KR20010097852A - 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드, 그 제조방법 및잉크 토출방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 잉크를 공급하는 매니폴드, 토출될 잉크가 채워지는 잉크 챔버, 및 잉크를 상기 매니폴드로부터 상기 잉크 챔버로 공급하는 잉크 채널이 일체로 형성된 기판;상기 기판 상에 적층되고, 상기 잉크 챔버의 중앙부에 대응되는 위치에는 노즐이, 상기 잉크 채널의 중앙부에 대응되는 위치에는 잉크 채널 형성용 홈이 형성된 노즐판;상기 노즐판의 노즐을 둘러싸는 환상으로 형성된 히터; 및상기 히터와 전기적으로 연결되어 상기 히터에 전류를 인가하는 전극을 구비하고,상기 잉크 챔버는 그 형상이 실질적으로 반구형인 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 잉크 채널의 깊이는 상기 잉크 챔버의 깊이보다 얕은 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 잉크 챔버와 잉크 채널의 연결 부위에, 상기 잉크 채널의 바닥보다 높게 돌출된 버블 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 노즐의 가장자리에서 상기 잉크 챔버의 깊이 방향으로 연장된 버블 및 액적 가이드가 형성된 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 히터는 "Ω"자 모양인 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 히터는 원형인 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 기판은 결정방향이 (100)인 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제1항에 있어서, 상기 히터는 다결정 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 기판의 표면에 노즐판을 형성하는 단계;상기 노즐판 상에 환상의 히터를 형성하는 단계;상기 기판을 식각하여 잉크를 공급하는 매니폴드를 형성하는 단계;상기 노즐판 상에 상기 환상 히터와 전기적으로 연결되는 전극을 형성하는 단계;상기 환상 히터의 안쪽으로 상기 환상 히터의 직경보다 작은 직경으로 상기 노즐판을 식각하여 노즐을 형성하는 단계;상기 노즐에 의해 노출된 상기 기판을 식각하여, 상기 환상 히터의 직경보다 큰 직경을 가지고 실질적으로 반구형의 형상을 가지는 잉크 챔버를 형성하는 단계; 및상기 매니폴드와 잉크 챔버 사이의 기판을 그 표면쪽으로부터 식각하여 상기잉크 챔버와 상기 매니폴드를 연결하는 잉크 채널을 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 잉크 챔버를 형성하는 단계는,상기 노즐에 의해 노출된 상기 기판을 소정 깊이로 이방성 식각하는 단계; 및상기 이방성 식각에 이어 상기 기판을 등방성 식각하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 잉크 채널을 형성하는 단계는,상기 환상 히터의 바깥쪽에서 상기 매니폴드 쪽으로 상기 노즐판을 식각하여 상기 기판을 노출하는 홈을 형성하는 단계; 및상기 홈에 의해 노출된 상기 기판을 등방성 식각하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 잉크 챔버를 형성하는 단계와 상기 잉크 채널을 형성하는 단계는 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 잉크 챔버를 형성하는 단계는,상기 노즐에 의해 노출된 상기 기판을 소정 깊이로 이방성 식각하여 트렌치를 형성하는 단계;상기 이방성 식각된 기판의 전면에 소정 두께로 소정의 물질막을 증착하는 단계;상기 물질막을 이방성 식각하여 상기 트렌치의 바닥을 노출함과 동시에 상기 트렌치의 측벽에 상기 물질막의 스페이서를 형성하는 단계; 및상기 트렌치의 바닥에 노출된 상기 기판을 등방성 식각하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 히터는 "Ω"자 모양인 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 히터는 원형인 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드.
- 제9항에 있어서, 상기 기판은 결정방향이 (100)인 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제16항에 있어서, 상기 노즐판을 형성하는 단계는, 상기 실리콘 기판의 표면을 산화함으로써 실리콘 산화막으로 이루어진 노즐판을 형성하는 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 히터는 다결정 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 제조방법.
- 버블 젯 방식으로 잉크를 토출하는 잉크 젯 프린트 헤드의 잉크 토출방법에 있어서,잉크가 채워진 잉크 챔버의 내부에 버블을 생성하되, 상기 버블이 노즐을 중심으로 실질적으로 도우넛 모양이 되도록 생성하는 것을 특징으로 하는 잉크 젯 프린트 헤드의 잉크 토출방법.
- 제19항에 있어서, 상기 도우넛 모양의 버블이 팽창하여 노즐 아래에서 합쳐져 토출되는 잉크 액적의 꼬리를 끊는 것을 특징으로 하는 잉크 젯 프린트 헤드의 잉크 토출방법.
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