KR20010019340A - Non-volatile semiconductor memory apparatus and method for testing thereof - Google Patents
Non-volatile semiconductor memory apparatus and method for testing thereof Download PDFInfo
- Publication number
- KR20010019340A KR20010019340A KR1019990035686A KR19990035686A KR20010019340A KR 20010019340 A KR20010019340 A KR 20010019340A KR 1019990035686 A KR1019990035686 A KR 1019990035686A KR 19990035686 A KR19990035686 A KR 19990035686A KR 20010019340 A KR20010019340 A KR 20010019340A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cell array
- redundant
- column address
- test
- column
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/78—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
- G11C29/84—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability
- G11C29/848—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability by adjacent switching
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/78—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
- G11C29/781—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices combined in a redundant decoder
Abstract
Description
본 발명은 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법에 관한 것으로서, 특히 테스트 리던던트 컬럼 디코더를 구비하여 셀 어레이 테스트시에 리던던트 셀 어레이도 함께 테스트함으로써 테스트 시간을 단축할 수 있는 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device and a test method having a test time shortening function. In particular, the present invention includes a test redundant column decoder to test a redundant cell array at the time of a cell array test, thereby reducing test time. A nonvolatile semiconductor memory device having a shortening function and a test method are provided.
반도체 기술의 빠른 발전은 반도체 집적회로의 초고집적화를 가져 왔으며 특히, EEPROM 셀 어레이를 구비한 메모리장치 분야의 고집적화도 괄목한 성장을 이루 었다. 메모리장치의 초고집적화가 이루어지면서 메모리 셀 어레이의 불량율도 높아졌으며 이 불량 셀을 대체하는 리던던시 리페어 기술도 다양하게 발전되어 왔다.The rapid development of semiconductor technology has resulted in very high integration of semiconductor integrated circuits, especially in the field of memory devices with EEPROM cell arrays. As the ultra-high integration of memory devices has been achieved, the failure rate of memory cell arrays has increased, and the redundant repair technology for replacing the defective cells has been developed in various ways.
일반적으로 메모리 EEPROM 셀의 테스트는 주로 셀에 직접 실질적인 데이터를 라이트하고 리드하여 불량여부를 판단한다. 이 때 EEPROM 셀의 불량은 메모리를 만드는 공정에 따라서 여러 유형으로 발생하게 된다. 이러한 메모리의 불량은 메모리의 용량이 확대되면 될수록 많아지게 된다.In general, a test of a memory EEPROM cell mainly writes and reads substantial data directly to the cell to determine whether there is a defect. At this time, the defect of EEPROM cell occurs in various types according to the process of making memory. Such defects of memory increase as the capacity of the memory increases.
이 불량을 규제하기 위하여 여분의 리던던트 셀을 미리 만들어 놓고 불량이 발생한 메인 셀을 대체하게 된다.In order to regulate this defect, an extra redundant cell is made in advance and the defective main cell is replaced.
도 1은 종래의 불휘발성 메모리 장치의 구성을 나타낸다. 메인 메모리 셀 어레이(10), 리던던트 셀 어레이(12). 로우 디코더(14), 컬럼 어드레스 카운터(16), 리던던트 컬럼 디코더(18), 컬럼 디코더(20)를 포함한다.1 shows a configuration of a conventional nonvolatile memory device. Main memory cell array 10, redundant cell array 12. The row decoder 14, the column address counter 16, the redundant column decoder 18, and the column decoder 20 are included.
로우성 불량이나 컬럼성 불량을 리페어하기 위하여 로우 리던던트 셀 어레이와 컬럼 리던던트 셀 어레이를 준비하게된다.In order to repair low or column defects, a low redundant cell array and a column redundant cell array are prepared.
낸드형 플래쉬 메모리에서 로우성 불량이 발생한 경우에는 여러 페이지로 이루어진 블록 단위로 리페어를 하게 되는 데, 이 때에는 리던던트 블록의 EEPROM 셀의 불량 여부는 메인 메모리 셀과 동일한 방법으로 검사가 이루어진다.When a low defect occurs in the NAND type flash memory, repair is performed in units of blocks of several pages. In this case, the defect of the EEPROM cell of the redundant block is checked in the same manner as the main memory cell.
그러나, 컬럼 리던던시 셀을 검사하기 위하여 메인 메모리 셀과 같은 페이지 단위의 라이트 및 리드가 이루어져야 하며 이와 같은 검사를 하게 되면 컬럼 리던던트 셀 어레이(12)를 검사하는 시간은 메인 메모리 셀 어레이(10)와 같은 시간이 걸리게 되어 결과적으로 검사 시간을 두배로 늘려야 하는 단점이 있다.However, in order to inspect column redundancy cells, writes and reads in the same page unit as the main memory cells must be performed. When such a test is performed, the time for inspecting the column redundant cell array 12 is the same as that of the main memory cell array 10. As a result, the disadvantage is that the test time must be doubled as a result.
본 발명의 목적은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 리던던트 셀 어레이와 메인 메모리 셀 어레이를 동시에 테스트 함으로써 테스트 시간을 단축할 수 있는 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a nonvolatile semiconductor memory device and a test method which can shorten a test time by simultaneously testing a redundant cell array and a main memory cell array in order to solve the problems of the related art.
도 1은 종래의 불휘발성 반도체 메모리 장치의 구성을 나타낸 도면.1 is a diagram showing the configuration of a conventional nonvolatile semiconductor memory device.
도 2는 본 발명에 의한 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치의 구성을 나타낸 도면.2 is a diagram showing the configuration of a nonvolatile semiconductor memory device having a test time reduction function according to the present invention;
도 3은 본 발명에 의한 테스트 리던던트 컬럼 디코더의 일 예를 나타낸 회로도.3 is a circuit diagram illustrating an example of a test redundant column decoder according to the present invention;
도 4는 본 발명에 의한 최종 어드레스 검출회로의 구성을 나타낸 도면.4 is a diagram showing the configuration of the final address detection circuit according to the present invention;
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>
10 : 셀 어레이 12 : 리던던트 셀 어레이10: cell array 12: redundant cell array
14 : 로우 디코더 18 : 리페어 리던던트 컬럼 디코더14: row decoder 18: repair redundant column decoder
20 : 컬럼 어드레스 카운터 22 : 컬럼 디코더20: column address counter 22: column decoder
24 : 테스트 리던던트 컬럼 디코더 26 : 테스트명령 래치24: test redundant column decoder 26: test instruction latch
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는 메인 셀 어레이와, 리던던트 셀 어레이와, 메인 셀 어레이와 리던던트 셀 어레이를 지정하기 위한 컬럼 어드레스 카운터와, 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 메인 컬럼 어드레스를 디코딩하는 컬럼 디코더와, 테스트 모드에서, 상기 메인 셀 어레이와 함께 상기 리던던트 셀 어레이를 테스트하기 위하여, 상기 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 리던던트 컬럼 어드레스를 디코딩하는 테스트 리던던트 컬럼 디코더와, 메인 셀 어레이의 불량 셀을 상기 리던던시 셀 어레이의 정상 셀로 대체하는 퓨즈옵션에 의해 상기 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 대응하는 컬럼 어드레스를 디코딩하고, 상기 컬럼 디코더에서는 차단되도록 하고, 상기 리던던트 셀 어레이에 제공하기 위한 리페어 리던던트 컬럼 디코더를 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object of the present invention, the apparatus of the present invention provides a main cell array, a redundant cell array, a column address counter for designating the main cell array and a redundant cell array, and a main column address provided from the column address counter. A column decoder to decode, a test redundant column decoder to decode a redundant column address provided from the column address counter to test the redundant cell array with the main cell array in a test mode, and a bad cell of the main cell array. Repair for decoding the corresponding column address provided from the column address counter, blocking at the column decoder, and providing to the redundant cell array by a fuse option that replaces the normal cell of the redundant cell array. And a redundant column decoder.
여기서, 불휘발성 반도체 메모리 장치는 정상모드의 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 1 검출신호를 발생하고, 테스트 모드의 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 2 검출신호를 발생하고, 테스트 모드에 응답하여 상기 제 1 또는 제 2 검출신호를 최종 컬럼 어드레스 검출신호로 출력하는 최종 컬럼 어드레스 검출수단을 더 구비한다.Here, the nonvolatile semiconductor memory device detects the last column address of the normal mode to generate a first detection signal, detects the last column address of the test mode to generate a second detection signal, and responds to the test mode. Or final column address detection means for outputting the second detection signal as a final column address detection signal.
본 발명의 방법은 메인 셀 어레이 및 리던던트 셀 어레이를 구비한 불휘발성 반도체 메모리 장치에 있어서, 상기 메인 셀 어레이와 상기 리던던트 셀 어레이를 모두 지정하기 위한 컬럼 어드레스를 발생하는 단계와, 테스트 모드에서는 컬럼 디코더에 의해 상기 메인 셀 어레이의 컬럼 어드레스를 디코딩하고, 리던던트 컬럼 디코더에 의해 상기 리던던트 셀 어레이의 컬럼 어드레스를 디코딩하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.A method of the present invention is a nonvolatile semiconductor memory device having a main cell array and a redundant cell array, the method comprising: generating a column address for designating both the main cell array and the redundant cell array; Decoding the column address of the main cell array by means of decoding, and decoding the column address of the redundant cell array by means of a redundant column decoder.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 일 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the present invention through an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명에 의한 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치의 구성을 나타낸다. 도 2에서 메모리 장치는 메인 메모리 셀 어레이(10), 리던던트 셀 어레이(12), 로우 디코더(14), 리페어 리던던트 컬럼 디코더(18), 컬럼 어드레스 카운터(20), 컬럼 디코더(22), 테스트 리던던트 컬럼 디코더(24), 테스트 명령 래치(26)를 포함한다.2 shows a configuration of a nonvolatile semiconductor memory device having a test time reduction function according to the present invention. In FIG. 2, the memory device includes a main memory cell array 10, a redundant cell array 12, a row decoder 14, a repair redundant column decoder 18, a column address counter 20, a column decoder 22, a test redundant. Column decoder 24 and test instruction latch 26.
본 발명에서는 테스트 명령에 따라 다음 표와 같이 동작상태를 나타낸다In the present invention, as shown in the following table according to the test command indicates the operating state
예를 들면, 컬럼 어드레스 카운터(20)에서는 메인 메모리 셀 어레이 뿐만 아니라 리던던트 셀 어레이도 지정되도록 컬럼 어드레스를 A0~A7에서 A0~A8로 증가시키고 테스트 명령이 있을 경우에만 테스트 리던던트 컬럼 디코더가 인에이블되도록 한다. 따라서, 메인 메모리 셀 어레이는 0~255에 의해 선택되고, 리던던트 셀 어레이는 256~259에 의해 선택된다.For example, the column address counter 20 increases the column address from A0 to A7 to A0 to A8 so that not only the main memory cell array but also the redundant cell array is specified, and the test redundant column decoder is enabled only when there is a test command. do. Therefore, the main memory cell array is selected by 0 to 255, and the redundant cell array is selected by 256 to 259.
테스트 단계는 프리 레이저 전단계에서 이루어지므로 리페어 리던던트 컬럼 디코더(18)의 퓨즈는 전부 절단되지 않은 상태이므로 디스에이블된 상태를 유지한다.Since the test step is performed before the pre-laser, the fuses of the repair redundant column decoder 18 are not cut and thus remain disabled.
도 3은 본 발명에 의한 테스트 리던던트 컬럼 디코더의 일 예를 나타낸다.3 shows an example of a test redundant column decoder according to the present invention.
테스트 컬럼 리던던트 컬럼 디코더(24)는 테스트 명령(TEST)과 컬럼 어드레스 신호(A8)를 낸드 조합하여 인에이블신호를 발생한다. 4개의 노아 게이트(NOR1~NOR4)는 컬럼 어드레스 (A0, A1), (A0B, A1), (A0, A1B), (AOB, A1B)를 각각 입력하여 컬럼 라인 선택신호(RA0, RA1, RA2, RA3)를 각각 발생한다.The test column redundant column decoder 24 generates an enable signal by NAND combining the test command TEST and the column address signal A8. The four NOR gates NOR1 to NOR4 input column addresses A0, A1, A0B, A1, A0, A1B, AOB, and A1B, respectively, so that the column line selection signals RA0, RA1, RA2, Each occurrence of RA3).
낸드형 EEPROM은 페이지 라이트시나 블록 소거시에 내부적으로 자동 검증동작을 수행하게 된다. 이 때, 컬럼 어드레스를 이용하게 되는 바, 프리 레이저 소팅(SORTING)시와 리페어 이후 공정에서는 컬럼 어드레스의 사이즈가 다르게 된다. 따라서, 컬럼 어드레스의 사이즈가 달라지게 되므로 마지막 어드레스를 검사하는 회로가 구비되어야 한다.The NAND type EEPROM performs an automatic verification operation internally at the time of page write or block erase. At this time, since the column address is used, the size of the column address is different at the time of pre laser sorting and after the repair process. Therefore, since the size of the column address is different, a circuit for checking the last address must be provided.
도 4는 본 발명에 의한 최종 어드레스 검출회로의 구성을 나타낸다.4 shows the configuration of the final address detection circuit according to the present invention.
도 4에서 최종 어드레스 검출 회로는 정상모드에서, 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 1 검출신호(FYADDN)를 발생하는 제 1 검출수단(32)와, 테스트 모드에서, 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 2 검출신호(FYADDT)를 발생하는 제 2 검출수단(34)와, 테스트 모드에 응답하여 상기 제 1 또는 제 2 검출신호를 최종 컬럼 어드레스 검출신호(FYADD)로 출력하는 출력수단(36)을 포함한다.In FIG. 4, the last address detecting circuit detects the last column address in the normal mode and generates the first detection signal FYADDN, and the second column detects the last column address in the test mode. Second detection means 34 for generating a signal FYADDT and output means 36 for outputting the first or second detection signal as a final column address detection signal FYADD in response to a test mode.
제 2 검출수단(34)은 인버터(INV5~INV8), NOR 게이트(NOR6, NOR7), 낸드 게이트(NAND3)를 포함한다. 제 2 검출수단(34)은 테스트 모드에서 A0, A1, A8이 모두 하이상태이면 로우상태의 최종 어드레스 검출신호(FYADDT)를 발생한다.The second detection means 34 includes inverters INV5 to INV8, NOR gates NOR6 and NOR7, and NAND gates NAND3. In the test mode, the second detecting unit 34 generates the final address detection signal FYADDT in the low state when A0, A1, and A8 are all high.
출력수단(36)은 인버터(INV3, INV4), 노아 게이트(NOR5), 낸드게이트(NAND2)를 포함한다. 출력수단(36)은 테스트 모드에서는 제 1 검출수단(32)로부터 제공되는 최종 어드레스 검출신호(FYADDN)을 차단시키고 FYADDT가 FYADD로 출력되도록 한다. 반대로 정상 모드에서는 FYADDN이 FYADD로 출력되게 한다.The output means 36 includes inverters INV3, INV4, NOR gate NOR5, and NAND gate NAND2. The output means 36 cuts off the last address detection signal FYADDN provided from the first detection means 32 in the test mode and causes FYADDT to be output to FYADD. In contrast, in normal mode, FYADDN is output as FYADD.
이상, 설명한 바와 같이 본 발명에서는 컬럼 어드레스 카운터의 값을 메인 셀 어레이 뿐만 아니라 리던던트 셀 어레이를 지정할 수 있도록 증가시키고 테스트 리던던트 컬럼 디코더를 구비하여 테스트 모드에서는 메인 셀 어레이와 리던던트 셀 어레이가 함께 지정되어 동시에 테스트가 되도록 함으로써 기존의 각각 테스트 하는 방식에 비하여 테스트 시간을 거의 1/2로 줄일 수 있다.As described above, in the present invention, the value of the column address counter is increased so that not only the main cell array but also the redundant cell array can be designated, and a test redundant column decoder is provided so that the main cell array and the redundant cell array are simultaneously specified in the test mode. By doing this, the test time can be reduced by almost half of the conventional test method.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990035686A KR100593731B1 (en) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990035686A KR100593731B1 (en) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010019340A true KR20010019340A (en) | 2001-03-15 |
KR100593731B1 KR100593731B1 (en) | 2006-06-28 |
Family
ID=19608819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019990035686A KR100593731B1 (en) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100593731B1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6967868B2 (en) | 2003-05-28 | 2005-11-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor memory device having flexible column redundancy scheme |
KR100919575B1 (en) * | 2001-12-21 | 2009-10-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | Parallel test circuit for semiconductor memory device |
KR101228519B1 (en) * | 2005-12-12 | 2013-02-01 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor memory device, test system including the same, and repair method of semiconductor memory device |
US9653160B2 (en) | 2014-11-21 | 2017-05-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Memory device reducing test time and computing system including the same |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR940008212B1 (en) * | 1991-09-07 | 1994-09-08 | 삼성전자 주식회사 | Semiconductor memory device with redundant cell test apparatus |
JP2570203B2 (en) * | 1994-11-22 | 1997-01-08 | 日本電気株式会社 | Semiconductor storage device |
KR970067375A (en) * | 1996-03-08 | 1997-10-13 | 김주용 | Circuit for testing semiconductor devices |
KR20000061317A (en) * | 1999-03-25 | 2000-10-16 | 윤종용 | Redudancy control scheme having minimized delay elements |
-
1999
- 1999-08-26 KR KR1019990035686A patent/KR100593731B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100919575B1 (en) * | 2001-12-21 | 2009-10-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | Parallel test circuit for semiconductor memory device |
US6967868B2 (en) | 2003-05-28 | 2005-11-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor memory device having flexible column redundancy scheme |
KR101228519B1 (en) * | 2005-12-12 | 2013-02-01 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor memory device, test system including the same, and repair method of semiconductor memory device |
US9653160B2 (en) | 2014-11-21 | 2017-05-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Memory device reducing test time and computing system including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100593731B1 (en) | 2006-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR960016807B1 (en) | Redundancy circuit of semiconductor memory device | |
KR100227058B1 (en) | Semiconductor memory device and method of checking same for defect | |
KR100383259B1 (en) | semiconductor memory device and programmed defect address identifying method thereof | |
KR950008541B1 (en) | A redundant circuit of semiconductor memory device | |
US7490274B2 (en) | Method and apparatus for masking known fails during memory tests readouts | |
KR0177740B1 (en) | Redundancy circuit and its method for semiconductor memory device | |
US6826098B2 (en) | Semiconductor memory having multiple redundant columns with offset segmentation boundaries | |
JP2002093190A (en) | Semiconductor storage device and its inspection method | |
KR20160141484A (en) | Semiconductor memory device and test method thereof | |
US6269030B1 (en) | Semiconductor memory device | |
JPH0748314B2 (en) | Semiconductor memory device | |
KR100379556B1 (en) | Column repair circuit of semiconductor memory | |
KR100593731B1 (en) | Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time | |
US20070030743A1 (en) | Semiconductor memory device | |
JP2003100094A (en) | Semiconductor memory | |
KR19980014814A (en) | Semiconductor memory device with redundancy verify circuit | |
KR20030058256A (en) | Flash memory device and repairing method thereof | |
JPH10172297A (en) | Semiconductor storage and its testing method | |
KR100924579B1 (en) | Redundancy memory cell access circuit, semiconductor memory device comprising the same and test method of semiconductor memory device | |
KR100206697B1 (en) | Column redundancy circuit of semiconductor memory | |
KR100268787B1 (en) | Repair method of semiconductor apparatus | |
KR100439049B1 (en) | Logical address changer of semiconductor memory device | |
JPH0660693A (en) | Semiconductor storage | |
KR0172367B1 (en) | Semiconductor memory redundancy circuit | |
KR19990025194A (en) | Defect Repair Method of Semiconductor Memory Device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20100528 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |