KR100254826B1

KR100254826B1 - Tripod type fed

Info

Publication number: KR100254826B1
Application number: KR1019970038191A
Authority: KR
Inventors: 이상진; 최귀석; 김재명; 남중우
Original assignee: 손욱; 삼성에스디아이주식회사
Priority date: 1997-08-11
Filing date: 1997-08-11
Publication date: 2000-05-01
Also published as: KR19990015850A

Abstract

PURPOSE: A triode field emission display is provided to emit electron beams uniformly by equalizing a thickness of a cathode and to be capable of realizing a simple process and a stable cathode by forming a cathode by a graphite. CONSTITUTION: An anode(6) is formed on a front glass(2) so as to have a predetermined pattern, and a cathode(8) is formed on a substrate glass(4) so as to have a predetermined pattern. The anode(6) on the front glass(2) is formed by an ITO deposition, and a fluorescent material(10) having a dot shape is formed on the anode(6) according to R, G and B patterns. The cathode(8) on the substrate glass(4) corresponding to the anode(6) is formed by screen printing a silver paste so as to have a predetermined pattern and then an annealing process is carried out. A graphite layer(12) is formed on the cathode(8) by a screen print method.

Description

Triode type field emission display device

본 발명은 전계 방출 표시소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 흑연의 물성을 이용한 음극의 층 두께를 고르게 하여 화소별로 균등하게 전자 비임의 방출이 이루어질 수 있게 하는 3극관형 전계 방출 표시소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission display device, and more particularly, to a triode type field emission display device in which electron beams can be emitted evenly on a pixel-by-pixel basis by uniformly layer thickness of a cathode using physical properties of graphite. .

전계 방출 표시소자는 상호 대향 배치되어 기밀스럽게 밀봉되는 글라스 사이로 음극과 형광체를 배열한 구성을 포함하는 것이며, 상기 음극과 형광체는 각각 일정의 패턴을 이루게 되어 있다. 이러한 구성에서 상기 음극과 양극의 방출면 사이가 높은 전압 구배로 되게 하면 쇼트키 효과에 의한 직접 전자 방출이 일어나고, 발생된 전자 방출은 형광체를 여기시켜 빛을 발하게 되는 영상표시소자이다.The field emission display device includes a structure in which a cathode and a phosphor are arranged between glass which is disposed to face each other and is hermetically sealed, and the cathode and the phosphor form a predetermined pattern, respectively. In such a configuration, when the emission surface of the cathode and the anode has a high voltage gradient, direct electron emission occurs due to the Schottky effect, and the generated electron emission excites phosphors to emit light.

이러한 전계 방출 표시소자는 구조에 따라 2극관과 3극관이 공지되어 있고, 3극관은 음극과 양극 사이로 그리드가 더 추가된 구성으로 되어 있다.The field emission display device is known as a dipole and a triode according to its structure, and the triode has a configuration in which a grid is further added between the cathode and the anode.

상기 전계 방출 표시소자는 대화면용 표시소자에 적합할 뿐만 아니라 전력소비가 작고 양질의 화상을 얻을 수 있는 이점이 있다.The field emission display device is not only suitable for a large display device, but also has an advantage of low power consumption and high quality images.

전계 방출 표시소자에서 화면의 밝기는 음극으로부터 방출되는 전자의 량에 좌우되고 전자의 방출량이 큰 음극은 요철면에 의해 표면적이 극대화된 특징을 가진다.In the field emission display device, the brightness of the screen depends on the amount of electrons emitted from the cathode, and the cathode having a large emission amount of electrons has a feature of maximizing its surface area by the uneven surface.

초기에 전계 방출 표시소자의 음극은 기판에 텅스텐, 몰리브덴 등의 고융점 금속 박막을 형성하고 이를 에칭 처리하여 날카로운 팁이 형성되게 하여 왔으나, 이 방법은 정교하게 노광하고 에칭해야 하는 고난도의 공정을 거쳐야 하므로 넓은 화면을 가지는 전계 방출 표시소자에는 적당치 않다. 또 상기와 같이 하여 형성된 팁은 가스 이온이나 아크의 충격에 취약하여 사용 수명이 짧으며 동작 전압도 높은 문제점이 있다.Initially, the cathode of the field emission display device has formed a high melting point metal thin film such as tungsten and molybdenum on a substrate and then etched it to form a sharp tip. However, this method requires a highly difficult process of exposing and etching delicately. Therefore, it is not suitable for the field emission display device having a wide screen. In addition, the tip formed as described above is vulnerable to the impact of gas ions or arc has a short service life and high operating voltage.

한편, 마루오에 의해 제안된 미국 특허 제5,382,867호는 톱니모양의 표면을 가지는 음극 구조를 개시하고 있지만, 이것은 복잡하고 난해한 금속 박막의 팁을 톱니모양으로 하는 것이므로 여전히 정교한 노광과 에칭 작업을 거쳐야 한다.On the other hand, U.S. Patent No. 5,382,867 proposed by Maruo discloses a cathodic structure with a serrated surface, but this is a sawtooth of a complicated and difficult metal thin film, which still requires sophisticated exposure and etching operations. .

또 케인에 의해 제안된 미국 특허 제5,430,348호는 다이아몬드 면으로 된 음극에 반전층을 형성한 구조를 개시하고 있고, 다른 한편으로 커마에 의해 제안된 미국 특허 제5,548,185호와 제5,601,966호는 아모르픽 다이아몬드 필름을 사용한 전계 방출 표시소자를 개시하고 있다.U.S. Patent No. 5,430,348 proposed by Kane discloses a structure in which an inversion layer is formed on a diamond faced cathode, while U. S. Patent Nos. 5,548, 185 and 5,601, 966 proposed by Kerma are amorphous diamonds. A field emission display device using a film is disclosed.

다이아몬드는 탄소가 주성분으로 된 가장 안정적인 물질의 하나로 되는 것이고, 이것은 도 4로 나타내고 있듯이 정방정계(正方晶系; tetragonal)의 (111)면을 가지고 있는 결정체로 되어서 강한 2중 결합을 하고 있고 그 끝부분의 끊어진 결합이 전자의 방출 통로로 이용될 수 있다.Diamond is one of the most stable materials mainly composed of carbon, which is a crystal having a (111) plane of tetragonal as shown in FIG. A broken bond of parts can be used as the electron emission path.

즉, 상기 (111)면에 보론, 질소 등을 불순물로 도핑하면 (111)면에서 부전자친화(Negative Electron Affinity) 현상이 발생하여 전도대의 에너지 레벨이 진공 중의 자유전자가 가지는 에너지 레벨보다 높아져 자발적인 전자 방출이 일어나게 되고 이 현상은 저전압 구동을 가능케 하는 특징이 있다.In other words, doping boron, nitrogen, or the like with impurities on the (111) plane generates a negative electron affinity phenomenon on the (111) plane, resulting in higher energy levels of the conduction band than those of free electrons in the vacuum. Electron emission occurs, which is characterized by low voltage driving.

그러나 다이아몬드 또는 다이아몬드에 유사한 카본을 음극으로 형성하려면 플라즈마 증착하여 소정 두께의 박막을 얻고, 이를 레이저 엡레이션으로 미세 가공해야 하기 때문에 상기 금속 박막과 마찬가지로 고난도의 공정을 거쳐야 하며, 특히 원자재 값이 비싸 전계 방출 표시소자의 보급을 어렵게 하는 요인으로 작용한다.However, in order to form a diamond or a carbon similar to diamond as a cathode, plasma deposition is required to obtain a thin film having a predetermined thickness, which must be finely processed by laser ablation. It acts as a factor that makes diffusion of the emission display element difficult.

한편, 흑연은 상기 다이아몬드와 마찬가지로 흑연이 주성분으로 되는 물질이고, 도 5로 나타낼 수 있듯이 다이아몬드의 결정에 유사한 육각형의 (0001)면을 포함하고 있으나, 상기 (0001)면의 방향은 강한 이중 결합으로 되어 있고 그 면 사이는 약한 반데르발스 결합으로 되어 있어서 물리적으로 강한 이방성을 가지는 특성이 있다. 또한 상기 (0001)면으로는 전기, 열 등의 전도도가 양호하지만 그 직각 방향으로는 좋지 않고 게다가 상기 (0001)면 사이의 약한 결합상태로 인하여 쉽게 깨지는 단점이 있다.On the other hand, graphite is a material composed mainly of graphite like diamond, and as shown in FIG. 5, the graphite contains a hexagonal (0001) plane similar to diamond crystal, but the direction of the (0001) plane is a strong double bond. It has a weak van der Waals bond between the surfaces, and has physically strong anisotropy. In addition, the (0001) plane is good in conductivity, such as electricity, heat, but is not good in the right direction thereof, and also has the disadvantage of being easily broken due to the weak bonding state between the (0001) plane.

그러나 흑연 분말의 표면에는 강한 공유 결합을 하는 (0001)면의 모서리가 무수히 존재하고 있으며 이 모서리들은 천연적인 전자 방출 팁으로 이용될 수 있다.However, the surface of the graphite powder has a myriad of (0001) edges with strong covalent bonds, which can be used as natural electron emission tips.

게다가 흑연 분말은 외력을 받아 깨지더라도 그 파단면은 여전히 (0001)면의 새로운 모서리로 형성되어 일종의 자기 회복성을 가지므로 이를 통한 전자 방출도 지속적으로 행해질 수 있고, 어느 정도의 질소 불순물도 함유하고 있기 때문에 상기 부전자친화 현상이 야기되어 저전계 전자 방출도 기대할 수 있다.In addition, even if the graphite powder is broken under external force, its fracture surface is still formed as a new corner of the (0001) plane, which has a kind of self-healing property, and thus electron emission can be continuously performed, and it contains some nitrogen impurities. As a result, the negative electron affinity phenomenon is caused, and low-field electron emission can be expected.

따라서 본 발명의 목적은 흑연으로 음극을 형성하여 공정의 단순화와 음극의 물성 안정화를 도모하면서도 저전계 구동이 가능하고, 또 음극의 층 두께를 고르게하여 화소별로 균등하게 전자 비임의 방출이 이루어질 수 있게 하는 전계 방출 표시소자의 제조 방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to form a cathode from graphite to simplify the process and to stabilize the properties of the cathode, while driving a low electric field, and to evenly emit the electron beam evenly for each pixel by uniformly layering the thickness of the cathode. The present invention provides a method of manufacturing a field emission display device.

상기의 목적에 따라 본 발명은 기판 상에 도전 패턴을 적층 형성하고 그 상면으로 페이스트상의 흑연 분말을 스크린 인쇄하여 소정 개소마다 음극이 형성 배열되게 하고, 이를 소성하여 고착화한 다음 그 상면으로 절연층을 전면 인쇄하여 소정 두께 도포하고 열처리로 고착화시킨 후에 상기 절연층의 상면을 미케니컬 폴리싱 또는 케미컬 미케니컬 폴리싱으로 면 절삭하되, 상기 음극을 형성하는 흑연입자의 최소 크기까지 제거되게 하고, 다시 그 위로 도전성 금속을 스퍼터링 증착하여 소정 개소마다 그리드 전극이 배치되게 한 다음, 전면 유리의 대향면에는 ITO로 된 양극을 증착 형성하고, 그 위로 형광체를 도포하여 놓고 상기 기판과 전면 유리를 상호 대향되게 배치시켜서 밀봉하는 공정으로 행해진다.According to the above object, the present invention laminates and forms a conductive pattern on a substrate, and screen-prints a paste-like graphite powder on its upper surface so that cathodes are formed at predetermined positions, and then fires and solidifies the insulating layer. After printing the entire surface and applying a predetermined thickness and fixing it by heat treatment, the upper surface of the insulating layer is cut by mechanical polishing or chemical mechanical polishing, and removed to the minimum size of the graphite particles forming the cathode. The sputter deposition of conductive metal is carried out so that the grid electrode is arranged at every predetermined position, and then an anode of ITO is formed on the opposite surface of the windshield, and a phosphor is applied thereon to place the substrate and the windshield facing each other. It is performed by the process of sealing.

상술한 구성의 본 발명에서 흑연 분말은 입자 크기가 0.5~50㎛ 범위 내의 것이 적용되고, 이것은 5~30%의 무기질 바인더와 혼합되어 페이스트상으로 된다.In the present invention having the above-described configuration, the graphite powder has a particle size in the range of 0.5 to 50 µm, which is mixed with 5 to 30% of the inorganic binder to form a paste.

이와 같은 구성의 본 발명은 미케니컬 폴리싱 또는 케미컬 미케니컬 폴리싱에 의해 음극의 층 두께가 고르게 되어 각 화소마다의 전자의 방출량이 균일하게 되어 화질도 향상되는 이점이 있다.The present invention having such a configuration has the advantage that the thickness of the cathode is uniform by chemical polishing or chemical mechanical polishing, so that the emission amount of electrons is uniform for each pixel, thereby improving image quality.

제1도는 본 발명이 적용된 3극관형 전계 방출 표시소자의 구성을 나타내는 분리 상태의 측단면도.1 is a side cross-sectional view of a separated state showing the configuration of a triode type field emission display device to which the present invention is applied.

제2도는 인쇄된 흑연층의 외부로 피복된 절연층의 면삭 공정을 나타내는 측면도.FIG. 2 is a side view showing a surface roughening process of an insulating layer coated on the outside of a printed graphite layer. FIG.

제3도는 면삭에 의한 흑연층의 표면 노출 예를 보여주는 측면도.3 is a side view showing an example of surface exposure of the graphite layer by the roughing.

제4도는 종래의 음극으로 적용되어 왔던 다이아몬드의 결정 구조도.4 is a crystal structure diagram of diamond that has been applied as a conventional cathode.

제5도는 본 발명을 구현하는 흑연의 결정 구조도.5 is a crystal structure diagram of graphite embodying the present invention.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

2 : 전면 글라스 4 : 기판 글라스2: front glass 4: substrate glass

6 : 양전극 8 : 음전극6 positive electrode 8 negative electrode

10 : 형광체 8 : 흑연층10: phosphor 8: graphite layer

14 : 절연층 16 : 스텐실14 insulation layer 16 stencil

18 : 그리드18: grid

상술한 구성의 본 발명을 첨부 도면에 따른 바람직한 실시예로서 상세히 설명한다.The present invention having the above-described configuration will be described in detail as a preferred embodiment according to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관련된 3극관형 전계 방출 표시소자의 구성을 나타내는 측단면도이며, 전면 글라스(2)와 기판 글라스(4) 사이의 대향면에는 각각 양전극(6)과 음전극(8)이 소정의 패턴을 이루도록 형성되어서 매트릭스상을 이루게 대향 배치된다.FIG. 1 is a side cross-sectional view showing the configuration of a tripolar tube type field emission display device according to an embodiment of the present invention, and the positive electrode 6 and the negative electrode 6 are respectively provided on opposite surfaces between the front glass 2 and the substrate glass 4. 8) are formed to form a predetermined pattern and are arranged to face each other in a matrix.

상기 전면 글라스(2)의 양전극(6)은 ITO 증착에 의해 형성되는 것이고, 그 위로는 R, G, B 패턴에 따른 형광체(10)가 도트상으로 도포 배열된다.The positive electrode 6 of the front glass 2 is formed by ITO deposition, on which the phosphor 10 according to the R, G, and B patterns is applied and arranged in a dot shape.

그리고 상기 양전극(6)에 대응하는 기판 글라스(4)의 음전극(8)은 은 페이스트를 스크린 인쇄하여 소정의 패턴상으로 형성되고, 열처리를 통해 고착된 후에는 다시 그 상면으로 흑연층(12)이 스크린 인쇄법을 통해 도포된다.The negative electrode 8 of the substrate glass 4 corresponding to the positive electrode 6 is formed in a predetermined pattern by screen printing a silver paste, and after being fixed by heat treatment, the graphite layer 12 is returned to the upper surface thereof. It is applied through screen printing.

상기 흑연층(12)은 0.5~50㎛의 흑연 분말에 5~30%의 무기질 바인더를 혼합시킨 흑연 페이스트에 의해 도트상으로 적층 형성된다.The graphite layer 12 is laminated and formed in a dot shape by graphite paste obtained by mixing 5 to 30% of an inorganic binder with graphite powder of 0.5 to 50 µm.

상기 흑연 분말과 혼합되는 무기질 바인더는 종래부터 여러 가지 타입으로 공지되어 있다.Inorganic binders mixed with the graphite powder are conventionally known in various types.

이렇게 흑연층(12)이 적층 형성된 후에 기판 글라스(4)는 소성 공정을 거쳐 상기 흑연층(12)을 안정화시키게 된다. 상기 흑연층(12)은 도 2로 나타낸 바와 같이 첨예한 부분이 다수 표면에 돌출된 결정 구조를 가지고 있고, 상기 첨예한 부분을 통해 전자 비임이 방출되는 것이다.After the graphite layer 12 is laminated, the substrate glass 4 stabilizes the graphite layer 12 through a firing process. As shown in FIG. 2, the graphite layer 12 has a crystal structure in which sharp parts are projected on a plurality of surfaces, and electron beams are emitted through the sharp parts.

이와 같이 형성된 기판 글라스(4)의 상면 전체에 걸쳐 글라스 성분의 절연층(14)이 피복된다. 상기 절연층(14)은 글라스 분말을 용제에 혼합하여 인쇄 도포함으로써 형성되는 것이며, 그 도포 두께는 상기 흑연층(12)의 상면을 약간 피복시키는 정도로 되게 하는 것이 좋다.The insulating layer 14 of a glass component is coat | covered over the whole upper surface of the board | substrate glass 4 formed in this way. The insulating layer 14 is formed by mixing and coating glass powder in a solvent, and the coating thickness thereof may be such that the upper surface of the graphite layer 12 is slightly coated.

이렇게 절연층(14)의 도포가 끝나면 기판 글라스(4)의 상면에 상기 흑연층(12)의 상방이 제한적으로 노출되게 하는 스텐실(16)을 씌우고 미케니컬 폴리싱 또는 케미컬 미케니컬 폴리싱을 행하여 상기 절연층(14)의 소정 부위가 면삭되게 한다.After the application of the insulating layer 14, the upper surface of the substrate glass 4 is covered with a stencil 16 to expose the graphite layer 12 with limited exposure, and then subjected to mechanical polishing or chemical polishing. Predetermined portions of the insulating layer 14 are faced.

미케니컬 폴리싱은 상기 절연층(14)에 기계적 연마를 가하여 면삭되게 하는 방법이고, 또 케미컬 미케니컬 폴리싱은 상기 미케니컬 폴리싱을 행할 때에 절연층(14)을 용해시키는 용제를 투여하여 면삭의 효율을 높이면서 행하는 방법이다.Mechanical polishing is a method of applying mechanical polishing to the insulating layer 14 to be grounded, and chemical mechanical polishing is performed by administering a solvent that dissolves the insulating layer 14 when performing the mechanical polishing. It is a method performed while increasing the efficiency.

이러한 미케니컬 폴리싱 또는 케미컬 미케니컬 폴리싱에 의해 스텐실(16)로 쉴드되지 않은 흑연층(12)의 상방만이 제한적으로 면삭되고, 그 결과로 도 3에 도시한 바와 같이 절연층(14)은 상기 흑연층(12)의 상면을 피복하고 있는 부분만이 절삭 제거되며, 이러한 면삭은 흑연층(12)에 함유된 흑연입자가 전체면에 걸쳐 고르게 노출되는 수준까지 행해지는 것이며, 이 때문에 상기 흑연층(12)의 높이 오차는 2㎛ 이하로 조절될 수 있다.Only the upper portion of the graphite layer 12 which is not shielded with the stencil 16 by this mechanical polishing or chemical mechanical polishing is limitedly chamfered, and as a result, the insulating layer 14 as shown in FIG. Silver is cut off only the portion covering the upper surface of the graphite layer 12, such a face is to be performed to the level that the graphite particles contained in the graphite layer 12 is evenly exposed over the entire surface. The height error of the graphite layer 12 may be adjusted to 2 μm or less.

또한 절연층(14)은 면삭된 후의 높이가 60㎛ 정도로 되게 하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the height of the insulating layer 14 after roughing is set to about 60 µm.

상기와 같이 면삭은 행해진 후에 도 3으로 도시하는 바와 같이 흑연층(12)의 주변으로 되는 절연층(14)의 상면에는 그리드(18)가 증착 형성된다.As described above, the grid 18 is formed by vapor deposition on the upper surface of the insulating layer 14 that becomes the periphery of the graphite layer 12 as shown in FIG. 3.

상기 그리드(18)는 도전 금속을 마스크법으로 스퍼터링하여 소정 부위에만 증착 형성되는 것이며 이것은 흑연층(12)과의 간격이 5~200㎛를 이루는 위치에 형성된다.The grid 18 is formed by depositing a conductive metal by a mask method on only a predetermined portion, which is formed at a position where a distance from the graphite layer 12 is 5 to 200 μm.

상기 전면 글라스(2)와 기판 글라스(4)는 그 사이가 스페이서 등에 의해 일정의 간격을 두고 대치하도록 중첩되어서 실링되고 진공 처리됨에 따라 도 1로 도시한 구조의 3극관형 전계 방출 표시소자로 된다. 이 때 그리드(18)와 양전극(6) 사이의 간격은 10~2000㎛ 범위로 되게 하는 것이 좋다.The front glass 2 and the substrate glass 4 are overlapped, sealed, and vacuumed so as to be opposed to each other by a spacer or the like so as to be tripolar tube type field emission display devices having the structure shown in FIG. 1. . At this time, the interval between the grid 18 and the positive electrode 6 may be in the range of 10 ~ 2000㎛.

이렇게 하여 얻어지는 3극관형 전계 방출 표시소자는 흑연층(12)의 각 입자가 절연층(14)에 매립 보전되는 구조이므로 대단히 안정화되어 외부 충격에 잘 견디는 특징을 갖추게 된다.The tripolar tube type field emission display device thus obtained has a feature that each particle of the graphite layer 12 is embedded in the insulating layer 14 and is highly stabilized and well resistant to external impact.

본 발명에 관련된 3극관형 전계 방출 표시소자의 구동은 종래의 3극관형 전계 방출 표시소자와 동일하게 흑연층(12)에서 방출되는 전자가 양전극(6)의 형광체(10)로 충돌하여 여기시킴에 따라 발광하게 된다. 그러나 음전극(8)의 상면에 적층된 흑연층(12)이 실질적인 전자 방출 통로로 됨에 따라 전자 방출량이 많아지게 되는 것이며, 또 보다 낮은 진공도로 봉합함에 따르는 빈번한 금속 이온의 충격으로 상기 흑연층(12)의 흑연 입자가 쉽게 파손되어도 새롭게 노출되는 면의 결정 구조는 파손되기 전과 동일한 결정 구조로 되면서 전자 방출량의 저하를 초래하는 일이 없으므로 그 사용 수명도 길어지게 된다.The driving of the tripolar field emission display device according to the present invention causes the electrons emitted from the graphite layer 12 to collide with the phosphor 10 of the positive electrode 6 in the same manner as the conventional tripolar field emission display device. According to the light emission. However, as the graphite layer 12 stacked on the upper surface of the negative electrode 8 becomes a substantial electron emission path, the electron emission amount increases, and the graphite layer 12 is affected by frequent metal ions impacted by sealing at a lower vacuum. Even if the graphite particles are easily broken, the crystal structure of the newly exposed surface becomes the same crystal structure as before the breakage and does not cause a decrease in the amount of emitted electrons, so the service life thereof is long.

이상 설명한 바와 같이 본 발명은 종래에 고융점금속을 증착 또는 레이저 엡레이션 하여 형성하였던 음극을, 취급이 용이하고 물성이 안정된 흑연 분말로 스크린 인쇄하여 형성한 것이므로 가스 이온이나 아크 등의 충격에 잘 견디어 사용 수명이 길고, 또 이를 형성하는 공정도 간단하고 용이하여 생산성이 향상되는 이점이 있으며, 특히 상기 흑연 분말은 낮은 전계에서도 충분히 전자 방출을 일으키는 특성을 가지므로 저전압에서의 구동도 가능하게 되는 한편, 상기 흑연층을 통한 전자 비임의 방출량이 종래의 것에 비해 대폭 증대되는 효과가 있어서 휘도가 향상된 3극관형 전계 방출 표시소자를 제공할 수 있는 것이다.As described above, the present invention is formed by screen-printing a cathode, which is conventionally formed by depositing or laser-evaporating a high melting point metal, with graphite powder having easy handling and stable physical properties. The long service life and the process of forming the same are simple and easy, and thus the productivity is improved. In particular, the graphite powder has a property of sufficiently generating electrons even at a low electric field, and thus driving at low voltage is possible. The emission amount of the electron beam through the graphite layer is significantly increased compared to the conventional one, so that it is possible to provide a triode type field emission display device having improved luminance.

Claims

A negative electrode having a predetermined pattern is laminated on the substrate glass, and the graphite powder in the form of a dot is screen printed on the upper surface thereof so that a dot-shaped graphite layer is formed, and then fired and solidified. The surface of the graphite layer is exposed to the outside by surface printing of a portion of the graphite layer which is embedded in the graphite layer by mechanical polishing or chemical mechanical polishing. A tripolar tube type field emission display device comprising a configuration in which a grid electrode is arranged at predetermined positions by sputtering deposition of a conductive metal around a layer.

The tripolar field emission display device according to claim 1, wherein the graphite layer is formed of a graphite paste obtained by mixing 5-30% of an inorganic binder with graphite powder having a particle size of 0.5-50 µm.

The triode type field emission display device according to claim 1, wherein a height error of the graphite layer is equalized to within 2 µm by chamfering the insulating layer.