KR20010012130A

KR20010012130A - 동작범위가 넓은 매니퓰레이터

Info

Publication number: KR20010012130A
Application number: KR19997009959A
Authority: KR
Inventors: 카터나빌; 베이커데이빗에이.
Original assignee: 오쿠모토 리차드; 크레던스 시스템스 코포레이션
Priority date: 1997-04-30
Filing date: 1998-04-30
Publication date: 2001-02-15
Also published as: EP0979415A4; EP0979415A1; WO1998049569A1; EP0979415B1; DE69825045T2; DE69825045D1; US6023173A; JP2001523343A

Abstract

본 발명의 테스터는 테스트헤드(1)에 부착되어 여러 가지 각도로 자유롭게 움직이는 동작 범위를 가진 반도체장치 시험용 매니퓰레이터(200)를 포함한다. 수직베어링 어셈블리(500) 및 수평베어링 어셈블리(600), 신축조인트(400), 스윙암(40), 텀블어셈블리(700)가 로터리베어링 어셈블리(300)에 의하여 스윙암에 연결되어 3차원으로 테스트헤드의 횡방향 운동은 물론 수평으로 테스트헤드의 각운동, 텀블회전 또는 트위스트회전을 제공한다.

Description

동작범위가 넓은 매니퓰레이터 {MANIPULATOR WITH EXPANDED RANGE OF MOTION}

전자장치, 특히 반도체장치를 시험하는 종래기술의 시스템은 일반적으로 전자회로, 프레임, 및 테스트헤드에 부착되는 매니퓰레이터 어셈블리를 포함한다. 시험용 전자회로는 테스트헤드 자체에 위치되지만, 시험을 처리 및 기록하는 일부 전자회로는 프레임 또는 별개의 컴퓨터 내에 위치될 수 있다. 복수의 케이블로 구성되는 케이블 어셈블리를 사용하여 테스트헤드의 전자회로에 전력을 제공하며, 테스트헤드의 전자회로를 전원과 같은 설비 및 다른 장치에 연결한다. 시험프로세스에는 많은 양의 전력을 필요로 하기 때문에, 전원으로부터 테스트헤드에 전력을 전달하는데는 크고 두꺼운 전력케이블(power cable)이 필요하다. 압력시험용 시험유닛은 전원으로부터 테스트헤드에 고압가스를 연결하는 케이블을 포함한다. 또한, 테스트헤드의 복잡한 처리회로에 의하여 발생된 열 때문에 테스트헤드는 반드시 냉각시켜야 한다. 테스트헤드 전체에 냉각유체(cooling fluid)를 순환시키는 것이 테스트헤드의 전자부품을 냉각시키는 한 가지 방법이다. 냉각유체를 순환시키는 시험장치에서는, 케이블이 열교환기(heat exchanger)로부터 테스트헤드에 냉각유체를 전달하고, 사용된 냉각유체를 열교환기로 복귀시킨다. 종래기술의 시스템에서, 케이블은 매니퓰레이터 어셈블리로부터 처리회로로 연장될 때 지면에 늘어뜨려지거나 또는 슬링(sling)에 의하여 지지되는 것이 일반적이다.

종래기술의 매니퓰레이터 어셈블리는 테스트헤드의 반대쪽에 부착된 요크(yoke)를 사용하여 테스트헤드에 텀블동작(tumble motion)을 시킨다. 이들 종래기술의 매니퓰레이터 어셈블리는 약간 동작할 수 있지만 그 동작범위가 매우 한정된다. 또한, 요크가 방해하고, 조작자의 시험면(testing surface)으로의 액세스가 방해되며 테스트헤드 자체의 움직임이 제한된다.

최근의 매니퓰레이터 어셈블리는 일반적으로 암(arm)이 수직레일에 부착되어 수평으로 동작할 수 있다. 암은 테스트헤드의 반대쪽에 부착되는 요크를 사용하여 테스트헤드에 부착된다. 요크는 테스트헤드가 요크의 내부에 끼워질 수 있을 만큼 충분히 크게 되어야 하며 테스트헤드의 무거운 중량을 지지할 수 있을 만큼 강해야 한다. 따라서, 요크의 직경이 크고 대형이기 때문에 요크를 사용하는 설계는 부피가 크다.

종래기술의 테스터는 조립실 바닥(assembly room floor)에 상당한 공간을 차지한다. 또한, 시험장치의 무거운 중량 때문에 장치를 이동하는 것이 곤란하다. 조립실의 배치, 및 조립 및 취급 프로세스에 사용된 기기에 따라, 종래기술의 시스템은 특정의 위치 내에 맞도록 설계되어 좁게 한정된 기준 이내에서 시험을 실행하였다. 따라서, 테스터는 특정 사용자의 필요에 부응하도록 주문 설계되는 것이 일반적이다.

제품이 빠르게 발달하며 어셈블리 및 취급기기가 새롭게 변하고 있기 때문에, 종래기술의 설계는 움직임의 범위가 좁고 유연성이 부족하므로 많은 설계가 시험기기용으로 할당된 작업공간 영역 내에 맞추어 넣어질 수가 없다. 또한, 조립방법 및 웨이퍼 취급방법이 보다 자동화되고 정교해지고 있기 때문에, 사용자는 상이한 기준 및 동작범위를 필요로 한다. 또한, 테스트헤드는 대형 로더(loader)와 접촉되어야 한다. 상이한 로더 제조자 및 다양하게 설계된 상이한 로더가 많이 있다. 따라서, 테스트헤드는 제조공정에 사용된 각 로더의 특정 설계의 로더 각각을 수용하기 위하여 여러 위치로 이동해야 한다. 일반적으로, 종래기술의 제조자는 각각의 신규 기준에 부합되는 신규 모델을 간단히 부가하거나 또는 현존하는 설계를 변형하여 특정 고객의 필요를 수용하였다. 이 공정은 시간과 비용이 많이 든다. 또한, 사용자가 상이한 취급기기를 구입하거나 조립실 배치를 변경할 때마다 시험장치를 변형시킬 필요가 있을 수 있다.

조립실 바닥 공간은 제한적이며 비싸다. 시험장치는 테스터에 아주 근접하여 사용되어야 하는 조정기(handler) 및 프로버(prober)와 같은 다른 장치와 서로 공간을 필요로 한다. 따라서, 시험장치의 풋프린트(footprint) 및 용도를 다양하게 하는 것이 중요하다.

최근에는 매니퓰레이터를 수직으로 동작할 수 있도록 하여 테스터 설계가 다양해지고 있다. 이들 종래기술의 테스터는 매니퓰레이터의 위치결정용 수직레일 시스템을 가진 매니퓰레이터 어셈블리를 포함한다. 수직레일은 말굽형상 부속장치 피팅(horseshoe shaped attachment fitting)이 둘러싸고 있는 짧은 둥근레일(round rail)이 일반적이다. 부속장치 피팅은 요크의 일단에 부착된 암에 일반적으로 부착된다. 다음에, 테스트헤드는 요크에 부착된다. 암이 로킹나사(locking screw)에 의하여 수직레일을 따라 상하이동하여 테스트헤드를 적당하게 위치시킨 다음 테스트헤드가 적당한 위치 내에 로킹되도록 결합될 수 있다. 그러나, 수직 동작범위는 26 내지 28인치의 수직 동작으로 제한되는 것이 일반적이다. 따라서, 이러한 유형의 종래기술의 테스터는, 다른 종래기술의 설계보다 용도는 더 다양하지만, 좁은 동작범위는 여전히 개선되지 않고 있다.

최근의 다른 개선된 살계에는 요크가 피벗포인트를 중심으로 반경 아크 내에서 움직일 수 있도록 프레임에 부착된 암 일부와 요크 사이에 위치된 피벗을 사용하는 것이 포함된다. 이러한 유형의 설계는 용도는 보다 다양할 수 있지만 여러 가지 로더(loader) 설계 및 상이한 조립실 배치에 대한 필요성은 여전히 수용되지 못한다. 특히, 일부 로더는 일반적으로 포워드 시험 중인 장치(device under testing (DUT) forward)라고 하는 테스트헤드 포워드 시험을 필요로 하고, 다른 로더는 DUT 업 위치(시험할 장치가 테스트헤드 상측에 위치되는 경우) 및 DUT 다운 위치(시험할 장치가 테스트헤드 하측에 위치되는 경우)의 시험을 필요로 한다. 이들과 같은 적용을 위하여, 종래기술의 매니퓰레이터는 피벗할 수 있지만, 사용된 로더 및 시험영역 배치에 의하여 지정된 바와 같은 각각의 원하는 시험위치에 대하여 특정하게 설계되어야 한다.

최근에 또 달리 개선된 점은 매니퓰레이터 설계 내에 "트위스트(twist)"동작을 결합시킨 것이다. 종래기술의 설계는 폴(pole)과 암의 연결부 사이에 로터리베어링(rotary bearing)이 결합되어 "트위스트"할 수 있다. 베어링의 회전으로 인하여 암, 피벗, 요크 및 테스트헤드가 회전한다. 이러한 설계로 인하여 DUT 업, DUT 다운, 및 DUT 포워드 시험이 시험장치 자체를 재구성할 필요없이 동일 시험유닛에 의하여 실행될 수 있다. 그러나, 케이블이 무거워서 이동이 곤란하며 동작범위가 제한된다. 또한, 케이블이 피벗, 회전 및 텀블동작을 방해하기 때문에 테스터를 여러 위치로 이동시키는 것이 케이블에 의하여 방해된다. 또한, 요크를 사용하는 종래기술의 설계는 텀블동작을 거의 하지 않는다. 이것은 무거운 케이블과 결합된 요크 설계로 인하여 테스트헤드가 요크 내에서 제한적으로만 움직일 수 있기 때문이다. 일반적으로, 요크 내에서 테스트헤드가 움직이는 범위는 테스트헤드의 외측 에지를 따라서 단지 ± 2 1/2인치이다.

매니퓰레이터의 길이가 일정하기 때문에, 일정한 아크 내에서의 움직임만이 가능하다. 따라서, 종래기술의 설계가 트위스트, 피벗, 업, 다운 및 최소한의 텀블동작은 가능하지만 그 동작범위는 일정한 아크로 제한된다. 수평으로 동작할 수 있는 테스터만이 하나의 수평 아크 외측에서 움직이도록 제공된다. 그러나, 종래기술의 매니퓰레이터는 단지 8인치 정도로 수평으로 동작하기 때문에, 수평으로 동작하는 매니퓰레이터에 의하여 제공된 동작범위는 여전히 제한적이다.

요크, 암, 케이블 및 테스트헤드는 비교적 무겁다. 이들 구성품의 중량 때문에 종래기술 설계 상의 암이 휘어진다. 이 디플렉션(deflection)을 일반적으로 새그(sag)라고 한다. 이 새그로 인하여 종래기술의 매니퓰레이터의 상하동작, 피벗동작, 트위스트동작 또는 제한된 텀블동작에 의하여서도 흔히 수정될 수 없는 조정불량이 테스트헤드에 일어난다. 종래기술의 테스터 설계에서 가능한 제한된 텀블동작은 새그량이 요크 설계에서 가능한 제한된 텀블동작에 의하여 수정될 만큼 적을 때 새그를 수정할 수 있다. 그러나, 요크의 제한된 텀블동작을 사용하여 새그를 수정하는 것은 몇 개의 시험위치에 대하여만 가능하고, 요크의 배향에 따라 수정된다. 테스트헤드 일부는 테스트면이 테스트헤드에 대하여 회전할 수 있으나, 이 동작은 제한적이다(일반적으로 총 운동이 3°이하임). 일부 경우에는 이러한 수정이 암의 디플렉션을 극복하는데 충분하지 않다. 또한, 테스트헤드 내에서의 전자 움직임 때문에 전자패키지(electronic package)가 로크위치로부터 이동한다. 전자패키지가 로크위치로부터 이동할 때, 전자패키지가 테스트헤드 내에서 회전할 수 있다. 테스트헤드 내에서의 전자패키지의 이러한 자유로운 움직임으로 인하여 전자패키지 내에 위치된 정밀한 전자가 동작, 진동 및 테스트헤드의 충격 때문에 손상을 입을 수 있다. 따라서, 테스트면의 움직임이 새그 수정 문제의 바람직한 해결책이 되지 못한다.

따라서, 풋프린트가 제한되며 테스트헤드가 최대 범위로 움직일 수 있는 매니퓰레이터를 포함하는 테스터 설계가 필요하다. 보다 구체적으로, 반경방향 아크 내로 움직임이 제한되지 않는 매니퓰레이터가 필요하다. 또한, 새그가 보상될 수 있는 테스터 설계가 필요하다. 또한, 최대로 "텀블"운동할 수 있는 테스터 설계가 필요하다. 또한, 테스트헤드를 유연하고 용이하게 조정 및 위치결정할 수 있는 설계가 필요하다. 본 발명은 상기 필요에 대한 해결책을 제공하는 것이다.

본 발명은 전자부품 시험장치 분야에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 전자부품을 시험하는 테스트헤드(testing head)의 위치를 지정하는 매니퓰레이터(manipulator)에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 포함한 테스터를 예시하는 정면사시도.

도 2는 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 포함한 테스터를 예시하는 우측면도.

도 3은 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 포함한 테스터를 예시하는 좌측면도.

도 4는 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 포함한 테스터를 예시하는 도 3의 축 C-C에 따른 좌측 단면도.

도 5a는 본 발명에 따른 케이블트레이 및 케이블을 포함한 테스터를 예시하는 도 4의 단면 I-I에 따른 단면도.

도 5b는 본 발명에 따른 케이블트레이, 신축조인트, 수평 및 수직레일 어셈블리의 확대도.

도 6은 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 구비한 케이블트레이 및 케이블, 및 완전 수축위치인 신축조인트를 포함한 테스터의 확대도를 예시하는 도 4의 축 C-C에 따른 단면도.

도 7은 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 구비한 케이블트레이 및 케이블, 및 완전 신장위치인 신축조인트를 포함한 테스터의 확대도를 예시하는 도 4의 축 C-C에 따른 단면도.

도 8a는 본 발명에 따른 우측으로 90도 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 구비한 케이블트레이 및 케이블, 및 완전 신장위치인 신축조인트를 포함한 테스터의 확대도를 예시하는 도 4의 축 C-C에 따른 단면도.

도 8b는 본 발명에 따른 좌측으로 90도 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 구비한 케이블트레이 및 케이블, 및 완전 신장위치인 신축조인트를 포함한 테스터의 확대도를 예시하는 도 4의 축 C-C에 따른 단면도.

도 8c는 본 발명에 따른 우측으로 90도 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터를 구비한 케이블트레이 및 케이블, 및 완전 신장위치인 신축조인트를 포함한 테스터의 확대도를 예시하는 측단면 개략도.

도 9는 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 업 위치의 매니퓰레이터, 완전 신장위치인 신축조인트, 및 트위스트회전 90도를 가진 로터리베어링 어셈블리를 구비한 테스터를 예시하는 사시도.

도 10은 본 발명에 따른 0도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 다운 위치의 매니퓰레이터, 완전 신장위치인 신축조인트, 및 180도의 트위스트회전을 가진 로터리베어링 어셈블리를 구비한 테스터를 예시하는 사시도.

도 11은 본 발명에 따른 90도로 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 사이드 위치의 매니퓰레이터, 완전 신장위치인 신축조인트, 및 90도의 텀블회전을 가진 로터리베어링어셈블리를 구비한 테스터를 예시하는 사시도.

도 12는 본 발명에 따른 90도로 스윙회전되는 스윙암, 완전 신장위치인 신축조인트, 및 45도의 텀블회전을 가진 로터리베어링 어셈블리를 구비한 테스터를 예시하는 사시도.

도 13은 본 발명에 따른 텀블어셈블리가 2.5도 상측으로 회전된 테스터를 예시하는 측면도.

도 14는 본 발명에 따른 텀블어셈블리가 2.5도 하측으로 회전된 테스터를 예시하는 측면도.

도 15는 본 발명에 따른 우측으로 90도 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 사이드 위치의 매니퓰레이터, 완전 신장위치인 신축조인트, 및 텀블어셈블리가 2.5도 상측으로 회전되는 90도의 텀블회전을 가진 로터리베어링 어셈블리를 구비한 테스터를 예시하는 정면 사시도.

도 16은 본 발명에 따른 우측으로 90도 스윙회전되는 스윙암을 가진 DUT 사이드 위치의 매니퓰레이터, 완전 신장위치인 신축조인트, 및 텀블어셈블리가 2.5도 하측으로 회전되는 90도의 텀블회전을 가진 로터리베어링 어셈블리를 구비한 테스터를 예시하는 정면 사시도.

본 발명은 최대의 동작범위를 제공하는 테스터로 상기 필요를 충족시키려는 것이다. 매니퓰레이터는 광범위하게 수평동작 및 수직동작할 수 있는 프레임 장착 수평레일 어셈블리 및 수직레일 어셈블리를 포함한다. 본 발명은 광범위한 스윙동작을 통하여 회전하는 스윙암 및 광범위한 트위스트동작을 제공하는 로터리베어링 어셈블리를 포함한다. 또한, 매니퓰레이터는 스윙암을 프레임으로부터 신장시킬 수 있는 신축조인트(expansion joint)를 포함한다. 상하동작, 회전동작 및 트위스트동작 외에, 본 발명은 ± 90°로 텀블동작할 수 있다. 또한, 본 발명은 모든 시험위치에 대하여 새그를 보상할 수 있다.

최대 범위로 동작할 수 있는 매니퓰레이터를 포함하는 테스터에 대하여 설명한다. 매니퓰레이터는 종래기술의 수평레일보다 긴 레일을 가지는 수평레일 어셈블리를 포함하여 광범위하게 수평동작할 수 있다. 또한, 매니퓰레이터는 종래기술의 수직레일보다 긴 레일을 가지는 수직레일 어셈블리를 포함하여 광범위하게 수직동작할 수 있다. 수평레일 어셈블리가 수직레일 어셈블리에 결합되어 수평으로 및 수직으로 유연하게 움직일 수 있다. 플레이트가 수평레일 어셈블리에 부착된다. 신축조인트가 플레이트 및 스윙암에 결합되어 매니퓰레이터의 길이를 변경시킬 수 있다. 신축조인트는 종방향으로 연장되는 레일을 가지는 종방향 레일 어셈블리를 포함한다. 스윙암에 부착된 베어링으로 인하여 스윙암이 횡방향으로 들락날락하여 스윙암으로부터 프레임까지의 거리를 신장 및 수축시킨다.

스윙암은 신축조인트 및 스윙암 내의 개구와 결합되는 피벗핀(pivot pin)에 의하여 신축조인트에 부착된다. 스윙암은 피벗핀의 중심을 통하는 축을 중심으로 피벗 또는 "스윙"한다. 스윙암은 테스트헤드에 부착된 로터리베어링 어셈블리에 부착된다. 스윙암은 로터리베어링을 스윙암의 축을 횡단하는 축에 대하여 회전시킬 수 있는 제2 세트의 피벗핀에 의하여 로터리베어링 어셈블리에 부착된다. 이 횡단축을 중심으로 하는 동작을 텀블동작이라고 한다. 로터리베어링 어셈블리에 결합된 나사가 스윙암에 부착된 기어박스와 결합되어 텀블동작의 양을 제어한다.

두 개의 원통형 회전 플랜지, 및 플랜지가 용이하게 회전하도록 플랜지 사이에 배치된 베어링을 포함하는 로터리베어링 어셈블리에 의하여 트위스트회전이 제공된다. 플랜지 하나는 스윙암에 결합되고 다른 플랜지는 테스트헤드에 결합됨으로써 테스트헤드가 스윙암에 대하여 ± 90°범위 내에서 또 다른 축을 중심으로 회전하여 트위스트회전을 제공할 수 있다.

본 발명의 자유로운 움직임으로 인하여 수평동작, 수직동작, 트위스트동작 및 텀블동작에 대한 동작이 확대될 수 있다. 또한, 본 발명에 의하여 제공된 동작은 표준 x-y-z 좌표시스템(coordinate system)을 참조하여 설명될 수 있다. 이러한 좌표시스템에 있어서, 트위스트회전은 암이 스윙 0°로 회전할 때 축을 중심으로 한 회전으로 구성될 수 있고, 신축조인트의 신장 및 수축은 x축을 따르는 움직임으로 구성될 수 있다. 이 좌표시스템에 있어서, 암이 스윙 0°로 회전할 때 텀블어셈블리의 회전은 z축을 중심으로 하는 회전으로 구성되는 반면, 수평레일 어셈블리를 따르는 동작은 z축을 따르는 움직임으로 구성될 수 있다. 스윙암의 회전은 x축 및 z축을 따르는 움직임으로 구성되고, 텀블어셈블리의 움직임 및 로터리베어링 어셈블리의 움직임에 의하여 얻어진 움직임을 x-y-z 좌표시스템에 대하여 변경시킨다. 예를 들면, 스윙암을 90°스윙된 위치로 이동시킴으로써, 로터리베어링 어셈블리의 회전은 z축을 중심으로 하는 회전으로 구성되고 텀블어셈블리의 움직임은 x축을 따르는 동작으로 구성된다. 따라서, 텀블동작(z축을 중심으로 하는 회전)이 텀블어셈블리 또는 로터리베어링 어셈블리 중 어느 하나의 움직임에 의하여 얻어질 수 있고, 트위스트동작(x축을 중심으로 하는 회전)이 텀블어셈블리 또는 로터리베어링 어셈블리 중 어느 하나의 움직임에 의하여 얻어질 수 있다. 그러나, 스윙암의 움직임에 상관없이, 텀블어셈블리의 움직임은 y축을 따르는 동작으로 구성되는 자신의 동작 부분을 가진다. y축을 따르는 이 움직임이 새그를 최대로 보상할 수 있다.

모터를 사용하여 트위스트동작을 제어할 수 있다. 모터는 스프로킷(sprocket)이 부착된 샤프트를 구동하는 기어박스를 구동한다. 스프로킷이 헤드플랜지(head flange) 둘레에 연장된 체인(chain)을 구동하여 헤드플랜지 및 테스트헤드가 회전한다. 모터구동시스템을 수동 회전시스템 내에 결합시킴으로써 최대 범위의 움직임이 수동으로 실행되거나 또는 모터를 사용하여 실행될 수 있다. 또한, 모터의 작동을 변속시킬 수 있고 위치가 수동조작에 의하여 미세조정될 수 있기 때문에 본 발명은 동작의 제어가 용이하다.

본 발명의 한 가지 장점은 요크가 없다는 것이다. 따라서, 테스트헤드가 더 액세스하기 쉽고 더 용이하게 조작될 수 있다. 또한, 테스트헤드를 둘러싸는 부피가 큰 구조가 없다. 따라서, 테스트헤드는 종래기술의 설계에서 수용될 수 없는 영역 내로 조작될 수 있다.

본 발명의 다른 장점은 암이 수평레일의 길이를 따라 위치된 최대 범위의 위치로부터 신장될 수 있기 때문에, 수평 동작범위가 수평레일의 사용에 의하여 확대된다는 점이다. 따라서, 수평레일을 따라 여러 포인트로부터 연장되는 복수의 아크 내에서 움직임이 제공된다. 이것은 매니퓰레이터의 외측 이동범위를 확대시킬 뿐만 아니라, 암이 테스터의 중심으로부터 단지 연장되는 설계에 의하여 액세스가능하지 않은 영역 내에서 수평으로 동작할 수 있다. 본 발명의 또 다른 장점은 수직 동작범위가 광범위하다는 점이다. 이로써 테스트헤드가 광범위한 위치 내로 움직일 수 있다. 이것은 테스터를 사용하지 않을 때 테스트헤드를 방해가 되지 않는 곳으로 이동시키는데 특히 유용하다.

본 발명의 다른 장점은 스윙암이 신장 및 수축될 수 있어서 종래기술 설계에서의 제한된 아크로부터 광범위한 수평동작으로 수평 동작범위가 확대된다는 점이다. 이 광범위한 수평동작은 암이 최대로 신장된 위치에 있을 때 테스트헤드의 외측 아크와 암이 수평레일을 따르는 각각의 수평위치에 대하여 최대로 수축된 위치에 있을 때 암의 동작에 의하여 형성된 아크 사이의 영역 전체를 포함한다. 본 발명의 다른 장점은 매니퓰레이터가 최대 범위로 스윙동작할 수 있도록 피벗할 수 있다는 점이다. 본 발명의 또 다른 장점은 테스트헤드가 텀블동작에 대하여 최대 범위 내에서 움직일 수 있다는 점이다. 또한, 텀블동작이 용이하게 제어 및 조정될 수 있다. 이로써 테스트헤드가 종래기술의 장치에 의하여 액세스될 수 없는 광범위한 위치를 수용할 수 있다.

본 발명의 다른 장점은 최대 범위로 트위스트동작 한다는 점이다. 이로써 테스트헤드가 DUT 업, DUT 다운 및 DUT 사이드 시험을 수용할 수 있다. 상기 설계에 의한 동작범위 및 자유로운 움직임으로 인하여 테스트헤드가 여러 위치 내로 신속하게 회전할 수 있다. 또한, 트위스트모터로 인하여 제어도 및 정확도가 높으면서 조작자가 힘들이지 않고 동작이 행해질 수 있다.

본 발명의 또 다른 장점은 새그에 대한 동작이 제어된다는 점이다. 새그에 대한 보상은 텀블어셈블리를 중심으로 한 회전에 의하여 실행된다. 이로써 전자패키지가 중앙에 정렬된 상태를 유지하고 테스트헤드 내에 로킹될 수 있다. 따라서, 테스트헤드 내의 전자패키지 동작으로 인하여 전자패키지 내의 전자부품에 대해 있을 수 있는 손상이 방지된다. 또한, 새그가 최대 범위로 동작할 수 있으므로, 본 발명은 테스트면 회전의 제한 때문에 종래기술의 테스터가 최대량의 새그를 보상할 수 없는 상태에서 시험을 행할 수 있다. 또 다른 장점은 개선된 레일어셈블리를 사용함으로써 매니퓰레이터 구성품이 원활하게 움직일 수 있고 풋프린트를 감소시킬 수 있다는 점이다. 또한, 본 발명의 구성품이 상이함으로 텀블동작 및 트위스트동작이 본 발명의 상이한 구성품의 동작에 의하여 얻어질 수 있다. 특히, 텀블동작 또는 트위스트동작은 텀블어셈블리 또는 로터리베어링 어셈블리 중 어느 하나를 스윙암의 회전에 따라 이동시킴으로써 얻어질 수 있다. 따라서, 종래기술의 테스터보다 광범위하게 동작할 수 있을 뿐만 아니라 특정 위치에서 보다 유연성있게 실행될 수 있다.

본 발명의 상기 및 다른 목적 및 장점은 첨부도면을 참조하여 개시한 다음의 상세한 설명으로부터 당업자는 확실하게 이해할 수 있을 것이다.

다음에, 본 명세서에 결합되어 일부를 형성하는 첨부도면은 본 발명의 실시예를 예시하는 것으로서 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리를 설명한다.

다음에, 첨부도면에 예시된 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 설명하지만 본 발명은 이들 실시예에만 한정되는 것이 아님을 이해할 것이다. 본 발명은 청구범위에 한정된 본 발명의 취지 및 범위 내에 포함될 수 있는 대안, 변형 및 균등물을 포함하는 것이다. 또한, 본 발명의 다음의 상세한 설명에는 본 발명을 완전하게 이해할 수 있도록 여러 개의 특정 상세가 개시되어 있지만, 본 발명은 이들 특정 상세가 없이도 실행될 수 있다는 것을 당업자는 명백하게 이해 할 수 있을 것이다. 또한, 공지된 방법, 절차, 구성품, 및 회로에 대하여는 본 발명의 특징을 불필요하게 혼란시키지 않기 때문에 상세하게 설명되어 있지 않다.

도 1은 테스트헤드(1)를 외부장치, 전원 및 냉각 및 압력 시험를 행하는 플라밍(plumbing)에 연결하는 케이블(30)을 포함하는 테스터(100)를 도시한다. 테스터(100)는 매니퓰레이터(200)가 부착된 프레임(2)을 또한 포함한다. 매니퓰레이터(200)로 인하여 테스트헤드(1)가 광범위한 동작범위 내에서 움직일 수 있어서 테스트면(31)이 광범위한 시험구성품을 수용하도록 움직일 수 있다. 프레임(2)은 케이블(30)을 프레임(2)에 고정시키는 케이블커플링(cable coupling)(51)을 포함한다. 케이블(30)은 길이가 충분하여 매니퓰레이터(200)의 횡방향 신장을 수용하도록 슬랙(slack)을 가진다. 매니퓰레이터가 수축위치일 때, 케이블(30)의 잉여 케이블은 프레임(2) 내의 루프(loop)에 보관된다. 이 루프로 인하여 매니퓰레이터(200)가 횡방향으로 신장 및 수축될 수 있다. 매니퓰레이터(200)가 완전하게 수축된 위치일 때 루프의 크기가 최대로 되며, 매니퓰레이터(200)가 완전하게 신장된 위치로 신장됨에 따라 루프는 점점 작아진다. 완전하게 신장된 위치에서, 케이블(30)이 매니퓰레이터(200) 내로 완전하게 신장되고 루프가 없어진다. 매니퓰레이터(200)는 프레임(2)에 부착된 수직레일(10, 11) 및 수직베어링 어셈블리(20, 21)를 포함하는 수직레일 어셈블리(500)를 포함한다. 수직레일(10)은 수직베어링 어셈블리(20)를 수용하고 수직레일(11)은 수직베어링 어셈블리(21)를 수용함으로써 수직레일 플레이트(14)가 프레임(2)에 대하여 유연하게 상하로 움직일 수 있다. 수평레일 어셈블리(600)는 수직레일 플레이트(14)에 연결된 수평레일(12, 13)을 포함한다. 또한, 수평레일 어셈블리(600)는 상측 수평베어링 어셈블리(22) 및 하측 수평베어링 어셈블리(23)를 포함한다. 상측 수평베어링 어셈블리(22)와 수평레일(12)이 결합되고 하측 수평베어링 어셈블리(23)와 수평레일(13)이 결합됨으로써 수평으로 움직인다. 상측 수평베어링 어셈블리(22) 및 하측 수평베어링 어셈블리(23)가 수평레일 플레이트(15)에 부착됨으로써 수평레일 플레이트(15)가 수직레일 플레이트(14)에 대하여 수평으로 움직일 수 있다. 일실시예에 있어서, 수직레일(10, 11)은 73인치 만큼 수직으로 움직일 수 있도록 길이가 충분하다. 상측 수평레일(12) 및 하측 수평레일(13)은 수평레일 플레이트(15)가 수평으로 총 8인치를 움직일 수 있도록 길이가 충분하다. 수평레일 플레이트(15)에는 서포트박스(support box)(170)가 부착된다.

도 1의 케이블하우징(26)은 횡방향레일(16, 17)(17은 도시되지 않음) 및 횡방향베어링 어셈블리(18, 19)(도시되지 않음)에 의해 서포트박스(170)에 고정되어 케이블하우징(26)이 횡방향으로 신장 및 수축될 수 있다. 횡방향레일(16, 17)은 케이블하우징(26)이 총 6인치 만큼 신장될 수 있도록 길이가 충분하다. 케이블하우징(26)의 상면 및 저면으로부터 상측 케이블하우징 플랜지(24) 및 하측 케이블하우징 플랜지(25)가 연장된다. 스윙암(40)은 상측 스윙커플링 플랜지(4) 및 하측 스윙커플링 플랜지(5)를 포함한다. 피벗핀(8)이 상측 케이블하우징 플랜지(24) 내의 개구와 상측 스윙커플링 플랜지(4) 내의 대응하는 개구를 결합시키며, 피벗핀(9)이 하측 케이블하우징 플랜지(25) 내의 개구와 하측 스윙커플링 플랜지(5) 내의 대응하는 개구를 결합시킨다. 상측 케이블하우징 플랜지(24)와 하측 케이블하우징 플랜지(25) 및 상측 스윙커플링 플랜지(4)와 하측 스윙커플링 플랜지(5)가 피벗핀(8, 9)으로 결합됨으로써 스윙암(40)이 회전할 수 있도록 케이블하우징(26)이 스윙암(40)에 부착된다. 도 1의 스윙암(40)은 케이블하우징(26)에 대하여 각각의 측면으로 완전 90도로 자유롭게 회전한다. 스윙암(40)은 스윙플레이트(32) 및 텀블브래킷(tumble bracket)(33, 34)(텀블브래킷(33)은 도시되지 않음)을 포함하는 것으로 예시되어 있다. 스윙암(40)은 텀블플랜지(36, 37)를 텀블브래킷(33, 34)에 연결하는 핀(47, 48)(핀(47)은 도시되지 않음)을 거쳐 텀블플레이트(35)에 부착된다.

도 2는 케이블하우징(26)이 완전하게 수축된 위치일 때의 테스터(100)의 측면도이다. 매니퓰레이터(200)의 형상이 간결하게 나타나 있음을 알 수 있다. 즉, 테스트헤드(1)를 위치시킬 수 있는 각종 구성품으로 인해 테스터(100)까지의 여분의 길이가 추가되지 않는다. 이것은 테스트헤드가 아주 무겁기 때문에 중요하다. 따라서, 매니퓰레이터가 길어질수록 테스트헤드(1)의 중량과 균형을 이루도록 더 무거운 중량이 프레임 내에 설계되어야 한다. 간결하게 나타낸 이 길이는 부분적으로 수직레일 어셈블리(500) 및 수평레일 어셈블리(600)의 설계 때문이다. 수평레일 어셈블리(600)는 수평레일(12, 13) 및 수평베어링 어셈블리(22, 23)를 포함하고, 수직레일 어셈블리(500)는 수직레일(10, 11)(레일(11)은 도시되지 않음) 및 수직베어링 어셈블리(20, 21)를 포함한다. 수평베어링 어셈블리(22, 23) 및 수직베어링 어셈블리(20, 21)의 베어링은 수평레일(12, 13) 및 수직레일(10, 11)의 측면과 맞물린다. 이러한 설계로 구성 부품의 길이가 최소로 된다. 바람직하게는, 레일 어셈블리(500, 600) 각각을 어큐-글라이드 베어링(accu-glide bearing)을 사용하여 원활하고 균일하게 이동시킨다. 어큐-글라이드 베어링은 종래기술의 베어링 어셈블리보다 고속이 가능하고, 마찰계수가 낮고, 균일한 베어링 부하가 가능하고, 형상이 납작하기 때문에 사용된다. 어큐-글라이드 베어링 어셈블리는 뉴욕주 포트 워싱턴 소재 톰슨 베이 컴퍼니 인코포레이티드사(Thompson Bay Company, Inc)의 제품이다. 수평레일 어셈블리(600) 및 수직레일 어셈블리(500) 각각에 로킹나사(locking screw)를 결합시켜 이들 어셈블리가 정확하게 위치되면 수평레일 어셈블리(600) 및 수직레일 어셈블리(500) 각각을 로킹시킬 수 있다.

도 2의 케이블하우징(26)은 상기 케이블하우징(26)이 횡방향으로 움직일 수 있도록 서포트박스(170)에 연결된다. 케이블하우징(26)은 스윙암(40)이 각 측면으로 완전 90도로 축 A-A를 중심으로 피벗할 수 있도록 피벗핀(8, 9)(도시되지 않음)에 의하여 스윙암(40)에 연결된다.

도 2의 스윙암(40)이 0도의 스윙위치일 때, 피벗핀(47, 48)(피벗핀(48)은 도시되지 않음) 및 텀블제어나사(41)를 포함하는 텀블어셈블리(700)의 움직임에 의하여 텀블동작이 제공된다. 도 3의 텀블축 B-B를 중심으로 하는 회전이라고 칭하는, 핀(47, 48)의 중앙선을 중심으로 하는 회전은 텀블제어나사 핸들(42)을 수동으로 움직여서 조작되는 도 2의 텀블제어나사(41)에 의하여 제어된다. 텀블제어나사 핸들(42)이 텀블제어나사(41)를 회전시키는 기어(39)를 조작하여 텀블플레이트(35)를 움직인다.

도 2의 스윙암(40)이 0도의 스윙위치이고 텀블회전이 0도일 때, 로터리베어링 어셈블리(300)의 회전에 의하여 트위스트회전을 얻는다. 로터리베어링 어셈블리(300)는 도 3의 헤드플랜지(head flange)(46) 및 트위스트플랜지(twist flange)(53)를 포함한다. 트위스트플랜지(53)는 장착플랜지(mounting flange)(58)에 부착되고, 도 3의 헤드플랜지(46)는 테스트헤드(1) 및 테스트헤드 프레임(62)에 연결된다. 도 4의 로터리베어링(54)은 헤드플랜지(46)가 트위스트플랜지(53)에 대하여 로터리베어링 어셈블리(300)의 중앙을 관통하는 도 3의 축 C-C를 중심으로 자유롭게 회전될 수 있도록 헤드플랜지(46)를 트위스트플랜지(53)에 연결한다. 테스트헤드(1)는 헤드플랜지(46)에 부착된 테스트헤드 프레임(62)을 포함하여 헤드플랜지(46)의 회전으로 테스트헤드(1)가 회전한다. 트위스트제어모터(twist control motor)(44)가 샤프트(57)에 회전을 제공하도록 기어박스(56) 내의 기어를 회전시킨다. 트위스트제어모터(44)는 벨트어셈블리(59)에 의하여 기어박스(56)에 연결된다. 샤프트(57)는 체인(52)을 회전시키는 스프로킷(sprocket)(61)을 회전시킨다. 체인(52)은 헤드플랜지(46)를 회전시키도록 헤드플랜지(46) 둘레에 연장된다. 헤드플랜지(46)는 테스트헤드 프레임(62) 및 테스트헤드(1)가 헤드플랜지(46)의 회전으로 회전하도록 테스트헤드 프레임(62)에 연결된다.

트위스트제어모터(44)는 저속 및 고속의 두 가지 속도로 작동되고, 트위스트제어모터(44)에 연결된 제어패드(control pad)에 의하여 작동되는 전기모터이다. 동력에 의한 트위스트동작 외에, 휠(wheel)(55)을 수동조작으로 회전시켜 기어박스(56)를 작동시킨다. 이로써 테스트헤드(1)를 원하는 대로 정확하게 위치시키기 위하여 헤드(1)의 위치를 수동으로 및 전기적으로 조정할 수 있다. 테스트면(31)은 한정된 범위 내에서 회전할 수 있도록 테스트헤드 프레임(62)에 연결된다.

도 3의 매니퓰레이터(200)에 의하여 제공된 회전동작 범위는 축 A-A, 축 B-B, 축 C-C, 및 축 D-D를 중심으로 한 회전을 포함한다. 스윙암(40)은 화살표(104)로 나타낸 바와 같이 스윙동작할 수 있도록 축 A-A를 중심으로 피벗한다. 스윙암(40)의 축 A-A를 중심으로 한 회전이 0도일 때, 화살표(107)로 나타낸 바와 같이 축 B-B를 중심으로 한 텀블어셈블리(700)의 움직임에 의하여 텀블동작이 제공된다. 스윙암(40)의 축 A-A를 중심으로 한 회전이 0도일 때, 헤드플랜지(46) 및 테스트헤드(1)는 화살표(105)로 나타낸 바와 같이 트위스트동작을 제공하도록 축 C-C를 중심으로 회전한다. 화살표(106)로 나타낸 바와 같이 테스트면(31)의 축 D-D를 중심으로 한 회전으로 발생된 세타운동(theta motion)에 의하여 추가로 제어된다. 화살표(101)로 나타낸 바와 같은 수직동작, 화살표(102)로 나타낸 바와 같은 수평동작, 및 화살표(103)로 나타낸 바와 같은 횡방향동작에 의하여 테스트헤드(1)의 직선동작이 제공된다.

도 4는 매니퓰레이터(200)를 통과하여 헤드(1) 내로 연장되는 케이블(30)을 나타낸다. 헤드(1) 내에서, 케이블(30)은 테스팅면(31)에 결합된 전자회로(52)에 연결된다. 케이블(30) 중 일부는 만곡된 플랜지(contoured flange)(111)를 포함하는 케이블트레이(102)에 의하여 지지된다. 카운터밸런스 시스템(counterbalance system)(70)은 웨이트(weight)(73) 및 수직레일 플레이트(14)에 결합된 케이블-앤드-풀리 시스템(cable-and-pulley system)(72)을 포함한다. 카운터밸런스 시스템(70)이 케이블(30), 매니퓰레이터(200), 및 테스트헤드(1)의 무거운 중량을 보상하기 위하여 수직레일 플레이트(14)에 힘을 가하여 매니퓰레이터(200)가 상하로 용이하게 움직일 수 있다.

도 9 내지 도 12는 본 발명에 의하여 제공된 동작 범위를 표준 x-y-z 좌표시스템을 참조하여 예시한다. 본 발명의 자유로운 움직임으로 인하여 수평, 수직, 트위스트 및 텀블동작에 대하여 넓게 동작할 수 있다. 신축조인트(400)의 신장 및 수축은 x축을 따른 움직임으로 구성된다. 수직레일 어셈블리(500)의 움직임으로 인하여 y축을 따라 동작하고, 수평레일 어셈블리(600)의 움직임으로 z축을 따라 동작할 수 있다.

도 9 내지 도 10은 스윙암(40)의 종축이 x축을 따라 연장되도록 스윙암(40)이 0도로 스윙하여 회전된 위치를 예시한다. 이 위치에서, 로터리베어링 어셈블리(300)의 회전은 일반적으로 "트위스트"회전이라고 하는 x축을 중심으로 한 회전을 제공하고, 텀블어셈블리(700)의 회전은 일반적으로 "텀블"회전이라고 하는 z축을 중심으로 한 회전을 제공한다.

도 9는 DUT 사이드 시험에 적합하게 위치된 테스터(100)를 나타낸다. 상기 DUT 사이드 시험위치는 로터리베어링 어셈블리(300)에 90도의 회전이 인가되도록 로터리베어링 어셈블리(300)를 회전시킴으로써 얻을 수 있다. 도 10은 DUT 다운 시험에 적합하게 위치된 테스터(100)를 나타낸다. 상기 DUT 다운 시험위치는 로터리베어링 어셈블리(300)에 180도의 회전이 인가되도록 로터리베어링 어셈블리(300)를 회전시킴으로써 얻을 수 있다. 도 9 및 도 10에 있어서, 텀블어셈블리(700)의 움직임으로 인하여 z축 및 y축을 따라 동작할 수 있어서 사용자가 텀블어셈블리(700)의 움직임에 의하여 새그를 충분히 보상할 수 있다.

스윙암(40)의 회전은 x축 및 z축을 따른 움직임으로 구성되고, 텀블어셈블리(700)의 움직임 및 로터리베어링 어셈블리(300)의 움직임에 의하여 얻어진 x-y-z 좌표시스템에 대하여 상기 움직임을 변경시킨다. 도 11 및 도 12는 스윙암(40)의 움직임에 대응하는 x-y-z축의 새로운 원점(new origin)을 나타내도록 이동된 x-y-z축을 나타낸다. 스윙암(40)을 도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이 90도로 스윙된 위치로 이동시킴으로써, 로터리베어링 어셈블리(300)의 회전은 z축을 중심으로 한 회전으로 구성되고 텀블어셈블리(700)의 움직임은 x축을 중심으로 한 회전으로 구성된다.

도 11은 DUT 사이드 시험에 적합하게 위치된 테스터(100)를 나타낸다. 상기 DUT 사이드 시험위치는 로터리 베어링 어셈블리(300)에 90도의 트위스트회전을 인가하고, 로터리 베어링 어셈블리가 좌측으로 90도 회전하도록 스윙암(40)을 완전하게 좌측으로 스윙함으로써 얻어질 수 있다. 도 12는 로터리베어링 어셈블리(300)가 트위스트회전 45도로 회전하고, 스윙암(40)이 좌측으로 90도 회전하여 위치된 테스터(100)를 나타낸다.

도 11 및 도 12에 있어서, 스윙암(40)이 90도 회전된 위치로 회전되기 때문에, 로터리베어링 어셈블리(300)의 회전이 텀블회전을 실제로 실행한다(예를 들면, 스윙암(40)이 0도로 스윙할 때 텀블어셈블리(700)를 이동시킴으로써 동일한 움직임이 가능함). 마찬가지로, 텀블어셈블리(700)의 회전이 트위스트회전을 실제로 실행한다(예를 들면, 스윙암(40)이 0도로 스윙할 때 로터리베어링 어셈블리(300)를 이동시킴으로써 동일한 움직임이 가능함).

도 9 내지 도 12에 나타낸 바와 같이, 텀블동작(z축을 중심으로 하는 회전)은 텀블어셈블리(700) 또는 로터리베어링 어셈블리(300) 중 어느 하나의 동작에 의하여 얻을 수 있고, 트위스트동작(x축을 중심으로 하는 회전)은 텀블어셈블리(700) 또는 로터리베어링 어셈블리(300) 중 어느 하나의 동작에 의하여 얻을 수 있다. 그러나, 스윙암(40)의 움직임과는 상관없이, 텀블어셈블리(700)의 움직임은 y축을 따르는 동작으로 구성되는 자신의 동작 구성품을 가진다. y축을 따르는 상기 움직임이 새그를 완전히 보상할 수 있다.

도 5a 및 도 5b의 신축조인트(400)는 횡방향 레일(16, 17), 횡방향 베어링 어셈블리(18, 19), 및 케이블 하우징(26)을 포함한다. 횡방향 레일(16) 및 횡방향 레일(17)은 케이블 하우징(26)의 대향하는 쪽에 위치되어 케이블 하우징(26)에 부착된다. 횡방향 베어링 어셈블리(18, 19)는 서포트박스(170)의 대향하는 쪽에 부착된다. 횡방향 레일(16)은 케이블 하우징(26)이 횡방향으로 움직일 수 있도록 횡방향 베어링 어셈블리(19)와 맞물린다. 또한, 횡방향 베어링 어셈블리(18)는 케이블 하우징(26)이 횡방향으로 움직일 수 있도록 횡방향 레일(17)과 맞물린다.

도 5a의 만곡된 플랜지(110)는 케이블트레이(101)로부터 연장되어 케이블(130, 131)을 지지하고, 만곡된 플랜지(111)는 케이블트레이(102)로부터 연장되어 케이블(132, 133)을 지지한다. 마찬가지로, 만곡된 플랜지(112)는 케이블트레이(103)로부터 연장되어 케이블(134, 135)을 지지한다. 만곡된 플랜지(110, 112)는 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)을 지지하는 외에, 케이블트레이(101, 102, 103)가 내측 및 외측으로 이동할 때 케이블트레이(101, 102, 103)의 마모(chafing)로 인해 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)이 손상되는 것을 방지한다.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 케이블트레이(101)가 케이블하우징(26) 내에서 횡방향으로 내측 및 외측으로 이동할 수 있도록 케이블트레이(101)는 레일(120) 및 베어링 어셈블리(123)에 의하여 케이블하우징(26)에 부착된다. 케이블트레이(102)가 케이블하우징(26) 내에서 횡방향으로 이동할 수 있도록 케이블트레이(102)는 레일(121) 및 베어링 어셈블리(124)에 의하여 케이블하우징(26)에 부착된다. 마찬가지로, 케이블트레이(103)가 케이블하우징(26) 내에서 횡방향으로 이동할 수 있도록 케이블트레이(103)는 레일(122) 및 베어링 어셈블리(125)에 의하여 케이블하우징(26)에 부착된다.

도 5a 및 도 5b의 케이블트레이(101)는 상면 패널(153), 저면 패널(150) 및 측면 패널(140, 141)을 포함하며, 측면 패널(140, 141)의 높이는 상면 패널(153)의 폭 및 저면 패널(150)의 폭보다 크다. 케이블트레이(102)는 상면 패널(154), 저면 패널(151) 및 측면 패널(142, 143)을 포함하며, 측면 패널(142, 143)의 높이는 상면 패널(154)의 폭 및 저면 패널(151)의 폭보다 크다. 마찬가지로, 케이블트레이(103)는 상면 패널(155), 저면 패널(152) 및 측면 패널(144, 145)을 포함하며, 측면 패널(144, 145)의 높이는 상면 패널(154)의 폭 및 저면 패널(152)의 폭보다 크다. 케이블트레이(101, 102, 103)가 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)을 지지하며, 케이블(130, 131)은 케이블트레이(101) 내에 배치되고 케이블(132, 133)은 케이블트레이(102) 내에 배치되고 케이블(134, 135)은 케이블트레이(103) 내에 배치된다. 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)이 스윙암(40)(도시되지 않음)의 회전을 수용할 수 있도록 수평으로 구부러질 수 있어야 하기 때문에, 케이블트레이(101, 102, 103)는 수평으로 구부러지고 회전할 수 있도록 설계된다. 따라서, 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)이 케이블트레이(101, 102, 103) 내에 수평적으로 보다는 더 수직적으로 배치되도록 측면 패널(140, 141, 142, 143, 144, 145)의 높이가 상면 패널(153, 154, 155)의 폭 및 저면 패널(150, 151, 152)의 폭보다 크다. 따라서, 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)의 측면 형상이 줄어들어서 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135) 상의 장력 및 압축이 저감된 상태로 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)이 우측 또는 좌측으로 수평적으로 구부러질 수 있다. 또한, 케이블(130, 131, 132, 1333, 134, 135)이 수평적으로 보다는 더 수직적으로 배치되도록 케이블을 케이블트레이 내에 배치하여 케이블의 반동을 방지함으로써 케이블이 종래기술의 케이블 어셈블리에서의 신축범위보다 더 신축될 수 있다.

케이블은 각 케이블의 중량 및 각 케이블의 신축성에 따라 도 5a의 각각의 케이블트레이 내에 배치된다. 케이블은 각각의 케이블트레이 내에 중량이 대체로 균등하도록 분포된다. 중간 케이블트레이(102)는 케이블트레이(101, 103)가 이동하는 만큼 이동하지 않으므로, 다른 케이블보다 더 강성이며 크고 더 망가지기 쉬운 케이블(132, 133)을 그들 케이블이 최소로 움직이도록 케이블트레이(102) 내에 배치한다. 본 발명은 3개의 케이블트레이를 사용하는 것을 참조하여 개시하지만, 수개 이상의 케이블트레이 또한 사용될 수 있다. 3개 이상의 케이블트레이를 가진 실시예에 있어서는 케이블이 보다 넓게 배치되어, 회전 움직임은 증가되지만 매니퓰레이터를 설계하는 비용이 추가되며 복잡하다.

도 6은 본 발명의 케이블트레이(101, 102, 103)의 단면도로서, 케이블트레이(101)의 전면(104)이 각을 이룬 형상을 가지도록 외측 패널(140)의 길이가 내측 패널(141)의 길이보다 길다. 측면 패널(142, 143)은 전면(105)의 형상이 편평하도록 길이가 동일하다. 케이블트레이(101)의 전면(106)이 각을 이룬 형상을 가지도록 외측 패널(145)의 길이가 내측 패널(144)의 길이보다 길다. 전면(104, 106)의 각을 이룬 형상으로 인하여 케이블(130, 131) 및 케이블(134, 135)은 스윙암(40)(도시되지 않음)이 완전한 90도의 동작범위 이내에서 회전할 수 있도록 구부러질 수 있고, 각을 이룬 형상으로 장력이 감소되며 케이블(130, 131)이 측면 패널(141, 144)로부터 바인딩장력(binding tension)을 받지 않고 완전하게 구부러질 수 있는 한편, 여러 개의 케이블의 제어가 가능하도록 케이블트레이의 길이를 최대로 제공할 수 있다.

도 7은 신축조인트(400)가 완전하게 신장된 위치로 신장된 후의 도 6의 구조를 나타낸다. 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)은 신축조인트(400)의 움직임을 수용하도록 케이블트레이(101, 102, 103)를 전방으로 이동시킨다.

도 8a는 스윙암(40)이 우측으로 90도 스윙된 위치로 이동한 후의 도 7의 구조를 나타낸다. 스윙암(40)이 이동할 때, 케이블트레이(101)가 후방으로 이동하여 케이블(130, 131)의 구부러짐으로 인한 케이블(130, 131) 상의 압축력을 경감시킨다. 마찬가지로, 케이블트레이(102)가 후방으로 이동하여 케이블(132, 133)의 구부러짐으로 인한 케이블(132, 133) 상의 압축력을 경감시킨다. 스윙암(40)이 스윙하여 케이블트레이(103)로부터 멀어질 때, 케이블(134, 135)은 장력을 받는 상태에 위치되며 케이블(134, 135)상의 장력을 저감시키도록 케이블트레이(103)가 전방으로 이동한다. 전면(106)의 각을 이룬 형상으로 인하여 스윙암(40)이 우측으로 회전할 때 케이블(134, 135)이 자유롭게 구부러질 수 있다. 전면(106)의 각을 이룬 형상으로 인하여 케이블(134, 135)의 장력이 저감될 뿐만 아니라 스윙암(40)이 신장된 동작범위 이내에서 이동할 수 있다. 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)의 장력 및 압축이 저감되기 때문에, 스윙암(40)이 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)에 손상을 주지 않고 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)에 압축 및 장력을 과다하게 가하지 않고 90도의 아크 내에서 이동할 수 있다. 일실시예에 있어서, 스윙암(40)이 우측으로 완전히 90도 회전했을 때, 케이블트레이(101)는 후방으로 6.18인치 이동하고 케이블트레이(102)는 후방으로 총 1.96인치 이동하는 한편 케이블트레이(103)는 전방으로 총 2.26인치 이동한다.

스윙암(40)이 좌측으로 90도 스윙된 위치로 이동함으로써 도 8b에 나타낸 바와 같이 케이블(103, 131, 132, 133, 134, 135) 상의 장력 및 압축을 저감시키기 위하여 케이블트레이(103)를 후방으로 이동시키고 케이블트레이(102)를 후방 및 전방으로 이동시키고 케이블트레이(101)를 전방으로 이동시킨다. 전면(104)의 각을 이룬 형상으로 인하여 스윙암(40)이 좌측으로 회전할 때 케이블(134, 135)이 자유롭게 구부러질 수 있다.

도 8c는 스윙암(40)이 좌측으로 90도 스윙된 위치로 이동할 때의 케이블트레이(101, 102, 103)의 측면 확대도이다. 만곡된 플랜지(110)(도시되지 않음)가 케이블 트레이(101)에 형성되어 케이블(130, 131)을 지지한다. 만곡된 플랜지(111)(도시되지 않음)가 케이블 트레이(102)에 형성되어 케이블(132, 133)을 지지한다. 마찬가지로, 만곡된 플랜지(112)가 케이블 트레이(103)에 형성되어 케이블(134, 135)을 지지한다. 만곡된 플랜지(110, 111, 112)는, 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)을 지지하는 외에, 케이블 트레이(101, 102, 103)가 전후로 이동할 때 케이블 트레이(101, 102, 103)의 마모로 인해 케이블(130, 131, 132, 133, 134, 135)이 손상되는 것을 방지한다.

도 13 내지 도 16은 텀블 어셈블리(700)의 상하 움직임을 나타낸다. 상기 움직임으로 새그가 완전하게 보상될 수 있다. 따라서, 본 발명은 테스트헤드가 위치 범위 전체로 움직일 수 있다. 콤포넌트 시스템이 함께 작용하여 헤드를 유연하게 동작시키고 용이하게 제어함으로써 동일 테스터를 사용하여 DUT 업, DUT 다운 및 DUT 포워드의 시험이 실행될 수 있다. 따라서, 상이한 시험조건을 수용하기 위하여 비용 및 시간이 많이 소모되는 변형이 필요하지 않다. 또한, 테스트헤드의 움직임을 방해 및 제한하는 요크가 없다. 또한, 범위 전체에 걸쳐 새그가 동작할 수 있으므로, 본 발명은 종래기술의 테스터가 새그를 보상할 수 없는 상황에서 시험할 수 있다.

본 발명의 특정 실시예에 대한 상기 개시는 예시 및 설명을 목적으로 한 것이다. 이것은 본 발명을 개시된 형태가 전부이거나 또는 한정하려는 것이 아니며, 상기 지침에 따라 여러 가지로 변형 및 변경할 수 있음은 명백하다. 본 발명의 원리 및 그 실질적인 적용을 가장 잘 설명하기 위하여 상기 실시예를 선택하여 설명하였으므로, 당업자는 특정의 용도에 적합하도록 본 발명 및 실시예를 사용하여 여러 가지로 변형할 수 있다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위 및 이들의 균등물에 한정하려는 것이다.

Claims

프레임, 및 테스트헤드에 연결되어 상기 테스트헤드의 위치를 지정하는 케이블을 가진 매니퓰레이터에 있어서,

상기 프레임에 장착되어 신축조인트를 수직으로 및 수평으로 조작하는 수직 및 수평 레일어셈블리―여기서 신축조인트는 상기 수직 및 수평레일 어셈블리에 결합되어 상기 신축조인트가 상기 프레임 내에서 완전한 신장위치와 수축위치 사이로 이동가능함―,

제1 단부, 제2 단부 및 종축을 가진 스윙암―여기서 제1 단부가 상기 신축조인트에 피벗하게 연결되어 상기 스윙암이 제1 축을 중심으로 360도 스윙할 수 있음―, 및

상기 테스트헤드에 연결되고, 상기 스윙암의 상기 제2 단부에 피벗하게 연결되어 상기 스윙암의 종축과 교차하는 제2 축을 중심으로 피벗가능한 로터리베어링 어셈블리―여기서 로터리베어링 어셈블리로 인하여 상기 테스트헤드가 상기 로터리베어링 어셈블리의 중앙을 관통하는 제3 축을 중심으로 회전될 수 있고, 상기 제3 축을 중심으로 하는 상기 회전으로 인하여 상기 스윙암 및 상기 신축조인트가 0도 스윙된 배향으로 되는 경우 상기 테스트헤드가 트위스트동작할 수 있고, 상기 스윙암 및 상기 신축조인트가 90도 스윙된 배향으로 되는 경우 상기 테스트헤드가 텀블동작할 수 있음―

을 포함하는 매니퓰레이터.
제1항에 있어서, 상기 스윙암을 상기 로터리베어링 어셈블리에 피벗식으로 연결하는 텀블어셈블리―여기서 텀블어셈블리로 인하여 상기 스윙암 및 상기 신축조인트가 0도로 스윙된 배향으로 되는 경우 상기 테스트헤드가 텀블동작할 수 있음―를 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
제1항에 있어서, 상기 케이블은 상기 매니퓰레이터를 종방향으로 관통하여 연장되며, 최대로 신장된 상기 신축조인트를 수용하는데 충분한 길이를 가지고, 상기 케이블이 상기 프레임에 부착됨으로써 상기 신축조인트가 상기 최대로 신장된 위치에 있지 않을 때 상기 케이블이 상기 프레임 내에 슬랙 루프(loop of slack)를 형성하는 매니퓰레이터.
제1항에 있어서, 상기 수직 및 수평레일 어셈블리가

상기 프레임에 결합되어 상기 신축조인트를 수직으로 이동시키는 수직레일 어셈블리, 및

상기 수직레일 어셈블리에 결합되어 상기 신축조인트를 수평으로 이동시키는 수평레일 어셈블리

를 포함하는 매니퓰레이터.
제1항에 있어서,

상기 로터리베어링 어셈블리의 중앙을 중심으로 상기 테스트헤드가 선택가능한 제1 및 제2 회전속도로 자동회전하도록 결합된 전기모터, 및

상기 로터리베어링 어셈블리의 중앙을 중심으로 상기 테스트헤드가 수동으로 회전하도록 결합된 수동조정부(manual adjustment)

를 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
프레임, 및 테스트헤드에 연결된 케이블을 포함하는 매니퓰레이트에 있어서,

상기 테스트헤드를 수직으로 이동시키는 수직레일 어셈블리,

상기 테스트헤드를 수평으로 이동시키는 수평레일 어셈블리―여기서 수평레일 어셈블리가 수직레일 어셈블리에 결합되어 상기 테스트헤드가 수평으로 및 수직으로 이동할 수 있음―,

상기 수평레일 어셈블리에 연결되어 종축을 따라 신장 및 수축되는 신축조인트―여기서 신축조인트로 인하여 상기 매니퓰레이터가 최대로 수축된 위치로부터 최대로 신장된 위치로 신장될 수 있음―,

제1 단부, 제2 단부 및 종축을 가진 스윙암―여기서 스윙암의 제1 단부가 상기 신축조인트에 피벗식으로 결합됨으로써 상기 스윙암이 제1 축을 중심으로 스윙할 수 있음―, 및

상기 테스트헤드에 연결되고, 상기 스윙암의 상기 제2 단부에 피벗하게 연결되어 상기 스윙암의 종축과 교차하는 제2 축을 중심으로 피벗가능한 로터리베어링 어셈블리―여기서 로터리베어링 어셈블리로 인하여 상기 테스트헤드가 제3 축을 중심으로 회전하여 상기 스윙암 및 상기 신축조인트가 0도로 스윙된 배향으로 되는 경우 상기 테스트헤드가 트위스트동작할 수 있고, 상기 스윙암 및 상기 신축조인트가 90도로 스윙된 배향으로 되는 경우 상기 테스트헤드가 텀블동작할 수 있음―

를 포함하는 매니퓰레이터.
제6항에 있어서,

상기 케이블은 상기 매니퓰레이터를 종방향으로 관통하여 연장되며,

상기 케이블은 최대로 신장된 상기 신축조인트를 수용하는데 충분한 길이를 가지며,

상기 케이블은 상기 신축조인트가 최대로 신장된 위치에 있지 않을 때 상기 케이블이 상기 프레임 내에 루프를 형성하도록 상기 프레임에 부착되는

매니퓰레이터.
제7항에 있어서, 상기 수직레일 어셈블리가

상기 프레임에 결합된 복수의 레일,

제1 플레이트, 및

상기 제1 플레이트에 결합된 복수의 베어링 어셈블리―여기서 베어링 어셈블리 각각은 상기 제1 플레이트가 수직으로 이동하도록 상기 레일 중 하나에 연결됨―

를 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
제8항에 있어서, 상기 수평레일 어셈블리가

상기 제1 플레이트에 연결된 복수의 수평으로 위치된 레일,

제2 플레이트, 및

상기 제2 플레이트에 연결된 복수의 수평으로 위치된 베어링 어셈블리―여기서 수평으로 위치된 베어링 어셈블리 각각은 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 연결시켜 상기 제2 플레이트가 수평으로 이동하도록 상기 수평으로 위치된 레일 중 하나에 연결됨―

를 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
제9항에 있어서, 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트가 전면(front surface)을 가지고, 상기 신축조인트가

상기 스윙암에 연결된 케이블 하우징,

상기 제2 플레이트에 연결되고, 상기 제1 플레이트의 전면과 직각을 이루며 상기 제2 플레이트의 전면과 직각을 이루는 축을 따라 종방향으로 연장되는 제1 종방향으로 위치된 레일,

상기 제2 플레이트에 연결되고, 상기 제1 플레이트의 전면과 직각을 이루며 상기 제2 플레이트의 전면과 직각을 이루는 축을 따라 종방향으로 연장되는 제2의 종방향으로 위치된 레일,

상기 케이블 하우징에 결합되며 상기 제1의 종방향으로 위치된 레일에 결합된 종방향으로 위치된 베어링 어셈블리, 및

상기 케이블 하우징에 연결되며 상기 제2의 종방향으로 위치된 레일에 연결되어 상기 케이블 하우징이 상기 제1의 종방향으로 위치된 레일 및 상기 제2의 종방향으로 위치된 레일을 따라 이동하여 상기 케이블 하우징이 신장 및 수축되어 상기 스윙암을 신장 및 수축시키는 제2의 종방향으로 위치된 베어링 어셈블리

를 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
제10항에 있어서, 상기 케이블 하우징은 그 내부에 형성된 개구를 가지는 상측 플랜지 및 하측 플랜지를 포함하고, 상기 스윙암은 상측 플랜지 및 하측 플랜지를 추가로 포함하고, 상기 스윙암의 상기 상측 플랜지는 그 내부에 형성된 개구를 가지고, 상기 하측 플랜지는 상기 스윙암의 상측 플랜지 하부에 배치되며 그 내부에 형성된 개구를 가지고,

상기 매니퓰레이터는

상기 케이블 하우징의 상기 상측 플랜지의 개구 및 상기 스윙암의 상측 플랜지의 개구 내에 배치되어 상기 케이블 하우징을 상기 스윙암에 피벗식으로 연결하는 제1 핀, 및

상기 케이블 하우징의 상기 하측 플랜지의 개구 및 상기 스윙암의 하측 플랜지의 개구 내에 배치되어 상기 케이블 하우징을 상기 스윙암에 피벗식으로 연결하는 제2 핀

을 추가로 포함하고,

상기 제1 축이 상기 제1 핀의 중앙 및 상기 제2 핀의 중앙을 관통함으로써 상기 스윙암이 상기 제1 축을 중심으로 회전가능한 매니퓰레이터.
제6항에 있어서, 상기 매니퓰레이터는

피벗핀 및 텀블 제어나사를 포함하는 텀블어셈블리를 추가로 포함하고,

상기 제2 축이 상기 피벗핀의 중앙을 관통하고, 상기 피벗핀이 상기 로터리베어링 어셈블리가 상기 제2 축을 중심으로 회전하도록 상기 스윙암을 상기 로터리베어링 어셈블리에 연결하고, 상기 텀블 제어나사가 상기 스윙암 및 상기 로터리베어링 어셈블리에 연결되고, 상기 텀블 제어나사가 상기 로터리베어링 어셈블리의 상기 제2 축을 중심으로 하는 회전을 제어하도록 작동하여 상기 스윙암 및 상기 신축조인트가 0도로 스윙된 배향으로 되는 경우 상기 테스트헤드를 텀블동작시키고, 상기 스윙암 및 상기 신축조인트가 90도로 스윙된 배향으로 되는 경우 상기 테스트헤드를 트위스트운동시킬 수 있는 매니퓰레이터.
제12항에 있어서, 상기 텀블 제어나사는 상기 로터리베어링 어셈블리에 결합된 부착 단부(attachment end)를 가지고, 상기 매니퓰레이터는

기어박스와 텀블 제어나사의 부착 단부 사이에 간격이 실재하도록 상기 텀블 제어나사에 연결된 기어박스, 및

상기 기어박스에 연결되어 상기 기어박스와 상기 텀블 제어나사의 부착 단부 사이의 간격이 변하도록 조작함으로써 상기 제2 축을 중심으로 하는 상기 로터리베어링 어셈블리의 회전을 제어할 수 있는 나사핸들(screw handle)

을 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
제13항에 있어서, 상기 테스트헤드는 테스트헤드 프레임을 추가로 포함하고, 상기 로터리베어링 어셈블리는

자신의 내부에 형성된 개구를 가지는 텀블플레이트―여기서 텀블플레이트에는 상기 제1 텀블플랜지 및 제2 텀블플랜지가 부착됨―,

상기 케이블이 트위스트플랜지 내에 배치되고, 상기 케이블이 상기 텀블플레이트 내의 상기 개구를 관통하여 연장되도록 상기 텀블플레이트에 부착된 원통형상의 트위스트플랜지,

상기 테스트헤드 프레임에 부착된 헤드플랜지―여기서 헤드플랜지는 외측 원통형면을 포함하는 원통형상을 가짐―,

상기 헤드플랜지의 상기 외측 원통형면 둘레에 배치된 로터리베어링, 및

상기 트위스트플랜지에 연결된 장착플랜지―여기서 장착플랜지는 원통형상을 가지며, 상기 장착플랜지는 상기 헤드플랜지가 상기 장착플랜지 내에서 회전가능하도록 상기 로터리베어링 둘레에 배치됨―

를 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
제14항에 있어서, 상기 매니퓰레이터는

트위스트 제어모터,

상기 트위스트 제어모터에 연결된 샤프트,

상기 트위스트 제어모터의 회전으로 스프로킷이 회전하도록 상기 샤프트에 연결된 스프로킷(sprocket), 및

상기 트위스트 제어모터의 회전으로 상기 헤드플랜지가 회전하도록 상기 헤드플랜지 및 상기 스프로킷 둘레에 배치된 체인(chain)

을 추가로 포함하는 매니퓰레이터.
프레임,

테스트회로를 포함하는 테스트헤드,

상기 테스트헤드에 연결되어 전력 및 플라밍(plumbing)을 상기 테스트헤드에 제공하는 케이블,

상기 프레임에 연결되며 상기 테스트헤드에 연결되어 상기 테스트헤드의 위치를 지정하는 매니퓰레이터―여기서 매니퓰레이터를 종방향으로 관통하여 케이블이 연장됨―

를 포함하고, 상기 매니퓰레이터는

상기 테스트헤드를 수직으로 이동시키는 수직레일 어셈블리,

상기 테스트헤드를 수평으로 이동시키는 수평레일 어셈블리―여기서 수평레일 어셈블리가 수직레일 어셈블리에 연결되어 상기 테스트헤드가 수평으로 및 수직으로 이동할 수 있음―,

상기 매니퓰레이터가 횡방향으로 신장 및 수축되도록 상기 수평레일 어셈블리에 연결된 신축조인트,

제1 단부, 제2 단부, 및 종축을 가지는 스윙암―여기서 스윙암의 상기 제1 단부가 상기 신축조인트에 피벗식으로 연결되어 상기 테스트헤드가 상기 피벗커플링을 관통하는 제1 축을 중심으로 스윙할 수 있음―, 및

상기 스윙암의 상기 제2 단부에 피벗식으로 연결되어 상기 스윙암의 종축과 교차하는 제2 축을 중심으로 피벗가능한 로터리베어링 어셈블리―여기서 로터리베어링 어셈블리는 상기 테스트헤드가 상기 로터리베어링 어셈블리의 중앙을 따라 관통하는 제3 축을 중심으로 회전가능하도록 상기 테스트헤드에 연결됨―

를 포함하는 전자장치 시험용 테스터.
제16항에 있어서, 상기 매니퓰레이터는

피벗핀을 포함하는 텀블어셈블리―여기서 피벗핀의 중앙으로 상기 제2 축이 관통하고, 상기 피벗핀이 상기 로터리베어링 어셈블리가 상기 제2 축을 중심으로 회전하도록 상기 스윙암 및 상기 로터리베어링에 연결됨―, 및

상기 스윙암 및 상기 로터리베어링 어셈블리에 연결된 텀블 제어나사―여기서 텀블 제어나사는 상기 로터리베어링 어셈블리의 상기 제2 축을 중심으로 하는 회전을 제어하도록 조작가능함―

를 추가로 포함하는 전자장치 시험용 테스터.
제17항에 있어서, 상기 수직 레일어셈블리가

상기 프레임에 연결된 복수의 레일,

제1 플레이트, 및

상기 제1 플레이트에 연결된 복수의 베어링 어셈블리―여기서 베어링 어셈블리 각각은 상기 제1 플레이트가 수직으로 이동하도록 상기 레일 중 하나에 연결됨―

를 추가로 포함하는 전자장치 시험용 테스터.
제18항에 있어서, 상기 수평레일 어셈블리가

상기 제1 플레이트에 연결된 복수의 수평으로 위치된 레일,

제2 플레이트,

상기 제2 플레이트에 연결된 복수의 수평으로 위치된 베어링 어셈블리―여기서 수평으로 위치된 베어링 어셈블리 각각은 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 연결하여 상기 제2 플레이트가 수평으로 이동하도록 상기 수평으로 위치된 레일 중 하나에 연결됨―

를 추가로 포함하는 전자장치 시험용 테스터.
제19항에 있어서, 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트가 전면을 가지며, 상기 신축조인트가

상기 스윙암에 연결된 케이블 하우징,

상기 제2 플레이트에 연결되고, 상기 제1 플레이트의 전면과 직각을 이루며 상기 제2 플레이트의 전면과 직각을 이루는 축을 따라 종방향으로 연장되는 제1의 종방향으로 위치된 레일,

상기 제2 플레이트에 연결되고, 상기 제1 플레이트의 전면과 직각을 이루며 상기 제2 플레이트의 전면과 직각을 이루는 축을 따라 종방향으로 연장되는 제2의 종방향으로 위치된 레일,

상기 케이블 하우징 및 상기 제1의 종방향으로 위치된 레일에 연결된 종방향으로 위치된 베어링 어셈블리, 및

상기 케이블 하우징에 연결되며, 상기 제2의 종방향으로 위치된 레일에 연결되어 상기 케이블 하우징이 상기 제1의 종방향으로 위치된 레일 및 상기 제2의 종방향으로 위치된 레일을 따라 이동함으로써 상기 케이블 하우징이 신장 및 수축되어 상기 스윙암을 신장 및 수축시키는 제2의 종방향으로 위치된 베어링 어셈블리

를 추가로 포함하는 전자장치 시험용 테스터.