KR20010038556A - 진동 테이블 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마를 이용하여 시편을 코팅할 때 표면에 고르게 코팅될 수 있도록 하는 진동 테이블에 관한 것으로서, 본 발명은 챔버의 내부에 설치된 트레이, 챔버를 관통한 회전축에 캠이 설치된 모터, 챔버의 내부 저면에 가설된 레일, 챔버에 일단이 고정되어 세워지고 타단이 상기 트레이를 지지한 채 미끄럼되는 고정축 및 일단은 상기 트레이의 하면에 고정되고 타단은 상기 레일 상에서 배치되며 상기 고정축과 스프링으로 연결되고 상기 캠과 접촉됨으로서 모터의 회전에 따라 왕복이동되는 이동축으로 이루어진다.

이에 따라, 모터와 연결된 회전축에 캠을 설치하고 그 캠과 접촉된 이동축이 모터의 회전에 의해 진동하면서 트레이를 흔들기 때문에 트레이 위에 얹혀지는 강구가 이리저리 구르면서 플라즈마에 의해 표면이 균일하게 코팅되게 된다.

Description

진동 테이블{SHAKING TABLE}

본 발명은 진동 테이블에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는 플라즈마를 이용하여 화학증착법으로 코팅공정을 실시할 때 강구와 같은 둥근 형상의 제품의 표면에 균일하게 코팅할 수 있는 진동 테이블에 관한 것이다.

플라즈마를 이용하여 시편에 균일하게 코팅하는 방법은 크게 물리증착법(Physical vapor deposition;PVD)과 화학증착법(Chemical vapor deposition;CVD)으로 분류된다.

전자의 물리증착법에서는 시편을 시편홀더에 고정하고 시편홀더를 회전시켜 시편 표면에 고르게 코팅을 유도하고, 여기에서의 코팅은 이온화된 원소들이 직선운동을 하기 때문에 복잡한 형상의 코팅은 어려우며 이를 극복하기 위해서 시편홀더에 전원을 인가하고 인가된 전압을 조절하여 복잡한 형상을 균일하게 코팅을 유도하며, 또한 시편홀더의 회전수를 조절하여 복잡한 형상을 코팅한다.

후자의 화학증착법에서는 유입되는 가스의 흐름을 조절하여 시편 표면에 고르게 코팅시키는 방법이다. 여기서는 유입된 가스들의 상호 화학반응에 의해 코팅이 이루어지므로 물리증착법보다 제품의 균일코팅이 용이하다. 그러나 가스의 유입량을 조절하여 제품의 전체 면적에 코팅을 균일하게 하는 것은 어려움이 있다. 그래서 많은 연구자들은 유입되는 가스의 양을 챔버 내부로 고르게 분포시키는 방법을 연구하고 있으며, 그중에 한가지 방법이 가스 유입속도를 조절하는 방법을 사용하고 있다. 이 방법은 유입되는 가스의 양을 적게 하고 챔버 내부에 유입과 배기에 따른 소용돌이 현상을 억제하여 최대한 오랜 시간동안 반응가스를 챔버 내부에 존재하게 하여 제품의 전체 면적을 고르게 코팅시키는 방법이다.

그러나, 플라즈마를 이용한 물리증착법과 화학증착법은 시편을 잡아주는 시편홀더와 시편지지대가 반드시 있어야 하는데, 이때 물리증착법의 경우 시편을 잡아주는 부위는 코팅이 되지 않으며, 화학증착법의 경우 시편지지대 위에 시편을 올려놓기 때문에 지지대와 접촉하는 부위는 코팅이 되지 않는다.

특히 강구와 같은 둥근 형상의 제품은 전체가 균일하게 코팅이 되야 함에도 불구하고 종래 장치에서는 균일한 코팅이 이루어지지 않는다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은 플라즈마를 이용하여 강구와 같은 둥근 형상의 제품을 코팅할 때 균일하게 코팅할 수 있게 하는 진동 테이블을 제공하는 것이 목적이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진동 테이블을 개략적으로 도시한 측면도,

도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진동 테이블을 개략적으로 도시한 평면도.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***

2:챔버 4:지지대

6:트레이 8:모터

10:회전축 12:캠

14:고정축 16:테플론

18:레일 20:안내부재

22:스프링 24:강구

상술한 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 챔버의 내부에 배치되어 상기 시편이 얹혀지는 트레이, 챔버를 관통한 회전축에 캠이 설치된 모터, 챔버의 내부 저면에 가설된 레일, 챔버에 일단이 고정되어 세워지고 타단이 상기 트레이를 지지한 채 미끄럼되는 고정축 및 일단은 상기 트레이의 하면에 고정되고 타단은 상기 레일 상에서 배치되며 상기 고정축과 스프링으로 연결되고 상기 캠과 접촉됨으로서 모터의 회전에 따라 왕복이동되는 이동축으로 이루어진다.

여기서 트레이는 상기 챔버 내부에 고정된 소정개수의 지지대에 의해 지지되는 것이 바람직하다.

또한 트레이의 가장자리에 상부로 돌출된 턱이 형성되어 트레이에 올려진 시편이 외측으로 떨어지는 것을 방지한다.

그리고, 고정축과 챔버의 연결부위에 절연체가 설치되는 것이 바람직하다.

이하 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진동 테이블를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 진동 테이블을 개략적으로 도시한 평면도이다.

도면 부호 2는 챔버이다. 챔버(2)의 내부 저면에서는 소정개수의 지지대(4)가 수직되는 방향으로 고정된다. 이때 지지대(4)는 후술하는 트레이(6)에 얹혀지는 시편의 무게가 무거울 경우 사용됨이 바람직하다.

상술한 지지대(4)의 위에 얹혀지는 트레이(6)는 편평한 판으로서 가장자리에 상부로 돌출된 턱이 형성되어 트레이(6)의 위에 얹혀지는 시편등이 외부로 떨어지는 것을 방지한다.

챔버(2)의 저면 하방에는 모터(8)가 위치하고, 그 모터(8)의 회전축(10)은 챔버(2)의 저면을 관통하여 챔버(2)의 내부로 돌출되며, 그 회전축(10)에는 캠(12)이 설치된다.

한편, 챔버(2)의 저면 내측면에는 챔버(2)에 관통된 채 수직으로 고정되는 고정축(14)이 형성되어지되 절연을 위하여 챔버(2)와 고정축(14)의 사이에 절연체로서 테플론(16)이 끼워진다.

그리고 고정축(14)의 측방에는 챔버(2)의 저면 바닥에 레일(18)이 설치되며, 레일(18) 상에는 수직되는 방향으로 이동축(20)이 세워지되 트레이(6)의 하면에 고정되면서 상술한 캠(12)과 접촉되어진다.

이러한 이동축(20)과 고정축(14)은 스프링(22)으로 연결되어지되, 바람직하게는 압축스프링으로 연결된다.

이렇게 구성된 본 발명의 진동 테이블은 다음과 같은 동작을 보인다.

모터가 회전되면, 회전축(10)이 회전됨에 따라 캠(12)도 회전되고, 캠(12)에 접촉된 이동축(20)은 레일(18) 상에 미끄럼되면 진동하게 된다.

따라서, 트레이(6)에 이동축(20)이 고정되어 있기 때문에 지지대(4)에 얹혀진 트레이(6)는 진동하기에 이르고 그 위에 놓인 시편인 강구(24)는 이리저리 구르면서 코팅이 이루어지게 되는 것이다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예는 종래의 문제점을 실질적으로 해소하고 있다.

즉, 모터와 연결된 회전축에 캠을 설치하고 그 캠과 접촉된 이동축이 모터의 회전에 의해 진동하면서 트레이를 흔들기 때문에 트레이 위에 얹혀지는 강구가 이리저리 구르면서 플라즈마에 의해 표면이 균일하게 코팅되게 된다.

Claims (4)

1. 챔버 내부에서 시편을 코팅시키는 장치에 있어서,

   상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 시편이 얹혀지는 트레이;

   상기 챔버를 관통한 회전축에 캠이 설치된 모터;

   상기 챔버의 내부 저면에 가설된 레일;

   상기 챔버에 일단이 고정되어 세워지고 타단이 상기 트레이를 지지한 채 미끄럼되는 고정축; 및

   일단은 상기 트레이의 하면에 고정되고 타단은 상기 레일 상에서 배치되며, 상기 고정축과 스프링으로 연결되고 상기 캠과 접촉됨으로서 모터의 회전에 따라 왕복이동되는 이동축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동 테이블.
2. 제1항에 있어서, 상기 트레이는 상기 챔버 내부에 고정된 소정개수의 지지대에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 진동 테이블.
3. 제1항에 있어서, 상기 트레이의 가장자리에 상부로 돌출된 턱이 형성되는 것을 특징으로 하는 진동 테이블.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고정축과 챔버의 연결부위에 절연체가 설치되는 것을 특징으로 하는 진동 테이블.