattern of a plasma display panel.

여기에 도시된 자기장 분포도는 도 5의 I-I'선 단면도에서 검게 표시된 전극패턴에 전류가 흐르는 상태에서의 자기장 분포도이다.The magnetic field distribution diagram shown here is a magnetic field distribution diagram in a state in which current flows through the electrode pattern shown in black in the sectional view taken along line II ′ of FIG. 5.

이와 같이 자기장은 전극패턴의 주위를 돌면서 형성되기 때문에 자속의 세기는 전류가 흐르는 전극패턴에서 강하게 나타나고 전류가 흐르지 않는 전극패턴에서는 약하게 나타난다.As the magnetic field is formed around the electrode pattern as described above, the intensity of the magnetic flux is strong in the electrode pattern through which current flows and weak in the electrode pattern through which current does not flow.

따라서, 도 5와 같이 전극패턴에 전원전압(V)을 인가한 상태에서 자기헤드(54)를 전극패턴의 방향과 수직인 y축 방향으로 스캔하면서 자속의 세기를 측정하면서 전극패턴의 개방여부를 측정하게 된다.Accordingly, as shown in FIG. 5, the magnetic head 54 is scanned in the y-axis direction perpendicular to the direction of the electrode pattern while the power supply voltage V is applied to the electrode pattern. Will be measured.

즉, 도 7의 (가)에 도시된 바와 같이 전극패턴이 정상일 경우에는 전류가 흐르는 전극패턴에서 자속이 세게 나타나고 전류가 흐르지 않는 전극패턴에서는 자속이 약하게 일정한 주기를 갖고 측정된다. 그러나, (나)에 도시된 바와 같이 전극패턴 'A'가 개방되었을 경우에는 일정한 주기로 측정되던 자속이 'A' 전극패턴 부분에서 강하게 측정되지 않고 약하게 측정됨으로써 'A' 전극패턴이 개방된 것을 측정하게 된다.That is, as shown in (a) of FIG. 7, when the electrode pattern is normal, the magnetic flux appears hard in the electrode pattern through which current flows, and the magnetic flux is measured at a weakly constant period in the electrode pattern through which current does not flow. However, as shown in (b), when the electrode pattern 'A' is opened, the magnetic flux measured at regular intervals is weakly measured instead of being strongly measured at the 'A' electrode pattern, thereby measuring that the 'A' electrode pattern is opened. Done.

도 8은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 단락여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.8 is a view showing a state of measuring the short circuit of the electrode pattern by the electrode pattern inspection apparatus of the plasma display panel according to the present invention.

상판 글라스(10)에 형성된 양측의 콘넥터 전극(10c)에 제 1쇼트바(51)와 제 2쇼트바(52)로 접속시킨 후 제 1쇼트바(51)와 제 2쇼트바(52)로 전원전압(V)을 인가하기 위한 전원전압 발생부(53)가 설치된다.The first short bar 51 and the second short bar 52 are connected to the connector electrodes 10c on both sides of the upper plate glass 10, and then to the first short bar 51 and the second short bar 52. A power supply voltage generator 53 for applying the power supply voltage V is provided.

이와 같이 양측의 콘넥터 전극(10c)으로 전원전압(V)을 인가하게 될 경우 상판 글라스(10)의 전극패턴(10a)은 하나 걸러 하나씩 좌측과 우측으로 콘넥터 전극(10c)이 각각 연장되어 형성되기 때문에 전류패스가 형성되지 않아 전류가 흐르지 않게 되어 자기장이 형성되지 않게 된다.When the power supply voltage V is applied to the connector electrodes 10c on both sides, the electrode patterns 10a of the upper glass 10 are formed by extending the connector electrodes 10c to the left and right sides, respectively. Therefore, no current path is formed, so no current flows, and no magnetic field is formed.

그러나, 전극패턴 'B'와 'B''간에 서로 단락되었을 경우에는 전류패스가 형성되는 라인을 따라 전류가 흐르면서 자기장이 형성되기 때문에 제 1자기헤드(55)와 제 2자기헤드(56)를 통해 자속의 세기를 측정함으로써 서로 단락된 전극패턴을 분별해 낼 수 있게 된다.However, when the electrode patterns 'B' and 'B' are shorted to each other, a magnetic field is formed while current flows along a line in which a current path is formed, so that the first magnetic head 55 and the second magnetic head 56 are formed. By measuring the intensity of the magnetic flux through it is possible to distinguish between the electrode patterns shorted to each other.

도 9의 (가)는 제 1자기헤드에 의해 측정한 자속의 세기 변화를 나타낸 그래프이고, (나)는 제 2자기헤드에 의해 측정한 자속의 세기 변화를 나타낸 그래프이다.9 (a) is a graph showing the change in intensity of the magnetic flux measured by the first magnetic head, (b) is a graph showing the change in intensity of the magnetic flux measured by the second magnetic head.

(가)에 나타난 바와 같이 제 1자기헤드에 의해 'B' 전극패턴에서 자속이 세게 측정되고, (나)에 도시된 바와 같이 제 2자기헤드에 'B'' 전극패턴에서 자속이 세게 측정되기 때문에 전극패턴 'B'와 'B''가 서로 단락된 것으로 측정하게 된다.As shown in (a), the magnetic flux is measured hard in the 'B' electrode pattern by the first magnetic head, and the magnetic flux is measured in the 'B' electrode pattern in the second magnetic head as shown in (b). Therefore, the electrode patterns 'B' and 'B' are shorted to each other.

상기한 바와 같이 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴에서 발생되는 자기장의 세기를 자기헤드로 전극패턴의 방향과 수직방향으로 스캔하면서 검사함으로써 전극패턴의 단락여부 및 개방여부를 빠른 속도로 용이하게 검사할 수 있는 이점이 있다.As described above, the present invention applies power to both ends of the electrode pattern of the plasma display panel, and then inspects the intensity of the magnetic field generated in the electrode pattern while scanning the magnetic head while scanning in the direction perpendicular to the direction of the electrode pattern. There is an advantage that can be easily checked at high speed whether or not and opening.

또한, 본 발명은 콘넥터 전극의 패턴 변화에도 전극패턴의 전기적인 특성을 테스트 할 때 쇼트바를 통해 전원전압을 인가하면 측정을 할 수 있기 때문에 검사 장비의 교체없이 동일한 장비로 측정할 수 있는 이점이 있다.In addition, the present invention has the advantage that can be measured with the same equipment without replacing the inspection equipment because the measurement can be performed by applying the power supply voltage through the short bar when testing the electrical characteristics of the electrode pattern even in the pattern change of the connector electrode .

또한, 본 발명은 쇼트바를 통해 전극패턴에 전원을 인가한 후 저가의 자기헤드로 전극패턴의 전기적인 특성을 테스트함으로써 PDP 전극패턴의 전극패턴 검사비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.In addition, the present invention has the advantage of reducing the electrode pattern inspection cost of the PDP electrode pattern by testing the electrical characteristics of the electrode pattern with a low-cost magnetic head after applying power to the electrode pattern through a short bar.

Claims (3)

다수개의 콘넥터 전극이나 다수개의 전극패턴에 동시에 전원을 인가하기 위한 전원인가장치와,A power supply device for simultaneously applying power to a plurality of connector electrodes or a plurality of electrode patterns; 전극패턴의 방향과 수직방향으로 스캔하면서 전극패턴에서 발생되는 자기장의 세기변화를 측정하기 위한 자기헤드Magnetic head for measuring the intensity change of the magnetic field generated in the electrode pattern while scanning in the direction perpendicular to the direction of the electrode pattern 로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치.Electrode pattern inspection apparatus of the plasma display panel using a magnetic head, characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서, 상기 전원인가장치는The apparatus of claim 1, wherein the power applying device is 상기 다수개의 콘넥터전극 및 상기 다수개의 전극패턴을 동시에 접속시키기 위한 제 1내지 제 2쇼트바와,First to second short bars for simultaneously connecting the plurality of connector electrodes and the plurality of electrode patterns; 상기 제 1내지 제 2쇼트바와 전원전압을 인가하기 위한 전원전압 발생부A power supply voltage generator for applying the power supply voltage to the first to second short bars. 로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치.Electrode pattern inspection apparatus of the plasma display panel using a magnetic head, characterized in that consisting of. 일측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하고 타측의 모든 전극패턴에 전원을 인가하여 전극패턴에서의 자기장의 세기를 자기헤드로 스캔하면서 측정하여 개방여부를 측정하고, 양측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하고 전극패턴에서의 자기장의 세기를 자기헤드로 스캔하면서 측정하여 단락여부를 측정하는 것Apply power to all of the connector electrodes on one side and power to all other electrode patterns on the other side to measure the strength of the magnetic field in the electrode pattern while scanning with the magnetic head to determine whether it is open, and apply power to all connector electrodes on both sides. And measuring the intensity of the magnetic field in the electrode pattern by scanning with the magnetic head to measure the short circuit 을 특징으로 한 자기헤드를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 방법Electrode pattern inspection method of plasma display panel using magnetic head
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