KR20000068709A - 디바이스 제조 방법 - Google Patents

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KR20000068709A
KR20000068709A KR1019997002926A KR19997002926A KR20000068709A KR 20000068709 A KR20000068709 A KR 20000068709A KR 1019997002926 A KR1019997002926 A KR 1019997002926A KR 19997002926 A KR19997002926 A KR 19997002926A KR 20000068709 A KR20000068709 A KR 20000068709A
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루이그로크자코부스조세푸스마리아
브린텐마리누스루도비쿠스아드리아누스
베르훌스트안드레알로이스
스미트카스페르마리아
Original Assignee
요트.게.아. 롤페즈
코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F13/00Apparatus or processes for magnetising or demagnetising
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/70Arrangements for deflecting ray or beam
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    • HELECTRICITY
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    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F13/00Apparatus or processes for magnetising or demagnetising
    • H01F13/003Methods and devices for magnetising permanent magnets

Abstract

장치의 소자는 소자 주위에 자계 패턴을 발생시키도록 자화된다. 이를 구현하기 위하여, 자화 코일 및 소자로 구성된 것을 이용하고, 자화 코일은 서로 상대적으로 이동되고, 자화 코일 신호 전류와 더불어 실질적으로 일정한 진폭의 교류 전류를 전달한다. 바람직하게, 신호 전류와 예정된 자계 패턴 사이에는 위상차가 있다.

Description

디바이스 제조 방법{Method of manufacturing a device}
서두에서 설명된 타입의 방법은 영국 특허 출원 GB 2 000 635 A 호에 공지되어 있다.
GB 2 000 635호에서, 장치 제조 방법의 경우 디스플레이 장치용 음극선관은 환상(annular) 소자는 상기 환상 소자 주위에 배치된 다수의 코일들을 포함하는 코일 시스템에 의해 자화된다. 음극선관은 3개의 전자빔들을 발생하기 위한 전자총과, 디스플레이 스크린 및 상기 디스플레이 스크린을 가로지르는 전자빔을 편향시키기 위한 전자총을 포함한다. 자화된 소자에 의해 발생된 자게 패턴은 전자총으로부터 디스플레이로 진행하는 전자빔들에 영향을 준다. 이 때문에, 폼, 위치 또는 스크린상의 전자빔의 랜딩 각에 관련된 에러가 정정될 수 있다. 이것은 화상 디스플레이에서 관찰되는 에러에 종속하는 소자를 자화함으로서 구현된다. 소자의 자화는 신호 전류를 하나 이상의 코일 시스템으로 된 코일들에 공급함으로서 발생되며, 동시에 감소 교류 전류를 코일 시스템으로 된 코일들에 공급한다.
그러나, 공지된 방법은 다수의 결함이 있다. 자화를 위해 이용되는 코일 시스템은 상대적으로 높은 에너지 소비를 하며 많은 공간들을 차지한다.
전자빔들에 영향을 줄 가능성은 실질적으로 제한적인 것으로 알려져 있다. 에러의 정정은 작지만 매우 어렵거나 심지어는 불가능한 새로운 에러들의 유입을 관리하여 정정한다.
본 발명의 목적은 하나 이상의 상기 결함들을 줄이기 위한 방법을 제공하는데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 방법은 자화 코일(들) 및 소자가 소자의 자화중에 서로 상대적으로 이동하고, 신호 전류와 더불어 실질적으로 일정한 진폭의 교류 전류가 자화 코일(들)을 통해 통과된다.
본 발명에 따른 방법은 일반적으로 적은 에너지를 필요로하며, 더 정밀화되는데, 즉 소자에 의해 발생된 자계는 예정된 자계가 커짐에 따라 이루어질 수 있다.
기술 상태에 따라 자화되는 소자는 바람직하지 않는 높은 차수의 성분을 나타내는 자계를 발생시킨다. 상기 고차의 성분들은 자화중에 자화 코일들로 된 코일들의 에지의 위치 주위에 및/또는 이산 자기 소자의 에지들 주위에 및/또는 소자 내의 불균일 물질에 의해 발생된다. 상기 고차 성분들은 자화 코일들과 소자들 사이의 거리를 증가시키는 공지된 방법으로 감소될 수 있으나, 이것은 에너지 소비를 증가시킬 수 있다.
본 발명에 따른 방법으로 소자를 자화시키는 방법과 더불어 자화 코일(들) 및 소자의 상대 이동은 자계 패턴에서의 상기 바람직하지 않은 고차 성분들의 발생을 감소시킬 수 있다. 이로서 자계 패턴의 정밀성을 높일 수 있다. 상대 이동과, 교류 전류(상대적으로 급속히 변화하는 자기 바이어스 자계가 생성된다) 및 하나 이상의 신호 전류를 자기 코일(들)에 공급하여 에지 효과들이 감소될 수 있다. 상기 에지 효과들(종래 기술에서는 예를 들면 자화 코일들의 에지 주위에 도는 이상 소자들의 에지들 주위에 발생한다)은 소자 주위의 자계 패턴에서 부적절한 고차 성분들에 대하여 부분적으로 영향을 미친다.
자화 공정은 보다 적은 에너지를 필요로 하는데, 그 이유는 자화 코일들의 부피가 일반적으로 작기 때문이다. 예를 들면 종래 기술에서 이용되는 8자화 코일들 대신에 예를 들면 1 또는 2의 적은 코일들이면 충분하다. 바람직하게는 하나의 자화 코일이 이용된다.
본 발명은 견자기 물질로 된 소자를 포함한 장치를 제어하는 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 소자가 하나 이상의 자화 코일들에 의해 자화되어 자계 패턴을 발생하는 단계를 포함한다.
자계 패턴을 발생하는 견자기 물질로 된 소자를 포함할 수 있는 장치들의 예로는 특히 예를 들면 디스플레이 장치들 또는 오실로스코우프들, 전자 현미경들 및 NMR(핵 자기 공명) 장치 내의 음극선관들 같은 음극선관들을 포함한다.
도 1은 디스플레이 장치를 도시한 도면
도 2는 환형(annular) 자화 소자가 제공된 편향 유닛의 정면도
도 3은 공지된 방법을 예시한 도면
도 4 및 도 5는 공지된 방법에 따라 제조된 장치의 자기 소자의 자계 패턴을 예시한 도면
도 6은 본 발명에 따른 방법의 일 실시예를 예시한 도면
도 7a 내지 도 7f는 코일을 통과하는 신호 전류와 본 예에서는 환형 소자 주위의 자계의 자성 사이의 관계를 예시한 도면
도 8은 막대 형상의 소자의 자성을 예시한 도면
도 9는 막대 형상의 소자 주위의 자계를 도시한 도면
도 10은 본 발명에 따른 방법의 일 실시예를 예시한 도면
도면들은 크기가 도시되지 않았다. 도면에서, 같은 참조번호들은 일반적으로 같은 부품을 언급한다.
본 발명은 전자빔을 발생시키기 위한 수단(예를 들면, 전자총)을 포함한 음극선관에 이용되는 것이 매우 바람직하며, 상기 전자빔은 동작중 소자의 자계 패턴을 통해 이동한다.
자계 패턴에서의 비정밀성은 형상 및 전자빔의 위치에 부적절한 영향을 줄 수 있다.
전자빔을 편향시키는 수단을 포함하고, 자계 패턴에서의 전자빔의 위치가 전자빔의 편향에 의해 동작중에 좌우되는 음극선관에 있어서, 자계 패턴에서의 비정밀성을 배제 또는 감소시키는 것은 특히 중요하다.
자계 패턴에서의 전자빔(또는, 하나 이상의 전자빔이 발생되면 빔들)의 위치가 전자빔(들)의 편향에 의존하면, 자계 패턴에서의 정밀도에 의해 일어나는 에러들은 편향에 의존한다(즉, 위치 종속). 상기 다이나믹 에러들의 정정은 일정한 에러들, 즉 스태틱 에러들의 정정보다 더 어렵다.
바람직하게, 소자 및 자계 코일(들)은 소자의 적어도 일부분이 한 이동의 2번 자화되는 상기 방식으로 서로 상대적으로 이동된다.
따라서, 소자의 적어도 일부분이 "중복기입", 즉 2번 자화된다. 따라서, 자계 패턴에서의 갑작스런 변이는 회피되거나 또는 감소된다.
상기 실시예들에서, 교류 전류 및 신호 전류의 진폭 감소의 결과가 나타나고, 코일(들)과 소자의 상대적인 이동이 지속된다.
상기 전류의 진폭을 감소시킴으로서, 코일(들)과 소자의 상대적인 이동이 지속되며, 소자의 자화가 갑작스런 변이를 나타내는 것이 배제된다. 상기 변이들은 비정교함을, 특히 자계 패턴에서의 고차의 성분에서 일으킨다.
본 발명의 상기 및 이외의 양태는 이후에 설명되는 실시예를 참조하여 명백히 나타난다.
칼라 디스플레이 장치(1)(도 1)는 디스플레이 창(3), 콘부(4) 및 네크(5)를 포함한 진공 엔벨로프(2)를 갖는다. 상기 네크(5)는 전자빔들(7, 8, 9)을 발생하기 위한 전자총(6)을 수용한다. 상기 디스플레이 스크린(10)은 디스플레이 창의 내부에 제공된다. 상기 디스플레이 스크린(10)은 레드, 그린 및 블루로 조사하는 형광 소자들로 된 형광 패턴을 포함한다. 디스플레이 스크린으로 향하는 전자빔들(7, 8, 9)은 편향 유닛(11)에 의해 디스플레이 스크린(10)을 가로질러 편향되고, 디스플레이 창(3)의 정면에 배치되며 구멍들(13)을 갖는 얇은 판을 포함한 쉐도우 마스크(12)를 통과한다. 3개의 전자빔들은 서로간에 작은 각도로 쉐도우 마스크의 구멍을 통과하며, 따라서 각 전자빔은 하나의 칼라로 된 형광 소자들에만 침투된다.
도 2는 편향 유닛(11)으로 된 스크린으로부터 보여지는 정면도이다. 편향 유닛(11)은 그 내부에 2개의 편향 코일들(26, 27) 및 환형 자화가능한 소자(25)가 제공된다. 기술 상태에 따른 방법에 있어서, 소자(25)는 도 3에 개략적으로 도시된 바와 같이 다수의 자화 코일들(32)을 포함한 자화 코일 시스템(31)에 의해 자화된다.
코일들은 소자(25)가 자화됨에 따라 자화 패턴을 발생한다. 소자(25)는 전자 빔의 경로 및 형상이 동작중 영향받음으로서 자계를 발생한다.
도 4 및 도 5는 교차 형태로 배치된 4개의 코일들(32)에 의해 자화된 환형 소자(25)의 자계 패턴을 예시한다. 소자(25)는 2개의 북극들(N) 및 3개의 남극들(S)을 갖는다(도 4). 도 5에서 라인(41)에 의해 각 ψ의 함수에 따라 소자(25)의 내면(41)으로부터 단거리에서의 자계 H의 강도는 코일들(32)의 크기에 거의 일치하는 폭 D를 갖는 2개의 최대 및 최소값을 나타낸다. 최대와 최소 사이의 자계 강도는 거의 제로이다. 따라서, 자계 H는 4개의 극 성분을 갖는다. 그러나, 4-극 성분과 더불어 자계는 고차 성분들, 즉 12-극, 20-극 및 28-극 성분들을 포함한다. 인터럽트된 라인(52)은 개략적으로 4극 자계를 나타낸다. 라인(51)과 라인(52) 사이의 차는 12-극 성분 및 상기 고차 성분들을 포함한 자계를 형성한다. 즉, 4-극 성분과는 다른 자계 패턴(51)이 12-극 성분 및 고차 성분들을 포함한다. 고차 성분들의 강도 및 크기는 선택될 수 없지만 이용되는 방법에 의해 결정된다. 12-극 성분의 강도는 코일들(32)을 확대시키거나 도는 소자(25)로부터 큰 거리에 상기 코일들을 배치시킴으로서 감소될 수 있다. 그러나, 이것은 공간을 차지하며 에너지의 소비를 하게 된다. 고차 다극들의 강도는 소자(25)가지의 거리의 함수에 따라 저차 다극들의 강도보다 강한 감소를 나타낸다. 부적절한 고차 다극들을 배제시키는 것은 소자에 밀접한 자계 패턴의 정밀도가 더 중요해짐에 따라 더욱 중요해진다. 이것은 특히 전자빔이 편향되면 나타나며, 따라서 빔과 소자 사이의 거리는 상기 편향에 의해 좌우된다.
도 6은 본 발명에 따른 방법의 2개의 실시예들을 예시한다.
제 1 실시예에서, 코어(61)를 갖는 코일(60)은 일정한 진폭 A를 갖는 교류 전류(64)(바이어스 전류) 및, 신호 전류(65)에 의해 에너지화된다. 동시에, 환형 소자(25)는 도면에서 화살표(66)로 개략적을 표시된 바와 같이 회전된다. 코일은 우측 각도에서 지배적으로 환형으로 확장되는 자계 H1을 발생한다. 자계 H1은 환형 소자(25)가 자화되도록 한다. 소자(25)의 자성 및 이에 따른 소자 주위의 자계 패턴은 신호 전류(65) 및 이동(66)에 의해 결정된다. 자화 코일 시스템은 공지된 자화 코일 시스템 보다 적은 공간을 차지한다. 코일들의 상대 이동 및 상기 코일들이 에너지화되는 방식에 의해, 소자(25)의 자성이 정확히 결정될 수 있다. 본 발명의 다른 장점은 소자에 의해 생성된 자계에서의 부적절한 성분을 유도하는 소자로 된 물질에서의 불균일(예들 들면, 두께의 변화 및/또는 소자의 구성 분산 및/또는 균열)이 충분히 보상될 수 있는데 있다. 불균일은 코일(61)이 이용되는 측정치 또는 다른 측정치에 의해 측정될 수 있다. 시스템이 바이어스 신호(64)를 이용하여 선형화되는, 즉 소자의 자성 강도가 신호 전류(65)의 강도에 의해 거의 선형적으로 좌우됨에 따라 불균일은 신호 전류(65)에서 간단한 방식으로 보상될 수 있다. 따라서, 불균일의 교란 영향은 용이하게 보상될 수 있다. 소자에서 25% 또는 그 이상의 두께의 차도 신호 전류의 적절한 감소 또는 증가에 의해 보상될 수 있으며, 따라서 상기 두께의 차는 생성된 자계(예정된 자계에 관련됨)에서의 편차에 전혀 또는 거의 영향을 미치지 않는다. 공지된 스태틱 구성에 있어서, 불균일이 보상될 수 있는 범위는 매우 작다(불균일이 코일 주변에서 발생할 때만 보상될).
소자(25)는 또한 에어 갭(67)을 갖는 전자석(62)에 의해서 자화될 수 있다. 상기 실시예는 도 6의 우측에 도시된다. 상기 코일은 소자를 지배적으로 따라 배향되는 자계 H2를 발생한다.
바람직하게, 교류 전류(64) 및 신호 전류(65)의 진폭들은 자화 동작의 최종 부분 동안에 감소하고, 코일과 서로 상대적인 소자의 이동이 지속된다. 이 때문에, 코일 시스템의 종료 위치(들) 주위에서의 에지 영향들은 배제된다(즉, 코일 시스템의 코일(들)이 자화 동작의 종료시 위치되는 위치(들)).
바람직하게, 소자는 360°보다 많이 회전된다. 그 결과, 소자(25)의 적어도 일부분이 2번 자화된다. 이것은 자화 동작의 초기에 발생하는 에지 영향들(예를 들면, 코일(61)의 코어의 에지 주변에)이 중복기입되는 장점이 있다.
도 6은 코일 시스템이 하나의 코일을 포함하는 본 발명에 따른 방법의 실시예를 도시한다. 코일 시스템은 다수의 코일들, 예를 들면 바람직하게는 180°보다 약간 많이 각각 회전되는 2개의 상반적으로 위치된 코일들을 포함한다. 코일들에 공급되는 신호는 소자(25)의 좌측 반 또는 우측 반에 대한 적절한 자성에 대응한다.
바람직하게, 신호 전류는 예정된 자계 패턴에서의 성분들에 대응하는 성분들을 포함하고, 신호 전류의 성분들은 예정된 목적에 적합한 자계 패턴의 대응 성분들에 대한 위상차를 나타낸다. 이것은 도 7a 내지 7f에 예시된다.
코일(60, 62)을 통과하는 전류 I(도 7a를 참조)에 의해 일어나는 소자(25)에서의 자성 M은 소자(25)(M(I))(도 7b 참조)에 우측 각도로 확정되는 성분 및, 소자(25)(도 7c 참조)(M(I))를 따라 확장된 소자를 포함한다. M및 성분 M의 비율은 자계(H1, H2)의 강도에 의해 지배받지만, 실질적으로 다극들의 큰 범위에 대하여 일정하다.
도 7a는 종료점(4π)이 개시점과 일치하는 개시 위치(0 라디얼)와 상대적인 라디얼로 표현되는 환형 소자(25)에 상대적인 코일(61)의 위치(x값)의 함수에 따라 코일(61)을 통과하는 신호 전류(65)(y-값)의 강도 I를 도시한다. 신호 전류의 강도 I는 사인곡선으로 변화하고, 2개의 최대 및 최소, 즉 2개의 사이클들을 나타낸다. 상기 전류의 변화는 4-극 자계가 생성될 수 있도록 하며, 6-극 자계는 동시에 일어나는 개시 및 종료점들 사이에 3개의 사이클들을 나타내는 전류에 의해 생성될 수 있으며, 8-극 자계는 4 사이클들을 나타내는 전류에 의해 생성될 수 있다. 목적은 상기 신호 전류 I에 의해 4-극 자계를 발생하는데 있고, 여기서 자계는 균일한 트랜드를 나타내는데, 즉 초기 강도가 제로이고, 자계는 2개의 최대 및 2개의 최소치를 나타낸다.
전류는 소자(25)의 자화를 일으키고, 자기 성분 M(I) 및 자기 성분 M(I) 모두는 환형 소자에서 생성된다. 도 7b는 M(I)의 강도를 나타내고, 도 7c는 M(I)의 강도를 나타낸다. 소자(25)의 자성의 성분들 모두는 소자(25)의 바로 주변에 종방향 성분 H을 갖는 자계를 일으킨다. 도 7d는 자성 M(I)(=H(M(I))로부터 나타나는 자계 H를 도시하고, 도 7e는 자성 M(I)(=H(M(I))에 의해 나타나는 자계 H를 도시한다. 전체 종방향 자계 성분 H는 도 7d 및 7e에 도시된 2개의 계들의 합과 동일하다. 즉,
H(I)=H(M(I))+H(M(I))
이다.
도 7f는 전류 I 및 전류 I에 의해 발생하는 전계 H를 모두 도시한다. 도 7f는 전류 I와 전계 H사이에 위상 차가 있음을 도시한다. 피크들, 골들(valley) 및 자계 H(I)의 제로 크로싱은 피크들, 골들 및 전류 I의 제로 크로싱들에 상대적으로 약 0.4라디얼(약 22°에 대응함)씩 시프트된다. 예정된 자계가 전류에 동기한다고, 즉 예정된 자계 H(I)의 값이 개시점에서 제로라고 가정하면, 자계 H(I)는 예정된 자계에 대응하지 않음이 명백한데, 그 이유는 H(I)의 초기값이 제로가 아니기 때문이다. 환형 주위의 자계가 고려되면, 극들(최대 및 최소)이 상기 예정된 자계의 극들에 상대적으로 회전됨을 알 수 있다. 본 발명자들은 상기 효과 및 바람직한 실시예에서 전류와 예정된 자계 사이에 위상차가 있음을 인식하였다. 상기 예에서는, 아주 간단한 자계가 4-극 성분만을 포함하는 것으로 생성된다. 상기 간단한 자계의 경우, 전류와 예정된 자계 사이의 위상차에 의해 얻어진 것과 유사한 효과가 자화 후에 환형을 회전시킴으로서 구현될 수 있다(본 예에서, 링은 약 11°의 각도로 회전되어야만 한다). 더 일반적인 관점에서, 효과는 소자를 전환 또는 이동시킴으로서 구현될 수 있다. 이것은 예정된 자계가 다수의 성분들(예를 들면, 4-극 및 12-극 성분들 모두)을 포함하면, 소자의 필수적인 시프트가 다른 성분들과 상이하게 때문에 불가능하다. 6-극, 8-극, 10-극 등에 대하여, 성분 위상 시프트(용어 "위상"은 본 명세서에서 신호의 사인과 연관하여 규정된다)는 거의 동일하다. 이 때문에, 소자(25)의 자화시, 신호 전류는 자계 패턴에서의 성분들(2-극, 4-극, 6-극, 8-극 등)에 대응하는 성분들을 포함하고, 신호 전류의 성분들은 예정된 자계 패턴의 대응하는 성분들에 상대적인 위상차를 나타낸다. 상기 위상차는 자성 M와 M사이의 비율에 의해 좌우된다.
도 8은 코일(82)이 소자를 자화시키기 위해 이동됨에 따라 연장된 소자(81)를 개략적으로 도시한다. 도 9는 소자(81)의 측면(83)에 밀접한 예정된 자계 패턴(91)을 도시한다. 상기 예정된 자계는 퓨리에 분석에 의해 2-극 성분(소자(81)의 한 측면상의 자기 극) 플러스 4-극 성분, 플러스 6-극 성분 등으로 분산된다. 상기 예에서, 6-극 성분은 상대적으로 강하다. 소자(81)의 자성은 플레인(83)으로 우측각도로 확장되는 성분(M) 및 플레인을 따라 확장되는 성분(M)을 모두 포함한다.
신호 전류 성분들과 자계 패턴에서의 대응하는 성분들 사이의 위상차는 자계 패턴이 개선되어 발생될 수 있도록 정밀화시킨다.
정밀도를 향상시키기 위한 다른 방법은 도 10에 개략적으로 도시된다. 상기 도면에서, 자화 코일 시스템은 2개의 자석들(101, 102)을 포함한다. 소자의 이동을 발생시키는 갭은 상기 2개의 자석들 사이에 위치되고, 상기 갭은 도면에서 화살표로 표시된다. 코일들(101, 102)이 전류들 I1및 I2(I1=-I2) 각각에 의해 에너지화되면, 자성 M은 소자(25)에서 발생된다. 이 경우, M성분은 무시할 수 있다. 또한, 신호 전류 성분들과 예정된 자계의 성분들 사이의 위상차는 실질적으로 불필요하다. 코일들(101, 102)이 전류 I1및 I2(I1=I2) 각각에 의해 에너지화되면, 자성 M은 도 10에 도시된 바와 같이 소자(25)에서 발생된다. 이 경우, M성분은 무시할 수 있다. 따라서, 신호 전류 성분들과 예정된 자계의 성분들 사이에 90°의 일대일 위상차는 고 정밀도를 얻기 위하여 제 1 순차 접근으로 충분하다.
본 발명의 범주 내에서 많은 변형이 이루어질 수 있음을 당업자는 이해할 수 있다. 예를 들면, 도면에서는 칼라 디스플레이 장치용 음극선관이 도시된다. 그러나, 본 발명은 또한 오실로스코우프, 단색 디스플레이 장치들, 진행파관들, 전자 현미경들 등 및 NMR 장치들에도 적용될 수 있다.
요컨대, 본 발명에서 장치의 소자는 상기 소자 주위에 자계 패턴을 발생하기 위해 자화된다.
이를 구현하기 위하여, 자화 코일 및 소자들로 구성된 것이 이용되며, 자화 코일은 서로 상대적으로 이동되며, 상기 자화 코일은 신호 전류와 더불어 실질적으로 일정한 진폭의 교류 전류를 전달한다.
바람직하게, 신호 전류의 하나 이상의 성분들 및 예정된 자계 패턴의 대응하는 성분들 사이에 위상차가 있는데, 즉, 신호 전류의 성분은 예정된 자계 패턴의 대응하는 성분보다 앞서거나 또는 늦는다.
본 발명은 견자기 물질로 된 소자를 포함한 장치를 제어하는데 이용된다.

Claims (7)

  1. 견자기 물질로 된 소자를 포함하는 장치를 제조하는 방법에 있어서,
    소자가 하나 또는 그 이상의 자화 코일들에 의해 자화되어 자계 패턴을 생성하는 단계를 포함하는데,
    자화 코일(들) 및 소자는 소자의 자화 동안에 서로 상대적으로 이동하고, 신호 전류뿐만 아니라 실질적으로 일정한 진폭의 교류 전류가 자화 코일(들)을 통해 지나가는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 장치는 전자빔을 발생하기 위한 수단을 포함한 음극선관이며, 상기 전자빔은 동작중 자계 패턴을 거쳐 이동하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 음극선관은 전자빔을 편향시키는 수단을 포함하며, 동작중, 자계 패턴에서의 전자빔의 위치는 전자빔의 편향에 의해 좌우되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 교류 전류의 진폭은 자화 동작의 최종 부분 동안에 감소하고, 코일 시스템과 서로간에 상대적 소자의 이동이 지속되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 상대적 이동은 소자의 적어도 일부분이 한 번의 이동으로 2번로 자화되도록 하는 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 신호 전류는 예정된 자화 패턴에서의 성분들에 대응하는 성분들을 포함하며, 상기 신호 전류의 성분들은 예정된 자계 패턴의 대응하는 성분들에 대하여 위상차를 나타내는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 자화 코일 시스템은 2개의 자석들을 포함하고, 소자를 이동시키게 하는 갭이 상기 2개의 자석들 사이에 위치되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
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