KR20000042453A - Apparatus for opening and shutting door of wafer cassette - Google Patents

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박범욱
허무용
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Abstract

PURPOSE: An apparatus for opening and shutting a door of a wafer cassette is provided to open and shut automatically a door of a wafer when performing a probe process of the wafer. CONSTITUTION: An apparatus for opening and shutting a door of a wafer cassette comprises a guide rail(10), a support plate(20), a door key(22), a rotatory cylinder(24), an actuator(30), a sensing portion(32), a control portion(50), and a rotation stage(40). The guide rail has a predetermined length. The support plate is moved toward a longitudinal direction of the guide rail. The door key opens and shuts a door of a wafer cassette. The rotatory cylinder provides a rotatory power for opening and shutting the door. The actuator provides a motion power to the support plate. The sensing portion senses a location of the support plate. The control portion is operated according to a sensing signal of the sensing portion. The rotation stage rotates the wafer cassette.

Description

웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치Wafer Cassette Door Opener

본 발명은 웨이퍼의 프로브 공정시 카세트의 도어를 개폐시키는 장치에 관한 것으로, 특히 카세트의 도어를 자동으로 개폐시키되, 도어가 개방된 카세트를 작업이 수행되는 방향으로 회전시키도록 구현하여, 도어의 개폐에 따른 작업공간을 최소화하면서도 상기 작업에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for opening and closing the door of the cassette during the probe process of the wafer, and in particular to automatically open and close the door of the cassette, to implement to rotate the cassette in the direction in which the door is opened, opening and closing the door It relates to a door cassette opening and closing device of the wafer cassette that can reduce the time required for the work while minimizing the work space.

일반적으로, 프로버(prober)에는 테스트될 다수의 웨이퍼가 수용되어 있는 카세트가 장착되는데, 상기 카세트는 최근 12인치크기의 웨이퍼를 수용할 수 있도록 대형화되는 추세에 있다. 이와 같은 12인치 웨이퍼용 카세트에는 도어가 없는 방식을 이용한 카세트와 전면에 도어를 가진 FOUP(Front Opening Unified Pod)방식을 이용한 카세트가 있다.In general, a prober is equipped with a cassette in which a plurality of wafers to be tested are accommodated, which has recently been enlarged to accommodate a wafer of 12 inches in size. Such 12-inch wafer cassettes include a cassette using a doorless method and a cassette using a front opening Unified Pod (FOUP) method having a door on the front side.

여기서, 상기 FOUP방식의 웨이퍼 카세트는, 도1에 도시된 바와 같이, 양측부에 손잡이가 구비된 몸체(1)와, 상기 몸체(1)의 전면에 장착되되 그 양측에는 키실린더의 홀(2a)이 형성되어 있는 도어(2)를 구비하고 있다. 이와 같은 FOUP방식의 카세트는 그 내부가 밀폐되므로 별도의 클리닝 룸(cleaning room)이 불필요하여 웨이퍼 일괄처리 공정에서의 클리닝 시설을 위한 운영비를 절감시킬 수 있는 장점이 있으나, 프로브 작업을 위해 웨이퍼를 이송시키기 위해서는 작업자가 장비 주위에 상주하면서 수작업으로 카세트의 도어를 개폐시켜야 하므로 인건비가 증가하고, 카세트 도어의 개폐를 위해 큰 작업공간이 요구되는 문제점이 있었다.Here, the wafer cassette of the FOUP method, as shown in Figure 1, the body is provided with a handle on both sides, and is mounted on the front of the body (1), both sides of the key cylinder hole (2a) ) Is provided with a door (2). Since the FOUP cassette is sealed inside, there is no need for a separate cleaning room, which reduces the operating cost for the cleaning facility in the wafer batch processing process, but transfers the wafer for probe work. In order to do this, the worker has to stay around the equipment and manually open and close the door of the cassette, the labor cost increases, there was a problem that requires a large work space for opening and closing the cassette door.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 카세트의 도어를 자동으로 개폐시켜 카세트 도어의 개폐를 위한 작업공간 및 인건비를 감소시킬 수 있으며, 카세트를 회전시켜 그에 수용되어 있는 웨이퍼에 프로브 작업을 수행하는 것이 용이한 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, it is possible to automatically open and close the door of the cassette to reduce the work space and labor costs for opening and closing the cassette door, and to rotate the cassette on the wafer accommodated therein. It is an object of the present invention to provide a door opening and closing device of a wafer cassette which is easy to perform a probe operation.

도1은 일반적인 FOUP방식의 웨이퍼 카세트를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a wafer cassette of a general FOUP method.

도2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치를 나타낸 사시도.Figure 2 is a perspective view showing a door opening and closing device of the wafer cassette according to the present invention.

도3a 및 도3b는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치의 사용상태도.Figure 3a and Figure 3b is a state of use of the door opening and closing device of the wafer cassette according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 가이드 레일 20 : 지지판10: guide rail 20: support plate

22 : 도어 키 24 : 회전실린더22: door key 24: rotary cylinder

26 : 진공유닛 30 : 액츄에이터26: vacuum unit 30: actuator

32 : 위치감지센서 40 : 회전스테이지32: position sensor 40: rotating stage

50 : 제어부50: control unit

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 소정길이를 가진 가이드 레일; 상기 가이드 레일의 길이방향으로 이동되도록 장착된 지지판; 상기 지지판의 소정부위에 장착되며, 웨이퍼 카세트 도어를 개폐시키기 위한 도어키; 상기 도어키의 일단부에 결합되며, 상기 도어키에 상기 도어의 개폐를 위한 회전력을 제공하는 회전실린더; 상기 가이드 레일의 일단부에 장착되며, 상기 지지판을 상기 가이드 레일을 따라 이동시키기 위한 이동력을 제공하는 이동력제공수단; 상기 이동력제공수단에 의해 이동된 지지판의 위치를 감지하는 감지수단; 상기 감지수단에 연결되어 그의 감지신호를 인가받아 구동되는 제어부; 및 상기 웨이퍼 카세트를 얹어 놓을 수 있도록 형성되며, 상기 제어부의 동작신호를 인가받아 상기 웨이퍼 카세트를 소정각도만큼 회전시키는 회전스테이지를 포함하는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치를 제공한다.The present invention to achieve the above object, a guide rail having a predetermined length; A support plate mounted to move in the longitudinal direction of the guide rail; A door key mounted on a predetermined portion of the support plate to open and close a wafer cassette door; A rotation cylinder coupled to one end of the door key and providing a rotational force to open and close the door to the door key; Moving force providing means mounted to one end of the guide rail and providing a moving force for moving the support plate along the guide rail; Sensing means for sensing the position of the support plate moved by the movement force providing means; A control unit connected to the sensing unit and driven by receiving a sensing signal thereof; And a rotation stage configured to mount the wafer cassette and rotating the wafer cassette by a predetermined angle in response to an operation signal of the controller.

그러면, 첨부된 도2 및 도3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.Next, with reference to the accompanying Figures 2 and 3 will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치는, 도어가 열린 카세트의 내부가 작업방향측에서 보일수 있도록 회전가능하게 구현한 것으로, 도2에 도시된 바와 같이 카세트의 일측에 장착된 소정길이의 가이드 레일(10)과, 상기 가이드 레일(10) 상에 이동가능하도록 장착되며 상기 카세트의 도어에 평행하게 대향된 면을 가진 격자형상의 지지판(20)을 구비한다.The door opening and closing device of the wafer cassette according to the present invention is implemented to be rotatable so that the inside of the cassette is opened in the working direction side, as shown in Figure 2, a guide of a predetermined length mounted on one side of the cassette A rail 10 and a lattice-shaped support plate 20 are mounted to be movable on the guide rail 10 and have a surface opposite to the door of the cassette.

여기서, 상기 지지판(20)의 전면 양측에는 카세트 도어의 키실린더 홀에 대응되는 도어 키(22)가 장착되고, 상기 지지판(20)의 후면에는 도어 키(22)를 소정각도로 회전시키기 위한 회전실린더(24)가 장착되며, 상기 도어 키(22)와 회전실린더(24)는 커플링 결합된다.Here, the door key 22 corresponding to the key cylinder hole of the cassette door is mounted on both front sides of the support plate 20, and the rear side of the support plate 20 is rotated to rotate the door key 22 at a predetermined angle. The cylinder 24 is mounted, and the door key 22 and the rotary cylinder 24 are coupled to each other.

그리고, 상기 지지판(20)의 정면중앙부에는 진공유닛(26)이 장착되며, 상기 진공유닛(26)은 도어 키(22)에 의해 열린 카세트의 도어를 지지판(20) 상에 흡착시켜 지지한다.In addition, a vacuum unit 26 is mounted on the front central portion of the support plate 20, and the vacuum unit 26 sucks and supports the door of the cassette opened by the door key 22 on the support plate 20.

더욱이, 상기 가이드 레일(10)의 후단부에는 액츄에이터(30)가 장착되어 지지판(20)을 가이드 레일(10)의 길이방향으로 이동시키며, 상기 가이드 레일(10) 상의 후방측에는 위치감지센서(32)가 장착되어 상기 액츄에이터(30)에 의해 이동되는 지지판(20)의 위치를 감지하여 그 신호를 외부로 전송한다.Furthermore, an actuator 30 is mounted at the rear end of the guide rail 10 to move the support plate 20 in the longitudinal direction of the guide rail 10, and at the rear side of the guide rail 10, a position sensor 32. ) Is mounted to sense the position of the support plate 20 moved by the actuator 30 and transmit the signal to the outside.

또한, 본 실시예에서는 카세트를 얹혀놓은 상태로 회전가능하게 형성된 회전스테이지(40)와, 상기 위치감지센서(32)로부터 신호를 인가받아 회전스테이지(40)에 동작신호를 인가하는 제어부(50)를 가진다.In addition, in the present embodiment, the rotating stage 40 rotatably formed while the cassette is placed thereon, and the control unit 50 for receiving a signal from the position detecting sensor 32 and applying an operation signal to the rotating stage 40. Has

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 작용상태를 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the working state of the present invention made of the above configuration in detail as follows.

도3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 테스트될 다수의 웨이퍼가 수용되어 있는 카세트 몸체(1)가 회전스테이지(40) 상에 위치되면, 상기 액츄에이터(30)가 지지판(20)을 카세트의 도어(2)측으로 전진이동시킨다.As shown in Figs. 3A and 3B, when the cassette body 1 containing the plurality of wafers to be tested is placed on the rotary stage 40, the actuator 30 moves the support plate 20 to the cassette door. Move forward to side (2).

이때, 상기 지지판(20)의 전면에 장착된 도어 키(22)가 카세트 도어(2)의 키실린더 홀(2a)에 삽입되면, 상기 회전실린더(24)가 도어 키(22)를 시계방향으로 회전시켜 카세트의 도어를 연다(open).At this time, when the door key 22 mounted on the front of the support plate 20 is inserted into the key cylinder hole 2a of the cassette door 2, the rotary cylinder 24 rotates the door key 22 in the clockwise direction. Rotate to open the door of the cassette.

그리고, 상기 진공유닛(26)이 동작하여 열린 카세트의 도어(2a)를 지지판(20)의 전면에 흡착시켜 지지하고, 이어 상기 액츄에이터(30)가 도어(2)를 지지하고 있는 지지판(20)을 가이드 레일(10) 상에서 위치감지센서(32)측으로 이동시킨다.Then, the vacuum unit 26 operates to adsorb and support the door 2a of the opened cassette to the front surface of the support plate 20, and then the support plate 20 on which the actuator 30 supports the door 2. Move toward the position detecting sensor 32 on the guide rail (10).

이때, 상기 위치감지센서(32)가 지지판(20)의 위치를 감지하면, 상기 위치감지센서(32)는 지지판(20)의 감지신호를 제어부(50)에 인가하고, 상기 감지신호를 인가받은 제어부(50)는 회전스테이지(40)에 동작신호를 발생시킨다. 이에 따라, 상기 회전스테이지(40)가 회전되어 카세트 몸체(1)에 수용되어 있는 웨이퍼에 프로브 작업을 용이하게 수행할 수 있도록한다.At this time, when the position detection sensor 32 detects the position of the support plate 20, the position detection sensor 32 applies a detection signal of the support plate 20 to the controller 50 and receives the detection signal. The controller 50 generates an operation signal to the rotating stage 40. Accordingly, the rotary stage 40 is rotated to facilitate the probe operation on the wafer accommodated in the cassette body (1).

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those who have

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치는, 카세트의 도어를 자동으로 개폐시키므로써 카세트 도어의 개폐에 필요한 작업공간 및 인건비를 종래의 수작업에 비해 현저하게 감소시킬 수 있으며, 또한 도어가 열린 카세트를 회전시켜 그에 수용되어 있는 웨이퍼에 프로브 작업을 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.The door opening and closing apparatus of the wafer cassette according to the present invention as described above, by automatically opening and closing the door of the cassette can significantly reduce the work space and labor costs required for opening and closing the cassette door compared to conventional manual work, and also the door There is an effect that can easily perform the probe operation on the wafer accommodated therein by rotating the open cassette.

Claims (2)

소정길이를 가진 가이드 레일;A guide rail having a predetermined length; 상기 가이드 레일의 길이방향으로 이동되도록 장착된 지지판;A support plate mounted to move in the longitudinal direction of the guide rail; 상기 지지판의 소정부위에 장착되며, 웨이퍼 카세트의 도어를 개폐시키기 위한 도어키;A door key mounted on a predetermined portion of the support plate to open and close a door of the wafer cassette; 상기 도어키의 일단부에 결합되며, 상기 도어키에 상기 도어의 개폐를 위한 회전력을 제공하는 회전실린더;A rotation cylinder coupled to one end of the door key and providing a rotational force to open and close the door to the door key; 상기 가이드 레일의 일단부에 장착되며, 상기 가이드 레일을 따라 이동되도록 상기 지지판에 이동력을 제공하는 이동력제공수단;A moving force providing means mounted to one end of the guide rail and providing a moving force to the support plate to move along the guide rail; 상기 이동력제공수단에 의해 이동된 지지판의 위치를 감지하는 감지수단;Sensing means for sensing the position of the support plate moved by the movement force providing means; 상기 감지수단에 연결되어 그의 감지신호를 인가받아 구동되는 제어부; 및A control unit connected to the sensing unit and driven by receiving a sensing signal thereof; And 상기 웨이퍼 카세트를 얹어 놓을 수 있도록 형성되며, 상기 제어부의 동작신호를 인가받아 상기 웨이퍼 카세트를 소정각도만큼 회전시키는 회전스테이지The rotating stage is formed so that the wafer cassette can be placed, the rotation stage for rotating the wafer cassette by a predetermined angle in response to the operation signal of the controller 를 포함하는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치.Door opening and closing device of the wafer cassette comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지판의 중앙부에 장착되며, 상기 도어키에 의해 열린 카세트의 도어를 지지하기 위해 공기를 흡입하므로써 상기 지지판에 흡착시키는 진공유닛을 더 포함하는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치.And a vacuum unit mounted to a central portion of the support plate and adsorbing air to the support plate by sucking air to support the door of the cassette opened by the door key.
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