KR20010060819A - Structure of anode substrate in fed and method for manufacturing the same - Google Patents

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KR20010060819A
KR20010060819A KR1019990063261A KR19990063261A KR20010060819A KR 20010060819 A KR20010060819 A KR 20010060819A KR 1019990063261 A KR1019990063261 A KR 1019990063261A KR 19990063261 A KR19990063261 A KR 19990063261A KR 20010060819 A KR20010060819 A KR 20010060819A
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성운철
고익환
이교웅
고영욱
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박종섭
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    • H01J2329/32Means associated with discontinuous arrangements of the luminescent material
    • H01J2329/326Color filters structurally combined with the luminescent material

Abstract

PURPOSE: An anode plate structure of a field emission display device and a method for manufacturing the same are provided to reduce a manufacturing time by omitting a black matrix formation process and processes for applying, exposing, and developing fluorescent material. CONSTITUTION: An ITO(Indium Tin Oxide) layer is deposited on one surface of a substrate(11). An anode electrode(12) is formed by pattering a part of the ITO layer. A white fluorescent material(13) is applied on an upper portion of the anode electrode(12). A color filter plate(14) is adhered on the other surface of the substrate(11). The color filter plate(14) is formed with a black matrix(15), a red filter(16a), a green filter(16b), and a green filter(16c).

Description

전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물 및 그 제조방법{STRUCTURE OF ANODE SUBSTRATE IN FED AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}An anode substrate structure of a field emission display device and a method of manufacturing the same TECHNICAL FIELD

본 발명은 전계 방출 표시 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a field emission display device and a method of manufacturing the same, and more particularly to an anode substrate structure of the field emission display device and a method of manufacturing the same.

일반적으로 전계 방출 표시 소자(Field Emission Display device)는전자총(electron gun), 마이크로 웨이브 튜브(microwave tubes), 이온 소스(ion source), 스캐닝 터널링 마이크로스코프(scanning tunneling microscope)등의 장치에 표시 패널로 이용된다.Field emission display devices are typically used as display panels in devices such as electron guns, microwave tubes, ion sources, scanning tunneling microscopes, and the like. Is used.

이러한 전계 방출 표시 소자는 캐소드 전극을 포함하는 캐소드 기판과, 캐소드 기판과 대향하며 애노드 전극을 포함하는 애노드 기판과, 캐소드 기판과 애노드 기판 사이의 진공갭을 포함한다. 여기서, 하부 기판판에는 게이트 전과, 캐소드 전극 상부에 형성되며 전자를 방출하는 다수개의 에미터 팁이 구비된다. 한편, 상부 기판에는 애노드 전극과, 그 상부에 형광체가 구비되어, 하부 기판의 에미터 팁으로 부터 전자가 방출되면 형광체가 발광되어, 디스플레이를 실현한다.The field emission display device includes a cathode substrate including a cathode electrode, an anode substrate facing the cathode substrate and including an anode electrode, and a vacuum gap between the cathode substrate and the anode substrate. Here, the lower substrate plate is provided with a plurality of emitter tips formed before the gate and above the cathode electrode to emit electrons. On the other hand, the upper substrate is provided with an anode electrode and a phosphor on the upper portion thereof, and when electrons are emitted from the emitter tip of the lower substrate, the phosphor emits light, thereby realizing a display.

도 1은 일반적인 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판을 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an anode substrate of a general field emission display device.

도 1을 참조하여, 애노드 기판(1)의 하부 기판(도시되지 않음)과 대향되는 면에 ITO(indium tin oxide)층을 증착한다음 소정 부분 패터닝하여, 애노드 전극(2)을 형성한다. 그 다음, 애노드 전극(2) 상부에 불투명 금속 또는 수지막을 형성한다음, 매트릭스 형태로 패터닝하여 블랙 매트릭스(3)를 형성한다. 그 다음, 레드 형광체를 도포한다음, 적소의 블랙 매트릭스(3)로 한정된 공간에 배치하도록 노광 및 현상하여 레드 형광 패턴(4a)을 형성한다. 이어서, 레드 형광 패턴(4a)이 형성된 애노드 기판(1)의 대향면에 그린 형광 패턴(4b) 및 블루 형광 패턴(4c)을 레드 형광 패턴(4a)을 형성하는 방식과 동일한 방식으로 각각 형성한다.Referring to FIG. 1, an indium tin oxide (ITO) layer is deposited on a surface of the anode substrate 1 opposite to a lower substrate (not shown), and then partially patterned to form an anode electrode 2. Then, an opaque metal or resin film is formed on the anode electrode 2, and then patterned into a matrix to form a black matrix 3. Then, the red phosphor is applied, and then exposed and developed so as to be disposed in the space defined by the black matrix 3 in place, thereby forming the red phosphor pattern 4a. Subsequently, the green fluorescence pattern 4b and the blue fluorescence pattern 4c are formed on the opposite surface of the anode substrate 1 on which the red fluorescence pattern 4a is formed in the same manner as the red fluorescence pattern 4a. .

그러나, 상술한 바와 같이, 블랙 매트릭스(3)를 형성한다음, 레드 형광패턴(4a), 그린 형광 패턴(4b) 및 블루 형광 패턴(4c)을 각기 도포, 노광, 현상의 공정을 진행하여 개별적으로 형성하게 되면, 공정 단계가 증가되어, 제조 공정 시간이 길어지게 된다.However, as described above, the black matrix 3 is formed, and then the red fluorescence pattern 4a, the green fluorescence pattern 4b and the blue fluorescence pattern 4c are applied, exposed and developed, respectively. If formed as, the process step is increased, the manufacturing process time becomes longer.

더욱이, 블랙 매트릭스(3), 레드 형광 패턴(4a), 그린 형광 패턴(4b) 및 블루 형광 패턴(4c)을 기판 표면에 각각의 공정으로 형성하게 되면, 정확한 위치에 얼라인하는데 어려움이 있어, 오정렬의 위험이 높다.Furthermore, when the black matrix 3, the red fluorescent pattern 4a, the green fluorescent pattern 4b, and the blue fluorescent pattern 4c are formed on the substrate surface by respective processes, it is difficult to align the correct position. The risk of misalignment is high.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 제조 공정을 단축할 수 있는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물 제조방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an anode substrate structure of a field emission display device which can shorten the manufacturing process, to solve the above-mentioned conventional problems.

또한, 본 발명의 다른 목적은 오정렬이 발생되지 않는 전계 방출 표시 소자를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a field emission display device in which misalignment does not occur.

도 1은 종래의 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물의 평면도1 is a plan view of an anode substrate structure of a conventional field emission display device

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예를 설명하기 위한 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물을 나타낸 단면도.2A and 2B are cross-sectional views illustrating an anode substrate structure of a field emission display device for explaining an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물을 나타낸 단면도.3 and 4 are cross-sectional views showing the anode substrate structure of the field emission display device for explaining another embodiment of the present invention.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

11,21 - 기판 12,22 - 애노드 전극11,21-Substrate 12,22-Anode Electrode

13,23 - 형광체 14,24 - 컬러 필터판13,23-Phosphor 14,24-Color Filter Plate

15,25 - 블랙 매트릭스 16a,16b,16c,26a,26b,26c - 컬러 필터15,25-Black Matrix 16a, 16b, 16c, 26a, 26b, 26c-Color Filter

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일견지에 따르면, 두개의 표면을 갖는 기판; 상기 기판의 일표면에 투명 도전체로 형성된 애노드 전극; 상기 애노드 전극의 표면에 형성된 형광체; 및 상기 기판의 이표면에 부착되며, 블랙 매트릭스와 상기 블랙 매트릭스로 한정된 공간에 형성되면서 상기 형광체의 색과 합성하였을때 레드, 그린, 블루 색을 띠는 컬러 필터를 포함하는 컬러 필터판을 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, in accordance with one aspect of the present invention, a substrate having two surfaces; An anode formed of a transparent conductor on one surface of the substrate; A phosphor formed on a surface of the anode electrode; And a color filter plate attached to the back surface of the substrate, the color filter plate including a black matrix and a color filter formed in a space defined by the black matrix and having a red, green, and blue color when synthesized with the color of the phosphor. .

여기서, 상기 형광체는 백색 형광체이고, 상기 컬러 필터는 레드, 그린, 블루 컬러 필터인 것을 특징으로 한다 여기서,2 항에 있어서, 상기 백색 형광체는Y2O2S:Tb 물질, Y2O2S:Tb,Sm 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Ag 물질, (Ca,Mg)SiO3:Ti+CaSiO3:Pb 물질, ZnS:Ag+ZnS:Cu,Al 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Cu,Al 물질, ZnSiO4:Mn2+(As)+(Zn,Mg)3(PO3)2:Mn2++ZnS:Ag 물질, 및 ZnS:Ag + ZnSiO4 : Mn(As)+Y2O2S:Eu 물질 중 선택되는 하나의 물질이다. 상기 애노드 전극 및 형광체는 상기 컬러 필터들과 대응되는 부분에만 형성되는 것을 특징으로 한다.Here, the phosphor is a white phosphor, the color filter is characterized in that the red, green, blue color filter, wherein the white phosphor is Y 2 O 2 S: Tb material, Y 2 O 2 S: Tb, Sm material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Ag material, (Ca, Mg) SiO3: Ti + CaSiO3: Pb material, ZnS: Ag + ZnS: Cu, Al material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Cu, Al material ZnSiO4: Mn 2+ (As) + (Zn, Mg) 3 (PO3) 2: Mn 2+ + ZnS: Ag material, and ZnS: Ag + ZnSiO4: Mn (As) + Y2O2S: Eu material It is a substance. The anode electrode and the phosphor are formed only in a portion corresponding to the color filters.

또한, 본 발명의 다른 견지에 의하면, 두개의 표면을 갖는 기판의 일표면에 투명 도전체로 애노드 전극을 형성하는 단계; 상기 애노드 전극의 표면에 형광체를 형성하는 단계; 및 상기 기판의 이표면에, 블랙 매트릭스와 상기 블랙 매트릭스로 한정된 공간에 형성되면서 상기 형광체의 색과 합성하였을때 레드, 그린, 블루 색을 띠는 컬러 필터를 포함하는 컬러 필터판을 부착하는 단계를 포함한다.In addition, according to another aspect of the invention, the step of forming an anode electrode with a transparent conductor on one surface of the substrate having two surfaces; Forming a phosphor on a surface of the anode electrode; And attaching a color filter plate to a second surface of the substrate, the color filter plate including a color filter formed in a space defined by the black matrix and the black matrix and having a red, green, and blue color when synthesized with the color of the phosphor. Include.

여기서, 상기 형광체는 백색 형광체이고, 상기 컬러 필터는 레드, 그린, 블루 컬러 필터이다. 이러한 경우, 상기 백색 형광체는 Y2O2S:Tb 물질, Y2O2S:Tb,Sm 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Ag 물질, (Ca,Mg)SiO3:Ti+CaSiO3:Pb 물질, ZnS:Ag + ZnS:Cu,Al 물질, ZnS:Ag + (Zn,Cd)S:Cu,Al 물질, ZnSiO4:Mn2+(As) +(Zn,Mg)3(PO3)2:Mn2++ZnS:Ag 물질, 및 ZnS:Ag+ZnSiO4:Mn(As)+Y2O2S:Eu 물질 중 선택되는 하나의 물질로 형성된다.Here, the phosphor is a white phosphor, and the color filter is a red, green, blue color filter. In this case, the white phosphor is Y2O2S: Tb material, Y2O2S: Tb, Sm material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Ag material, (Ca, Mg) SiO3: Ti + CaSiO3: Pb material, ZnS: Ag + ZnS: Cu, Al material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Cu, Al material, ZnSiO4: Mn 2+ (As) + (Zn, Mg) 3 (PO3) 2: Mn 2+ + ZnS: Ag Material and ZnS: Ag + ZnSiO 4: Mn (As) + Y 2 O 2 S: Eu material.

아울러, 상기 백색 형광체는 스크린 프린터 방법, 전기 영동법, PVA(polyvinylalcohol) 슬러리 방법, 침전법, 이베포레이션(evaporation)법, 스퍼터링법 및 화학기상증착법 중 선택되는 하나의 방법으로 형성된다. 또한, 상기 컬러 필터판을 부착하는 단계 이후에, 애노드 전극 및 형광체를 상기 컬러 필터들과 대응되는 부분에만 존재하도록 소정 부분 패터닝하는 단계를 더 포함한다.In addition, the white phosphor is formed by one of a screen printer method, an electrophoresis method, a polyvinylalcohol (PVA) slurry method, a precipitation method, an evaporation method, a sputtering method, and a chemical vapor deposition method. In addition, after attaching the color filter plate, the method may further include patterning a predetermined portion of the anode electrode and the phosphor so that only the portion corresponding to the color filters exists.

본 발명에 의하면, 애노드 기판 일표면에 애노드 전극과 백색 형광체 또는 소정의 색을 발현하는 형광체를 도포하고, 상기 애노드 기판의 이표면에 상기 형광체 색과 합성하여, 레드, 그린, 블루색을 띠는 컬러 필터판을 부착한다. 이에따라, 블랙 매트릭스를 형성하는 공정과, 레드, 그린, 블루 형광체를 각각 도포, 노광 및 현상하는 공정을 줄일 수 있어, 공정이 단순화된다.According to the present invention, an anode electrode and a white phosphor or a phosphor expressing a predetermined color are applied to one surface of an anode substrate and synthesized with the phosphor color on the other surface of the anode substrate to have a red, green and blue color. Attach the color filter plate. Thereby, the process of forming a black matrix and the process of apply | coating, exposing, and developing a red, green, and blue fluorescent substance respectively can be reduced, and a process is simplified.

또한, 블랙 매트릭스 및 레드,그린 블루 필터가 형성된 컬러 필터를 부착하기만 하면 되므로, 공정을 진행할 때마다 얼라인 공정이 요구되지 않는다. 이에따라, 오정렬을 방지할 수 있다.In addition, since the color matrix having the black matrix and the red and green blue filters are attached, the alignment process is not required every time the process is performed. Accordingly, misalignment can be prevented.

(실시예)(Example)

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부한 도면 도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예를 설명하기 위한 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물을 나타낸 단면도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물을 나타낸 단면도이다.2A and 2B are cross-sectional views illustrating an anode substrate structure of a field emission display device for explaining an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are field emission views for explaining another embodiment of the present invention. It is sectional drawing which shows the anode substrate structure of a display element.

먼저, 도 2a를 참조하여, 기판(11)의 일 표면에 ITO층을 증착한후, 소정 부분 패터닝하여 애노드 전극(12)을 형성한다. 이때, 기판(11)의 일 표면은 이후 하부 캐소드 기판(도시되지 않음)과 대향되어질 면이다. 애노드 전극(12) 상부에 백색 형광체(13)을 도포한다. 이때, 백색 형광체(13)는 명칭에서 의미하는 바와 같이 백색을 발광하는 형광체로서, Y2O2S:Tb 물질, Y2O2S:Tb,Sm 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Ag 물질, (Ca,Mg)SiO3:Ti+CaSiO3:Pb 물질, ZnS:Ag+ZnS:Cu,Al 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Cu,Al 물질, ZnSiO4:Mn2+(As)+(Zn,Mg)3(PO3)2:Mn2++ZnS:Ag 물질, 및 ZnS:Ag+ZnSiO4:Mn(As)+Y2O2S:Eu 물질 중 선택되는 하나의 물질이 이용된다. 이러한 백색 형광체(13)는 스크린 프린터 방법, 전기 영동법, PVA(fullname 명기 요망) 슬러리 방법, 침전법, 이베포레이션(evaporation)법, 스퍼터링법 및 화학기상증착법 중 선택되는 하나의 방법으로 형성된다.First, referring to FIG. 2A, an ITO layer is deposited on one surface of the substrate 11, and then a predetermined portion is patterned to form the anode electrode 12. At this time, one surface of the substrate 11 is a surface to be opposed to the lower cathode substrate (not shown). The white phosphor 13 is coated on the anode electrode 12. At this time, the white phosphor 13 is a phosphor that emits white light, as the name implies, Y2O2S: Tb material, Y2O2S: Tb, Sm material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Ag material, (Ca, Mg ) SiO3: Ti + CaSiO3: Pb material, ZnS: Ag + ZnS: Cu, Al material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Cu, Al material, ZnSiO4: Mn 2+ (As) + (Zn, Mg) One material selected from 3 (PO3) 2: Mn 2+ + ZnS: Ag material, and ZnS: Ag + ZnSiO 4: Mn (As) + Y 2 O 2 S: Eu material is used. The white phosphor 13 is formed by one of a screen printer method, an electrophoresis method, a PVA (fullname desired) slurry method, a precipitation method, an evaporation method, a sputtering method, and a chemical vapor deposition method.

그 다음, 도 2b에 도시된 바와 같이, 기판(11)의 이표면에 액정 표시 장치등에 사용되는 컬러 필터판(14)을 부착한다. 여기서, 컬러 필터판(14)은 매트릭스 형태로 형성된 블랙 매트릭스(15)와, 블랙 매트릭스(15)로 한정된 공간내에 레드, 그린, 블루 필터(16a,16b,16c)가 각각 형성되어 있다.Then, as shown in Fig. 2B, a color filter plate 14 used for a liquid crystal display device or the like is attached to the other surface of the substrate 11. Here, the color filter plate 14 is formed of a black matrix 15 formed in a matrix form and red, green, and blue filters 16a, 16b, and 16c, respectively, in a space defined by the black matrix 15.

이에따라, 블랙 매트릭스 및 레드, 그린 블루 형광체를 각각 다수번의 공정을 통해 형성할 필요가 없게 되어, 공정이 단순화된다.Accordingly, the black matrix and the red and green blue phosphors do not need to be formed through a plurality of processes, respectively, thereby simplifying the process.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 색의 순도를 높이기 위하여, 컬러 필터판을 부착한 후에, 애노드 전극(12) 및 백색 형광체(13)를 레드, 그린, 블루 컬러 필터(16a,16b,16c)가 형성된 부분에 대응되도록 패터닝할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 3, in order to increase the purity of the color, after attaching the color filter plate, the anode electrode 12 and the white phosphor 13 are replaced with red, green, and blue color filters 16a, 16b, and 16c. ) May be patterned to correspond to the formed portion.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(21)의 일표면에 애노드 전극(22)을 형성한다음, 레드, 그린, 블루 중 선택된 어느 하나의 형광체(23)를 형성한다. 이때,본 실시예에서는 형광체(23)을 그린 형광체로 한다. 그후, 기판(21)의 이표면에 컬러 필터판(24)을 부착한다. 이때, 컬러 필터판(24)은 매트릭스 형태로 형성된 블랙 매트릭스(25)와, 블랙 매트릭스(25)로 둘러싸여진 부분에 그린색과 합성하여 레드색을 띠는 제 1 필터(26a)와, 백색을 띠는 제 2 필터(26b) 및 그린색과 합성하여 블루색을 띠는 제 3 필터(26c)를 포함한다. 이와같이 하여도 상기 실시예와 동일한 효과를 거둘 수 있다.In addition, as shown in FIG. 4, the anode electrode 22 is formed on one surface of the substrate 21, and then one phosphor 23 selected from red, green, and blue is formed. At this time, in the present embodiment, the phosphor 23 is used as the green phosphor. Thereafter, the color filter plate 24 is attached to the two surfaces of the substrate 21. In this case, the color filter plate 24 includes a black matrix 25 formed in a matrix form, a first filter 26a having a red color by combining with a green color in a portion surrounded by the black matrix 25, and white. The band includes a second filter 26b and a third filter 26c that is blue in combination with the green color. In this manner, the same effects as in the above embodiment can be obtained.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면, 애노드 기판 일표면에 애노드 전극과 백색 형광체 또는 소정의 색을 발현하는 형광체를 도포하고, 상기 애노드 기판의 이표면에 상기 형광체 색과 합성하여, 레드, 그린, 블루색을 띠는 컬러 필터를 부착한다. 이에따라, 블랙 매트릭스를 형성하는 공정과, 레드, 그린, 블루 형광체를 각각 도포, 노광 및 현상하는 공정을 줄일 수 있어, 공정이 단순화된다.As described in detail above, according to the present invention, an anode electrode and a white phosphor or a phosphor expressing a predetermined color are coated on one surface of an anode substrate, and the phosphor color is synthesized on the second surface of the anode substrate, thereby red. Attach green, blue color filters. Thereby, the process of forming a black matrix and the process of apply | coating, exposing, and developing a red, green, and blue fluorescent substance respectively can be reduced, and a process is simplified.

또한, 블랙 매트릭스 및 레드,그린 블루 필터가 형성된 컬러 필터를 부착하기만 하면 되므로, 공정을 진행할때마다의 얼라인 공정이 요구되지 않는다. 이에다라, 오정렬을 방지할 수 있다.In addition, since it is only necessary to attach a color filter on which a black matrix and a red and green blue filter are formed, an alignment process for each process is not required. In addition, misalignment can be prevented.

기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.In addition, this invention can be implemented in various changes within the range which does not deviate from the summary.

Claims (9)

두개의 표면을 갖는 기판;A substrate having two surfaces; 상기 기판의 일표면에 투명 도전체로 형성된 애노드 전극;An anode formed of a transparent conductor on one surface of the substrate; 상기 애노드 전극의 표면에 형성된 형광체; 및A phosphor formed on a surface of the anode electrode; And 상기 기판의 이표면에 부착되며, 블랙 매트릭스와 상기 블랙 매트릭스로 한정된 공간에 형성되면서 상기 형광체의 색과 합성하였을때 레드, 그린, 블루 색을 띠는 컬러 필터를 포함하는 컬러 필터판을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물.And a color filter plate attached to the back surface of the substrate, the color filter plate including a black matrix and a color filter formed in a space defined by the black matrix and having a red, green, and blue color when synthesized with the color of the phosphor. An anode substrate structure of a field emission display device. 제 1 항에 있어서, 상기 형광체는 백색 형광체이고, 상기 컬러 필터는 레드, 그린, 블루 컬러 필터인 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물.The anode substrate structure of claim 1, wherein the phosphor is a white phosphor, and the color filter is a red, green, or blue color filter. 제 2 항에 있어서, 상기 백색 형광체는 Y2O2S:Tb 물질, Y2O2S:Tb,Sm 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Ag 물질, (Ca,Mg)SiO3:Ti+CaSiO3:Pb 물질, ZnS:Ag+ZnS:Cu,Al 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Cu,Al 물질, ZnSiO4:Mn2+(As)+(Zn,Mg)3(PO3)2:Mn2++ZnS:Ag 물질, 및 ZnS:Ag+ZnSiO4:Mn(As)+Y2O2S:Eu 물질 중 선택되는 하나의 물질인 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물.The method of claim 2, wherein the white phosphor is Y2O2S: Tb material, Y2O2S: Tb, Sm material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Ag material, (Ca, Mg) SiO3: Ti + CaSiO3: Pb material, ZnS : Ag + ZnS: Cu, Al material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Cu, Al material, ZnSiO4: Mn 2+ (As) + (Zn, Mg) 3 (PO3) 2: Mn 2+ + ZnS An anode substrate structure of a field emission display device, characterized in that the material is one selected from: Ag material and ZnS: Ag + ZnSiO 4: Mn (As) + Y 2 O 2 S: Eu material. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 애노드 전극 및 형광체는 상기 컬러 필터들과 대응되는 부분에만 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물.The anode substrate structure of any one of claims 1 to 3, wherein the anode electrode and the phosphor are formed only in a portion corresponding to the color filters. 두개의 표면을 갖는 기판의 일표면에 투명 도전체로 애노드 전극을 형성하는 단계;Forming an anode electrode with a transparent conductor on one surface of the substrate having two surfaces; 상기 애노드 전극의 표면에 형광체를 형성하는 단계; 및Forming a phosphor on a surface of the anode electrode; And 상기 기판의 이표면에, 블랙 매트릭스와 상기 블랙 매트릭스로 한정된 공간에 형성되면서 상기 형광체의 색과 합성하였을때 레드, 그린, 블루 색을 띠는 컬러 필터를 포함하는 컬러 필터판을 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물의 제조방법.Attaching a color filter plate to a second surface of the substrate, the color filter plate including a color filter formed in a space defined by the black matrix and the black matrix, the color filter having a red, green, and blue color when synthesized with the color of the phosphor; A method of manufacturing an anode substrate structure of a field emission display device. 제 5 항에 있어서, 상기 형광체는 백색 형광체이고, 상기 컬러 필터는 레드, 그린, 블루 컬러 필터인 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물의 제조방법.6. The method of claim 5, wherein the phosphor is a white phosphor, and the color filter is a red, green, or blue color filter. 제 6 항에 있어서, 상기 백색 형광체는 Y2O2S:Tb 물질, Y2O2S:Tb,Sm 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Ag 물질, (Ca,Mg)SiO3:Ti+CaSiO3:Pb 물질, ZnS:Ag+ZnS:Cu,Al 물질, ZnS:Ag+(Zn,Cd)S:Cu,Al 물질, ZnSiO4:Mn2+(As)+(Zn,Mg)3(PO3)2:Mn2++ZnS:Ag 물질, 및 ZnS:Ag+ZnSiO4:Mn(As)+Y2O2S:Eu 물질 중 선택되는 하나의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물의 제조방법.The method of claim 6, wherein the white phosphor is Y2O2S: Tb material, Y2O2S: Tb, Sm material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Ag material, (Ca, Mg) SiO3: Ti + CaSiO3: Pb material, ZnS : Ag + ZnS: Cu, Al material, ZnS: Ag + (Zn, Cd) S: Cu, Al material, ZnSiO4: Mn 2+ (As) + (Zn, Mg) 3 (PO3) 2: Mn 2+ + ZnS A method for manufacturing an anode substrate structure of a field emission display device, characterized in that it is formed of one of a material selected from: Ag material and ZnS: Ag + ZnSiO4: Mn (As) + Y2O2S: Eu material. 제 6 항에 있어서, 상기 백색 형광체는 스크린 프린터 방법, 전기 영동법, PVA 슬러리 방법, 침전법, 이베포레이션(evaporation)법, 스퍼터링법 및 화학기상증착법 중 선택되는 하나의 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 애노드 기판 구조물의 제조방법.The method of claim 6, wherein the white phosphor is formed by one method selected from screen printer method, electrophoresis method, PVA slurry method, precipitation method, evaporation method, sputtering method and chemical vapor deposition method. Method for producing an anode substrate structure. 제 5 항에 있어서, 상기 컬러 필터판을 부착하는 단계 이후에, 애노드 전극 및 형광체를 상기 컬러 필터들과 대응되는 부분에만 존재하도록 소정 부분 패터닝하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 애노드 기판 구조물의 제조방법.6. The field emission display device of claim 5, further comprising, after attaching the color filter plate, partially patterning the anode electrode and the phosphor so that only the portion corresponding to the color filters exists. Method for producing an anode substrate structure.
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