KR20010085730A - 테스트 헤드를 핸들러에 연결하기 위한 기구 - Google Patents

테스트 헤드를 핸들러에 연결하기 위한 기구 Download PDF

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KR20010085730A
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오카모토가즈미
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나까무라 쇼오
안도덴키 가부시키가이샤
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Abstract

복잡한 조작을 하지 않고 단순히 테스트 헤드를 오토 핸들러에 연결만함으로써, 적합한 온도 환경에서 피측정 IC가 측정될 수 있다. 오토 핸들러는, 오토 핸들러에 있는 배관부와, 테스트 헤드에 있는 배관부를 통해 테스트 헤드에 연결된다. 오토 핸들러는 배관부를 통해 테스트 헤드로 건조 공기를 공급함으로써 피측정 IC의 측정 환경을 유지하는 건조 공기 공급 장치를 구비한다. 오토 핸들러는 리드 홀을 구비하며, 한편 테스트 헤드는 오토 핸들러 및 테스트 헤드가 서로 연결될 때, 상기 리드 홀로 안내하는 접속공(孔)을 구비하고 있다.

Description

테스트 헤드를 핸들러에 연결하기 위한 기구{MECHANISM FOR CONNECTING TEST HEAD TO HANDLER}
본 발명은 집적 회로(이하, 간단히 "IC"라 부른다)를 시험하는 테스트 헤드와, 테스트 헤드의 시험 결과에 따라 IC를 분류하는 저온 측정 기능을 가진 오토 핸들러를 연결하는 테스트 헤드의 접속 기구에 관한 것이다.
IC 테스터에 접속되는 오토 핸들러로서, 피측정 IC를 냉각하여 저온 환경에서의 전기적 특성을 측정하는 저온 측정 기능을 가진 오토 핸들러(이하, 간단히 "저온 핸들러"라 한다)가 있다. 또한 저온 핸들러는 저온 환경에서의 피측정 IC의 측정시에, 테스트부(여기서는 항온조 내의 측정 박스) 내에서 서리가 형성되지 않도록 테스트부에 건조 공기를 공급하는 건조 공기 공급 장치에 관한 것이다.
상기 저온 핸들러를 구비한 종래의 IC 테스트 시스템의 일예를 도 3 및 도 4(A) 및 4(B)에 도시한다. 또한 도 4(A)는 저온 핸들러와 테스트 헤드가 분리되어 있는 상태를 도시한 도면이고, 도 4(B)는 저온 핸들러와 테스트 헤드가 접속된 상태를 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4(A), 4(B)에 도시된 IC 테스트 시스템(1)은, 테스트 헤드(2)와 저온 핸들러(3)를 구비하고 있다. 테스트 헤드(2)에는 측정 박스(21)가 설치되고, 측정 박스(21)의 상면에는 IC 소켓(23)을 가지는 컨택트 보드(24)가 탑재되어 있다. 컨택트 보드(24)에는 접속 커넥터(25)를 통해 접속 케이블(28)이 연결되고, 접속 케이블(28)은 케이블 출구용 패킹(29a; 도 3 중앙의 파단도 참조)으로 밀폐되며 기판(29)을 관통하여 테스트 헤드 본체(20)에 접속되어 있다. 또한 측정 박스(21)에는 배관 호스(27)를 통해 건조 공기 공급 장치로부터 건조 공기를 흡입하는 서리 형성 방지를 위한 공기의 흡입구(26)가 형성되어 있다. 저온 핸들러(3)는 항온조(31), 이동용 캐리어(32), 컨택트 푸셔(33), 건조 공기 공급 장치(도시 생략)에 접속된 배관 호스(35; 도 4 참조)를 구비하고 있다.
상기 IC 테스트 시스템(1)에서, IC를 측정할 때는, 저온 핸들러(3)측으로 테스트 헤드(2)를 이동하고, 측정 박스(21)를 저온 환경으로 유지하는 항온조(31) 내에 삽입함으로써, 테스트 헤드(2)와 저온 핸들러(3)를 접속한다(도 4(B) 참조). 그리고, 항온조(31)에서 이동용 캐리어(32)에 의해 이송된 피측정 IC의 리드를 컨택트 푸셔(33)에 의해 IC 소켓(23)의 접촉자로 압접하여 저온 상태에서의 전기적 특성을 측정한다. 이 때, 배관 호스(27)와 배관 호스(35)를 저온 핸들러(3) 및 테스트 헤드(2)의 각각의 외부에서, 중계 커넥터(37)를 통해 접속한다. 접속된 배관 호스(27, 35)를 통해 측정 박스(21)에 건조 공기 공급 장치로부터 건조 공기가 송입됨으로써, IC 측정시에 접속 케이블(28)과 패킹(29a)부근에서 측정 박스(21) 내로 진입하는 외기의 수분을 억제하여, 측정 박스(21) 내에서의 서리 형성이 방지된다.
종래의 IC 테스트 시스템에서, 측정 박스의 배관 호스와 저온 핸들러에서의 배관 호스의 접속은, 테스트 헤드 및 저온 핸들러의 접속과는 별도로 중계 커넥트를 통해 행해지고 있기 때문에, 테스트 헤드와 저온 핸들러의 착탈시, 테스트 헤드 및 저온 핸들러의 착탈 작업과는 별도로 배관 호스(27, 35)끼리의 착탈 작업을 해야만 하는 번거러움이 있다. 또한 접속시에 배관 호스끼리의 접속을 잊어버리는 수도 있다.
저온 핸들러로부터 테스트 헤드를 분리할 때, 배관 호스(27, 35)끼리의 분리를 망각하면, 테스트 헤드측의 배관 호스(27)가 저온 핸들러측의 배관 호스(35)를 인장하게 되어, 배관 호스(27, 35)에 트러블이 생기는 일이 있다. 또한, 테스트 헤드를 이동시킬 때, 측정 박스에 접속되어 있는 배관 호스를 주의해야만 하는데 이런 작업은 번거롭다.
본 발명의 과제는, IC의 저온 측정이 가능한 IC 테스트 시스템에서, 번거로운 작업이 필요없이, 저온 핸들러에 테스트 헤드를 접속하는 것만으로 피측정 IC를 양호한 온도 환경에서 측정 가능하도록 한다.
이상의 과제를 해결하기 위해, 예를 들면, 도 1에 도시한 바와 같이, 저온 측정 기능을 가진 오토 핸들러(8)에 테스트 헤드(6)를 접속하는 테스트 헤드의 접속 기구에 있어서, 상기 오토 핸들러는 상기 테스트 헤드와 배관부(예를 들면, 오토 핸들러측 배관부(9)와 테스트 헤드측 배관부(10))를 통해 연결되며, 상기 배관부를 통해 상기 테스트 헤드에 서리 형성 방지 유체를 송출함으로써, 상기 피측정 IC의 측정 환경을 유지하는 유체 공급 수단(89)이 설치되며, 상기 배관부는 상기 오토 핸들러에 설치된 제1 배관부(9)와, 상기 테스트 헤드에 설치되어 상기 제1 배관부와 접속하는 제2 배관부(10)을 가지며, 상기 제1 및 제2 배관부는, 상기 오토 핸들러에 상기 테스트 헤드를 접속할 때, 서로 접속되는 배관 접속구(예를 들면, 접속공(77), 연통공(851))를 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 유체는 피측정 IC 측정시에 측정 환경을 원하는 측정 환경으로 유지하기 위해 상기 테스트 헤드에 공급되어 서리 형성을 방지하는 것이라면, 어떠한 것이라도 좋다. 예를 들면, 외기가 진입하여 테스트 헤드 내에 발생하는 서리 형성을 방지하기 위한 건조 공기를 들 수 있다.
테스트 헤드와 오토 핸들러를 접속함과 동시에 배관 접속구끼리 서로 접속되어, 상기 제1 및 제2 배관부가 접속된 상태로 된다.
따라서 테스트 헤드와 오토 핸들러를 접속하는 것만으로, 상기 테스트 헤드에 유체 공급 수단으로부터 서리 형성 방지 유체, 예를 들면, 압축성 서리 형성 방지 유체가 공급되며, 소정의 측정 환경이 유지된 상태에서 상기 테스트 헤드에 의해 피측정 IC의 전기적 특성을 측정할 수 있다.
결국, 상기 테스트 헤드와 오토 핸들러의 접속 작업 외이도, 상기 테스트 헤드에 상기 기체를 공급하기 위해 상기 기체 공급 장치와 상기 테스트 헤드를 접속하는 작업이 불필요하다. 따라서, 종래와 같이, 기체 공급 장치와 오토 핸들러를 접속하는 배관 호스끼리의 접속 망각이나, 상기 오토 핸들러와 테스트 헤드를 분리할 때, 각각의 배관 호스가 성가시게 되는 일이 없다. 특히, 오토 핸들러로부터의 분리나 오토 핸들러와 접속할 때의 테스트 헤드 이동시, 배관 호스가 번거롭게 되는 일이 없이 상기 테스트 헤드와 오토 핸들러를 용이하고 원활하게 접속할 수 있다. 또한 종래와 달리, 테스트 헤드와 오토 핸들러를 분리할 때, 상기 테스트 헤드로의 기체 공급을 위한 배관의 분리 작업을 망각해도 배관을 손상하는 일이 없다.
저온 핸들러와 테스트 헤드의 접속 기구에서, 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트 헤드는 항온조 내에 삽입되어 피측정 IC에 전기적으로 접속되는 IC 소켓이 설치된 측정 박스를 구비하며,
상기 측정 박스가 상기 항온조에 삽입될 때, 서로 접촉하는 컨택트부(예를 들면, 기판부(73)의 에지부(73a)과 컨택트 블록(85)의 아랫면(85a))을 구비하며,
상기 컨택트부에서, 상기 오토 핸들러측에 설치된 핸들러측의 배관 접속구와, 상기 테스트 헤드측에 설치된 테스트 헤드측의 배관 접속구가 연결되는것을 특징으로 한다.
상기 핸들러측의 배관 접속구와 테스트 헤드측의 배관 접속구가 상기 컨택트부에서 연결되기 때문에, 상기 IC 소켓을 구비한 측정 박스가 상기 항온조 내에 삽입될 때, 상기 유체 공급 수단과 테스트 헤드가 상기 제1 및 제2 배관부를 통해 접속된 상태로 되며 전술한 바의 효과를 얻을 수 있다.
저온 핸들러와 테스트 헤드의 접속 기구에 있어서, 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 유체 공급 수단에 의해 상기 테스트 헤드에 공급되는 유체는 건조 공기인 것을 특징으로 한다.
상기 테스트 헤드와 저온 핸들러를 접속하는 것만으로, 상기 테스트 헤드로부터 피측정 IC의 전기적 특성을 측정할 때, 상기 테스트 헤드에 상기 유체 공급 수단으로부터 건조 공기가 공급되며, 상기 테스트 헤드에 외부의 외기가 진입함에 따라 발생하는 서리 형성을 방지할 수 있어, 양호한 저온 환경에서 상기 피측정 IC의 전기적 특성이 측정가능하다.
전술한 바의 저온 핸들러와 테스트 헤드의 접속 기구에서, 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 수평 반송식의 저온 측정 기능을 가진 오토 핸들러에 접속되는 테스트 헤드의 서리 형성을 방지하는 것을 특징으로 한다.
수평 반송식의 저온 측정 기능을 가진 오토 핸들러에 테스트 헤드를 접속하는 것만으로 상기 테스트 헤드의 서리 형성을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따라 테스트 헤드를 오토 핸들러에 연결하기 위한 접속 기구의 부분 파단 종단면도이다
도 2A 및 2B는 도 1의 테스트 헤드와 오토 핸들러의 접속 기구를 도시하며, 도 2A는 테스트 헤드와 오토 핸들러의 접합 부분에 대한 일부 파단한 종단면도이고, 도 2B는 기판 에지부의 평면도이다.
도 3은 종래의 테스트 헤드와 오토 핸들러의 접속 기구를 도시하며, 일부 파단한 종단면도이다.
도 4는 도 3의 IC 측정 장치에서 테스트 헤드와 오토 핸들러의 접속 동작을 도시하는 도면이다.
이하, 도 1, 2A 및 2B를 참조, 본 발명의 실시예 따른 테스트 헤드를 저온핸들러에 연결하기 위한 메커니즘에 관하여 설명한다.
도 1은 본 발명을 적용한 IC 테스트 시스템(5)을 도시하고 있다. IC 시스템은 피측정 IC의 전기적 특성을 측정하는 테스트 헤드(6) 및 이것과 접속되는 오토 핸들러(8)를 구비하고 있다. 본 실시예의 IC 테스트 시스템(5)의 오토 핸들러(8)는 피측정 IC를 냉각하고 저온 환경에서의 전기적 특성을 측정한다.
테스트 헤드(6)는 도시되지 않은 이동 가능한 지지 각대(脚臺)에 상하 운동 가능하게 부착된 테스트 헤드 본체(60)을 구비하고 있다. 도시되지는 않았지만 테스트 헤드(6)는 케이블을 통해 테스트 본체에 연결되며, 테스트 본체에는 제어 회로, 전원 회로 등이 수납된다. 또한 테스트 헤드(6)는 시험될 반도체 IC의 종류, 개수 등에 따라 다른 것으로 교환될 수 있다.
테스트 헤드 본체는 고정 부품(62)을 통해 그것에 부착되는 측정 박스(7)를 구비한다.
측정 박스(7)는 항온조(81)에 삽입된다. 측정 박스(7)는 컨택트 보드(72)가 탑재되는 박스 본체부(70)를 구비하고 있으며, 또한 이 박스 본체부(70)의 바닥에는 박스 기판부(73; box 基板部)가 위치하고 있다. 측정 박스(7)의 상면에는, 컨택트 보드(72)가 피측정 IC와 전기적으로 연결되는 IC 소켓을 구비하고 있다.
컨택트 보드(72)의 아랫면 및 측정 박스 본체부(70) 내에는 접속 커넥터 (72a)가 설치되며, 이 접속 커넥터(72a)는 접속 케이블(64)의 일단(一端)과 연결된다.
접속 케이블(64)은 측정 박스(7)의 바닥을 구성하는 기판부(73)의 개구부(731)를 통과하며, 타단(他端)이 테스트 헤드 본체(60)에 접속되어 있다. 또한 이 테스틔 헤드 본체(60)는 도시 안된 테스터 본체 케이블을 통해 연결되어 있다.
개구부(731)에는 그 주변부를 따라 패킹(732)이 배치되어, 접속 케이블(64)과 개구부(731) 사이의 기밀성을 꾀하고 있다.
또한, 기판부(73)에는 기판부(73)의 하부에 설치된 박스 하부 배관부(95)에 연결된 복수의 통기공(733)이 형성되어 있다.
박스 하부 배관부(95)는 건조 공기 공급 장치(89; 기체 공급 장치)로부터 공급되는 건조 공기를 측정 박스(7) 내로 안내한다.
또한, 박스 하부 배관부(95)는 개구부(731)와 후술하는 홈부(735), 구멍부(76) 및 접속공(77; 테스트 헤드측 배관 접속구)과 함께 테스트 헤드측 배관부(10; 제1 배관부)를 구성하고 있다.
다시, 기판부(73)의 에지부(73a)는, 상부 박스 본체부(70)의 측면에서 측방으로 돌출해 있으며, 측정 박스(7)의 박스 본체부(70)가 항온조(81)에 삽입되었을 때, 후술하는 항온조(81)의 측벽부 하단부, 상세하게는 후술하는 컨택트 블록(85) 아랫면(85a)과 접촉하여 항온조(81)를 닫는다.
기판부(73)의 에지부(73a) 상면에는 상방으로 개구하는 홈부(735)가 형성되며, 홈부(735)의 박스 본체측(기판부(73)의 내측)의 단부(735a) 바닥면에는 기판부(73)를 관통하며, 또한 기판부(73)의 하부에서 박스 하부 배관부(95)의 기단부(95b; 基端部)가 접합되어 있는 구멍부(76)가 형성되어 있다.
홈부(735) 상부에는 플레이트(75)가 나사로 부착되어 있으며, 플레이트(75)에는 홈부(735)의 외측단부(735b) 상방에 위치하는 접속공(77)이 형성되어 있다. 이 접속공(77)은 기판부(73)의 에지부(73a)가 후술하는 컨택트 블록(85)의 아랫면(85a)에 접촉했을 때, 컨택트 블록(85)의 연통공(851)과 서로 연결된다.
또한, 플레이트는 홈부 상방 에지부의 기판부 상면에 형성된 노치부에 끼워 맞춰지며, 플레이트 상면과 기판부 상면이 거의 일치되어 있다. 또한, 플레이트에는 상면에서 후술하는 패킹이 놓여진다.
오토 핸들러는 액화 질소로 냉각된 공기를 휀으로 내부 순환시킴으로써 분위기가 일정 온도로 유지되는 항온조와, 피측정 IC를 지지하며, 또한 항온조 내를 이동시키는 이동용 캐리어와, 이동용 캐리어의 피측정 IC를 테스트 헤드측으로 밀어 누름으로써, 테스트 헤드의 IC 소켓에 접속시키는 컨택트 푸셔와, 건조 공기 공급 장치(89)에 접속되어 이 건조 공기 공급 장치(89)로부터 건조 공기를 안내하는 오토 핸들러측 배관부(9; 제2 배관부)를 구비하고 있다.
또한, 이동용 캐리어는, 도시되지 않은 오토 핸들러의 로더(loader)부에 의해 피측정 IC가 옮겨 탑재된다. 또한 건조 공기 공급 장치(89)는 저온 상태로 유지되는 항온조 내에서 피측정 IC의 전기적 특성을 측정할 때, 측정 박스에 건조 공기를 보내어, 항온조 내에서 측정 박스 내로 들어 오는 외기의 진입에 따라 발생하는 서리의 형성을 방지한다.
항온조의 아랫면에는 측정 박스가 삽입되는 개구부가 형성되어 있고, 이 개구부의 에지부를 구성하는 바닥판 에지부(81a)에는, 측벽의 아랫면 및 내측면에 따라 컨택트 블록이 설치되어 있다. 컨택트 블록은 아랫면에 외기 속의 수분의 진입을 방지하는 패킹을 구비하며, 또한 아랫면에서 테스트 헤드 측정 박스의 기판부 에지부 상면과 접촉한다.
또한, 항온조에서는 개구부로부터 테스트 헤드 측정 박스의 측정 박스 본체부가 내부에 삽입됨으로써, 피측정 IC의 측정이 행해진다. 즉, 항온조 내에서 이동용 캐리어에 의해 지지되는 피측정 IC는, 컨택트 푸셔에 의해 측정 박스 본체 상면의 IC 소켓의 접촉자에 압접(壓接)하여 IC 소켓에 접속됨으로써 전기적 특성을 측정한다.
오토 핸들러측의 배관부는 일단이 오토 핸들러에 설치된 건조 공기 공급 장치(89)에 접속된 직관부와, 이 직관부의 타단에 접속된 엘보관을 구비하며, 직관부, 엘보관 및 컨택트 블록 내에 형성된 연통부로 형성된다.
연통부는 컨택트 블록에서, 항온조의 바닥판 에지부 아랫면에 고정되는 상면에 형성된 홈형의 것이며, 개구부측에 외부와 연통되는 연통공과, 연통공에 연통되는 공기 흡입공을 구비하고 있다. 공기 흡입공에는 엘보관이 연결되며, 엘보관을 통해 직관부에서 이송되는 건조 공기가 연통공으로부터 외부로 흘러 나가도록 되어 있다.
이어서, 본 실시예의 동작을 설명한다.
오토 핸들러에 테스트 헤드를 접속한다. 상세하게는, 테스트 헤드를 오토 핸들러의 항온조 하부에서 소정의 위치에 배치한 후, 상승시켜 테스트 헤드 본체의 측정 박스를 개구부에서 항온조 내에 삽입한다.
그 때, 측정 박스의 기판부 에지부가 항온조의 바닥판 에지부에 설치된 컨택트 블록의 아랫면에 접촉함과 동시에, 컨택트 블록의 연통공과 기판부에 설치된 플레이트의 접속공이 서로 연결되어, 오토 핸들러측 배관부와 테스트 헤드측 배관부가 접속된다. 또한, 오토 핸들러와 테스트 헤드의 접합 부분에는, 패킹이 개재되어 있기 때문에, 이들 오토 핸들러와 테스트 헤드, 결국 항온조의 바닥판 에지부와 기판부 사이를 통해 외부로부터 항온조 내로 들어 오는 외기의 진입이 방지된다.
이와 같이, 오토 핸들러에 테스트 헤드를 접속만 하면, 건조 공기 공급 장치(89)로부터 건조 공기가 측정 박스로 공급 가능하게 되어, 종래의 다른 오토 핸들러와 테스트 헤드의 접속 작업뿐만아니라, 건조 공기를 측정 박스에 공급하기 위한 접속 작업이 불필요하게 된다. 따라서, IC 테스트 시스템에서의 피측정 IC의 측정을 위한 세팅 작업의 수고가 생략되고, 종래와 달리, 건조 공기를 공급할 때, 오토 핸들러측 배관과 테스트 헤드측 배관의 접속을 잊어버리는 일이 없이 원활하게 세팅할 수 있다.
또한, 오토 핸들러로부터 테스트 헤드를 분리할 때, 종래와 달리, 테스트 헤드의 분리 작업과는 별도로 건조 공기 공급을 위한 배관을 떼어내는 작업이 불필요하며, 테스트 헤드를 오토 핸들러로부터 분리할 때, 각각에 접속되어 있는 배관의 분리 작업을 망각하여 배관을 손상시키는 일이 없다.
또한 테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속 한다든가, 오토 핸들러로부터 분리하기 위해 테스트 헤드를 이동시킬 때, 종래와는 달리, 오토 핸들러측의 배관이나 테스트 헤드측의 배관에 의해 방해ㄹ르 받는 일이 없이 오토 핸들러에 테스트 헤드를 용이하게 접속할 수 있음과 동시에, 오토 핸들러로부터 테스트 헤드를 용이하게분리할 수 있다.
전술한 설명으로부터, 이 기술에 숙련된 사람들은 본 발명의 핵심적인 특성들을 쉽게 알아낼 수 있으며, 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않고도 다양한 용도와 조건에 적응시키기 위해 본 발명을 변경 및 수정할 수 있다.
참고용으로 일본 특허 제2000-54014호 (2000년 2월 29일 출원)의 명세서, 특허 청구범위, 도면 및 요약을 포함한 공개된 전체 내용이 여기에 포함되었다.
결국, 상기 테스트 헤드와 오토 핸들러의 접속 작업 외에도, 상기 테스트 헤드에 상기 기체를 공급하기 위해 상기 기체 공급 장치와 상기 테스트 헤드를 접속하는 작업이 불필요하다. 따라서, 종래와 같이, 기체 공급 장치와 오토 핸들러를 접속하는 배관 호스끼리의 접속 망각이나, 상기 오토 핸들러와 테스트 헤드를 분리할 때, 각각의 배관 호스가 성가시게 되는 일이 없다. 특히, 오토 핸들러로부터의 분리나 오토 핸들러와 접속할 때의 테스트 헤드 이동시, 배관 호스가 번거롭게 되는 일이 없이 상기 테스트 헤드와 오토 핸들러를 용이하고 원활하게 접속할 수 있다. 또한 종래와 달리, 테스트 헤드와 오토 핸들러를 분리할 때, 상기 테스트 헤드로의 기체 공급을 위한 배관의 분리 작업을 망각해도 배관을 손상하는 일이 없다.
상기 핸들러측의 배관 접속구와 테스트 헤드측의 배관 접속구가 상기 컨택트부에서 연결되기 때문에, 상기 IC 소켓을 구비한 측정 박스가 상기 항온조 내에 삽입될 때, 상기 유체 공급 수단과 테스트 헤드가 상기 제1 및 제2 배관부를 통해 접속된 상태로 되며 전술한 바의 효과를 얻을 수 있다.
상기 테스트 헤드와 저온 핸들러를 접속하는 것만으로, 상기 테스트 헤드로부터 피측정 IC의 전기적 특성을 측정할 때, 상기 테스트 헤드에 상기 유체 공급 수단으로부터 건조 공기가 공급되며, 상기 테스트 헤드에 외부의 외기가 진입함에 따라 발생하는 서리 형성을 방지할 수 있어, 양호한 저온 환경에서 상기 피측정 IC의 전기적 특성이 측정 가능하다.
전술한 바의 저온 핸들러와 테스트 헤드의 접속 기구에서, 예들 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 수평 반송식의 저온 측정 기능을 가진 오토 핸들러에 접속되는 테스트 헤드의 서리 형성을 방지할 수 있다.

Claims (7)

  1. 테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속하기 위한 기구로서,
    상기 테스트 헤드를 상기 오토 핸들러에 접속하기 위한 배관, 및
    상기 배관을 통하여 상기 테스트 헤드에 유체를 공급하여 피측정 IC를 위한 측정 환경을 유지하기 위해, 또한 서리 형성을 방지하기 위해 유체를 공급하기 위한 유체 공급 수단을 포함하며,
    상기 배관은 상기 오토 핸들러에 제공되며, 제1 배관 접속구를 구비하는 제1 배관부, 상기 테스트 헤드에 제공되어 상기 제1 배관부와 연결되며, 상기 테스트 헤드가 상기 오토 핸들러에 연결될 때, 상기 제1 배관 접속구와 연결되는 제2 배관 접속구를 구비하는 제2 배관부를 포함한다.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 오토 핸들러는 항온조를 포함하며,
    상기 테스트 헤드는 상기 항온조에 삽입되는 측정 박스를 포함하며,
    상기 측정 박스는 피측정 IC와 전기적 접촉을 하는 IC 소켓을 구비하며,
    상기 측정 박스는 상기 항온조 내에 삽입될 때, 상기 오토 핸들러의 제1 배관 접속구 및 상기 테스트 헤드의 제2 배관 접속구는 상기 항온조와 상기 측정 박스 사이의 컨택트부에서 서로 연결되는
    테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속하기 위한 기구.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유체 공급 수단으로부터 상기 테스트 헤드로 공급되는 유체가 건조 공기를 포함하는
    테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속하기 위한 기구.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 오토 핸들러는 수평식 컨베이어이고, 저온 유지 기능을 구비하며, 상기 오토 핸들러에 연결된 상기 테스트 헤드에서의 서리 형성이 방지되는
    테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속하기 위한 기구.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 배관 접속구는 상기 오토 핸들러의 항온조에 배치된 블록 내에 형성되며, 제2 배관 접속구는 상기 테스트 헤드의 기판에 형성되는
    테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속하기 위한 기구.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 피측정 IC를 측정하기 위한 상기 테스트 헤드는 상기 피측정 IC와 전기적으로 접촉되어 있는 IC 소켓을 구비하는 측정 박스를 포함하며,
    상기 제1 배관 접속구는 상기 오토 핸들러의 항온조에 일체 구조로 형성되며, 상기 제2 배관 접속구는 상기 테스트 헤드의 기판에 일체 구조로 형성된
    테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속하기 위한 기구.
  7. 테스트 헤드를 오토 핸들러에 접속하기 위한 기구로서,
    상기 테스트 헤드를 상기 오토 핸들러에 접속하기 위한 배관, 및
    상기 배관을 통하여 상기 테스트 헤드에 유체를 공급하여 피측정 IC를 위한 측정 환경을 유지하기 위한 유체 공급 수단을 포함하며,
    상기 배관은 상기 오토 핸들러에 제공되며, 제1 배관 접속구를 구비하는 제1 배관부, 상기 테스트 헤드에 제공되어 상기 제1 배관부와 연결되며, 상기 테스트 헤드가 상기 오토 핸들러에 연결될 때, 상기 제1 배관 접속구와 연결되는 제2 배관 접속구를 구비하는 제2 배관부를 포함한다.
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