KR20010058722A - Appararus for opening a wafer casseette - Google Patents

Appararus for opening a wafer casseette Download PDF

Info

Publication number
KR20010058722A
KR20010058722A KR1019990066083A KR19990066083A KR20010058722A KR 20010058722 A KR20010058722 A KR 20010058722A KR 1019990066083 A KR1019990066083 A KR 1019990066083A KR 19990066083 A KR19990066083 A KR 19990066083A KR 20010058722 A KR20010058722 A KR 20010058722A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
door
wafer
opening
guide plate
Prior art date
Application number
KR1019990066083A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
봉태근
한동영
허무용
김영선
Original Assignee
서성원
(주)아이랩
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 서성원, (주)아이랩 filed Critical 서성원
Priority to KR1019990066083A priority Critical patent/KR20010058722A/en
Publication of KR20010058722A publication Critical patent/KR20010058722A/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: An apparatus for opening and closing a door of a wafer cassette is to minimize the working space and to reduce the time required for working, by opening and closing automatically the door of the wafer cassette. CONSTITUTION: When a cassette body(40) is positioned on a stage(19), a positioning sensor(41) detects a position of the cassette. By using the signal from the positioning sensor, a clamper(42) locks the cassette in position. If the cassette is moved to one side of a body plate(11), an actuator lifts a door opener(12) toward the door of the cassette. At the same time, a cylinder(17) is operated to insert a door key into the hole of a key cylinder. The cylinder is mounted on the door opener. By rotating the cylinder, a locking unit of the cassette door is released. The cassette door is adsorbed by vacuum. A vacuum unit is moved down along a guide rail(11). By this movement of the vacuum unit, the stage is rotated to perform a probing process against a wafer.

Description

웨이퍼 카세트 도어 개폐장치{APPARARUS FOR OPENING A WAFER CASSEETTE}Wafer Cassette Door Opener {APPARARUS FOR OPENING A WAFER CASSEETTE}

본 발명은 웨이퍼의 프로브 공정시 카세트의 도어를 개폐시키는 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 카세트의 크기가 달라지는 경우에도 그에 대응하는 플레이트와 도어 개폐기만을 간단히 교체하므로써 25슬롯과 13슬롯 두 가지의 웨이퍼 카세트의 문을 자동으로 열고 닫을 수 있게 구현하여, 도어의 개폐에 따른 작업공간을 최소화하면서도 상기 작업에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 웨이퍼 카세트 겸용 도어 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for opening and closing a cassette door during a wafer probe process. In particular, the wafer cassette of 25 slots and 13 slots can be easily replaced by simply replacing only the corresponding plate and door opener even when the size of the wafer cassette is changed. The present invention relates to a wafer cassette combined door opening / closing device which can reduce the time required for the work while minimizing a work space caused by opening and closing the door by automatically opening and closing the door.

일반적으로, 프로버(prober)에는 테스트될 다수의 웨이퍼가 수용되어 있는 카세트가 장착되는데, 상기 카세트는 13개의 슬롯을 구비한 13슬롯 카세트와 25개의 슬롯을 구비한 25슬롯 카세트로 구분할 수 있다. 이와 같은 웨이퍼용 카세트에는 도어가 없는 방식을 이용한 카세트와 전면에 도어를 가진 FOUP(Front Opening Unified Pod)방식을 이용한 카세트가 있다.In general, a prober is equipped with a cassette containing a plurality of wafers to be tested, which can be divided into a 13 slot cassette having 13 slots and a 25 slot cassette having 25 slots. Such wafer cassettes include a cassette using a doorless method and a cassette using a FOUP (Front Opening Unified Pod) method having a door at a front surface thereof.

여기서, 상기 FOUP방식의 웨이퍼 카세트는, 도 1에 도시된 바와 같이, 양측부에 손잡이가 구비된 몸체(1)와, 상기 몸체(1)의 전면에 장착되되 그 양측에는 키실린더 홀(2a)이 형성되어 있는 도어를 구비하고 있다. 이와 같은 FOUP방식의 카세트는 그 내부가 밀폐되므로 별도의 클리닝 룸(cleaning room)이 불필요하여 웨이퍼의 일괄처리 공정에서의 클리닝 시설을 위한 운영비를 절감시킬 수 있는 장점이 있으나, 상기와 같은 FOUP방식의 카세트의 도어 개폐기는 13슬롯 이나 25슬롯중 한종류의 카세트에만 사용할 수 있도록 되어 있기 때문에 13슬롯 도어 개폐기가 25슬롯 도어 개폐기간에 호환성이 없을 뿐만 아니라, 도어 크기가 다른 카세트에 적용해야 하는 경우 도어개폐기와 상기 도어개폐기가 장착되는 설치대를 전면적으로 교체해야 하는 문제점이 있었다.Here, the wafer cassette of the FOUP method, as shown in Figure 1, the body is provided with a handle on both sides, and is mounted on the front of the body 1, the key cylinder hole (2a) on both sides This door is provided. Since the FOUP cassette is sealed inside, there is no need for a separate cleaning room, thus reducing the operating cost for the cleaning facility in the batch processing process of the wafer. Since the door opener of the cassette can only be used for one of 13 or 25 slots, the 13-slot door opener is not compatible with the 25-slot door opening period. There was a problem in that the switchgear and the mounting table on which the door opener is mounted are to be completely replaced.

본 발명은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 웨이퍼 카세트의 도어의 크기가 달라지는 경우에도 그에 대응하는 플레이트와 도어 개폐기만을 간단히 교체하므로써 25슬롯과 13슬롯 두 가지의 웨이퍼 카세트의 문을 자동으로 열고 닫을 수 있게 구현하여, 도어의 개폐에 따른 작업공간을 최소화하면서도 상기 작업에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and even if the size of the wafer cassette door is changed by simply replacing only the corresponding plate and the door opener, the door of the two wafer cassettes of 25 slots and 13 slots automatically It is an object of the present invention to provide a wafer cassette door opening and closing device that can reduce the time required for the work while minimizing the work space due to the opening and closing of the door.

도 1은 일반적인 FOUP방식의 웨이퍼 카세트를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a wafer cassette of a general FOUP method.

도 2a 및 2b는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 겸용 도어 개폐장치의 일실시예 구성을 나타낸 정면도 및 측면도.Figure 2a and 2b is a front view and a side view showing the configuration of an embodiment of a wafer cassette double door opening and closing device according to the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 요부인 도어오프너의 정면도 및 배면도.3A and 3B are front and rear views of a door opener which is a main part of the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 겸용 도어 개폐장치의 사용 상태도.Figure 4 is a state of use of the wafer cassette double door opening and closing apparatus according to the present invention.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 도어 오프너의 측면도.5a and 5b are side views of a door opener according to the present invention;

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 도어 오프너의 평면도.6A and 6B are plan views of the door opener according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 가이드 레일 11 : 바디플레이트10: guide rail 11: body plate

12 : 도어오프너 13 : 도어키12: door opener 13: door key

14 : 회전실린더 15 : 진공유닛14: rotation cylinder 15: vacuum unit

16 : 레일 17 : 실린더16: rail 17: cylinder

18 : 구동기 19 : 스테이지18: driver 19: stage

20 : 홀 21 : 가이드플레이트20: hole 21: guide plate

본 발명은 그 하측에 구비된 가이드레일과, 그 상측에 구비되어 카세트를 클램핑하여 고정하기 위한 스테이지를 포함하며, 일측 상면에는 다양한 크기의 카세트 도어에 상응할 수 있는 홈이 형성된 바디플레이트; 상기 바디플레이트의 홈에 착탈되며, 그 내부에 다수의 홀이 형성된 가이드플레이트; 상기 가이드플레이트의 후면에 장착되어 웨이퍼 카세트의 도어를 개폐하기 위한 도어개폐수단; 및 상기 가이드플레이트에 도어개폐수단을 착탈가능하게 고정하는 수단을 포함하는 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치를 제공한다.The present invention includes a guide rail provided at a lower side thereof, and a stage provided at an upper side thereof for clamping and fixing a cassette, and having a groove formed on one side thereof with grooves corresponding to cassette doors of various sizes; A guide plate detachable from a groove of the body plate and having a plurality of holes formed therein; A door opening and closing means mounted on a rear surface of the guide plate to open and close a door of a wafer cassette; And means for detachably fixing the door opening and closing means to the guide plate.

이하, 본 발명의 바람직한 일실시예에 대하여 첨부한 도 2이하의 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 겸용 도어 개폐장치는 웨이퍼 카세트 도어의 크기가 달라지는 경우에도 그에 대응하는 플레이트와 도어 개폐기만을 간단히 교체하므로써 25슬롯과 13슬롯 두 가지의 웨이퍼 카세트의 문을 자동으로 열고 닫을 수 있게 하여, 도어의 개폐에 따른 작업공간을 최소화하면서도 작업에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있도록 구현한 것으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 그 하측에 가이드 레일(10)이 장착되며 상측에는 카세트를 클램핑하여 고정하기 위한 스테이지(19)가 구비되고, 상기 스테이지(19) 상측위치의 일면에는 25슬롯과 13슬롯용 카세트 크기에 해당하는 홈이 형성된 바디플레이트(11)와, 상기 바디플레이트(11)의 일측면 소정부에 형성된 홈에 착탈되며, 다수의 홀(20)이 형성되어 상기 스테이지(19)상에 놓여지는 카세트의 이동을 안내하는 가이드플레이트(21)와, 상기 가이드플레이트(21)의 후면에 볼트(22)를 매개로 장착되어 카세트의 도어를 오픈하기 위한 도어오프너(12)와, 상기 바디플레이트(11)의 가이드레일(10)의 하단부에 구비되어 상기 도어 오프너(12)를 승강시키기 위한 구동기(18)가 구비된다.The wafer cassette door opening and closing device according to the present invention can automatically open and close the doors of two wafer cassettes of 25 slots and 13 slots by simply replacing only the corresponding plate and door switch even when the size of the wafer cassette door is changed. In order to minimize the work space according to the opening and closing of the door to reduce the time required for work, as shown in FIG. And a stage 19 for fixing to each other, a body plate 11 having a groove corresponding to a cassette size for 25 slots and 13 slots on one surface of the upper side of the stage 19 and the body plate 11. Movement of a cassette detached to a groove formed at one side of one side, and a plurality of holes 20 are formed and placed on the stage 19 A guide plate 21 for guiding the guide plate, a door opener 12 for opening the door of the cassette by mounting the bolt 22 on the rear surface of the guide plate 21, and a guide of the body plate 11. The driver 18 is provided at the lower end of the rail 10 to lift the door opener 12.

여기서, 상기 가이드플레이트(21)는 카세트의 종류에 맞게 즉, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이 13슬롯용이나 25슬롯용 카세트에 맞는 크기로 제작되어 있으며, 상기 바디플레이트(11)의 홈도 13슬롯용이나 25슬롯 카세트의 가이드플레이트에 대응되게 형성된다. 또한, 가이드플레이트(21)에 도어오프너(12)나 볼트(22)를 매개로 연결되어 있으므로 웨이퍼 카세트의 종류(13슬롯용, 25슬롯용)에 따라 가이드플레이트(21)와 도어오프너(12)를 간단히 교체할 수 있도록 되어 있다.Here, the guide plate 21 is made to fit the type of cassette, that is, the size for the 13 slot or 25 slot cassette as shown in Figs. 5 and 6, the groove of the body plate 11 13 slot or corresponding to the guide plate of the 25-slot cassette. In addition, since the guide plate 21 is connected to the door opener 12 or the bolt 22 via the guide plate 21 and the door opener 12 according to the type of wafer cassette (for 13 slots and 25 slots). Can be replaced easily.

또한, 상기 도어오프너(12)의 전면 양측에는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 카세트 도어의 키실리더 홀에 대응되는 도어 키(13)가 장착되며, 상기 도어오프너(12)의 후면에는 도어 키(13)를 소정각도로 회전시키기 위한 회전실린더(14)가 장착된다. 상기 도어오프너(12)의 전면 소정부에는 진공유닛(15)이 장착되며, 상기 진공유닛(15)은 도어 키(13)에 의해 열린 카세트의 도어를 상기 도어오프너(12)상에 이탈시켜 카세트에서 상기 도어를 착탈시키며, 상기 도어오프너(12)의 하부에는 상기 도어오프너(12)를 전후방향으로 이동시키기 위한 레일(16)과 실린더(17)가 구비된다.In addition, as shown in FIGS. 3A and 3B, door keys 13 corresponding to the key cylinder holes of the cassette door are mounted on both sides of the front surface of the door opener 12, and on the rear surface of the door opener 12. A rotating cylinder 14 for rotating the door key 13 at a predetermined angle is mounted. The vacuum unit 15 is mounted on the front predetermined portion of the door opener 12, and the vacuum unit 15 detaches the door of the cassette opened by the door key 13 on the door opener 12. In and out of the door, the lower portion of the door opener 12 is provided with a rail 16 and a cylinder 17 for moving the door opener 12 in the front and rear directions.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 작용상태를 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the working state of the present invention made of the above configuration in detail as follows.

도 4에 도시된 바와 같이, 테스트될 다수의 웨이퍼가 수용되어 있는 카세트 몸체(40)가 스테이지(19)상에 위치되면, 위치감지센서(41)가 카세트의 위치를 감지하고 상기 위치감지센서(41)의 감지신호에 따라 스테이지(19)상에서 돌출되는 클램퍼(42)에 의해 카세트(40)을 고정시킨다. 그리고, 상기 카세트(40)를 상기 바디플레이트(11)의 일면으로 이송시키게 되면, 상기 구동기(18)가 동작하여 상기 도어오프너(12)를 상기 카세트(40)의 도어측으로 상향이동시킨다. 이 상태에서 상기 도어오프너(12)에 구비된 실린더(17)가 구동하여 카세트도어의 키실린더홀(2a)에 도어키(13)를 삽입시키게 되고, 실린더(17)가 회전하여 카세트도어의 잠금장치를 해제시킨다.As shown in FIG. 4, when the cassette body 40 containing the plurality of wafers to be tested is placed on the stage 19, the position sensor 41 detects the position of the cassette and the position sensor ( The cassette 40 is fixed by the clamper 42 protruding from the stage 19 according to the detection signal of 41. When the cassette 40 is transferred to one surface of the body plate 11, the driver 18 operates to move the door opener 12 upward toward the door of the cassette 40. In this state, the cylinder 17 provided in the door opener 12 is driven to insert the door key 13 into the key cylinder hole 2a of the cassette door, and the cylinder 17 rotates to lock the cassette door. Release the device.

그리고, 상기 진공유닛(15)이 상기 가이드플레이트(21)의 홀을 관통하여 카세트의 도어를 흡착시켜 지지한 상태에서, 상기 가이드레일(11)을 따라 하향이동한다. 이에 따라, 상기 회전스테이지(19)가 회전되어 카세트내에 수용되어 있는 웨이퍼에 프로브 작업을 수행할 수 있도록 하는 것이다. 프로브 작업이 완료되면, 상기 도어오프너(12)는 전술한 도어 개방과정과 역순으로 작동하여 카세트의 도어를 닫는다.Then, the vacuum unit 15 moves downward along the guide rail 11 in a state where the vacuum door 15 penetrates the hole of the guide plate 21 to adsorb and support the door of the cassette. Accordingly, the rotating stage 19 is rotated to perform a probe operation on the wafer accommodated in the cassette. When the probe operation is completed, the door opener 12 operates in the reverse order to the door opening process described above to close the door of the cassette.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and drawings, and various permutations, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those who have

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 웨이퍼 카세트의 도어의 크기가 달라지는 경우에도 그에 대응하는 플레이트와 도어 개폐기만을 간단히 교체하므로써 25슬롯과 13슬롯 두 가지의 웨이퍼 카세트의 문을 자동으로 열고 닫을 수 있으며, 도어의 개폐에 따른 작업공간을 최소화하면서도 상기 작업에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, even when the size of the wafer cassette door is changed by simply replacing only the corresponding plate and the door opener, it is possible to automatically open and close the doors of two wafer cassettes of 25 slots and 13 slots. There is an effect that can reduce the time required for the work while minimizing the work space according to the opening and closing of the door.

Claims (2)

그 하측에 구비된 가이드레일과, 그 상측에 구비되어 카세트를 클램핑하여 고정하기 위한 스테이지를 포함하며, 일측 상면에는 다양한 크기의 카세트 도어에 상응할 수 있는 홈이 형성된 바디플레이트;A guide rail provided at a lower side thereof, and a stage provided at an upper side thereof for clamping and fixing a cassette, and having a groove formed on one side thereof with grooves corresponding to cassette doors of various sizes; 상기 바디플레이트의 홈에 착탈되며, 그 내부에 다수의 홀이 형성된 가이드플레이트;A guide plate detachable from a groove of the body plate and having a plurality of holes formed therein; 상기 가이드플레이트의 후면에 장착되어 웨이퍼 카세트의 도어를 개폐하기 위한 도어개폐수단; 및A door opening and closing means mounted on a rear surface of the guide plate to open and close a door of a wafer cassette; And 상기 가이드플레이트에 도어개폐수단을 착탈가능하게 고정하는 수단Means for detachably fixing the door opening and closing means to the guide plate 을 포함하는 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치.Wafer cassette door opening and closing device comprising a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 플레이트는 13슬롯용 및 25슬롯용 카세트의 크기에 대응하여 바디플레이트의 홈에 선택적으로 끼워지며, 상기 도어개폐수단은 웨이퍼 카세트 크기에 대응하여 가이드플레이트에 선택적으로 착탈되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치.The guide plate is selectively inserted into the groove of the body plate corresponding to the size of the cassette for 13 slots and 25 slots, the door opening and closing means is selectively removable to the guide plate corresponding to the wafer cassette size Cassette door opening.
KR1019990066083A 1999-12-30 1999-12-30 Appararus for opening a wafer casseette KR20010058722A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990066083A KR20010058722A (en) 1999-12-30 1999-12-30 Appararus for opening a wafer casseette

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990066083A KR20010058722A (en) 1999-12-30 1999-12-30 Appararus for opening a wafer casseette

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20010058722A true KR20010058722A (en) 2001-07-06

Family

ID=19633232

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990066083A KR20010058722A (en) 1999-12-30 1999-12-30 Appararus for opening a wafer casseette

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20010058722A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100412398B1 (en) * 2001-01-30 2003-12-24 참엔지니어링(주) Multi-functional Load Port Equipping a Plurality of Opening Apparatus
KR100757001B1 (en) * 2001-07-14 2007-09-11 주식회사 신성이엔지 Lifter of fOUP opener
KR100915739B1 (en) * 2006-08-24 2009-09-04 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 Substrate container opener and opener-side door driver mechanism thereof
CN107731725A (en) * 2017-11-24 2018-02-23 上海大族富创得科技有限公司 Rotatable wafer cassette box opener

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100412398B1 (en) * 2001-01-30 2003-12-24 참엔지니어링(주) Multi-functional Load Port Equipping a Plurality of Opening Apparatus
KR100757001B1 (en) * 2001-07-14 2007-09-11 주식회사 신성이엔지 Lifter of fOUP opener
KR100915739B1 (en) * 2006-08-24 2009-09-04 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 Substrate container opener and opener-side door driver mechanism thereof
US7651311B2 (en) 2006-08-24 2010-01-26 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Substrate container opener and opener-side door drive mechanism thereof
CN107731725A (en) * 2017-11-24 2018-02-23 上海大族富创得科技有限公司 Rotatable wafer cassette box opener
CN107731725B (en) * 2017-11-24 2024-04-02 上海大族富创得科技股份有限公司 Rotatable wafer box opener

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101099247B1 (en) Load port and load port control method
US6896470B1 (en) Front-opening unified pod auto-loading structure
US7108135B2 (en) Workpiece container assembly and apparatus for opening/closing the same
JP2633808B2 (en) Cassette input / output device for semiconductor processing system
JP2007146645A (en) Lockable rotary type operating handle
KR20120029997A (en) Cassette adapter
US11427923B2 (en) Workpiece holding jig and loading and unloading apparatus
JP2009170945A (en) Loading and unloading station for semiconductor processing installation
KR0137881B1 (en) Locking apparatus with a card key
JPH10112490A (en) Semiconductor wafer transport apparatus
KR20010058722A (en) Appararus for opening a wafer casseette
CN113199502A (en) Rotary clamping jaw device
TW200300574A (en) Cutting machine
JPH1187460A (en) Apparatus for feeding substrate-housing vessel
JP3687013B2 (en) Wafer transfer device
KR20000041366A (en) Door shutting apparatus of wafer cassette
KR20000042453A (en) Apparatus for opening and shutting door of wafer cassette
JPH1131729A (en) Substrate housing vessel supply device
KR20080088209A (en) Front opening unified pod door locking and unlocking device for front opening unified pod opener
JP4156286B2 (en) Opening and closing device for substrate holding container
JPH09306970A (en) Wafer cassette installing device and wafer inspecting device
KR100683121B1 (en) Wafer cassette and apparatus for opening door of wafer cassette
JP2002319615A (en) Manual opening/closing jig for container lid
US20030147728A1 (en) Wafer transport pod with linear door opening mechanism
JP2003098220A (en) Opening and closing device of clamshell type socket for semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
WITN Withdrawal due to no request for examination