KR20010016510A - 서킷테이프 부착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 프레임(20)의 내부 상하측에 장착된 상부로울러(24) 및 하부로울러(26)를 이용하여, 이 상부로울러(24)와 하부로울러(26)의 사이에 투입되는 서킷테이프(1)와 캐리어(10)를 가압하여 상호 접착하는 서킷테이프 부착장치에 있어서, 상기 프레임(20)의 일측에 장착된 크리닝유닛(30)과, 상기 프레임(20)에 장착되어 크리닝유닛(30) 쪽으로 연장되며 상기 상부로울러(24)가 이송가능하게 장착된 가이드레일(32)이 더 구비되며, 상기 크리닝유닛(30)은 상기 프레임(20)에 장착된 지지대(48,50)와, 이 지지대(48,50)에 장착되며 그 외주면에는 일면이 접착면으로 구성된 크리닝테이프(38)가 감긴 테이프롤(40)과, 상기 지지대(48,50)의 상단에 장착되어 테이프롤(40)에서 풀려나온 크리닝테이프(38)를 지지대(48,50)의 상측으로 유도하는 복수의 안내로울러(42)와, 상기 지지대(48,50)에 장착되어 안내로울러(42)를 경유한 크리닝테이프(38)를 감아 회수하는 회수롤(44)과, 이 회수롤(44)에 연결되어 회수롤(44)을 구동시키는 구동모터(46)를 포함하여 구성되어, 상기 상부로울러(24)를 크리닝유닛(30) 쪽으로 이송하여, 이 상부로울러(24)의 외주면 일측을 상기 크리닝테이프(38)의 접착면에 밀착시키고, 상기 구동모터(46)로 회수롤(44)을 회전시켜 크리닝테이프(38)를 잡아당기므로써, 상부로울러(24) 외주면 전체에 묻은 이물질을 때어내어 제거할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 서킷테이프 부착장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR10-2000-0077265A KR100377009B1 (ko) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 서킷테이프 부착장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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KR10-2000-0077265A KR100377009B1 (ko) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 서킷테이프 부착장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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KR20010016510A true KR20010016510A (ko) | 2001-03-05 |
KR100377009B1 KR100377009B1 (ko) | 2003-03-26 |
Family
ID=19703133
Family Applications (1)
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KR10-2000-0077265A KR100377009B1 (ko) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 서킷테이프 부착장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100377009B1 (ko) |
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2000
- 2000-12-15 KR KR10-2000-0077265A patent/KR100377009B1/ko active IP Right Grant
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KR100377009B1 (ko) | 2003-03-26 |
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