KR20010053914A - 케미컬 이송 장치 - Google Patents

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KR20010053914A
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윤종용
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Abstract

케미컬 이송 장치에 관해 개시되어 있다. 개시된 장치는 이송할 케미컬이 저장된 용기에 구비된 케미컬 이송용 호스가 접속되는 접속부, 상기 접속부 둘레에 구비되어 있고 상기 케미컬 이송중 상기 호스를 상기 접속부에 고착시키는데 사용되는 레버 및 상기 케미컬 이송중에 상기 레버를 고정시키는 잠금 장치를 구비한다. 따라서, 케미컬 이송과정에서 시스템 이상이나 작업자의 실수 등에 의해 케미컬이 누설되는 것을 방지할 수 있어 환경의 보호 및 작업자의 안전을 보다 강화할 수 있고 설비의 손상을 방지할 수 있으며, 무엇보다 케미컬 공급이 정상적으로 이루어지므로서 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Description

케미컬 이송 장치{Chemical transfer apparatus}
본 발명은 반도체 장치의 제조에 사용되는 설비에 관한 것으로서, 자세하게는 반도체 장치의 제조에 사용되는 케미컬 이송 장치, 곧 자동 세정 약품 이송 장치에 관한 것이다.
다양한 종류의 케미컬이 반도체 장치의 제조 공정에 사용되고 있고 반도체 장치의 집적도가 높아지면서 사용량도 증가되고 있다. 또한 케미컬 공급 방식도 다양화 되고 있다.
반도체 장치의 제조 공정에 사용되는 케미컬의 대부분이 환경 및 인체에 유해한 것이어서, 그 취급에 주의를 요한다. 반도체 장치의 제조 공정에서 케미컬 공급은 탱크 로리(tank lorry)에서 케미컬 저장 탱크(chemical storage tank)로 케미컬을 이송시킨 다음, 케미컬 저장 탱크에서 단위 공정이 진행되는 챔버로 이송하는 방식으로 이루어진다.
종래 기술에 의한 케미컬 이송 시스템에는 탱크 로리와 케미컬 저장 탱크 사이에 자동 세정 약품 이송 장치(ACQC:Automatic Clean Quick Coupler)라고 하는 케미컬 중계 수단이 구비되어 있다. 따라서, 케미컬은 탱크 로비로부터 1차적으로 자동 세정 약품 이송 장치로 이송된 다음, 자동 세정 약품 이송 장치에서 케미컬 저장 탱크로 이송된다.
도 1은 종래 기술에 의한 케미컬 이송 시스템을 구성하는 상기 자동 세정 약품 이송 장치의 정면도이다.
여기서, 참조 번호 10은 자동 세정 약품 이송 장치의 몸체를 나타내고, 참조 번호 12는 접속부를 나타낸다. 곧, 상기 접속부(12)는 탱크 로리에 부착된 케미컬 이송용 호스가 접속되는 부분이다. 참조 번호 14는 호스를 상기 접속부(12)에 고착시키는 레버(lever)를 나타낸다. 도면에 도시된 바와 같이, 레버(14)가 위로 세워진 상태가 되면 호스는 접속부(12)에 고착된다. 반면, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 레버(14)가 수평으로 눕혀진 상태가 되면 호스는 접속부(12)로부터 분리된다. 따라서, 상기 레버(14)는 상기 접속부(12) 둘레에 회전 가능 상태로 체결되어 있다. 상기 레버(14)는 상기 접속부(12) 둘레에 좌, 우 대칭으로 구비된 지지체(16)에 체결되어 있다. 상기 지지체(16)를 중심으로 상기 레버(14)는 회전된다. 상기 레버(14)는 두 부분으로 구성되어 있다. 곧, 상기 지지체(16)와 직접 체결된 제1 부분(14a)과 상기 제1 부분(14a)과 연결되어 있고, 손잡이 연할을 하는 제2 부분(14b)으로 구성되어 있다. 상기 제1 부분(14a)의 테두리 일부는 원호이고, 나머지 일부는 상기 원호의 한쪽과 다른 한쪽을 잇는 호이다. 상기 제2 부분(14b)은 상기 제1 부분(14a)의 원호쪽에 연결되어 있되, 상기 호와 수직한 위치에 연결되어있다. 따라서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 레브(14)가 수평으로 눕혀지면 상기 접속부(12)의 양쪽에 위치한 레버(14)의 제1 부분(14a)의 호는 서로 마주하게 되고 수직으로 평행하게 된다. 이러한 상태는 상기 레버(14)의 제1 부분(14a)이 상기 접속부(12)의 영역밖에 있음을 의미한다. 따라서, 접속부(12)에 접속된 호스는 접속부(12)로부터 이탈되게 된다. 참조 번호 18 및 20은 볼트를 나타낸다.
상기한 바와 같은 자동 세정 약품 이송 장치가 구비된 케미컬 이송 시스템에서 케미컬을 탱크 로리(미도시)로부터 케미컬 저장 탱크(미도시)로 이송시키는 과정은 다음과 같다.
먼저, 탱크 로리 측에 구비된 케미컬 호스(미도시)의 매일(male) 부분이 상기 자동 세정 약품 이송 장치의 접속부(12)에 삽입된다. 삽입된 호스가 상기 접속부(12) 안쪽에 있는 커플러(미도시)와 체결되기 전에 순수(De-ionized water)를 이용하여 상기 커플러와 호스, 양자의 접촉부가 세정된다. 이어서, 세정된 부분은 질소가스(N2)를 이용하여 건조된다. 이후, 상기 호스와 커플러가 맞게 체결되고 상기 레버(16)를 위로 돌려 상기 호스를 상기 접속부(12)에 고착시킨다. 상기 세정에서 체결까지는 스위치 조작으로 자동적으로 이루어진다. 자동 세정 약품 이송 장치로부터 체결이 완료 신호가 표시되면 자동 또는 수동으로 스위치를 조작하여 가압 질소 탱크(미도시)로부터 탱크 로리에 가압 질소가 공급된다. 가압 질소에 의해 케미컬이 탱크 로리로부터 호스를 통해 자동 세정 약품 이송 장치로 이송된다. 케미컬 이송이 완료되고 그 사실이 확인되면 자동 또는 수동으로 스위치를 조작함으로써 커플러와 호스의 체결이 풀어지고 양쪽의 체결된 부분은 순수로 세정된다. 그리고질소 가스에 의해 세정된 부분은 건조된다. 이어서, 레버(14)를 수평으로 돌려 상기 접속부(12)에서 상기 호스를 제거하여 끝단에 캡을 씌운다. 케미컬 이송 완료 사실 확인과 동시에 탱크 로리로부터 질소가스 라인을 제거하고, 탱크 로리의 운전 완료 스위치를 조작함으로써 케미컬 이송 작업이 모두 완료된다.
상술한 바와 같은 종래 기술에 의한 자동 세정 약품 이송 장치는 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.
곧, 케미컬 이송중에 시스테 이상에 의해서나 작업자의 조작 미숙으로 인해 레버(14)가 풀려질 수 있다. 케미컬은 높은 압력하에서 이송되고 있으므로, 레버(14)가 풀려지면, 탱크 로리와 자동 세정 약품 이송 장치의 고착 상태가 해제되어 케미컬이 외부로 노출된다. 이와 같이, 종래 기술에 의한 자동 세정 약품 이송 장치는 주위 환경을 회손시킬 수 있고, 작업자에 위험을 줄 수 있으며, 생산 설비의 손실 및 그로 인한 생산 장애를 유발시키 수 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래 기술이 갖는 문제점을 해소하기 위한 것으로써, 케미컬을 한 장소에서 다른 장소로 이송하는 과정에서 작업자의 조작 미숙등으로 인해 체결부등에서 케미컬이 누설되는 것을 방지할 수 있는 잠금 수단을 구비하는 자동 세정 약품 이송 장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 반도체 장치의 제조에 사용되는 케미컬 이송 장치의 정면도로써, 케미컬 이송중일 때의 레버 상태를 나타낸 정면도이다.
도 2는 종래 기술에 의한 반도체 장치의 제조에 사용되는 케미컬 이송 장치의 정면도로써, 케미컬 이송이 완료된 후의 레버 상태를 나타낸 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 반도체 장치의 제조에 사용되는 케미컬 이송 장치의 정면도로써, 케미컬 이송중일 때의 레버 상태를 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 케미컬 이송 장치의 잠금 장치에 구비된 레버 잠금 상태에서의 실린더 몸체 및 실린더와 관련된 밸브 요소들간의 개략적 연결을 나타낸 관계도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 반도체 장치의 제조에 사용되는 케미컬 이송 장치의 정면도로써, 케미컬 이송이 완료된 후의 레버 상태를 나타낸 정면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 케미컬 이송 장치의 잠금 장치에 구비된 레버 잠금 해제 상태에서의 실린더 몸체 및 실린더와 관련된 밸브 요소들간의 개략적 연결을 나타낸 관계도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호설명*
40:자동 세정 약품 이송 장치. 42:접속부.
44:레버. 46:지지체.
48:잠금 장치. 60:압력 조절 밸브.
62:절환 밸브. 48a, 48b:실린더 몸체, 피스톤
44a, 44b:제1 및 제2 부분. L1, L2:제1 및 제2 에어 라인.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 이송할 케미컬이 저장된 용기에 연결된 케미컬 이송용 호스 접속부;
상기 접속부 둘레에 구비되어 있고 상기 케미컬 이송중 상기 호스를 상기 접속부에 고착시키는데 사용되는 레버; 및
상기 케미컬 이송중에 상기 레버를 고정시키는 잠금 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동 세정 약품 이송 장치를 제공한다.
여기서, 상기 이송용 케미컬이 저장된 용기는 탱크 로리이다.
상기 접속부 둘레에 두 개의 레버가 대칭적으로 구비되어 있다. 상기 레버는 상기 접속부 둘레의 지지체와 연결된 제1 부분과 이에 연결된 제2 부분으로 구성되어 있다. 상기 제1 부분은 상기 제2 부분과 연결되는 원호와 이 원호의 한쪽과 마주하는 다른 쪽을 잇는 호로 이루어진 모양을 하고 있다.
상기 잠금 장치는 상기 레버의 회전 반경 내에 구비되어 있으며, 레버 고정 수단과 이에 순차적으로 연결된 절환 밸브 및 압력 조절 밸브로 구성되어 있다.
상기 레버 고정 수단은 실린더 몸체와 상기 실린더 몸체에 내재된 피스톤이다.
이와 같이, 한 장소에서 다른 장소로 케미컬을 이송하는 과정에서 시스템이상이나 작업자의 실수 등으로 케미컬 공급 라인이 이탈되는 것을 방지할 수 있는 잠금 장치가 상기 다른 장소에 구비되어 있다. 따라서, 케미컬 이송과정에서 시스템 이상이나 작업자의 실수 등에 의해 케미컬이 누설되는 것을 방지할 수 있어 케미컬에 의한 환경 회손 및 작업자의 안전을 보다 강화할 수 있고 설비의 손상을 방지할 수 있으며, 무엇보다 케미컬 공급이 정상적으로 이루어지므로서 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 의한 자동 세정 약품 이송 장치를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다.
그러나 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으므로, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 한정되는 것으로 해석되는 것은 바람직하지 않다. 본 발명의 실시예는 이 발명이 속하는 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 이 과정에서 도면에 도시된 층이나 영역들의 두께는 명세서의 명확성을 위해 과장되게 도시된 것이다. 또한, 도면상에서 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
첨부된 도면들 중, 도 3은 본 발명의 실시예에 의한 반도체 장치의 제조에 사용되는 케미컬 이송 장치의 정면도로써, 케미컬 이송중일 때의 레버 상태를 나타낸 정면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 의한 케미컬 이송 장치의 잠금 장치에 구비된 레버 잠금 상태에서의 실린더 몸체 및 실린더와 관련된 밸브 요소들간의 개략적 연결을 나타낸 관계도이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 의한 반도체 장치의 제조에 사용되는 케미컬 이송 장치의 정면도로써, 케미컬 이송이 완료된 후의 레버 상태를 나타낸 정면도이다. 또한, 도 6은 본 발명의 실시예에 의한 케미컬 이송 장치의 잠금 장치에 구비된 레버 잠금 해제 상태에서의 실린더 몸체 및 실린더와 관련된 밸브 요소들간의 개략적 연결을 나타낸 관계도이다.
도 3을 참조하면, 참조번호 40은 이송할 케미컬이 저장되어 있는 용기(미도시), 곧 탱크 로리(tank lorry)로부터 케미컬이 이송될 자동 세정 약품 이송 장치를 나타낸다. 상기 케미컬은 액상 또는 기상의 화학약품이다. 예컨대, 상기 케미컬은 TFT-LCD용 액정이나 반도체 장치의 제조 공정에 사용되는 식각액 등과 같은 각종 액상 화학 약품 또는 식각이나 박막 증착 등에 사용되는 각종 기상의 화학 약품이 될 수 있다.
참조 번호 42는 탱크 로리에 구비된 케미컬 공급 호스가 접속되는 장소인 접속부이다. 상기 접속부(42) 둘레에 레버(44)가 구비되어 있다. 상기 접속부(42) 둘레에는 두 개의 레버(44)가 대칭적으로 구비되어 있다. 곧, 상기 접속부(42)의 좌, 우에 각각 한 개씩 구비되어 있다. 상기 레버(44)는 제1 및 제2 부분(44a, 44b)으로 이루어져 있다. 상기 접속부(42) 둘레의 상기 레버(44)가 구비된 곳에 상기 레버(44)의 지지체(46)가 구비되어 있다. 상기 지지체(46)는 상기 접속부(42) 둘레에 영구적으로 체결되어 있다. 상기 레버(44)의 제1 부분(44a)은 상기 지지체(46)에 직접 체결된 부분이고, 제2 부분(44b)은 상기 제1 부분(44a)과 연결되어 있으며, 상기 지지체(46)를 중심으로 상기 레버(44)를 회전시킬 때 사용하는 손잡이 부분이다. 상기 제1 부분(44a)은 원호와 상기 원호의 한쪽과 마주하는 다른 쪽을 연결하는 직선 호로 이루어진 둘레를 가지고 있다. 상기 제2 부분(44b)은 상기 제1 부분(44a)의 원호 부분에 연결되어 있되, 원호 부분중에서도 상기 호와 수직을 이루는 부분에 연결되어 있다.
상기 접속부(42) 위에 잠금 장치(48)가 구비되어 있다. 상기 잠금 장치(48)는 상기 레버(44)의 회전 반경 안에 구비되어 있다. 상기 잠금 장치(48)는 실린더가 내재된 두 개의 실린더 몸체(48a)를 구비하고 있고, 상기 실린더에 피스톤(48b)을 구비하고 있다. 상기 실린더 몸체(48a)와 상기 피스톤(48b)은 상기 레버(44)를고정시키는 수단이 된다. 상기 피스톤(48b)의 돌출 여부에 따라 상기 레버(44)의 회전이 고정되거나 해제된다.
도 4를 참조하면, 상기 실린더 몸체(48a)는 제1 및 제2 에어 라인(1'st and 2'nd air line, L1, L2)을 통해 압력 조절 밸브(60)와 연결되어 있고, 그 사이에 절환 밸브(62)가 설치되어 있다. 상기 제1 에어 라인(L1)은 상기 실린더 몸체(48a) 밖으로 돌출된 피스톤(48b)을 실린더내로 들이기 위한 가압 에어가 공급되는 라인이다. 상기 제2 에어 라인(L2)은 상기 제1 에어 라인(L1)과 반대의 역할을 하는 라인이다. 상기 절환 밸브(62)는 상기 압력 조절 밸브(60)를 통해 공급되는 가압 에어를 상기 제1 및 제2 에어 라인(L1, L2)중 어느 한 밸브로만 선택적으로 보내는 제어 밸브이다. 상기 절환 밸브(62)는 솔레노이드 밸브(solenoid valve)이다.
다음에는 상기한 바와 같은 구성요소들을 구비하는 자동 세정 약품 이송 장치에 케미컬이 이송되는 과정을 상세하게 설명한다.
먼저, 도 3 및 도 4를 참조하면, 이송할 케미컬이 담겨진 용기, 곧 탱크 로리에 구비된 케미컬 이송용 호스(미도시)를 자동 세정 약품 이송 장치(40)의 접속부(42)에 접속시킨후 레버(44)를 위로 돌려 상기 호스를 상기 접속부(42)에 고착시킨다. 상기 호스가 접속부(42)에 접속되어 접속부(42) 후면에 있는 커플러(coupler, 미도시)와 체결되기 전에 상기 호스 및 커플러의 접속면은 세정된다. 세정은 순수(DI water)를 사용하여 실시된다. 또한, 세정 후 질소 가스에 의해 상기 접속면은 드라이된다. 이어서, 상기 호스와 상기 커플러의 체결이 이루어진다. 이 모든 과정은 스위치 조작으로 자동적으로 이루어진다. 체결이 완료되면 상기 커플러 상단에 구비된 체결 확인 감지용 센서(미도시)에 의해 체결 사실이 확인되고, 상기 센서의 확인 신호는 잠금 장치(48)로 보내어 진다. 잠금 장치(48)가 상기 결합 감지용 센서로부터 신호를 받음과 동시에 실린더 몸체(48a)로부터 피스톤(48b)이 돌출된다. 돌출된 피스톤(48b)은 상기 레버(44)의 제2 부분(44b)이 반대 방향으로 회전되는 것을 방지하는 역할을 한다. 곧, 호스가 접속부(42)로부터 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이와 같은 상태에서, 케미컬이 담겨진 용기에 가압된 질소가 공급되고, 이에 의해 케미컬이 상기 용기로부터 상기 자동 세정 약품 이송 장치(40)로 이송되기 시작한다.
상기 케미컬 이송중에 작업자의 조작 실수 또는 시스템 이상에 의해 상기 레버(44)의 잠금이 해제된다고 하더라도 상기 돌출된 피스톤(48b)에 의해 상기 레버(44)의 회전이 방지되므로, 누설없이 케미컬을 안전하게 이송할 수 있다.
도 4를 참조하면, 실린더 몸체(48a)로부터 피스톤(48b)이 돌출되는 과정은 다음과 같이 이루어진다.
도면에 도시한 바와 같이, 실린더 몸체(48a)에 절환 밸브(62) 및 압력 제어 밸브(60)가 순차적으로 구비되어 있는데, 호스와 커플러의 체결이 완료되고 그 감지 신호가 상기 잠금 장치(48)로 보내어짐과 동시에 상기 압력 제어 밸브(60)를 통해 상기 실린더 몸체(48a)로부터 피스톤(48b)을 돌출시키기에 적합한 압력으로 가압된 에어(air)가 상기 절환 밸브(62)에 보내어 진다. 상기 절환 밸브(62)의 조작으로 가압된 에어는 제2 에어 밸브(L2)로 보내져서 상기 실린더 몸체(48a)로부터 피스톤(48b)이 돌출되게 된다.
한편, 상기 커플러 상단에는 상기 체결 확인 감지용 센서외에도 커플러와 호스의 분리를 확인하기 위한 분리 확인 감지용 센서가 구비되어 있다. 이 센서로부터 상기 잠금 장치로 신호가 보내어 지지 않는 한, 상기 돌출된 피스톤(48b)은 상기 실린더 몸체(48a)로 들여지지 않는다. 따라서, 케미컬 이송이 완료되기 전에 작업자가 실수로 상기 레버(44)를 해제하는 방향으로 돌린다하더라도 상기 레버(44)는 돌려지지 않게 된다.
케미컬 이송이 완료되면, 완료 신호에 따라 상기 용기에 대한 가압된 질소의 공급을 중단하고 상기 커플러와 상기 호스의 체결을 해제한다. 해제된 상기 커플러와 호스의 접속면은 순수를 이용하여 세정된 다음, 질소 가스로 드라이된다. 상기 해제와 동시에 상기 돌출된 피스톤(48b)은 도 6에 도시한 바와 같이 상기 실린더 몸체(48a)로 들여지게 된다. 또한, 상기 드라이 종료와 함께 상기 레버(44)를 처음과 반대 방향으로 돌려서 상기 접속부(42)로부터 호스를 분리시킨다. 도 5는 상기 호스를 상기 접속부(42)로부터 분리 시키기위해 상기 레버(44)가 처음과 반대 방향으로 돌려진 상태를 나타낸다.
도 6을 참조하면, 상기 피스톤(48b)의 원위치는 다음과 같이 이루어진다.
곧, 상기 커플러와 상기 호스의 체결이 해제되면서, 상기 분리 확인 감지용 센서에 의해 신호가 상기 잠금 장치(48)로 보내어 진다. 그와 동시에 상기 압력 조절 밸브(60)를 통해 공급된 가압 에어는 상기 절환 밸브(62)에 의해 상기 제1 에어 라인(L1)으로 보내어 져서 상기 돌출된 피스톤(48b)를 상기 실린더 몸체(48a)의 실린더 안으로 들이게 된다.
상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기 보다, 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 예들 들어 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 동일한 목적으로 상기 잠금 장치외의 다른 잠금 장치를 구현할 수 있을 것이다. 또한, 상기 잠금 장치를 상기 레버의 형태에 따라 다른 장소에 구비할 수도 있을 것이다. 또, 상기 접속구의 형태에 따라 구비되는 레버가 달라질 수 있고, 상기 잠금 장치의 형태나 위치가 달라질 수 있다. 더욱이, 상기 잠금 장치에 상기 레버를 고정시키는 수단으로 제시된 상기 실린더 몸체 및 그에 내재된 피스톤은 다른 수단으로 대체될 수도 있을 것이다. 뿐만 아니라 상기 잠금 장치와 같은 수단은 상기 자동 세정 약품 이송 장치외에도 이 장치를 중앙 공급 장치로 하고 이에 종속된 약품 이송 장치에도 구비될 수 있다. 이와 같은 명백한 사실 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이, 한 장소로부터 다른 장소로 케미컬을 이송하는 과정에서 시스템이상이나 작업자의 실수 등으로 케미컬 공급 라인이 이탈되는 것을 방지할 수 있는 잠금 장치가 상기 케미컬을 이송 받는 장소 또는 장치에 구비되어 있다. 따라서, 케미컬 이송과정에서 시스템 이상이나 작업자의 실수 등에 의해 케미컬이 누설되는 것을 방지할 수 있어 환경의 보호 및 작업자의 안전을 보다 강화할 수 있고 설비의 손상을 방지할 수 있으며, 무엇보다 케미컬 공급이 정상적으로 이루어지므로서 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Claims (3)

  1. 이송할 케미컬이 저장된 용기에 구비된 케미컬 이송용 호스가 접속되는 접속부;
    상기 접속부 둘레에 구비되어 있고 상기 케미컬 이송중 상기 호스를 상기 접속부에 고착시키는데 사용되는 레버; 및
    상기 케미컬 이송중에 상기 레버를 고정시키는 잠금 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동 세정 약품 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 잠금 장치는 상기 레버의 회전 반경 내에 구비되어 있으며 레버 고정 수단과 이에 순차적으로 연결된 절환 밸브 및 압력 조절 밸브로 구성된 것을 특징으로 하는 자동 세정 약품 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 레버 고정 수단은 실린더 몸체와 상기 실린더 몸체에 내재된 피스톤인 것을 특징으로 하는 자동 세정 약품 이송 장치.
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