KR20010034160A - 전자 빔 프로파일 측정 방법 및 시스템 - Google Patents

전자 빔 프로파일 측정 방법 및 시스템 Download PDF

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이미지 프로세싱 시스템즈 인코포레이티드
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Abstract

전자 디스플레이 장치(16) 내의 전자 빔 프로파일을 측정하는 방법에서, 영상 점(24)의 매트릭스는 전자 디스플레이 장치의 디스플레이 스크린 상에 디스플레이되고, 영상 점의 각각은 전자 빔에 의해 조명된 형광 점(28)의 그룹(27)으로 구성된다. 다음에, 영상면 내의 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 이미지는 수신된다. 영상면 내의 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리는 결정되고 상기 이미지에서 포착된 영상면 내의 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 그룹은 평균내어 상기 그룹 내의 형광 점 사이에 불연속적으로 채워서 상기 전자 빔의 오버레이 이미지(40)를 생성하기 위하여 통상 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리에 기초하여 중첩된다. 오버레이 이미지의 단면은 근접되고 전자 빔의 적어도 하나의 강도 프로파일은 계산된다. 각각의 색 전자 빔의 오버레이 이미지(40)는 즉시 포착되고 수렴 에러는 계산된다.

Description

전자 빔 프로파일 측정 방법 및 시스템{ELECTRON BEAM PROFILE MEASUREMENT METHOD AND SYSTEM}
예를 들어 컴퓨터 모니터 및 텔레비전 세트용 음극선관(CRT) 어셈블리와 같은 전자 디스플레이 장치의 제조 및 조립 동안, 정밀한 기계적, 자기적 및 전기적 조정에 의해 전자 디스플레이 장치가 최적의 재생 이미지 품질을 제공하는 것이 요구된다. 이러한 조정은 집속, 색의 순도, 빔의 수렴, 색 균일성, 기하 및 강도에 제한되지 않고 이러한 것들을 포함한다.
오늘날의 컴퓨터 환경에서는, 고해상도 전자 디스플레이 장치가 요구되고 있기 때문에, 제조 중에 전자 디스플레이 장치가 고해상도 및 높은 이미지 품질을 제공하는 것이 필요하다. 전자 디스플레이 장치를 육안 검사하여 해상도 및 이미지 품질의 불충분함을 평가한다.
해상도 및 이미지 품질을 감소시키는 전자 디스플레이 장치에서의 집속 및 수렴 오차는 전자 빔의 프로파일 내의 제어 편차의 결과이다. 따라서, 테스트 동안 전자 빔 프로파일을 측정하여 집속 및 수렴의 정확한 측정이 이루어지도록 하는 것이 필요하다. 불행하게도, 전자 디스플레이 장치 내의 전자 빔의 수렴 및 집속의 정밀한 측정은 새도 마스크 및 형광 줄무늬 또는 형광 점에 의해 방해받는다.
전자 디스플레이 장치 내의 전자 빔 프로파일 측정 방법은 공지되어 있다. 예컨대, 미놀타(Minolta)사는 전자 빔 프로파일을 측정함으로써 전자 디스플레이 장치의 집속을 분석하기 위해 CB-150 시스템을 개발했다. 상기 시스템은 영상 발생기 내의 조립, 측정 헤드 및 개인용 컴퓨터를 구비하는 프로세서 유닛을 포함한다. 그 동작에 있어서, 전자 빔은 전자 디스플레이 장치 내에서 생성되고, 전자 디스플레이 장치 내의 3 개의 형광 라인에 의해 방사된 광선은 상기 측정 헤드 내의 CCD 카메라에 의해 검출된다. 전자 빔은 80 ㎛만큼 좌측으로 시프트되고, 3 개의 형광 라인에 의해 방사된 광선은 다시 CCD 카메라에 의해 검출된다. 따라서, 전자 빔은 160 ㎛만큼 우측으로 시프트되고, 3 개의 형광 라인에 의해 방사된 광선은 또다시 CCD 카메라에 의해 검출된다. 전자 빔의 시프트 및 형광 라인의 색 출력 측정에 의해, 형광 라인의 분리에 의해 숨겨진 전자 빔의 프로파일은 근접하게 된다.
이 시스템은 전자 빔 프로파일을 전자 디스플레이 장치 내의 집속을 평가하기 위하여 측정하지만, 시스템이 느려서 전자 빔 프로파일 측정이 실시간에 실행될 수 없다. 따라서, 전자 디스플레이 장치 내의 전자 빔 프로파일을 측정하는 방법 및 시스템의 개선이 필요하다.
따라서, 본 발명의 목적은 전자 디스플레이 장치 내에서 전자 빔의 집속 및/또는 수렴을 평가하기 위하여 전자 빔 프로파일을 측정하는 신규의 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명은 테스트 시스템, 특히 전자 디스플레이 장치에서 집속 및/또는 수렴을 평가하기 위하여 전자 빔 프로파일을 측정하는 방법 및 시스템에 관한 것이다.
도 1은 컬러 수상관형 전자 디스플레이 장치 내의 형광 점 매트릭스 부분을 예시하는 도면.
도 2는 본 발명에 따라 전자 디스플레이 장치 내의 전자 빔 프로파일을 측정하는 시스템을 도시하는 도면.
도 3은 조명된 영상 점의 매트릭스를 디스플레이하는 전자 디스플레이 장치의 정면도.
도 4는 조명된 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 그룹을 디스플레이하는 영상면 내의 조명된 영상 점의 선택 이미지를 크게 도시하는 도면.
도 5는 이미지에서 포착되고 영상면 내의 조명된 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 그룹의 이미지를 중첩함으로써 생성된 오버레이 이미지를 도시하는 도면.
도 6은 측정된 전자 빔 프로파일 데이터를 사용하기 위한 그래픽 사용자 인터페이스의 디스플레이 스크린을 도시하는 도면.
도 7a 및 7b는 조명된 영상 점을 구성하는 형광 점의 그룹과 상이한 설정 조건에 대한 오버레이 이미지를 도시하는 도면.
본 발명의 일 양상에 따라, 전자 디스플레이 장치 내에서 전자 빔 프로파일을 측정하는 방법에 있어서,
전자 디스플레이 장치의 디스플레이 스크린 상에 영상 점의 매트릭스를 디스플레이하는 단계를 포함하고, 상기 각각의 영상 점은 전자 빔에 의해 조명된 형광 점의 그룹으로 구성되며;
영상면 내의 상기 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 이미지를 구성하는 단계와;
상기 영상면 내의 상기 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리를 결정하는 단계와;
상기 그룹 내의 형광 점 사이에 불연속적으로 평균하여 채워서 상기 전자 빔의 오버레이 이미지를 생성하기 위하여 전반적으로 상기 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리에 기초한 상기 이미지에서 포착된 영상면 내의 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 각각을 중첩하는 단계를 포함한다.
양호하게, 상기 오버레이 이미지의 단면을 구성하여 적어도 하나의 상기 전자 빔의 강도 프로파일이 생성된다. 양호한 실시예에서, 전자 빔의 수평 및 수직 강도 프로파일이 생성된다. 또한, 오버레이 이미지의 최대 강도의 백분율 임계치에서의 수평 및 수직 강도 프로파일 영역은 계산된다.
양호한 실시예에서, 상기 단면은 미리 정의된 강도 레벨에서의 형광 점을 둘러싸는 가장 적합한 타원을 계산함으로써 근접하게 된다. 이것은 푸리에 타원 분해를 사용한다.
다른 실시예에서, 디스플레이 단계 중에, 적색, 녹색 및 청색 영상 점의 매트릭스는 적색, 녹색 및 청색 전자 빔에 의한 형광 점의 각각의 그룹을 조명함으로써 디스플레이된다. 중첩 단계 단계 중에, 각각의 색의 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 그룹은 개별적으로 중첩되어 적색, 녹색 및 청색 전자 빔의 오버레이 이미지를 생성한다. 오버레이 이미지에 기초한 적색, 녹색 및 청색 전자 빔의 공간 기여는 비교되고 수렴 에러는 공간 기여로부터 계산된다.
본 발명의 또다른 양상에 따라, 전자 디스플레이 장치 내에서 전자 빔 프로파일을 측정하는 시스템에 있어서,
상기 전자 디스플레이 장치를 구동시켜서 이 전자 디스플레이 장치로 하여금 그 디스플레이 스크린 상에 영상 점의 매트릭스를 디스플레하도록 하는 영상 패턴 발생기를 포함하고, 여기서 상기 각각의 영상 점은 전자 빔에 의해 조명된 형광 점의 그룹으로 구성되며;
영상면 내의 상기 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 이미지를 구성하는 감지기와;
상기 감지기와 교통하여 감지기로부터 상기 이미지를 수신하는 프로세서를 포함하고,
상기 프로세서는 상기 영상면 내의 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리를 결정하기 위하여 상기 이미지를 처리하고, 상기 그룹 내의 형광 점 사이에 불연속적으로 평균하여 채워서 상기 전자 빔의 오버레이 이미지를 생성하기 위하여 전반적으로 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리에 기초한 상기 이미지에서 포착된 영상면 내의 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 상기 그룹의 각각을 중첩한다.
본 발명은 계산된 전자 빔 프로파일 데이터가 실시간으로 디스플레이되는 종래 기술의 시스템과 비교하여 더욱 증가된 속도에서 전자 빔 프로파일 데이터를 처리하여 디스플레이하는 이점을 제공한다.
도 1을 참조하면, 컬러 수상관을 형성하는 전자 디스플레이 장치의 전면 디스플레이 패널의 내부 면상의 형광 점 패턴이 도시되어 있다. 형광 점 패턴은 적색, 녹색 및 청색 형광 점(R, G, B)의 매트릭스를 포함한다. 공지된 바와 같이, 섀도 마스크는 전자 디스플레이 장치의 형광 점의 매트릭스와 전자 총 사이에 배치된다. 적색, 녹색 및 청색 형광 점에 포함된 전자 빔은 수직 주사 기간 동안 전체 전면 디스플레이 패널에 점진적으로 주사하여 각각의 형광 점을 조명하기 위하여 수직 및 수평으로 검출된다.
이상적으로, 전자 총이 전자 빔을 생성할 때 전자 빔은 섀도 마스크를 통과하고 대응하는 형광 점에 직접 충돌하여 형광 점에 의해 방사된 최대 강도 광선을 발생시킨다. 전자 빔의 프로파일이 형성되고, 형광 점은 디스플레이된 정보가 적합하게 집속되는 방식으로 조명된다.
따라서, 전자 디스플레이 장치의 테스트 동안, 전자 빔의 프로파일을 측정하여 전자 디스플레이 장치의 테스트 조건 또는 전자 디스플레이 장치 내의 구동하는 전자 소자를 조정하여 전자 빔의 프로파일을 변경하고 전자 디스플레이 장치 내의 집속을 개선한다. 또한, 전자 빔의 프로파일을 측정하여 사양을 만족하지 않고 및/또는 사양을 만족할 수 없는 결함이 있는 전자 디스플레이 장치가 확실하게 식별될 수 있다. 전자 디스플레이 장치 내의 전자 빔 프로파일을 측정하는 방법 및 시스템은 특히 도 2 내지 도 7b를 참조하여 설명된다.
도 2는 본 발명에 따른 전자 디스플레이 장치 내의 전자 빔 프로파일을 측정하는 시스템(10)을 도시하고 있다. 도시된 바와 같이, 시스템(10)은 모델 번호 ADI 5200의 온타리오주 마크햄에 소재한 이미지 프로세싱 시스템즈사(Image Processing System Inc.)에 의해 제조된 타입의 감지기(12)를 포함하는 것이 양호하다. 상기 감지기는 검사하에 전자 디스플레이 장치(16)에 의해 디스플레이된 조명된 형광 점의 고해상도 이미지가 포착되는 영상면을 구비한 색 CCD 카메라(도시 생략)를 포함한다. 상기 감지기(12)는 요구된 하드웨어를 포함하여 감지기에 의해 포착된 이미지를 처리하는 소프트웨어를 실행하는 개인용 컴퓨터(14)에 결합되어 있어서, 전자 디스플레이 장치(16) 내의 전자 빔 프로파일이 측정될 수 있다. 영상 패턴 발생기(18)는 개인용 컴퓨터(14)에 응답하여 전자 디스플레이 장치(16)를 구동하므로 테스트 동안 원하는 영상 패턴이 전자 디스플레이 장치에 의해 디스플레이된다.
개인용 컴퓨터(14)에 의해 실행되는 소프트웨어는 오퍼레이터가 검사되는 프로파일의 전자 빔을 선택하여 전자 빔 프로파일 측정 결과를 디스플레이하는 그래픽 사용자 인터페이스를 포함한다.
테스트 동안, 적색, 녹색 및 청색 형광 점 중 하나와 결합된 전자 빔은 그래픽 사용자 인터페이스를 통하여 오퍼레이터에 의해 선택된다. 개인용 컴퓨터(14)는 전자 디스플레이 장치(16)를 구동시키는 영상 패턴 발생기(18)에 차례로 신호를 전송하여, 선택된 색과 결합된 영상 점 또는 픽셀(24)의 매트릭스는 조명된다(도 3에 도시).
일단 선택된 색의 영상 점(24)이 디스플레이되면, 상기 오퍼레이터는 전자 디스플레이 장치(16)의 디스플레이 스크린에 대하여 감지기(12)를 유지하여 색 CCD 카메라의 영상면(26)은 검사된 디스플레이 스크린의 원하는 영역을 둘러싸게 된다. 다음에, CCD 카메라는 영상면 내의 조명된 영상 점의 고해상도 이미지를 포착하고, 처리를 위하여 포착된 이미지를 개인용 컴퓨터(14)에 전송한다.
도 4는 색 CCD 카메라에 의해 포착된 영상면(26) 내의 조명된 영상 점의 커진 이미지를 도시한다. 도시된 바와 같이, 조명된 영상 점(24)의 각각은 조명된 형광 점(28)의 그룹(27)을 포함한다. 각각의 그룹(27) 내의 형광 점(28)은 전자 빔 프로파일 내의 전자 빔 강도 변이의 결과에 따라 상이한 강도 레벨로 통상 조명된다.
각각의 고해상도 이미지가 CCD 카메라에 의해 포착됨에 따라, 감지기(12)는 포착된 이미지를 개인용 컴퓨터(14)에 전송한다. 포착된 이미지가 개인용 컴퓨터(14)에 수신되면, 소프트웨어는 포착된 이미지 데이터를 처리한다. 특히, 소프트웨어는 포착된 이미지에서 사선으로 가장 먼 영상 점의 집합의 중심을 결정한다. 이 영상 점의 집합의 중심 사이의 수평 및 수직 거리가 결정되면, 영상면 내의 영상 점의 수로 나누어서 평균의 영상 점 피치를 계산한다. 수평 및 수직 영상 점 거리가 계산된 후, 소프트웨어는 이미지에서 포착된 조명된 영상 점(24)을 형성하는 조명된 형광 점의 그룹(27)을 오버레이하여 전자 빔을 표시하는 조명된 형광 점의 중첩 또는 오버레이 이미지(40)를 생성한다(도 5에 도시). 이 단계 동안, 형광 점이 직접 다른 형광 점을 오버레이했다면, 최대 밝기 CCD 카메라 픽셀만이 오버레이 이미지(40)를 생성하는 데에 사용된다.
섀도 마스크 피치의 정수 개수만큼 공간 시프트된 조명된 영상 점을 형성하는 형광 점의 그룹의 조명 패턴은 통상 동일하며, 그 결과 형광 점을 조명하는 전자 빔의 프로파일에 관계된 동일한 정보를 생성한다. 따라서, 이미지가 CCD 카메라에 의해 포착되기 전에, 조명된 영상 점은 섀도 마스트 피치의 부분만큼 공간 시프트되어 오버레이 이미지(40)를 생성하게 된다. 이것은 전자 디스플레이 장치의 디스플레이의 수평 또는 수직 크기를 변경하거나 또는 조명된 영상 점의 분리 거리를 변경함으로써 얻어진다. 조명된 영상 점(24)이 섀도 마스크 피치의 부분만큼 공간 시프트될 때, 영상면 내의 각각의 영상 점과 결합된 형광 점의 조명 패턴은 통상 상이하여, 조명된 형광 점의 각각의 그룹은 형광 점에 충돌하는 전자 빔의 프로파일에 관련된 상이한 데이터를 제공하게 된다.
오버레이 이미지(40)가 생성되면, 소프트웨어는 푸리에(Founer) 타원 빔 분해를 사용하여 타원을 계산함으로써 소정의 복수개의 강도 레벨에서의 오버레이 이미지 또는 피크 강도의 5% 내지 90%의 범위 내의 단면에 근접한다. 전자 빔 단면은 타원으로 근접한다고 가정한다. 다음에, 수평 및 수직 전자 빔 프로파일은 타원 파라미터로부터 계산된다.
미리 규정된 단면에서의 계산된 타원은 전자 빔에 근접하고, 수평 및 수직 전자 빔 프로파일 및 다른 계산된 정보는 그래픽 사용자 인터페이스를 통하여 오퍼레이터에 디스플레이된다. 도 6은 전술된 정보를 표시하는 그래픽 사용자 인터페이스의 디스플레이 스크린(50)을 도시한다. 도시된 바와 같이, 그래픽 사용자 인터페이스의 디스플레이 스크린(50)은 타원(54)이 표시된 중심 디스플레이 영역(52)을 포함한다.
가장 적합한 타원(54)의 부분 집합(55)은 디스플레이 영역(52) 내의 하이라이팅된 영역 측정을 위해 선택될 수 있다. 또한, 가장 적합한 타원(54)의 부분 집합(55)에 관련된 숫자로 나타낸 수평 및 수직 영역 및 경사 또는 비율 데이터(56)는 상기 중심 디스플레이 영역에 제공된다. 도 6에 도시된 실시예에서, 3 개의 가장 적합한 타원은 선택되어 부분 집합(55)을 형성한다.
중심 디스플레이 영역(52)의 좌측에 표시된 것은 수직 전자 빔 프로파일(58)이고 중심 디스플레이 영역(52)의 바닥부에 표시된 것은 수평 전자 빔 프로파일(60)이다. 부분 집합(55)을 형성하는 선택된 가장 적합한 타원(54)에 결합된 상기 프로파일(58, 60)의 프로파일 라인도 하이라이팅되어 있다. 전술된 바와 같이, 수평 및 수직 전자 빔 프로파일(58, 60)은 가장 적합한 타원의 파라미터로부터 계산된다.
중심 디스플레이 영역(52)과 인접하는 것은 복수개의 그래프 측정계(graphical meter)이다. 숫자로 표시된 데이터(56) 이하의 그래픽 측정계(70)는 주어진 단면에서 오버레이 이미지(40)의 피크 강도를 표시하는 지시기(70a)를 포함한다. 중심 디스플레이 영역(52)의 우측의 그래프 측정계(72)는 백분율로 표현된 사용자 규정 강도 레벨에서 2 개의 가장 적합한 타원(54)의 영역의 비율을 디스플레이한다. 본 실시예에서, 사용자 규정 강도 레벨은 10% 및 50%이다. 영역의 비율은 집속의 품질을 지시하는 일 가능 방법이다. 집속 조정 동안, 그래프 측정계(72)는 2 개의 가장 적합한 타원(54)의 현재의 영역 비율을 도시하는 지시(72a)를 표시하고, 오퍼레이터가 좀더 최근의 집속 조정이 집속을 개선하지 않는다면 이전의 지점으로 복귀하도록 하기 위하여 이전의 최적의 집속 영역 비율을 도시하는 지시(72b)를 포함한다. 또한, 최적의 집속 영역 비율은 숫자로 표시된 데이터 영역(56)에 표시된다.
중심 디스플레이 영역(52)의 좌측 및 바닥부에 그래프 측정계(74, 76)는 오버레이 이미지(40) 내의 조명된 형광 점 사이에 갭(gap)이 존재하는지를 지시하는 수직 및 수평 특성 계수를 표시하는 지시기(74a, 76a)를 각각 포함한다. 특성 계수는 형광 점 영역으로부터 형광 점 피치 비율까지 갭의 합계 및 오버레이 이미지 내의 형광 점의 수평 및 수직 기여를 계산함으로써 결정된다. 도 7a 및 7b는 조명된 영상 점(24)을 형성하고 상이한 조건에 대한 오버레이 이미지를 결정하는 조명된 형광 점(28)의 그룹(27)을 도시한다. 도 7a에서, 형광 점에 대한 영상 점의 정렬은 수직 방향에서 효율적이지만 수평 방향에서는 비이상적이다. 그 결과는 오버레이 이미지(40)내에 수직 갭이 생성된다. 도 7b에서, 형광 점에 대한 영상 점의 정렬은 "채워진" 오버레이 이미지(40)를 생성하는 수직 및 수평 방향에서 효율적이다.
전술된 바와 같이, 영상 점 및 형광 점 이미지 데이터를 처리함으로써, 상기 데이터는 데이터가 실시간으로 처리되도록하는 제어 가능한 크기로 상당히 압축된다. 본 발명의 시스템(10)은 전자 빔 프로파일 측정이 대략 1초당 10 프레임과 동일한 비율, 전자 빔 프로파일을 측정하기 위해 시프트된 전자 빔에 요구하는 방법보다 대략 50 배 빠른 비율로 실행되어 디스플레이 된다.
전술된 바와 같이, 본 발명은 전자 디스플레이 장치 내의 전자 프로파일 측정의 단순한 방법을 제공하고, 시프트되는 전자 빔 및 각각의 시프트된 위치에서 수신된 전자 빔 프로파일 이미지 데이터의 프레임을 요구하지 않는다. 상기 시스템에서 포착된 영상 점 및 형광 점 이미지 데이터는 처리되어 전자 빔 프로파일의 실시간 측정을 제공한다.
감지기(12)는 영상면 내의 포착 이미지의 검사하에 전자 디스플레이 장치(16)의 디스플레이 스크린에 대하여 유지되는 것으로 설명했지만, 또다른 배열에서 감지기는 전자 디스플레이 장치의 디스플레이 스크린으로부터 어떤 거리를 두고 배치된다. 이러한 경우에, 감지기(12)는 감지기 내의 CCD 카메라가 동일 영상면의 이미지를 포착하는 데에 적합한 렌즈를 포함한다.
시스템(10)은 전자 디스플레이 장치 내의 집속을 평가하기 위하여 전자 빔 프로파일을 측정하는 것으로 설명했지만, 시스템(10)은 색 CCD 카메라를 구비한 감지기를 포함하기 때문에, 시스템(10)도 전자 디스플레이 장치 내의 수렴을 평가하는 데에 사용될 수 있다. 이러한 경우에, 영상 패턴 발생기(18)는 전자 디스플레이 장치(16)를 구동하기 위하여 개인용 컴퓨터(14)에 의해 조건이 설정되어 3 개의 색 전자 빔 모두는 각각의 영상 점의 매트릭스를 조명한다. 감지기 내의 색 CCD 카메라는 즉시 영상면 내의 3 개의 색 영상 점 모두의 이미지를 포착한다. 이미지가 포착되면, 이미지는 처리를 위하여 개인용 컴퓨터로 전송된다.
포착된 이미지가 수신될 때, 개인용 컴퓨터 내의 소프트웨어는 각각의 색의 조명된 영상 점을 개별적으로 형성하는 조명된 형광 점의 그룹을 처리한다고 전술한 것과 동일한 방식으로 3 개의 오버레이 이미지, 각각의 색 중의 하나를 발생시킨다. 따라서, 단일 프레임 내의 3 개의 전자 빔의 오버레이 이미지가 생성된다. 오버레이 이미지가 생성되면, 각각의 전자 빔의 공간 기여가 결정되고 수렴 에러가 계산된다. 계산된 수렴은 그래픽 사용자 인터페이스의 디스플레이 스크린 상에 당연히 표시된다.
본 발명의 특정 실시예가 설명되었지만, 첨부된 특허 청구의 범위에 규정된 바와 같이 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않고 수정 및 변경이 가능함을 종래의 기술에서 인정하였다.

Claims (20)

  1. 전자 디스플레이 장치 내에서 전자 빔 프로파일을 측정하는 방법에 있어서,
    전자 디스플레이 장치의 디스플레이 스크린 상에 영상 점의 매트릭스를 디스플레이하는 단계를 포함하고, 상기 각각의 영상 점은 전자 빔에 의해 조명된 형광 점의 그룹으로 구성되며;
    영상면 내의 상기 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 이미지를 구성하는 단계와;
    상기 영상면 내의 상기 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리를 결정하는 단계와;
    상기 그룹 내의 형광 점 사이에 불연속적으로 평균하여 채워서 상기 전자 빔의 오버레이 이미지를 생성하기 위하여 전반적으로 상기 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리에 기초한 상기 이미지에서 포착된 영상면 내의 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 각각을 중첩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 오버레이 이미지의 단면을 구성하여 적어도 하나의 상기 전자 빔의 강도 프로파일을 생성하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전자 빔의 수평 및 수직 강도 프로파일이 생성되는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 전자 빔의 최대 강도의 백분율 임계치로 상기 수평 및 수직 강도 프로파일의 용적을 계산하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 백분율 임계치는 사용자에 의해 선택 가능한 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  6. 제3에 있어서, 상기 단면은 오버레이 이미지의 형광점을 둘러싸는 가장 적합한 타원을 계산함으로써 근접되는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 가장 적합한 타원은 푸리에 타원 분해를 사용하여 계산되는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  8. 제3항에 있어서, 2 개의 규정된 강도 레벨에서 단면의 영역을 계산하여 집속 품질의 지시를 공급하기 위하여 2 개의 규정된 강도 레벨 사이의 영역 비율을 결정하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  9. 제8항에 있어서, 결정된 영역 비율의 그래프 및 숫자로 표시된 디스플레이를 공급하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  10. 제9항에 있어서, 최적의 집속 품질을 지시하는 상기 결정된 영역 비율의 디스플레이를 유지하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  11. 제10항에 있어서, 오버레이 이미지 내의 형광 점 사이의 갭을 지시하는 디스플레이를 제공하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  12. 제11항에 있어서, 수평 방향에서 상기 오버레이 이미지 내의 형광 점 사이의 갭을 지시하는 하나의 지시기와 수직 방향에서 상기 오버레이 이미지 내의 형광 점 사이의 갭을 지시하는 다른 하나의 지시기가 제공된 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  13. 제3항에 있어서, 소정의 단면에서 오버레이 이미지의 피크 강도의 지시를 시각적으로 제공하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  14. 제1항에 있어서, 상기 디스플레이 단계 중에, 적색, 녹색 및 청색 영상 점의 매트릭스는 적색, 녹색 및 청색 전자 빔에 의해 각각의 형과 점의 그룹을 조명함으로써 디스플레이 되는 것이고, 상기 중첩 단계 중에, 각각의 색의 조명된 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 상기 그룹은 상기 적색, 녹색 및 청색 전자 빔의 오버레이 이미지를 생성하기 위하여 개별적으로 중첩되는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 오버레이 이미지에 기초한 상기 적색, 녹색 및 청색 전자 빔의 공간 기여를 비교하여 그 공간 기여로부터의 수렴 에러를 계산하는 단계를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 방법.
  16. 전자 디스플레이 장치 내의 전자 빔 프로파일을 측정하는 시스템에 있어서,
    상기 전자 디스플레이 장치를 구동시켜서 이 전자 디스플레이 장치로 하여금 그 디스플레이 스크린 상에 영상 점의 매트릭스를 디스플레이하도록 하는 영상 패턴 발생기를 포함하고, 여기서 상기 각각의 영상 점은 전자 빔에 의해 조명된 형광 점의 그룹으로 구성되며;
    영상면 내의 상기 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 이미지를 구성하는 감지기와;
    상기 감지기와 교통하여 감지기로부터 상기 이미지를 수신하는 프로세서를 포함하고,
    상기 프로세서는 상기 영상면 내의 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리를 결정하기 위하여 상기 이미지를 처리하고, 상기 그룹 내의 형광 점 사이에 불연속적으로 평균하여 채워서 상기 전자 빔의 오버레이 이미지를 생성하기 위하여 전반적으로 영상 점의 수평 및 수직 평균 거리에 기초한 상기 이미지에서 포착된 영상면 내의 영상 점을 형성하는 조명된 형광 점의 복수개의 그룹의 각각을 중첩하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 시스템.
  17. 제16항에 있어서, 상기 프로세서는 상기 오버레이 이미지의 단면을 근접하여 상기 전자 빔의 수평 및 수직 강도 프로파일을 생성하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 상기 근접한 단면과 상기 수평 및 수직 강도 프로파일을 디스플레이하는 디스플레이를 더 포함하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 시스템.
  19. 제16항에 있어서, 상기 영상 패턴 발생기는 상기 디스플레이가 각각의 적색, 녹색 및 청색 전자 빔에 의해 조명된 적색, 녹색 및 청색 영상 점의 매트릭스를 디스플레이시키는 것이며, 상기 프로세서는 상기 적색, 녹색 및 청색 전자 빔의 오버레이 이미지를 생성하기 위하여 각각의 색의 영상 점을 구성하는 조명된 형광 점의 그룹을 개별적으로 중첩하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 시스템.
  20. 제19항에 있어서, 상기 프로세서는 상기 오버레이 이미지에 기초한 상기 적색, 녹색 및 청색 전자 빔의 공간 기여를 비교하여 그 공간 기여로부터 수렴 에러를 계산하는 것인 전자 빔 프로파일 측정 시스템.
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