KR20010004313A - 역 버스전극 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 투명 유전층 및 투명 유전층 상에 형성되는 유전체 보호막을 용이하게 평탄화시켜 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 전면판을 이루는 투명 기판 또는 투명 절연물 내에 형성된 버스전극과 버스 전극 상에 형성된 투명전극, 투명전극 형성이 완료된 상기 전면판 상에 형성된 투명 유전층, 투명 유전층 상에 형성된 유전체 보호막으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 및 그 제조 방법을 제공하는데 특징이 있다.

Description

역 버스전극 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법{PLASMA DISPLAY PANEL HAVING INVERTED BUS ELECTRODE STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 소자에 관한 것으로, 특히 투명 유전층을 용이하게 평탄화시켜 방전 효율 및 휘도를 증가시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, 이하 PDP라 함)은 기체 방전시에 발생하는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 그래픽을 표시하는 소자이다. PDP는 현재 활발히 연구되고 있는 LCD(liquid crystal display), FED(field emission display), ELD(electroluminescence display)와 같은 여러 평판형 디스플레이 소자 중에서도 대형화에 가장 적합한 장점을 가지고 있다.
즉, 플라즈마 디스플레이 패널은 40 " 이상의 대형화가 가능하고, 방전에서 형성되는 자외선이 형광막을 자극하여 가시광을 발광시키는 포토루미네슨스(photoluminescence) 메카니즘을 이용하기 때문에 CRT 수준의 칼라화가 가능하며, 자기 발광형 표시소자(self-emissive display)로서 160。 이상의 넓은 시야각을 갖는 등 다른 평판 소자에서 찾아볼 수 없는 고유한 장점을 많이 가지고 있다. 이에 따라 차세대 고선명 벽걸이 TV, TV와 PC의 기능이 복합화된 멀티미디어(multimedia)용 대형 표시장치로서 유력시되고 있어, 최근 이에 대한 관심이 고조되고 있다.
PDP는 두께가 3 ㎜ 정도되는 2장의 유리기판을 사용하여 각각의 기판 위에 적당한 전극과 형광체를 도포하고, 두 기판의 간격을 약 0.1 ㎜ 내지 0.2 ㎜로 유지하면서 그 사이의 공간에 플라즈마를 형성하는 방법을 채택하고 있기 때문에 평판으로서 대형화가 가능하다.
또한, PDP에서 가스 방전은 전극간에 전압이 인가되더라도 방전 개시 전압 이하의 인가전압에 대해서는 방전이 일어나지 않는 강한 비선형성을 갖고, 대형 디스플레이의 구동에 필수적인 기능인 기억기능(memory function)이 있어 초대형의 패널에 대해서도 휘도의 저하없이 고화질의 화상을 표현할 수 있다.
플라즈마 디스플레이 패널은 플라즈마를 발생하기 위한 전극이 플라즈마에 직접 노출되어 전도전류(conduction current)가 전극을 통해 직접 흐르는 직류형(DC형)과 전극이 유전체로 덮여 있어 직접 노출되지 않아 변위전류(Displacement Current)가 흐르는 교류형(AC형)으로 구분된다.
도1은 AC형 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 개략적인 구조를 보이는 단면도로서, 유리 기판(1) 상에 형성된 투명전극(2), 투명전극 상에 형성된 버스전극(3), 유리기판(1), 투명전극(2) 및 버스전극(3)을 덮는 투명 유전층(4), 투명 유전층(4) 상에 형성된 유전체 보호막(5)으로 이루어지는 AC형 PDP의 전면판을 보이고 있다.
도1에 도시한 PDP의 전면판을 제조하기 위한 종래 방법은, 평행한 투명전극(2)을 형성하고 투명전극(2) 상에 버스전극(3)을 형성한 다음 투명 유전층(4)과 유전체 보호막(5)을 형성하는 과정으로 이루어지는데, 이와 같은 구조에서는 버스 전극(3)의 높이 이상으로 투명 유전층(4)을 형성해야 하기 때문에, 투명 유전층(4) 상부 표면이 굴곡을 갖게 되어 평탄화시키는 것이 쉽지 않고, 투명 유전층(4) 상에 형성되는 유전체 보호막(5)의 형성이 용이하지 않다. 이에 따라, 플라즈마 디스플레이 패널의 발광 효율 및 휘도 특성이 저하되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 투명 유전층 및 투명 유전층 상에 형성되는 유전체 보호막을 용이하게 평탄화시켜 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도1은 종래의 AC형 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 개략적인 구조를 보이는 단면도,
도2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 구조를 보이는 단면도,
도3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 구조를 보이는 단면도,
도4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 구조를 보이는 단면도,
도5a 내지 도5e는 본 발명의 제4 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 제조 공정 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 도면 부호의 설명
10: 유리기판 H: 홈
11: 버스전극 12: 투명전극
13: 투명 유전층 14: 보호막
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유리 기판; 상기 유리 기판 표면에 선택적으로 형성된 홈; 상기 홈 내에 매립된 버스 전극; 상기 버스 전극 및 상기 유리 기판 상에 형성된 투명 전극; 상기 유리 기판 및 상기 투명 전극을 덮는 투명 유전층; 및 상기 투명 유전층 상에 형성된 유전체 보호막을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판을 제공한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 유리 기판을 선택적으로 식각하여 버스전극 영역에 홈을 형성하는 단계; 상기 홈 내에 전도막을 매립하여 버스전극을 형성하는 단계; 상기 버스전극 및 상기 유리기판과 중첩되는 투명전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명전극 패턴 형성이 완료된 상기 유리기판 전면에 투명 유전층을 형성하는 단계; 및 상기 투명 유전층 상에 유전체 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 제조 방법을 제공한다.
본 발명은 전면판을 이루는 투명 기판 또는 투명 절연물 내에 형성된 버스전극과 버스 전극 상에 형성된 투명전극, 투명전극 형성이 완료된 상기 전면판 상에 형성된 투명 유전층, 투명 유전층 상에 형성된 유전체 보호막으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 및 그 제조 방법을 제공하는데 특징이 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 및 그 제조 방법을 상세히 설명한다.
도2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 구조를 보이는 단면도로서, 유리기판(10), 유리기판(10) 표면에 형성된 홈 내에 매립된 버스전극(11), 버스전극(11) 및 유리기판(10) 상에 형성된 투명전극(12), 유리기판(10) 및 투명전극(12)을 덮는 투명 유전층(13), 투명 유전층(14) 상에 형성된 유전체 보호막(14)으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판을 보이고 있다.
도3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 구조를 보이는 단면도로서, 유리기판(10) 표면에 형성된 홈 내에 매립된 적어도 한층의 버스전극(11)을 확대하여 보이고 있다. 도3에 도시한 바와 같이 본 발명의 제2 실시예에 따른 버스전극(11)은 유리기판(10)과의 접착력 향상을 위한 제1 전도막(11A), 제1 전도막 상에 형성된 제2 전도막(11B), 제2 전도막(11B) 상에 형성되어 투명 전극과의 접착력 향상을 위한 제3 전도막(11C)으로 이루어진다. 이와 같이 접착력 향상을 위한 전도막을 구비하는 버스 전극(11)은 이중층 구조로 형성할 수 있다.
도4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 전면판의 유리기판(10), 유리기판(10) 표면에 형성된 홈 내에 매립된 버스 전극(11), 투명 전극(12), 적어도 한층의 투명 유전층(13) 및 유전체 보호막(14)을 부분 확대하여 보이는 단면도로서, 내전압 특성을 강화시키기 위하여 투명 유전층(13)을 제1 유전층(13A)과 제2 유전층(13B)의 이중 구조로 형성하는 경우를 보이고 있다.
다음, 도5a 내지 도5e를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법을 상세히 설명한다.
먼저, 도5a에 도시한 바와 같이 유리 기판(10) 상에 포토레지스트(도시하지 않음)를 도포하고 버스전극 영역을 정의하는 마스크를 이용해서 노광한 다음 현상공정 등을 실시하여 포토레지스트 패턴을 형성하고, 이를 식각마스크로 유리기판(10)을 식각하여 버스전극 영역에 홈(H)을 형성하고, 포토레지스트 패턴을 제거한다.
다음으로, 도5b에 도시한 바와 같이 홈 형성이 완료된 유리기판(10) 상에 Ag, Au, Cu, Mo, Cr 등과 같은 물질로 전도막을 형성하고, 상기 버스전극 영역을 정의하는 마스크를 다시 이용하여 전도막을 패터닝해서 유리기판(10)의 홈내에 전도막을 매립함으로써 버스전극(11)을 형성한다. 이때, 버스전극(11)을 Cr/Cu/Cr 등과 같은 3층 구조로 형성할 수도 있다. 한편, 전술한 바와 같이 노광 공정 이외에도, 박막을 형성하고 리프트-오프(lift off) 방법으로 버스전극을 형성할 수도 있다. 이와 같은 버스전극(11) 형성 방법에 따라 유리기판(10)과 버스전극(11)이 같은 높이를 이룰 수 있게 된다.
이어서, 도5c에 도시한 바와 같이 버스전극(11) 및 유리기판(10) 상에 ITO 또는 SnO2등을 형성하고, 패터닝하여 버스전극(11) 및 유리기판(10) 상에 상호 독립된 복수의 줄무늬(stripe) 형태 투명전극(12) 패턴을 형성한다.
다음으로 도5d에 도시한 바와 같이 투명전극(12) 및 유리기판(10) 상에 SiO2, SiNx, 글래스 페이스트(Glass Paste)와 같은 물질로 투명 유전층(13)을 형성한다. 글래스 페이스트를 이용할 경우 인쇄 방법을 실시하며, SiO2, SiNx등을 이용할 경우에는 화학기상증착법(chemical vapor deposition, CVD)을 실시한다. 한편, 전술한 본 발명의 제3 실시예와 같이 내전압 향상을 위하여 투명 유전층(13)을 2중 또는 3중 구조로 형성할 수도 있다.
다음으로, 도5e에 도시한 바와 같이 투명 유전층(13) 상에 MgO 등으로 유전체 보호막(14)을 형성한다.
전술한 바와 같이 이루어지는 본 발명은 버스전극(11)과 유리기판(10)이 같은 높이를 이루도록 하고 그 표면에 투명전극(12)을 형성한 다음, 투명 유전층(13)을 형성함으로써 버스전극과 유전체 표면 사이의 두께가 일정하여 유전체 표면에 일정한 전기력을 가할 수 있다. 또한, 투명 유전층의 두께 조절이 용이하여 투명유전층 두께에 따른 방전 전압 변경이 용이하다. 그리고, 투명 유전층의 두께를 감소시킬 수 있어 패널을 보다 경량화시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 전면판 버스 전극의 구조를 역구조 즉, 투명전극 하부에 형성함으로써 전면판 전면에 형성되는 투명 유전층을 용이하게 평탄화시킬 수 있다. 이에 따라 방전을 효율적으로 일으킬 수 있으며 패널의 경량화를 이룰 수 있다.

Claims (4)

  1. 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판에 있어서,
    유리 기판;
    상기 유리 기판 표면에 선택적으로 형성된 홈;
    상기 홈 내에 매립된 버스 전극;
    상기 버스 전극 및 상기 유리 기판 상에 형성된 투명 전극;
    상기 유리 기판 및 상기 투명 전극을 덮는 투명 유전층; 및
    상기 투명 유전층 상에 형성된 유전체 보호막
    을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버스 전극은, 적어도 한층의 전도막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 투명 유전층은 적어도 한층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판.
  4. 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 제조 방법에 있어서,
    유리 기판을 선택적으로 식각하여 버스전극 영역에 홈을 형성하는 단계;
    상기 홈 내에 전도막을 매립하여 버스전극을 형성하는 단계;
    상기 버스전극 및 상기 유리기판과 중첩되는 투명전극 패턴을 형성하는 단계;
    상기 투명전극 패턴 형성이 완료된 상기 유리기판 전면에 투명 유전층을 형성하는 단계; 및
    상기 투명 유전층 상에 유전체 보호막을 형성하는 단계
    를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 제조 방법.
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KR100683785B1 (ko) * 2005-06-09 2007-02-20 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 그에 의해 제조된플라즈마 디스플레이 패널
KR100877736B1 (ko) * 2001-08-14 2009-01-12 소니 가부시끼 가이샤 플라즈마 표시장치 및 그 제조방법

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