KR20010019340A - Non-volatile semiconductor memory apparatus and method for testing thereof - Google Patents

Non-volatile semiconductor memory apparatus and method for testing thereof Download PDF

Info

Publication number
KR20010019340A
KR20010019340A KR1019990035686A KR19990035686A KR20010019340A KR 20010019340 A KR20010019340 A KR 20010019340A KR 1019990035686 A KR1019990035686 A KR 1019990035686A KR 19990035686 A KR19990035686 A KR 19990035686A KR 20010019340 A KR20010019340 A KR 20010019340A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cell array
redundant
column address
test
column
Prior art date
Application number
KR1019990035686A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100593731B1 (en
Inventor
서영일
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019990035686A priority Critical patent/KR100593731B1/en
Publication of KR20010019340A publication Critical patent/KR20010019340A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100593731B1 publication Critical patent/KR100593731B1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/70Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
    • G11C29/78Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
    • G11C29/84Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability
    • G11C29/848Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability by adjacent switching
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/70Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
    • G11C29/78Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
    • G11C29/781Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices combined in a redundant decoder

Abstract

PURPOSE: A semiconductor memory device having a function to reduce a test time and a test method thereof are provided to reduce the test time by testing a main cell array and a redundant cell array at the same time. CONSTITUTION: The semiconductor memory device includes a main memory cell array(10), a redundant cell array(12), a row decoder(14), a repair redundant column decoder(18), a column address counter(20), a column decoder(22), a test redundant column decoder(24) and a test command latch(26). The column address counter increases a column address from A0-A7 to A0-A8 in order for not only the main memory cell array but also the redundant cell array to be designated, and enables the test redundant column decoder only in case that there is a test command. Therefore, the main memory cell array is selected by 0-255, and the redundant cell array is selected by 256-259. Because the test step is accomplished before a pre-laser step, a fuse of the repair redundant column decoder is not blown completely and thus maintains a disabled state.

Description

테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법{NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY APPARATUS AND METHOD FOR TESTING THEREOF}Non-volatile semiconductor memory device and test method with reduced test time {NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY APPARATUS AND METHOD FOR TESTING THEREOF}

본 발명은 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법에 관한 것으로서, 특히 테스트 리던던트 컬럼 디코더를 구비하여 셀 어레이 테스트시에 리던던트 셀 어레이도 함께 테스트함으로써 테스트 시간을 단축할 수 있는 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device and a test method having a test time shortening function. In particular, the present invention includes a test redundant column decoder to test a redundant cell array at the time of a cell array test, thereby reducing test time. A nonvolatile semiconductor memory device having a shortening function and a test method are provided.

반도체 기술의 빠른 발전은 반도체 집적회로의 초고집적화를 가져 왔으며 특히, EEPROM 셀 어레이를 구비한 메모리장치 분야의 고집적화도 괄목한 성장을 이루 었다. 메모리장치의 초고집적화가 이루어지면서 메모리 셀 어레이의 불량율도 높아졌으며 이 불량 셀을 대체하는 리던던시 리페어 기술도 다양하게 발전되어 왔다.The rapid development of semiconductor technology has resulted in very high integration of semiconductor integrated circuits, especially in the field of memory devices with EEPROM cell arrays. As the ultra-high integration of memory devices has been achieved, the failure rate of memory cell arrays has increased, and the redundant repair technology for replacing the defective cells has been developed in various ways.

일반적으로 메모리 EEPROM 셀의 테스트는 주로 셀에 직접 실질적인 데이터를 라이트하고 리드하여 불량여부를 판단한다. 이 때 EEPROM 셀의 불량은 메모리를 만드는 공정에 따라서 여러 유형으로 발생하게 된다. 이러한 메모리의 불량은 메모리의 용량이 확대되면 될수록 많아지게 된다.In general, a test of a memory EEPROM cell mainly writes and reads substantial data directly to the cell to determine whether there is a defect. At this time, the defect of EEPROM cell occurs in various types according to the process of making memory. Such defects of memory increase as the capacity of the memory increases.

이 불량을 규제하기 위하여 여분의 리던던트 셀을 미리 만들어 놓고 불량이 발생한 메인 셀을 대체하게 된다.In order to regulate this defect, an extra redundant cell is made in advance and the defective main cell is replaced.

도 1은 종래의 불휘발성 메모리 장치의 구성을 나타낸다. 메인 메모리 셀 어레이(10), 리던던트 셀 어레이(12). 로우 디코더(14), 컬럼 어드레스 카운터(16), 리던던트 컬럼 디코더(18), 컬럼 디코더(20)를 포함한다.1 shows a configuration of a conventional nonvolatile memory device. Main memory cell array 10, redundant cell array 12. The row decoder 14, the column address counter 16, the redundant column decoder 18, and the column decoder 20 are included.

로우성 불량이나 컬럼성 불량을 리페어하기 위하여 로우 리던던트 셀 어레이와 컬럼 리던던트 셀 어레이를 준비하게된다.In order to repair low or column defects, a low redundant cell array and a column redundant cell array are prepared.

낸드형 플래쉬 메모리에서 로우성 불량이 발생한 경우에는 여러 페이지로 이루어진 블록 단위로 리페어를 하게 되는 데, 이 때에는 리던던트 블록의 EEPROM 셀의 불량 여부는 메인 메모리 셀과 동일한 방법으로 검사가 이루어진다.When a low defect occurs in the NAND type flash memory, repair is performed in units of blocks of several pages. In this case, the defect of the EEPROM cell of the redundant block is checked in the same manner as the main memory cell.

그러나, 컬럼 리던던시 셀을 검사하기 위하여 메인 메모리 셀과 같은 페이지 단위의 라이트 및 리드가 이루어져야 하며 이와 같은 검사를 하게 되면 컬럼 리던던트 셀 어레이(12)를 검사하는 시간은 메인 메모리 셀 어레이(10)와 같은 시간이 걸리게 되어 결과적으로 검사 시간을 두배로 늘려야 하는 단점이 있다.However, in order to inspect column redundancy cells, writes and reads in the same page unit as the main memory cells must be performed. When such a test is performed, the time for inspecting the column redundant cell array 12 is the same as that of the main memory cell array 10. As a result, the disadvantage is that the test time must be doubled as a result.

본 발명의 목적은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 리던던트 셀 어레이와 메인 메모리 셀 어레이를 동시에 테스트 함으로써 테스트 시간을 단축할 수 있는 불휘발성 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a nonvolatile semiconductor memory device and a test method which can shorten a test time by simultaneously testing a redundant cell array and a main memory cell array in order to solve the problems of the related art.

도 1은 종래의 불휘발성 반도체 메모리 장치의 구성을 나타낸 도면.1 is a diagram showing the configuration of a conventional nonvolatile semiconductor memory device.

도 2는 본 발명에 의한 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치의 구성을 나타낸 도면.2 is a diagram showing the configuration of a nonvolatile semiconductor memory device having a test time reduction function according to the present invention;

도 3은 본 발명에 의한 테스트 리던던트 컬럼 디코더의 일 예를 나타낸 회로도.3 is a circuit diagram illustrating an example of a test redundant column decoder according to the present invention;

도 4는 본 발명에 의한 최종 어드레스 검출회로의 구성을 나타낸 도면.4 is a diagram showing the configuration of the final address detection circuit according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

10 : 셀 어레이 12 : 리던던트 셀 어레이10: cell array 12: redundant cell array

14 : 로우 디코더 18 : 리페어 리던던트 컬럼 디코더14: row decoder 18: repair redundant column decoder

20 : 컬럼 어드레스 카운터 22 : 컬럼 디코더20: column address counter 22: column decoder

24 : 테스트 리던던트 컬럼 디코더 26 : 테스트명령 래치24: test redundant column decoder 26: test instruction latch

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는 메인 셀 어레이와, 리던던트 셀 어레이와, 메인 셀 어레이와 리던던트 셀 어레이를 지정하기 위한 컬럼 어드레스 카운터와, 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 메인 컬럼 어드레스를 디코딩하는 컬럼 디코더와, 테스트 모드에서, 상기 메인 셀 어레이와 함께 상기 리던던트 셀 어레이를 테스트하기 위하여, 상기 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 리던던트 컬럼 어드레스를 디코딩하는 테스트 리던던트 컬럼 디코더와, 메인 셀 어레이의 불량 셀을 상기 리던던시 셀 어레이의 정상 셀로 대체하는 퓨즈옵션에 의해 상기 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 대응하는 컬럼 어드레스를 디코딩하고, 상기 컬럼 디코더에서는 차단되도록 하고, 상기 리던던트 셀 어레이에 제공하기 위한 리페어 리던던트 컬럼 디코더를 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object of the present invention, the apparatus of the present invention provides a main cell array, a redundant cell array, a column address counter for designating the main cell array and a redundant cell array, and a main column address provided from the column address counter. A column decoder to decode, a test redundant column decoder to decode a redundant column address provided from the column address counter to test the redundant cell array with the main cell array in a test mode, and a bad cell of the main cell array. Repair for decoding the corresponding column address provided from the column address counter, blocking at the column decoder, and providing to the redundant cell array by a fuse option that replaces the normal cell of the redundant cell array. And a redundant column decoder.

여기서, 불휘발성 반도체 메모리 장치는 정상모드의 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 1 검출신호를 발생하고, 테스트 모드의 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 2 검출신호를 발생하고, 테스트 모드에 응답하여 상기 제 1 또는 제 2 검출신호를 최종 컬럼 어드레스 검출신호로 출력하는 최종 컬럼 어드레스 검출수단을 더 구비한다.Here, the nonvolatile semiconductor memory device detects the last column address of the normal mode to generate a first detection signal, detects the last column address of the test mode to generate a second detection signal, and responds to the test mode. Or final column address detection means for outputting the second detection signal as a final column address detection signal.

본 발명의 방법은 메인 셀 어레이 및 리던던트 셀 어레이를 구비한 불휘발성 반도체 메모리 장치에 있어서, 상기 메인 셀 어레이와 상기 리던던트 셀 어레이를 모두 지정하기 위한 컬럼 어드레스를 발생하는 단계와, 테스트 모드에서는 컬럼 디코더에 의해 상기 메인 셀 어레이의 컬럼 어드레스를 디코딩하고, 리던던트 컬럼 디코더에 의해 상기 리던던트 셀 어레이의 컬럼 어드레스를 디코딩하는 단계를 구비한 것을 특징으로 한다.A method of the present invention is a nonvolatile semiconductor memory device having a main cell array and a redundant cell array, the method comprising: generating a column address for designating both the main cell array and the redundant cell array; Decoding the column address of the main cell array by means of decoding, and decoding the column address of the redundant cell array by means of a redundant column decoder.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 일 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the present invention through an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치의 구성을 나타낸다. 도 2에서 메모리 장치는 메인 메모리 셀 어레이(10), 리던던트 셀 어레이(12), 로우 디코더(14), 리페어 리던던트 컬럼 디코더(18), 컬럼 어드레스 카운터(20), 컬럼 디코더(22), 테스트 리던던트 컬럼 디코더(24), 테스트 명령 래치(26)를 포함한다.2 shows a configuration of a nonvolatile semiconductor memory device having a test time reduction function according to the present invention. In FIG. 2, the memory device includes a main memory cell array 10, a redundant cell array 12, a row decoder 14, a repair redundant column decoder 18, a column address counter 20, a column decoder 22, a test redundant. Column decoder 24 and test instruction latch 26.

본 발명에서는 테스트 명령에 따라 다음 표와 같이 동작상태를 나타낸다In the present invention, as shown in the following table according to the test command indicates the operating state

테스트 명령Test command 인에이블Enable 디스에이블Disable A8A8 1One 00 1One 00 사용 디코더Used decoder 테스트리던던트 컬럼 디코더Test Redundant Column Decoder 컬럼 디코더Column decoder 리페어 리던던트 컬럼 디코더 및 컬럼 디코더Repair redundant column decoder and column decoder 검사 공정Inspection process 프리 레이저Free laser EDS 이후 공정Post EDS Process

예를 들면, 컬럼 어드레스 카운터(20)에서는 메인 메모리 셀 어레이 뿐만 아니라 리던던트 셀 어레이도 지정되도록 컬럼 어드레스를 A0~A7에서 A0~A8로 증가시키고 테스트 명령이 있을 경우에만 테스트 리던던트 컬럼 디코더가 인에이블되도록 한다. 따라서, 메인 메모리 셀 어레이는 0~255에 의해 선택되고, 리던던트 셀 어레이는 256~259에 의해 선택된다.For example, the column address counter 20 increases the column address from A0 to A7 to A0 to A8 so that not only the main memory cell array but also the redundant cell array is specified, and the test redundant column decoder is enabled only when there is a test command. do. Therefore, the main memory cell array is selected by 0 to 255, and the redundant cell array is selected by 256 to 259.

테스트 단계는 프리 레이저 전단계에서 이루어지므로 리페어 리던던트 컬럼 디코더(18)의 퓨즈는 전부 절단되지 않은 상태이므로 디스에이블된 상태를 유지한다.Since the test step is performed before the pre-laser, the fuses of the repair redundant column decoder 18 are not cut and thus remain disabled.

도 3은 본 발명에 의한 테스트 리던던트 컬럼 디코더의 일 예를 나타낸다.3 shows an example of a test redundant column decoder according to the present invention.

테스트 컬럼 리던던트 컬럼 디코더(24)는 테스트 명령(TEST)과 컬럼 어드레스 신호(A8)를 낸드 조합하여 인에이블신호를 발생한다. 4개의 노아 게이트(NOR1~NOR4)는 컬럼 어드레스 (A0, A1), (A0B, A1), (A0, A1B), (AOB, A1B)를 각각 입력하여 컬럼 라인 선택신호(RA0, RA1, RA2, RA3)를 각각 발생한다.The test column redundant column decoder 24 generates an enable signal by NAND combining the test command TEST and the column address signal A8. The four NOR gates NOR1 to NOR4 input column addresses A0, A1, A0B, A1, A0, A1B, AOB, and A1B, respectively, so that the column line selection signals RA0, RA1, RA2, Each occurrence of RA3).

낸드형 EEPROM은 페이지 라이트시나 블록 소거시에 내부적으로 자동 검증동작을 수행하게 된다. 이 때, 컬럼 어드레스를 이용하게 되는 바, 프리 레이저 소팅(SORTING)시와 리페어 이후 공정에서는 컬럼 어드레스의 사이즈가 다르게 된다. 따라서, 컬럼 어드레스의 사이즈가 달라지게 되므로 마지막 어드레스를 검사하는 회로가 구비되어야 한다.The NAND type EEPROM performs an automatic verification operation internally at the time of page write or block erase. At this time, since the column address is used, the size of the column address is different at the time of pre laser sorting and after the repair process. Therefore, since the size of the column address is different, a circuit for checking the last address must be provided.

도 4는 본 발명에 의한 최종 어드레스 검출회로의 구성을 나타낸다.4 shows the configuration of the final address detection circuit according to the present invention.

도 4에서 최종 어드레스 검출 회로는 정상모드에서, 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 1 검출신호(FYADDN)를 발생하는 제 1 검출수단(32)와, 테스트 모드에서, 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 2 검출신호(FYADDT)를 발생하는 제 2 검출수단(34)와, 테스트 모드에 응답하여 상기 제 1 또는 제 2 검출신호를 최종 컬럼 어드레스 검출신호(FYADD)로 출력하는 출력수단(36)을 포함한다.In FIG. 4, the last address detecting circuit detects the last column address in the normal mode and generates the first detection signal FYADDN, and the second column detects the last column address in the test mode. Second detection means 34 for generating a signal FYADDT and output means 36 for outputting the first or second detection signal as a final column address detection signal FYADD in response to a test mode.

제 2 검출수단(34)은 인버터(INV5~INV8), NOR 게이트(NOR6, NOR7), 낸드 게이트(NAND3)를 포함한다. 제 2 검출수단(34)은 테스트 모드에서 A0, A1, A8이 모두 하이상태이면 로우상태의 최종 어드레스 검출신호(FYADDT)를 발생한다.The second detection means 34 includes inverters INV5 to INV8, NOR gates NOR6 and NOR7, and NAND gates NAND3. In the test mode, the second detecting unit 34 generates the final address detection signal FYADDT in the low state when A0, A1, and A8 are all high.

출력수단(36)은 인버터(INV3, INV4), 노아 게이트(NOR5), 낸드게이트(NAND2)를 포함한다. 출력수단(36)은 테스트 모드에서는 제 1 검출수단(32)로부터 제공되는 최종 어드레스 검출신호(FYADDN)을 차단시키고 FYADDT가 FYADD로 출력되도록 한다. 반대로 정상 모드에서는 FYADDN이 FYADD로 출력되게 한다.The output means 36 includes inverters INV3, INV4, NOR gate NOR5, and NAND gate NAND2. The output means 36 cuts off the last address detection signal FYADDN provided from the first detection means 32 in the test mode and causes FYADDT to be output to FYADD. In contrast, in normal mode, FYADDN is output as FYADD.

이상, 설명한 바와 같이 본 발명에서는 컬럼 어드레스 카운터의 값을 메인 셀 어레이 뿐만 아니라 리던던트 셀 어레이를 지정할 수 있도록 증가시키고 테스트 리던던트 컬럼 디코더를 구비하여 테스트 모드에서는 메인 셀 어레이와 리던던트 셀 어레이가 함께 지정되어 동시에 테스트가 되도록 함으로써 기존의 각각 테스트 하는 방식에 비하여 테스트 시간을 거의 1/2로 줄일 수 있다.As described above, in the present invention, the value of the column address counter is increased so that not only the main cell array but also the redundant cell array can be designated, and a test redundant column decoder is provided so that the main cell array and the redundant cell array are simultaneously specified in the test mode. By doing this, the test time can be reduced by almost half of the conventional test method.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.

Claims (4)

메인 셀 어레이;Main cell array; 리던던트 셀 어레이;Redundant cell arrays; 상기 메인 셀 어레이와 리던던트 셀 어레이를 지정하기 위한 컬럼 어드레스 카운터;A column address counter for designating the main cell array and the redundant cell array; 상기 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 메인 컬럼 어드레스를 디코딩하는 컬럼 디코더;A column decoder for decoding a main column address provided from the column address counter; 테스트 모드에서, 상기 메인 셀 어레이와 함께 상기 리던던트 셀 어레이를 테스트하기 위하여, 상기 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 리던던트 컬럼 어드레스를 디코딩하는 테스트 리던던트 컬럼 디코더; 및A test redundant column decoder for decoding a redundant column address provided from the column address counter to test the redundant cell array with the main cell array in a test mode; And 상기 메인 셀 어레이의 불량 셀을 상기 리던던시 셀 어레이의 정상 셀로 대체하는 퓨즈옵션에 의해 상기 컬럼 어드레스 카운터로부터 제공된 대응하는 컬럼 어드레스를 디코딩하고, 상기 컬럼 디코더에서는 차단되도록 하고, 상기 리던던트 셀 어레이에 제공하기 위한 리페어 리던던트 컬럼 디코더를 구비한 것을 특징으로 하는 테스트 시간 단축기능을 가진 불휘발성 반도체 메모리 장치.Decode the corresponding column address provided from the column address counter, block at the column decoder, and provide to the redundant cell array by a fuse option that replaces the defective cell of the main cell array with the normal cell of the redundant cell array. Non-volatile semiconductor memory device having a test time reduction function characterized in that it comprises a repair redundant column decoder for. 제 1 항에 있어서, 상기 불휘발성 반도체 메모리 장치는The nonvolatile semiconductor memory device of claim 1, wherein 정상모드의 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 1 검출신호를 발생하고, 테스트 모드의 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 2 검출신호를 발생하고, 테스트 모드에 응답하여 상기 제 1 또는 제 2 검출신호를 최종 컬럼 어드레스 검출신호로 출력하는 최종 컬럼 어드레스 검출수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치.Detects the last column address in the normal mode to generate a first detection signal, detects the last column address in the test mode to generate a second detection signal, and responds to the test mode to convert the first or second detection signal into a final column And a final column address detection means for outputting the address detection signal. 제 2 항에 있어서, 상기 최종 컬럼 어드레스 검출수단은The method of claim 2, wherein the last column address detecting means 정상모드에서, 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 1 검출신호를 발생하는 제 1 검출수단;First detection means for detecting a final column address in a normal mode to generate a first detection signal; 테스트 모드에서, 최종 컬럼 어드레스를 검출하여 제 2 검출신호를 발생하는 제 2 검출수단; 및Second detection means for detecting a final column address in a test mode to generate a second detection signal; And 테스트 모드에 응답하여 상기 제 1 또는 제 2 검출신호를 최종 컬럼 어드레스 검출신호로 출력하는 출력수단을 구비한 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리 장치.And output means for outputting the first or second detection signal as a final column address detection signal in response to a test mode. 메인 셀 어레이 및 리던던트 셀 어레이를 구비한 불휘발성 반도체 메모리 장치에 있어서,A nonvolatile semiconductor memory device having a main cell array and a redundant cell array, 상기 메인 셀 어레이와 상기 리던던트 셀 어레이를 모두 지정하기 위한 컬럼 어드레스를 발생하는 단계; 및Generating a column address for designating both the main cell array and the redundant cell array; And 테스트 모드에서는 컬럼 디코더에 의해 상기 메인 셀 어레이의 컬럼 어드레스를 디코딩하고, 리던던트 컬럼 디코더에 의해 상기 리던던트 셀 어레이의 컬럼 어드레스를 디코딩하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리 장치의 고속 테스트 방법.And in the test mode, decoding a column address of the main cell array by a column decoder and decoding a column address of the redundant cell array by a redundant column decoder. .
KR1019990035686A 1999-08-26 1999-08-26 Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time KR100593731B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990035686A KR100593731B1 (en) 1999-08-26 1999-08-26 Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990035686A KR100593731B1 (en) 1999-08-26 1999-08-26 Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010019340A true KR20010019340A (en) 2001-03-15
KR100593731B1 KR100593731B1 (en) 2006-06-28

Family

ID=19608819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990035686A KR100593731B1 (en) 1999-08-26 1999-08-26 Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100593731B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6967868B2 (en) 2003-05-28 2005-11-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device having flexible column redundancy scheme
KR100919575B1 (en) * 2001-12-21 2009-10-01 주식회사 하이닉스반도체 Parallel test circuit for semiconductor memory device
KR101228519B1 (en) * 2005-12-12 2013-02-01 삼성전자주식회사 Semiconductor memory device, test system including the same, and repair method of semiconductor memory device
US9653160B2 (en) 2014-11-21 2017-05-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Memory device reducing test time and computing system including the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR940008212B1 (en) * 1991-09-07 1994-09-08 삼성전자 주식회사 Semiconductor memory device with redundant cell test apparatus
JP2570203B2 (en) * 1994-11-22 1997-01-08 日本電気株式会社 Semiconductor storage device
KR970067375A (en) * 1996-03-08 1997-10-13 김주용 Circuit for testing semiconductor devices
KR20000061317A (en) * 1999-03-25 2000-10-16 윤종용 Redudancy control scheme having minimized delay elements

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100919575B1 (en) * 2001-12-21 2009-10-01 주식회사 하이닉스반도체 Parallel test circuit for semiconductor memory device
US6967868B2 (en) 2003-05-28 2005-11-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device having flexible column redundancy scheme
KR101228519B1 (en) * 2005-12-12 2013-02-01 삼성전자주식회사 Semiconductor memory device, test system including the same, and repair method of semiconductor memory device
US9653160B2 (en) 2014-11-21 2017-05-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Memory device reducing test time and computing system including the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR100593731B1 (en) 2006-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960016807B1 (en) Redundancy circuit of semiconductor memory device
KR100227058B1 (en) Semiconductor memory device and method of checking same for defect
KR100383259B1 (en) semiconductor memory device and programmed defect address identifying method thereof
KR950008541B1 (en) A redundant circuit of semiconductor memory device
US7490274B2 (en) Method and apparatus for masking known fails during memory tests readouts
KR0177740B1 (en) Redundancy circuit and its method for semiconductor memory device
US6826098B2 (en) Semiconductor memory having multiple redundant columns with offset segmentation boundaries
JP2002093190A (en) Semiconductor storage device and its inspection method
KR20160141484A (en) Semiconductor memory device and test method thereof
US6269030B1 (en) Semiconductor memory device
JPH0748314B2 (en) Semiconductor memory device
KR100379556B1 (en) Column repair circuit of semiconductor memory
KR100593731B1 (en) Non-volatile semiconductor memory device and test method with short test time
US20070030743A1 (en) Semiconductor memory device
JP2003100094A (en) Semiconductor memory
KR19980014814A (en) Semiconductor memory device with redundancy verify circuit
KR20030058256A (en) Flash memory device and repairing method thereof
JPH10172297A (en) Semiconductor storage and its testing method
KR100924579B1 (en) Redundancy memory cell access circuit, semiconductor memory device comprising the same and test method of semiconductor memory device
KR100206697B1 (en) Column redundancy circuit of semiconductor memory
KR100268787B1 (en) Repair method of semiconductor apparatus
KR100439049B1 (en) Logical address changer of semiconductor memory device
JPH0660693A (en) Semiconductor storage
KR0172367B1 (en) Semiconductor memory redundancy circuit
KR19990025194A (en) Defect Repair Method of Semiconductor Memory Device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100528

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee