JP2009170945A - Loading and unloading station for semiconductor processing installation - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は少なくとも1つの閉鎖可能な装填用関口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーションであって、クロージャを取り除いた後で、搬送コンテナ内に収容されているウェハ状または円板体を装填用開口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、搬送コンテナはコンテナ・カバーを備え、コンテナ・カバーはローディング及びアンローディング用平面に対してほぼ直交する方向に延びているステーションに関する。 The present invention is a loading and unloading station for semiconductor processing equipment with at least one closable loading port, which is in the form of a wafer or circle contained in a transport container after the closure is removed. A plate body can be loaded, unloaded and reloaded through a loading opening, the transport container is provided with a container cover, the container cover relating to a station extending in a direction substantially perpendicular to the loading and unloading plane .
半導体加工装置に対する装填を実施するために、ウェハ・マガジンを収納し、かつ搬送するための比較的小さな内部容積を有するマガジン・コンテナとしてスタンダード・メカニカル・インターフェース・ボックス(Standard Mechanical Interface Box;以下SMIFボックスと称する)と呼ばれるボックスを使用することは周知である。1つ以上のワーク・ステーションは挨を排除すべくエンクロージャ、即ちハウジング内に配置されている。SMIFボックスはハウジング内に位置する開放装置上への配置が可能である。ボックス及び開放装置はそれぞれ互いに整合する閉鎖エレメントを有している。これらの閉鎖レメントは互いに重なって配置されており、さらには同時に開放し得る。この結果、閉鎖エレメントの外側に付着する埃の粒子は、ウェハ・マガジンを2つの閉鎖エレメントとともにハウジング内へ下降させる際に、閉鎖エレメント間に内包され得る。そして、ボックスはハウジング上に形成された開口を覆っている。 A standard mechanical interface box (hereinafter referred to as a SMIF box) is a magazine container having a relatively small internal volume for storing and transporting a wafer magazine in order to load a semiconductor processing apparatus. It is well known to use a box called). One or more work stations are located in an enclosure or housing to eliminate dust. The SMIF box can be placed on an opening device located in the housing. The box and the opening device each have a closing element aligned with each other. These closing elements are arranged one on top of the other and can be opened simultaneously. As a result, dust particles adhering to the outside of the closure element can be encapsulated between the closure elements when the wafer magazine is lowered into the housing with the two closure elements. The box covers an opening formed on the housing.
ドイツ特許第4326309C1号に開示されているローディング及びアンローディング装置、即ち別のオペレーティング順序を有する装置はマガジンを搬送コンテナから取り出し、さらには同マガジンを加工装置内へ配置するために使用される。半導体ウェハの加工終了後、マガジンは搬送コンテナ内へ戻される。 The loading and unloading device disclosed in German Patent No. 4326309C1, i.e. a device with a different operating sequence, is used to remove the magazine from the transport container and to place it in the processing device. After finishing the processing of the semiconductor wafer, the magazine is returned to the transfer container.
SMIFボックスの技術は小さな直径を備えた半導体ウェハに特に適する。半導体ウェハの材料特性を考えた場合、SMIFボックスと、同SMIFボックスとともに使用されるウェハ・マガジンとは、半導体ウェハの直径の増大に伴って搬送コンテナとして使用するには不適切となる。この種の半導体ウェハに対してマガジンの機能を兼ね備えた搬送コンテナを使用することは周知である。半導体ウェハのローディング、アンローディング及びリローディングは半導体ウェハ表面に対して平行に延びる平面内においてそれぞれ実施される。搬送コンテナはローディング及びアンローディング用平面にほぼ直交して延びるコンテナ・カバーによって閉鎖され得る。そして、上下方向に開閉するSMIFボックスとは対照的に、コンテナ・カバーは横方向に開閉される。 The SMIF box technology is particularly suitable for semiconductor wafers with small diameters. When considering the material properties of semiconductor wafers, the SMIF box and the wafer magazine used with the SMIF box are unsuitable for use as a transport container as the diameter of the semiconductor wafer increases. It is well known to use a transfer container having the function of a magazine for this type of semiconductor wafer. The loading, unloading and reloading of the semiconductor wafer are performed in a plane extending parallel to the surface of the semiconductor wafer. The transport container may be closed by a container cover that extends substantially perpendicular to the loading and unloading plane. In contrast to the SMIF box that opens and closes in the vertical direction, the container cover is opened and closed in the horizontal direction.
搬送コンテナが低い清浄度の基準を有する空間によって包囲されていることと、SMIF技術に使用されるマガジンのようにローディング及びアンローディングし得るマガジンが存在しないことにより、搬送コンテナから半導体加工装置内への移送と、同半導体加工装置から搬送コンテナへの移送とには問題がある。そして、更に多い数の搬送コンテナに対する任意のローディング及びアンローディングを特定の状況下において保証する必要があるうえ、オペレータによる搬送コンテナ自体の装填及び取り出しも人間工学的に好ましい条件下で実施する必要があるため、問題は更に悪化する。 Due to the fact that the transport container is surrounded by a space with a low cleanliness standard and that there is no magazine that can be loaded and unloaded like the magazine used in SMIF technology, it is from the transport container into the semiconductor processing equipment. And the transfer from the semiconductor processing apparatus to the transfer container are problematic. In addition, it is necessary to guarantee arbitrary loading and unloading with respect to a larger number of transport containers under specific circumstances, and it is also necessary to perform loading and unloading of the transport container itself by an operator under favorable ergonomic conditions. The problem is further exacerbated.
基板を保管、搬送及び挿入するための装置は欧州特許出願公告第542793B1号に開示されている。この装置において、側部閉鎖キャップを備えたカセットはローディング・スロットの反対側に配置されている。複数の積み重ねられたカセットのパケットを保持し得るリフティング・プレートにより、複数のカセットは1個づつローディング位置へ搬送される。ローディング位置に到達した際、閉鎖キャップは同キャップを回動させることによって開かれ、基板ウェハはカセットから離間し得る引き出しによってクリーン・ルーム内へ挿入される。ローディング・スロットから吐出される空気はシール及びカセット間の空隙を通過して噴出することにより、粒子がクリーン・ルーム内へ侵入することを防止している。 An apparatus for storing, transporting and inserting substrates is disclosed in European Patent Application Publication No. 542793B1. In this device, a cassette with a side closure cap is located on the opposite side of the loading slot. A plurality of cassettes are transported one by one to a loading position by a lifting plate capable of holding a plurality of stacked cassette packets. When the loading position is reached, the closure cap is opened by rotating the cap and the substrate wafer is inserted into the clean room by a drawer that can be separated from the cassette. Air discharged from the loading slot is ejected through a gap between the seal and the cassette, thereby preventing particles from entering the clean room.
本発明は前述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、搬送コンテナから半導体加工装置への装填をクリーン・ルーム条件下で保証することにあり、これらの搬送コンテナは円板体に対するマガジンとして使用され、かつ横方向に開放される。更に多い数量の搬送コンテナのローディング及びアンローディングを任意に行うことが可能である。この場合、搬送コンテナの交換は人間工学的に効果的な条件下で実施する必要がある。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to assure loading from a transport container to a semiconductor processing apparatus under clean room conditions. These transport containers are disc bodies. Is used as a magazine and is opened laterally. It is possible to arbitrarily load and unload a large number of transport containers. In this case, the transfer container must be replaced under ergonomically effective conditions.
本発明の目的は、閉鎖可能な装填用閉口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーンョンであって、装填用閉口を閉鎖するためのクロージャを同装填用関口から取り除いた後に、搬送コンテナ内に収容されている円板体を装填用関口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、搬送コンテナは、同搬送コンテナを閉鎖するためのコンテナ・カバーを備えており、同コンテナ・カバーはローディング及びアンローディング用平面に対してほぼ直交する方向に延びているローディング及びアンローディング用ステーンョンにおいて、円板体のローディング、アンローディング及びリローディングに使用する搬送コンテナは、装填用関口を閉鎖しているクロージャに対してコンテナ・カバーを介して結合され、コンテナ・カバー及びクロージャは、互いに結合される表面をそれぞれ有しており、コンテナ・カバー及びクロージャの両表面を結合した状態で、コンテナ・カバー及びクロージャを共に半導体加工装置内へ下降させることによって装填用開口及び搬送コンテナは同時に開放され、コンテナ・カバー内には同コンテナ・カバーを搬送コンテナにロックするためのロッキング・エレメントが設けられ、クロージャの表面には搬送コンテナを関放すべくロッキング・エレメントを作動させるための回動可能なキーが設けられ、コンテナ・カバーの表面には、ロッキング・エレメントを作動させるべくキーが挿入されるキー・ホールが設けられ、キー・ホールに挿入されたキーが回動されたとき、クロージャ及びコンテナ・カバーが互いに固定されるように、キーがキー・ホールの後ろ側に係合するローディング及びアンローディング用ステーンョンによって実現される。クロージャはコンテナ・カバーに結合すべ<真空吸引装置を有する。 It is an object of the present invention to provide a loading and unloading stain for a semiconductor processing apparatus with a closable loading closure, after removing the closure for closing the loading closure from the loading entry. The disc body accommodated in the transport container can be loaded, unloaded and reloaded via the loading port, and the transport container has a container cover for closing the transport container. In the loading and unloading stern, the cover extends in a direction substantially perpendicular to the loading and unloading plane, and the transport container used for loading, unloading and reloading the disc body closes the loading port. Container cover against the closing closure The container cover and the closure have surfaces to be joined to each other, and both the container cover and the closure are joined to each other in the semiconductor processing apparatus. The loading opening and the transport container are opened at the same time, a locking element is provided in the container cover for locking the container cover to the transport container, and the surface of the closure is associated with the transport container. A rotatable key is provided to actuate the locking element to release, and a key hole is provided on the surface of the container cover to insert the key to actuate the locking element. When the inserted key is rotated, the closure and container As over are fixed to each other, the key is implemented by Sutenyon for loading and unloading which engages behind the key hole. The closure has a vacuum suction device that should be coupled to the container cover.
搬送コンテナをクロージャに対して結合すべ<同搬送コンテナを整合して固定する手段を備え、さらには水平方向における位置の調節が可能な第1のプラットフォーム上に搬送コンテナが配置されている。 The transport container should be coupled to the closure. The transport container is arranged on a first platform which is provided with means for aligning and fixing the transport container and the position in the horizontal direction can be adjusted.
プラットフォームは上下に並んで位置する少なくとも2つの平面間で位置の調節が可能であり、平面のうちの1つは搬送コンテナを人間工学的に効果的な高さで装填するために使用され、別の平面は半導体加工装置に対するローディング及びアンローディングに使用される。 The platform can be adjusted between at least two planes that are positioned side by side, one of which is used to load the transport container at an ergonomically effective height; These planes are used for loading and unloading to the semiconductor processing apparatus.
ローディング及びアンローディング用ステーションは別の少なくとも1つの搬送コンテナを保持するために、搬送コンテナを整合して固定する手段を備え、さらには水平方向における位置の調節が可能なプラットフォームを更に適切な数量有し得る。プラットフォームのうちの少なくとも1つは搬送コンテナをクロージャに対して結合させるために使用され、他のプラットフォームは搬送コンテナの交換に使用される。 The loading and unloading station has means for aligning and securing the transport container to hold at least one other transport container, and also has a more suitable quantity of platform that can be adjusted in horizontal position. Can do. At least one of the platforms is used to couple the transport container to the closure, and the other platform is used to replace the transport container.
更に、ローディング及びアンローディング用ステーションは搬送コンテナを交換すべくストレージを有し、同ストレージ内において、グリッパは上下に並んで配置された複数の保管用区画、即ち保管用棚に対する任意のアクセスが可能であり、さらには搬送コンテナの手動装填を行うべくローディング用関口及び搬送コンテナ用ホルダが設けられている。そして、搬送コンテナを搬送コンテナ用ホルダ、保管用棚及びプラットフォーム間で移動させるために、同搬送コンテナの寸法に対応する空間が保管用棚に隣接して形成されている。搬送コンテナ用ホルダは装填を行うためにローディング用関口を通過して移動し得る。 In addition, the loading and unloading stations have storage for exchanging transport containers, in which the grippers can have arbitrary access to multiple storage compartments, ie storage shelves arranged side by side. In addition, a loading entrance and a transport container holder are provided to manually load the transport container. In order to move the transport container between the transport container holder, the storage shelf, and the platform, a space corresponding to the size of the transport container is formed adjacent to the storage shelf. The carrier container holder can move past the loading port for loading.
更に、クロージャは同クロージャをコンテナ・カバーに対して整合させるためのエレメントを備え、同エレメントによる整合はクロージャとコンテナ・カバーとの結合が行われる前に実施し得る。 Further, the closure includes an element for aligning the closure with the container cover, and the alignment by the element can be performed before the closure and the container cover are combined.
整合エレメント及びキーはクロージャ及びコンテナ・カバーが互いに接近する間に生じる差を補償すべ<ローディング及びアンローディング用平面に直交する方向に弾性的に支持し得る。ローディング及びアンローディングは、半導体加工装置内に配置されたマニピュレーティング装置を装填用開口を通じて搬送コンテナ内へ係合させることによって行われる。 The alignment element and key should be elastically supported in a direction perpendicular to the loading and unloading planes to compensate for differences that occur while the closure and container cover are close together. Loading and unloading are performed by engaging a manipulating device disposed in a semiconductor processing apparatus into a transfer container through a loading opening.
装填用関口はプレート、即ちシールド内に形成され、同シールドはインデックスが付けられた位置に基づいて円板体のローディング及びアンローディングを実施すべく、結合された搬送コンテナとともにローディング及びアンローディング用平面に直交する方向においてマニピュレーティング装置に対する位置の調節が可能である。従って、個々のエレベータを用いることにより、異なる平面間における移動と、インデクシング移動とを実現し得る。しかし、インデックスが付けられた位置に基づいて円板体のローディング及びアンローディングを実施すべく、ローディング及びアンローディング用平面に直交する方向において位置の調節を行い得るようにマニピュレーティング装置を形成できる。 A loading port is formed in the plate, i.e., the shield, which is loaded and unloaded with the associated transport container to load and unload the disc body based on the indexed position. It is possible to adjust the position with respect to the manipulating device in a direction orthogonal to. Accordingly, by using individual elevators, movement between different planes and indexing movement can be realized. However, the manipulating device can be formed so that the position can be adjusted in the direction perpendicular to the loading and unloading plane so that the disk body can be loaded and unloaded based on the indexed position.
本発明に基づく前記の解決手段により、装填を実施する半導体加工装置内におけるクリーン・ルーム条件に対して態影響を及ぼすことなく、前記の搬送コンテナを使用できる。300mmの寸法の半導体ウェハを容易に取り扱い得る。クロージャ及びコンテナ・カバーの結合中、同コンテナ・カバー上に位置する挨粒子は互いに結合されたクロージャ及びコンテナ・カバーの両表面間に確実に保持される。 With the solution according to the present invention, the transfer container can be used without affecting the clean room conditions in the semiconductor processing apparatus to be loaded. A semiconductor wafer having a dimension of 300 mm can be easily handled. During the coupling of the closure and the container cover, dust particles located on the container cover are securely held between the surfaces of the closure and the container cover that are joined together.
詳述するように、本発明によれば、搬送コンテナから半導体加工装置への装填をクリーン・ルーム条件下で行い得るという優れた効果を発揮する。本発明はさらに、クロージャ及びコンテナ・カバーの結合中、コンテナ・カバー上に位置する挨粒子は互いに結合されたクロージャ及びコンテナ・カバーの両表面間に確実に保持されるので、埃粒子が半導体加工装置内に飛散することが防止されるという優れた効果を発揮する。 As will be described in detail, according to the present invention, an excellent effect that the loading from the transfer container to the semiconductor processing apparatus can be performed under clean room conditions is exhibited. The present invention further provides that dust particles located on the container cover are securely held between the surfaces of the closure and the container cover that are coupled to each other during the coupling of the closure and the container cover, so that the dust particles are processed in the semiconductor processing. It exhibits an excellent effect that it is prevented from being scattered in the apparatus.
図1〜図3において、壁エレメント2に対して固定されたフレーム1は自身に対して角度をなして交わる2つのフレーム・エレメント3,4と協働してエレベータ5を支持している。
1 to 3, a
プラットフォーム7はエレベータ5に対して固定されたガイド8上において軽エレメント2に向けて水平方向に位置調節が可能であり、さらには搬送コンテナ6に対する保持手段として機能する。搬送コンテナ6は特定の範囲内において各種の方法で形成し、かつ準備し得る。プラットフォーム7はエレベータ5を使用することにより、上下に位置する2つの平面9,10間を移動し得る。また、プラットフォーム7の数量は図に示す数量に限定されることはない。平面9はプラットフォーム7への搬送コンテナ6の装填に際し人間工学的に適した高さに位置している。そして、半導体加工装置に対するローディング及びアンローディングは平面10内において行われる。このために、クロージャ12にて閉鎖され得る装填用開口13はシールド11内に形成されている。シールド11はガイド手段14にて案内することにより、平面10に直交する方向において壁2に沿って調節可能である。そして、シールド11は壁エレメント2内に形成された閉口をシールする。搬送コンテナ6は自身のコンテナ・カバー15を介してクロージャ12に対して係着、即ち結合され、この結合はプラットフォーム7のうちの1つを壁エレメント2へ向けて水平方向に移動させた際に生じる摩擦を利用した係合作用にてこの結合を行うべく、吸引エレメント16がクロージャ12内に組み込まれている。そして、ホース・コネクション(図示略)が吸引エレメント16から真空源に向けて延びている。
The
コンテナ・カバー15は搬送コンテナ6内へ摺動して同搬送コンテナ6内でロックされる。コンテナ・カバー15はシール17によって周囲を被覆されており、同シール17によってコンテナ・カバー15は周囲の壁に対して密閉されている。ロック解除は前記の摩擦係合がなされた後で行われる。図1に示すように、クロージャ12は折れ曲がった矢印が示す方向へ向かってコンテナ・カバー15とともに半導体加工装置内へ移動する。
The
全ての搬送コンテナ6は円板体19を収容すべく上下に並ぶ複数の棚を有しており、同棚は突出部18によって形成されている。平面10内において装填用開口13を介した円板体19のローディング及びアンローディングを行うために、図1に示す構造物内には搬送コンテナ6の上下方向における位置を適切な方法で調節することが必要となる。これを実現するために、搬送コンテナ6はシール20を介してシールド11に対して更に密閉されている。シールド11はエレベータ5による上下方向のインデクシング移動(vertikale Indexbewegung)によって移動される。半導体加工装置内のクリーン・ルーム条件はシールド11によるシーリングによって維持される。
All the
インデクシング(Indexierung)を実施すべく、インデックス・センサ21は搬送コンテナ6を垂直方向に調節する間に突出部18及び円板体19を検出する。
In order to perform indexing, the
ローディング及びアンローディングは半導体加工装置のクリーン・ルーム領域内に配置されたマニピュレーティング装置22を装填用閉口13を介して係合させることによって平面10内で実施される。
Loading and unloading is carried out in the
図4に示すローディング及びアンローディング用ステーションでは、クロージャ23の開閉に装置が使用されており、同装置は図5に更に詳細に示されている。既に開放されている搬送コンテナ24はプラットフォーム26上に配置されている。プラットフォーム26は静止プレート25によって支持されており、さらには矢印方向へ水平に移動可能である。搬送コンテナ24は壁エレメント28内の装填用閉口27と連通している。クロージャ23はアーム29に対して固定されている。アーム29は上下方向における位置の調節と、壁エレメント28に対する位置の調節とが可能であり、さらにはコンテナ・カバー30を支持している。コンテナ・カバー30はクロージャ23に対して摩擦係合して係着されている。ローディング及びアンローディング用ステーションの駆動及び制御エレメントはハウジング31内に収容されている。
In the loading and unloading station shown in FIG. 4, a device is used to open and close the
図5及び図6に示すように、リフティング・シリンダ32,33を使用することにより、アーム29は上下方向における位置の調節と、壁エレメント28に対する位置の調節とが可能である。リフティング・シリンダ33を動作させることにより、支持プレート34に対して固定されたリフティング・シリンダ32は同支持プレート34とともに軸X−Xの周囲を停止部35に達するまで回動させ得る。
As shown in FIGS. 5 and 6, by using the lifting
図4に示す1つの搬送コンテナ24のみを支持する実施の形態とは対照的に、図7に示すプレート25に固定された支持部材36は別の静止プレート37を支持している。矢印方向へ水平に移動が可能な第2のプラットフォーム38は静止プレート38上に配置されている。搬送コンテナ用カバー39によって閉鎖された別の搬送コンテナは符号40によって示されている。
In contrast to the embodiment supporting only one
2つのプラットフォーム26,38は支持アーム42を用いて上下方向に調節できる。支持アーム42はプレート25に対して結合されている。更に、支持アーム42はドライブ41を用いて駆動することにより上昇及び下降させ得る。搬送コンテナ24または40をクロージャ23に対して結合するためにプラットフォーム26,38のうちの一方を使用し、他方を搬送コンテナの交換に使用し得る。
The two
無論、図4に示すような2つの平面間で1つの搬送コンテナのみを調節する構成に対して、図7及び図8に示す垂直方向の調節を使用し得ることは当業者にとって自明である。同様に、保持可能な搬送コンテナの数量は必要に応じて増加させ得る。 Of course, it will be apparent to those skilled in the art that the vertical adjustment shown in FIGS. 7 and 8 can be used for configurations that adjust only one transport container between two planes as shown in FIG. Similarly, the quantity of transport containers that can be held can be increased as needed.
搬送コンテナを交換するためのストレージを図4、図7及び図8に示すローディング及びアンローディング装置に使用可能であり、同ストレージを図9〜図11に基づいて以下に詳述する。 A storage for exchanging the transport container can be used in the loading and unloading apparatuses shown in FIGS. 4, 7, and 8. The storage will be described in detail below with reference to FIGS.
図10に示すように、ローディング及びアンローディング装置は保管用棚45を有するハウジング44の壁43に取り付けられている。上下に配置された複数の保管用棚45は、搬送コンテナ46の保持に使用される。本実施の形態では、ストレージは保管用棚45がローディング及びアンローディングの方向とは無関係にローディング及びアンローディング装置のプラットフォームの上方に位置するように形成されている。保管用棚45内に位置する搬送コンテナ46に対する任意のアクセスを実現するために、搬送コンテナ46の寸法に対応する空間47を複数の保管用棚45と、壁43以外のハウジング44の壁との間に確保する必要がある。空間が残された壁はストレージに利用し得る空間によって決定される。
本実施の形態に示す構成では、ローディング及びアンローディング装置を備えた壁43に隣接する壁48側に自由空間は位置しており、奥行きの小さいストレージが形成される。ガイド51上へ移動可能な搬送コンテナ用ホルダ52と、ロック可能なローディング用開口50とは搬送コンテナ46をストレージ内へ手動で装填するために使用される。そして、ローディング用開口50は壁43の反対側に位置する壁49内の人間工学的に効果的な高さに設けられている。
As shown in FIG. 10, the loading and unloading apparatus is attached to a
In the configuration shown in the present embodiment, the free space is located on the side of the
図11に示すように、搬送コンテナ46を搬送すべく上下方向及び水平方向への移動が可能なグリッバ53はエクステンション・アーム54によって水平方向ドライブ55に対して固定されている。水平方向ドライブ55はエレベータ56に対して連結されている。
As shown in FIG. 11, the
搬送コンテナ46はカバー領域上にハンドル57を有しており、同ハンドル57はグリッパ53によって自動的に把持される。各搬送コンテナ46の上方には、同搬送コンテナ46の搬送を実施すべくグリッパ53と協働するエクステンション・アーム54に対する十分な空間が形成されている。
The
搬送コンテナ46はグリッパ53によって把持された後、保管用棚45から開放空間47内へ水平方向に搬送される。次いで、搬送コンテナ46はストレージ、またはローディング及びアンローディング装置のプラットフォーム上への手動装填に適した人間工学的高さに位置する平面まで上下動される。搬送コンテナ40は前記の平面へ到達した後、延仲状態にあるプラットフォーム、即ち搬送コンテナ用ホルダ52上へ送られる(図11は延伸状態にある搬送コンテナ用ホルダ52を示す)。反対方向への移動も同様に行われる。
The
図12及び図13に示すように、クロージャ23はボア・ホール58から延出する吸引エレメント59を有している。ピン60の形態をなす整合エレメントは吸引エレメント59の中心に取り付けられている。更に、コンテナ・カバー30内のロッキング・エレメントG2を作動させるためのダブルビット(Doppelbart)を備えたキー61がクロージャ23内に取り付けられている。複数のピン60にそれぞれ対応する細長いホール63及び7ドア・ホール64は、キー61に対するキー・ホール65と同様にコンテナ・カバー30上に形成されている。結合プロセス中に、クロージャ23に対してコンテナ・カバー30を予備的に整合させるべく、ピン60は吸引エレメント59を越えて突出している。この結果、ピン60は先ず細長いホール63またはボア・ホール64に対して係合することになる。その後、キー・ホール65内へ没入し、吸引エレメント59は突出する舌部66を介してコンテナ・カバー30の表面上に支持される。この時点において行われる吸引プロセスの間、舌部66は十分な大きさを備えたボア・ホール58内へ完全に戻される。そして、クロージャ23の表面及びコンテナ・カバー30の表面は摩擦係合している。そして、同表面間には付着する粒子が内包 されている。キー61を回動させることにより、コンテナ・カバー30の内部に取り付けられたドライバ67が駆動され、ロッキング・エレメント62が開放される。クロージャ23は搬送用チャネルを形成すべくコンテナ・カバー30とともに半導体加工装置内へ下降させ得る。
As shown in FIGS. 12 and 13, the
キー61はロッキング・エレメント62を開放する以外にも別の作用を有する。キー・ホール65内に挿入したキー61を回動した後、吸引エレメント59内における減圧が適切に行われなかった場合、ダブルビットがキー・ホール65の後ろ側に係合することによりコンテナ.カバー30を保持し得る。延伸した状態にある吸引エレメント59の舌部66はコンテナ・カバー30の表面に対して密着した状態に維持される。この結果、吸引エレメント59内における減圧を回復した際、両表面を再び迅速に相互に押圧させ得る。結合中に形成される応力を防止すべく、整合エレメント及びキー61は中空のクロージャ23の内側に弾性的に支持されている。
The key 61 has another function besides opening the locking
搬送コンテナを結合するための別の効果的工程は図14〜図17に示されている。搬送コンテナは整合した状態でプラットフォーム上に配置される。その一方、搬送コンテナは図12及び図13に関連して示したように開放プロセス中に力を受ける。この力はローディング及びアンローディング・プロセスの中断を防止するために補償を要する。 Another effective process for joining the transport containers is shown in FIGS. The transport container is placed on the platform in an aligned state. On the other hand, the transport container is subjected to a force during the opening process as shown in connection with FIGS. This force requires compensation to prevent interruption of the loading and unloading process.
図14及び図15に示すように、搬送コンテナ68はプラットフォーム69上に配置されており、同プラットフォーム69はこれまでに説明した図面に示したプラットフォームに機能的に一致している。搬送コンテナ68は内部に円板体を保持するための棚70を有する。図11に示す搬送コンテナに関して述べたように、自動的に作動するグリッパのためのハンドル71はカバー領域上に設けられている。正しい配置を実現すべく互いに整合する整合エレメントとしての溝72及び係合ピン73は、搬送コンテナ68の基部及びプラットフォーム69上にそれぞれ3つ設けられている。結合を実施すべく搬送コンテナ68が水平方向に移動する間、プラットフォーム69に固定されたコンタクト・プレッシャ・アーム75に取り付けられた弾性ローラ74は、搬送コンテナ68の基部に固定された勾配付き横材76に沿って摺動し、かつ搬送コンテナ68を固定する。ビジュアル・オリエンテーション・ペグ77は搬送コンテナ68を手動でプラットフォーム69上に配置する際に利用可能である。
As shown in FIGS. 14 and 15, the
搬送コンテナをプラットフォーム上に固定する別の方法は図16及び図17に示す解決策によって提供される。プラットフォーム69内のボア・ホール78を通って案内されたキー79は搬送コンテナ68を配置する間、搬送コンテナ68の基部に固定されたプレート81内に形成されたキー・ホール80を貫通して延び、さらには閉鎖動作の後にプレート81の後ろ側に係合する。
Another way of securing the transport container on the platform is provided by the solution shown in FIGS. A key 79 guided through a
クロージャを開閉する別の装置を図18及び図19に基づいて以下に詳述する。同装置を使用することにより、ローディング及びアンローディング装置の奥行きを減少させ得る。図1〜図3に示すように、本実施の形態はシールドを使用しており、装填用関口は同シールド内に形成されている。しかし、固定された装填用閉口を前記の装置とともに使用できる。装填用開口は開放されているが、プラットフォーム上の結合済搬送コンテナは図面の簡略化のために図示を省略する。 Another device for opening and closing the closure will be described in detail below with reference to FIGS. By using the same device, the depth of the loading and unloading device can be reduced. As shown in FIGS. 1 to 3, the present embodiment uses a shield, and the loading entrance is formed in the shield. However, a fixed loading closure can be used with the device. Although the loading opening is open, the combined transport container on the platform is not shown for simplicity of the drawing.
本実施の形態では、装填用閉口83を備えたシールド82はガイド85及びガイド・スライド86を介してフレーム84によって支持されている。装填用開口83に対するクロージャ87 はアーム88を介してロータ軸89に固定されている。ロータ軸89はロータリ・ドライブ90によって駆動される。ロータリ・ドライブ90は保持プレート91に対してネジで固定されている。保持プレート91はフレーム84に対して固定された支持プレート93上の水平方向ガイド92によってローディング及びアンローディング方向へ移動させ得る。この移動は空気圧式ドライブ等の適切なドライブ94によって実施される。
In the present embodiment, the
ソールド82は装填用閉口83の領域内において補強されており、さらにはフレーム84が固定されている壁95内に形成された関口を被覆する。関口(図示略)は上下に長く延びており、同閉口の上下の長さ全体に沿って装填用閉口83が上下方向において調節されるようになっている。この結果、固定されたマニピュレーティング装置は結合された搬送コンテナに付随し、かつインデックスが付けられた異なる平面に対して装填用閉口を通じてアクセスできる。
The sole 82 is reinforced in the region of the
ラビリンス・シール96はシールド82を調節する間におけるシーリングを提供する。ラビリンス・シール96の一部は調節可能なシールド82に対して固定される一方、同シール96の他の部分は壁95内の関口に隣接して固定されている。
プラットフォームのドライバ98は空気シリンダ97にて駆動される。搬送コンテナを結合すべくドライバ98は空気シリンダ97とともにシールド82に対して固定されている。プラットフォームを搬送コンテナとともに結合領域内へ移動させた後、搬送コンテナはドライバ98によって把持される。空気シリンダ97のリフト手段により、プラットフォーム上に固定された搬送コンテナはコンテナ・カバーとともに、閉鎖状態にあるクロージャ87に対して押圧される。クロージャ87及びコンテナ・カバーは前述したように摩擦係合する。そして、コンテナ・カバー内のロッキング・エレメントが開放される。
The
保持プレート91はドライブ94によって駆動された際、同保持プレート91上に固定されたエレメントとともに移動する。この結果、クロージャ87はコンテナ・カバーとともに装填用開口83から取り除かれる。装填用関口83を円板体のローディング及びアンローディングから開放する位置へクロージャ87を回動すべ<同クロージャ87はモータ90によって駆動される。この位置は図18に示すクロージャ87の位置に一致している。
When the holding
以上詳述したように、本発明に基づくローディング及びアンローディング用ステーションを使用することにより、装填を実施する半導体加工装置内におけるクリーン・ルーム条件に対して悪影響を及ぼすことなく、搬送コンテナを使用できる。更に、同ローディング及びアンローディング用ステーションを使用することにより、300mmの寸法の半導体ウェハ等、更に大きな半導体ウェハを容易に取り扱い得る。また、クロージャ及びコンテナ・カバーの結合中、同コンテナ・カバー上に位置する操粒子は摩擦係合によって結合されたクロージャ及びコンテナ・カバーの両表面間に確実に保持される。この結果、埃粒子が半導体加工装置内に飛散することが防止される。 As described in detail above, by using the loading and unloading station according to the present invention, the transfer container can be used without adversely affecting the clean room conditions in the semiconductor processing apparatus for performing the loading. . Furthermore, by using the same loading and unloading station, a larger semiconductor wafer such as a semiconductor wafer having a size of 300 mm can be easily handled. Also, during the coupling of the closure and the container cover, the manipulating particles located on the container cover are securely held between both surfaces of the closure and the container cover which are coupled by frictional engagement. As a result, dust particles are prevented from scattering into the semiconductor processing apparatus.
6,24,40,46,68 搬送コンテナ
7,26,38,69 プラットフォーム
9,10 平面
11,82 シールド
12,23,87 クロージャ
13,27,83 装填用閉口
15,30,39 コンテナ・カバー
16,59 吸引エレメント
19 円板体
22 マニピュレーティング装置
45 保管用棚
47 空間
50 ローディング用開口
52 搬送コンテナ用ホルダ
53 グリッパ
60 整合エレメントとしてのピン
61,79 キー
62 ロッキング・エレメント
65,80 キー・ホール
6, 24, 40, 46, 68
Claims (22)
前記装填用開口を閉鎖するためのクロージャを前記装填用開口から取り除いた後に、搬送コンテナ内に収容されている円板体を前記装填用開口を介してローデイング、アンローデイング及びリローディングでき、前記搬送コンテナは、前記搬送コンテナの側部に取り付けられて前記搬送コンテナの側部を介して開口を閉鎖するためのコンテナカバーを備え、
前記コンテナカバー及びクロージャは、互いに結合される表面をそれぞれ有しており、前記コンテナカバー及びクロージャの両表面を結合した状態で、前記コンテナカバー及びクロージャを共に半導体加工装置内へ移動させることによって前記装填用開口と前記搬送コンテナの側部とは同時に開放され、
前記コンテナカバー内には前記コンテナカバーを前記搬送コンテナにロックするためのロッキングエレメントが設けられ、前記クロージャには前記ロッキングエレメントを作動させるための回動可能なキーが設けられ、前記キーは前記搬送コンテナを開放すべく前記クロージャの表面から外向きに突出し、前記ロッキングエレメントを作動させるべく前記コンテナカバーの表面に前記キーが挿入されるキーホールが設けられ、前記キーホールに挿入された前記キーが回動されたとき前記キーが前記ロッキングエレメントに係合して前記コンテナカバーを前記搬送コンテナからロック解除し且つ前記キーが前記キーホールの後ろ側に係合し、よって、前記クロージャがコンテナカバーに係合して、前記コンテナカバーが前記キーから離れて水平方向に移動することを防ぐことを特徴とするローディング及びアンローディング用ステーション。 A loading and unloading station for semiconductor processing equipment with a closable loading opening,
After the closure for closing the loading opening is removed from the loading opening, the disc body accommodated in the transfer container can be loaded, unloaded and reloaded through the loading opening, and the transfer The container includes a container cover that is attached to a side portion of the transport container and closes an opening through the side portion of the transport container.
The container cover and the closure each have surfaces to be coupled to each other, and the container cover and the closure are moved together into the semiconductor processing apparatus in a state where both surfaces of the container cover and the closure are coupled. The loading opening and the side of the transport container are opened simultaneously,
A locking element for locking the container cover to the transport container is provided in the container cover, and a rotatable key for operating the locking element is provided in the closure. A keyhole that protrudes outward from the surface of the closure to open the container and into which the key is inserted is provided on the surface of the container cover to operate the locking element, and the key inserted into the keyhole is When pivoted, the key engages the locking element to unlock the container cover from the transport container and the key engages the back side of the keyhole so that the closure engages the container cover. Engage the container cover horizontally away from the key Loading and unloading for station, characterized in that to prevent moving countercurrent.
前記装填用開口を閉鎖するためのクロージャを前記装填用開口から取り除いた後に、搬送コンテナ内に収容されている円板体を前記装填用開口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、前記搬送コンテナは、前記搬送コンテナの側部に取り付けられて前記搬送コンテナの側部を介して開口を閉鎖するためのコンテナカバーを備え、
前記搬送コンテナは前記クロージャを備えた前記コンテナカバーに結合し、前記コンテナカバー及びクロージャは、第1の係合態様にて互いに結合される表面をそれぞれ有しており、前記コンテナカバー及びクロージャの両表面を結合した状態で、前記コンテナカバー及びクロージャを共に半導体加工装置内へ移動させることによって前記装填用開口と前記搬送コンテナの側部とは同時に開放され、
前記ローディング及びアンローディングは、半導体加工装置内に配置されたマニピュレーティング装置を装填用開口を通じて前記搬送コンテナ内へ係合させることによって行われ、
前記コンテナカバーには前記コンテナカバーを前記搬送コンテナにロックするためのロッキングエレメントが設けられ、前記クロージャには前記ロッキングエレメントを作動させるための回動可能なキーが設けられ、前記ロッキングエレメントを作動させるべく前記コンテナカバーの表面に前記キーが挿入されるキーホールが設けられ、前記キーホールに挿入された前記キーが回動されたと前記キーが前記ロッキングエレメントに係合して前記コンテナカバーを前記搬送コンテナからロック解除し且つ前記キーが前記キーホールの後ろ側に係合し、よって、前記クロージャがコンテナカバーに係合して、前記コンテナカバーが前記キーから離れることを防ぐべく前記カバーと前記クロージャとの間に第2の係合態様を形成して前記第1係合態様に拘わらず、前記クロージャを前記コンテナカバーに係合せしめることを特徴とするローデイング及びアンローディング用ステーション。 A loading and unloading station for semiconductor processing equipment with a closable loading opening,
After the closure for closing the loading opening is removed from the loading opening, the disc body accommodated in the transfer container can be loaded, unloaded and reloaded through the loading opening, and the transfer The container includes a container cover that is attached to a side portion of the transport container and closes an opening through the side portion of the transport container.
The transport container is coupled to the container cover provided with the closure, and the container cover and the closure each have a surface coupled to each other in a first engagement mode, and both the container cover and the closure are With the surfaces joined together, the loading opening and the side of the transport container are simultaneously opened by moving the container cover and closure together into the semiconductor processing apparatus,
The loading and unloading is performed by engaging a manipulating device disposed in a semiconductor processing apparatus into the transport container through a loading opening,
The container cover is provided with a locking element for locking the container cover to the transport container, and the closure is provided with a rotatable key for operating the locking element to operate the locking element. Accordingly, a keyhole into which the key is inserted is provided on the surface of the container cover, and when the key inserted into the keyhole is rotated, the key engages with the locking element to convey the container cover. The cover and the closure to unlock from the container and to prevent the key from engaging the back side of the keyhole, thus preventing the closure from engaging the container cover and moving the container cover away from the key. Forming a second engagement mode between the first engagement mode and the first engagement mode A loading and unloading station characterized in that the closure is engaged with the container cover regardless of the above.
基板搬送コンテナを支持するサポートと、
前記基板搬送コンテナは前記サポートに結合している一方、前記基板搬送コンテナの側面からサイドカバーを除去するカバーリムーバと、
を含み、前記カバーリムーバが、自身の側面から外側に向かって延在する少なくとも1つのキーを有し、前記カバーリムーバと前記基板搬送コンテナとの間の相互近接運動のあるとき前記サイドカバー内のキー孔に前記キーがほぼ水平方向に差し込まれ、前記少なくとも1つのキーは、回動可能であって、前記少なくとも1つのキーが回動されると前記サイドカバーを前記コンテナにロックするロックと係合し、または前記サイドカバーを前記基板搬送コンテナからロック解除して前記キー孔の後側に前記サイドカバーを係合し、よって前記サイドカバーは、前記サイドカバーに隣接する前記カバーの表面から水平方向に離れないよう前記少なくとも1つのキーによって保持され得ることを特徴とするローディング及びアンローディング用ステーション。 A loading and unloading station for semiconductor substrates,
A support for supporting the substrate transfer container;
A cover remover for removing a side cover from a side surface of the substrate transport container, while the substrate transport container is coupled to the support;
The cover remover has at least one key extending outwardly from its side and in the side cover when in close proximity movement between the cover remover and the substrate transport container The key is inserted into the key hole in a substantially horizontal direction, and the at least one key is rotatable. When the at least one key is rotated, the key is engaged with a lock that locks the side cover to the container. Or unlocking the side cover from the substrate transport container and engaging the side cover to the rear side of the key hole, so that the side cover is horizontal from the surface of the cover adjacent to the side cover. Loading and unloading screw, characterized in that it can be held by said at least one key so as not to leave the direction Shon.
前記ローディング及びアンローディングステーションのフレームの装填用開口に前記搬送コンテナの前面を位置決めして、前記搬送コンテナの前面を前記装填用開口の第1の側に配置する行程と、
前記ローディング及びアンローディングステーションのクロージャを、前記装填用開口の前記第1の側とは反対側の第2の側にあり且つ前記装填用開口を実質的に閉塞する第1の位置に配置するクロージャ移動行程と、
前記前面クロージャを前記搬送コンテナの前面カバーと係着せしめて、前記クロージャと共に前記搬送コンテナの前面カバーを、前記搬送コンテナの前記前面から前記装填用開口を通過せしめて前記装填用開口の前記第2の側を経て前記装填用開口に対向し且つ前記装填用開口から外れた位置に向けて移動せしめるべく、駆動装置によって前記クロージャを駆動して前記装填用開口を実質的に閉塞しない第2の位置に移動させることによって前記前面カバーを移動させる前面カバー移動行程と、を含み、
前記駆動装置は互いに角度をなす少なくとも2つの異なる経路に沿って前記クロージャを移動せしめる2つの異なる駆動部を有しており、よって前記前面カバーを移動せしめ、 前記2つの異なる経路のうちの少なくとも1つは折れ曲がっていて、前記カバーは前記開口部に関して回動することを特徴とする方法。 A method of accessing a substrate in a portable semiconductor transport container at a loading and unloading station comprising:
Positioning the front surface of the transport container in the loading opening of the frame of the loading and unloading station and disposing the front surface of the transport container on the first side of the loading opening;
Closing the closure of the loading and unloading station in a first position on a second side opposite the first side of the loading opening and substantially closing the loading opening. Travel,
The front closure is engaged with the front cover of the transport container, and the front cover of the transport container is passed along with the closure from the front surface of the transport container through the loading opening, and the second of the loading openings. A second position where the closure is driven by a drive device so as not to substantially occlude the loading opening so as to move toward the position opposite the loading opening and out of the loading opening. A front cover moving step of moving the front cover by moving the front cover,
The drive device has two different drive parts that move the closure along at least two different paths that are angled with respect to each other, thus moving the front cover and at least one of the two different paths. One is bent and the cover is rotated with respect to the opening.
開口を有するフレームと、
前記開口を閉塞する第1の位置と前記開口を閉塞しない第2の位置との間で前記フレー
ムに対して可動なクロージャと、
前記クロージャに結合したリンク機構と、
2つの異なる駆動部を有し、前記リンク機構に結合して前記クロージャを前記第1の位
置及び前記第2の位置の間で移動させるドライバと、を有し、
前記クロージャは、その側部で基板搬送コンテナの可動サイドカバーに直接結合するよ
うになっており、前記2つの駆動部及び前記リンク機構は、前記可動サイドカバーが取り
付けられている前記クロージャを、互いに角度をなした少なくとも2つの異なる経路に沿
って移動させ、よって前記クロージャは前記開口を介して基板を移動させる水平方向の経
路に沿って移動し、更に前記水平方向の経路から外れる方向に移動し、 前記2つの異なる経路のうちの少なくとも1つは折れ曲がっていて、前記カバーは前記開口部に関して回転することを特徴とするローディング及びアンローディング用ステーション。 A semiconductor substrate loading and unloading station comprising:
A frame having an opening;
A closure movable relative to the frame between a first position that closes the opening and a second position that does not close the opening;
A link mechanism coupled to the closure;
A driver having two different drive units, coupled to the link mechanism to move the closure between the first position and the second position;
The closure is directly coupled to the movable side cover of the substrate transport container at the side thereof, and the two driving units and the link mechanism connect the closure to which the movable side cover is attached to each other. Move along at least two different paths at an angle, so that the closure moves along a horizontal path that moves the substrate through the opening and further away from the horizontal path. A loading and unloading station, wherein at least one of the two different paths is bent and the cover rotates with respect to the opening.
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