KR20000035574A

KR20000035574A - 밸브 매니폴드 박스 시스템 및 화학약품 분배 방법

Info

Publication number: KR20000035574A
Application number: KR1019990051475A
Authority: KR
Inventors: 포즈니아크피터엠; 로버츠벤자민알
Original assignee: 페이스 살바토르 피; 더 비오씨 그룹 인코포레이티드
Priority date: 1998-11-24
Filing date: 1999-11-19
Publication date: 2000-06-26
Also published as: EP1004814A3; TW418300B; US6026843A; KR100371119B1; JP2000161599A; EP1004814A2

Abstract

본 발명은 하나 이상의 분배 유닛이 화학약품을 다수의 사용 지점으로 분배하는 밸브 매니폴드 박스 시스템과 방법에 관한 것이다. 유체 회로는 이송 파이프로서 공지된 이중벽 도관에 의해 직렬로 연결된 밸브 매니폴드를 포함한다. 유체 회로는 각 밸브 매니폴드가 화학약품을 대향 단부에 공급하도록 이중벽 파이프와 교호하는 일련의 밸브 매니폴드의 형태이다. 선택적으로, 2개의 분배 유닛은 직선형 유체 회로에 연결된다. 밸브 매니폴드는 밸브 박스내에 수납되며, 이송 파이프의 단부는 밸브 박스에 연결되어 있다. 이러한 방법에서, 밸브 매니폴드나 이송 파이프중 하나에서의 누출물은 밸브 박스내에 수집된다. 누출물 검출기는 밸브 박스에 제공되며, 누출물의 감지시에 잠재적인 누출물 밸브 매니폴드 뿐만 아니라 이러한 밸브 매니폴드에 공급되는 이와 관련된 인접한 이송 파이프는 분리 밸브에 의해 분리된다. 이러한 방법에서, 나머지 밸브 매니폴드와, 그에 따른 사용 지점은 문제를 계속 조사되면서 화학약품을 연속적으로 공급할 수 있다.

Description

밸브 매니폴드 박스 시스템 및 화학약품 분배 방법{VALVE BOX MANIFOLD SYSTEM AND DISTRIBUTION METHOD}

본 발명은 밸브 박스 매니폴드 시스템과, 밸브 매니폴드를 통해서 화학약품을 다수의 사용 지점으로 분배하기 위한 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 밸브 매니폴드가 그 대향 단부에 화학약품이 공급되고 그리고 유체 회로내에 위치된 분리 밸브 쌍이 나머지 밸브 매니폴드와 무관하게 밸브 매니폴드의 각각을 선택적으로 분리하도록 위치되게 유체 회로가 배열되어 있는 밸브 박스 매니폴드 시스템 및 화학약품 분배 방법에 관한 것이다.

산업 설비에 위치되어 있는 일련의 사용 지점으로 화학약품을 분배해야 할 필요성이 종종 있다. 예를 들면, 반도체 제조 설비에서, 포토레지스트, 슬러리, 플루오르화수소산, 과산화수소, 수산화암모늄 등과 같은 화학약품은 반도체의 제조시에 이용되는 다양한 도구로 분배된다. 전형적으로, 하나 이상의 펌프 또는 가압 용기일 수 있는 분배 유닛은 유체 회로에 기구 그룹을 연결하는데 사용되는 일련의 밸브 매니폴드를 구비하는 유체 회로를 통해 흐르는 유체를 도입한다. 유체 회로는 밸브 매니폴드를 둘러싸는 밸브 박스를 구비하며, 이중벽 파이프가 계속 이용된다. 결과적으로 파이프나 밸브 매니폴드로부터의 모든 누출물은 밸브 박스내에 수집되며, 이에 의해 밸브 박스는 누출물을 보유하는 기능을 한다.

전형적으로, 유체 회로내의 유동은 컴퓨터 제어 시스템에 의해 자동적으로 제어되며, 이 시스템은 기구로부터의 화학약품의 요구에 따라 밸브 매니폴드내의 밸브를 원격 작동시킨다. 검출기는 누출물을 감지하도록 밸브 박스내에 위치되며, 이에 의해 밸브 매니폴드의 대향 단부에 위치된 분리 밸브를 폐쇄하고 분배 시스템을 정지시킨다. 이러한 구성에서의 문제점은 유체 회로의 설계시에 있다. 밸브 매니폴드 및 밸브 박스는 유체 회로를 따라 직렬로 배열되며, 유체 회로는 제어된 분배 유닛으로부터 일 단부에 제공되어 있다. 따라서, 누출물이 하나의 밸브 박스로부터 감지되면, 누출물이 감지된 밸브 박스외에 모든 밸브와 그에 따라 모든 기구가 어떠한 누출물의 발생 여부와 상관없이 정지된다.

결과적으로 기구는 불필요하게 서비스를 받아야 하고, 이로 인해 비용이 상승하고 제조가 지연된다. 더욱이, 일 단부에 밸브 매니폴드가 제공되어 각 기구내로 도입될 수 있는 유체의 양을 신축적으로 조절할 수 없다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 유지보수를 위해 그리고 누출물이 검출된 경우의 개별 밸브 박스가 오프라인으로 될 수 있고, 화학약품이 각 매니폴드로 유입될 수 있게 하는 개선된 유체 회로를 구비하는 밸브 매니폴드 박스 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명은 화학약품을 다수의 사용지점으로 분배하는 하나 이상의 분배 유닛을 구비하는 매니폴드 박스 시스템을 제공한다. 밸브 매니폴드를 구비하는 유체 회로는 화학약품을 다수의 사용지점으로 공급하기 위한 이중벽 회로에 의해 직렬로 연결되어 있다. 유체 회로는 하나 이상의 분배 유닛에 연결되어서, 밸브 매니폴드의 각각이 대향 단부에 화학약품을 제공한다. 밸브 박스는 밸브 매니폴드를 둘러싸며, 이중벽 도관은 밸브 박스에 연결되어, 밸브 매니폴드 및 이중벽 도관으로부터의 화학약품의 누출물은 밸브 박스내로 수납된다. 누출물 검출기는 밸브 박스의 각각내의 누출물을 검출하도록 제공되어 있다. 또한, 누출물이 검출되는 특정 밸브 박스내에 위치된 잠재적인 누출 밸브 매니폴드와, 또한 잠재적인 누출이 발생할 것으로 상기 매니폴드에 결합되어 인접한 이중벽 도관이 상기 밸브 매니폴드의 나머지로부터 분리될 수 있도록 상기 이중벽 도관의 단부에 그리고 상기 밸브 매니폴드의 단부에는 분리 밸브가 위치되어 있다. 제어 시스템은 누출물 검출기에 반응하고 그리고 분리 밸브를 제어하도록 구성되어, 밸브 박스의 각각내에서 누출물을 검출할 시에 분리 밸브는 실행된 밸브 매니폴드 및 이에 결합된 인접한 이중 벽 도관을 분리한다. 이것은 화학약품이 밸브 매니폴드의 나머지와 그에 따라 사용 지점으로 연속적으로 공급될 수 있도록 한다.

다른 실시예에 있어서, 본 발명은 다수의 사용 지점으로 화학약품을 분배하는 방법을 제공한다. 본 발명의 이러한 실시예에 따르면, 화학약품은 유체 회로에 공급된다. 유체 회로는 이중벽 도관에 의해 직렬로 연결된 밸브 매니폴드를 구비하여, 밸브 매니폴드의 각각이 대향 단부에서 화학약품을 공급하게 한다. 밸브 매니폴드는 밸브 박스에 의해 둘러싸여 있고, 이중벽 도관은 밸브 박스에 연결되어서, 밸브 매니폴드 및 이중벽 도관으로부터의 화학약품이 밸브 박스내에 보유된다. 화학약품의 누출물은 밸브 박스의 각각내에서 검출된다. 누출물의 검출시에, 누출물이 검출되는 특정 밸브 박스내에 위치된 잠재적인 누출 밸브 매니폴드와, 또한 잠재적인 누출이 발생할 것으로 매니폴드에 결합되어 인접한 이중벽 도관이 상기 밸브 매니폴드의 나머지로부터 분리된다. 이것은 화학약품이 밸브 매니폴드의 나머지로 그리고 그에 따라 사용 지점으로 공급될 수 있게 한다.

밸브 매니폴드가 대향 단부에 제공되게 설계된 유체 회로를 제공함으로써, 밸브 매니폴드중 어느것을 수리할지라도 나머지 밸브 매니폴드는 화학약품을 계속 공급할 수 있다. 밸브 매니폴드가 대향 단부에 제공되어 있기 때문에, 밸브 매니폴드가 일 단부에만 제공된 종래 기술의 시스템의 각 기구에서보다 화학약품이 각 매니폴드로 잘 공급된다. 밸브 박스는 밸브 매니폴드로부터의 누출물 뿐만 아니라 밸브 매니폴드에 연결되는 이중벽 파이프에서의 누출물을 수용한다. 누출물이 밸브 박스내에서 검출되기 때문에, 누출물의 공급원은 밸브 박스에 의해 둘러싸인 밸브 매니폴드나, 누출물이 검출되는 밸브 박스에 연결된 이중벽 도관일 수 있다. 따라서, 밸브 매니폴드와 이중벽 도관의 잠재적인 누출이 유체 회로로부터 분리되어 나머지 밸브 매니폴드는 계속 온라인으로 유지된다.

도 1은 본 발명에 따른 방법을 실시하기 위한 장치의 개략도,

도 2는 도 1의 변형 실시예의 개략도,

도 3은 도 1 또는 도 2에 도시된 장치를 작동시키는데 사용된 바람직한 제어 시스템을 도시하는 것으로 도 1의 부분 확대도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

1 : 밸브 매니폴드 박스 시스템 2 : 분배 유닛

3 : 유체 회로 4, 5 : 분배 유닛

12, 14, 16, 18 : 밸브 매니폴드

20, 22, 24, 26, 28 : 이송 파이프

31, 32, 40, 42, 44, 46, 48, 50, 52 54 : 분리 밸브

33, 34, 36, 38 : 매니폴드 박스

96, 98, 100, 102, 104, 106, 108, 110 : 분리 및 배수 밸브

214, 216 : 제어기

본 명세서는 본 발명에 관한 주 요지를 명료하게 지적하는 특허청구범위를 포함하지만, 본 발명은 첨부 도면과 관련하여 취한 하기의 상세한 설명으로부터 보다 잘 이해될 수 있다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 밸브 매니폴드 박스 시스템(1)이 도시되어 있다. 밸브 매니폴드 박스 시스템(1)은 유체 회로(3)에 화학약품을 공급하는 분배 유닛(2)을 구비하고 있다. 특정 분배 유닛(2)이 아닌 것이 바람직하며, 분배 유닛(2)은 펌프나, 가압된 가압 용기가 반도체 기구와 같은 사용 지점까지 화학약품을 선택적으로 이동시키는 기능을 하는 장치 형태와 같은 모든 가능한 가압 장치일 수 있다. 가압 용기를 이용하는 분배 유닛의 예는 미국 캘리포니아주 산타 클라라 버튼 드라이브 3901에 소재하는 "BOC Chemical Management Systems"에 의해 제조되는 "Model D-5500"이 있다.

유체 회로(3)는 접합부(10), 밸브 매니폴드 또는 박스(12, 14, 16, 18)와, 이송 파이프(20, 22, 24, 26, 28)를 포함하고 있다. 화학약품은 이송 파이프(20, 22)를 통해서 접합부(10)로부터 밸브 매니폴드(12, 16)까지 유동한다. 다음에, 화학약품은 이송 파이프(24, 26) 및 또 이송 파이프(28)를 통해 밸브 매니폴드(12, 16)로부터 밸브 매니폴드(14, 18)까지 유동한다.

T자형 박스(30)는 접합부(10)로부터의 누출물을 보유하도록 제공되어 있다. 유사하게, 밸브 매니폴드 박스(33, 34, 36, 38)는 밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18)로부터의 누출물을 보유하도록 제공되어 있다. 이송 파이프(20, 22, 24, 26, 28)는 또한 누출물을 보유하는 이중 벽으로된 도관으로 형성되어 있다. 이러한 이중 벽으로된 도관의 외부 벽은 이송 파이프내의 누출물이 외부 벽에 의해 보유되도록 밸브매니폴드 박스(33, 34, 36, 38)와 T자형 박스(30)에 연결되어 있다. 이송 파이프는 누출물이 검출되는 매니폴드 박스(33, 34, 36, 38)와 T자형 박스(30)와 같은 위치까지 중력 배출이 이뤄질 수 있도록 설치되어 있다.

알 수 있는 바와 같이 밸브 매니폴드(12)는 라인을 벗어야 있어야 하며, 밸브 매니폴드(14, 16, 18)는 화학약품을 양 단부에 밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18)까지 공급하는 루프형 유체 회로(3)로 인해서 라인상에 유지된다. 선택적으로, 도 2를 참조하면, 2개의 분배 유닛(4, 5)이 유체 회로(6)의 대향 단부에 제공된다. 도시하지 않은 유체 회로(6)의 부분은 도 1에 도시된 것과 동일하다. 그 결과, 유체가 유체 회로(6)의 양 단부에 다시 공급되기 때문에, 그 밸브 박스(12, 14, 16, 18)중 어느 하나의 분리하여도 화학약품이 밸브 박스중 다른 박스에 분배되는 것을 방지하지 않는다.

분리 밸브(31, 32, 40, 42, 44, 46, 48, 50, 52 54)는 유체 회로(3)로부터 밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18) 뿐만 아니라 이송 파이프(20, 22, 24, 26, 28)의 각각을 선택적으로 분리하도록 유체 회로(3)내에 위치되어 있다. 이러한 분리는 선택적이며, 밸브 박스(33, 34, 36, 38)와 T자형 박스(30)내의 누출물의 감지시에 이뤄진다. 예를 들면, 밸브 박스(12)에서 누출물이 검출되면 분리 밸브(31, 40, 42, 44)는 밸브 매니폴드(12)와 이와 관련된 인접 이송 파이프(22, 24)를 분리시킨다. 화학약품은 이송 파이프(20, 26, 28)를 통해서 밸브 매니폴드(16, 18, 14)로 연속적으로 유동한다. 유사하게, 밸브 박스(34)에 누출물이 검출되면 분리 밸브(42, 44, 46, 54)를 트리거한다. 화학약품은 이송 파이프(20, 22, 26)를 통해 밸브 매니폴드(12, 16, 18)로 연속적으로 공급된다. 누출물이 밸브 박스(36)에서 검출되는 경우에, 분리 밸브(32, 48, 50, 52)는 밸브 매니폴드(16)와 이송 파이프(20, 26)를 분리할 것이다. 마지막으로, 밸브 박스(38)에서 누출물이 검출되면, 분리 밸브(50, 52, 54, 46)는 밸브 매니폴드(18)와 이송 파이프(26, 28)를 분리할 것이다.

분리 밸브(40 내지 54)는 원격 작동 밸브이며, 바람직하게, 제어 시스템(후술함)에 의해 개방되어 유지되는 폐쇄된 밸브이며, 모든 제어 시스템 고장 또는 정전이 야기되면 분리 밸브(40 내지 54)를 폐쇄시킨다. 따라서, 비작동되는 경우 이러한 밸브는 폐쇄된 또는 차단된 위치에 있어서 유동을 차단한다.

또한, 밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18)의 각각은 수동으로 작동되는 분리 밸브(56, 58, 60, 62, 64, 66, 68, 70)를 포함하여 밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18)를 수동을 분리시킨다. 부가적으로, 수동으로 작동되는 배수 밸브(72, 74, 76, 78, 80, 82, 84, 86)는 수동 배수를 위해서 설치되어 있다. 예를 들면, 배수 밸브(72, 76, 82, 86)는 밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18)를 배수시키는 반면에, 배수 밸브(74, 78, 80, 84)는 이송 파이프(24, 26, 28)가 배수되게 한다.

밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18)는 각각 사용 지점 또는 도구까지의 화학약품의 공급을 제어하도록 설계된다. 이를 위해서, 원격 작동 디맨드 밸브(88, 90, 92, 94)가 밸브 매니폴드(12)용으로 제공된다. 수동으로 작동되는 분리 및 배수 밸브(96, 98, 100, 102, 104, 106, 108, 110)의 쌍이 밸브 매니폴드(12)용으로 제공된다. 유사하게, 원격 작동 디맨드 밸브(112, 114, 116, 118)가 밸브 매니폴드(14)용으로 제공된다. 부가적으로, 분리 및 배수 밸브(120, 122, 124, 126, 128, 130, 132, 134)는 밸브 매니폴드(14)용으로 제공된다. 밸브 매니폴드(16)에 있어서는, 원격 작동 디맨드 밸브(136, 138, 140, 142)가 제공되어 있다. 또한, 수동 분리 및 배수 밸브(144, 146, 148, 150, 152, 154, 156, 158)가 제공된다. 마지막으로, 밸브 매니폴드(18)에 있어서는, 원격 작동 디맨드 밸브(160, 162, 164, 166)가 제공되어 있다. 또한, 수동으로 작동되는 분리 및 배수 밸브(168, 170, 172, 174, 176, 178, 180, 182)가 제공되어 있다.

누출의 경우에, T자형 박스(30) 뿐만 아니라 밸브 박스(33, 34, 36, 38)는 박스 배수 밸브(184, 186, 188, 190, 192)에 의해 배수될 수 있다.

T자형 박스(30) 뿐만 아니라 밸브 박스(33, 34, 36, 38)는 적어도 하나의 레벨 검출기, 바람직하게는 2개의 액체 레벨 검출기(194, 196, 198, 200, 202, 204, 206, 208, 210, 212)가 제공되어 있다. 하부 누출물 검출기(194, 198, 202, 206, 210)는 누출물이 낮은 레벨에 있을 때 누출물을 검출하도록 위치되며, 관련 접합부 또는 밸브 박스의 바닥에 위치되어 있다. 상부 누출 검출기(196, 200, 204, 208, 210)는 하부 누출물 검출기(194, 198, 202, 206, 210)상에 위치되며, 바람직하게, 보다 높은 레벨을 신속하게 검출하도록 대략 6.36㎜상에 위치된다. 그 결과, 하부 누출물 액체 검출기(194, 198, 202, 206, 210)는 누출물이 발생할 때 누출물을 검출하고 그리고 적당하게 경고하는 아마도 소리를 발생하도록 이용될 수 있다. 그후에, 상부 누출물 검출기(196, 200, 204, 208, 212)는 관련 밸브 박스(33, 34, 36, 38)를 자동적으로 분리하는 기능을 한다. T자형 박스(30)의 경우에, 높은 레벨 누출물은 제어된 분배 유닛(2)을 차단시킨다.

밸브 매니폴드 박스 시스템(1) 네트워크의 기능을 수행하는 상이한 많은 제어 시스템이 가능하다. 예를 들면, 누출물 검출기(198, 202, 206, 210)에 반응하는 제어기는 누출물을 감지함에 따라서 관련 분리 밸브(31, 32, 40, 42, 44, 46, 48, 50, 52)를 간단히 폐쇄하여 기능을 수행한다. 관련 밸브 매니폴드(12, 14, 16, 18)와 분배 밸브, 예를 들면 분배 밸브(88, 90, 92, 94)의 제어는 개별적으로 제어된다.

바람직하게 그리고 도 3을 참조하면, 밸브(12, 14, 16, 18)의 각각은 제어기, 예를 들면 밸브 매니폴드(12)용 제어기(214)와 밸브 매니폴드(14)용 제어기(216)를 구비한다. 제어기(214, 216)의 각각은 미국 캘리포니아주 94394 팔로 알토 미란다 애비뉴 4015에 소재하는 "Eshelon"가 제조 판매하는 입수가능한 "LONWORKS(등록상표)"인 인터페이스 모듈을 포함하는 집적 회로인 것이 바람직하다.

제어기(214, 216)는 커넥터(218, 220, 224, 226)[제어기(214)용] 및 커넥터(228, 230, 232, 234)[제어기(216)용]에 의해 도시하지 않은 반도체 처리 기구 또는 다른 사용 지점에 전기적으로 접속된다. 관련 기구로부터의 화학약품의 수요에 따라서, 전기 커넥터(236, 238, 239, 240, 242, 244, 246, 248)는 밸브 매니폴드(12)의 원격 작동되는 분배 밸브(88, 90, 92, 94) 또는 밸브 매니폴드(14)의 원격 작동되는 분배 밸브(112, 114, 116, 118)를 적절하게 개폐하기 위한 전기 신호 경로로서 작용한다.

또한, 제어기(214, 216)는 커넥터(250)에 의해 제어기(214, 216) 사이에서 이동하는 핸드셰이크 신호를 간섭 및 생성한다. 예를 들면 누출물 검출기(198)에 의해 누출물이 감지되는 경우에, 신호는 커넥터(252)를 따라 제어기(214)에 의해 공장 제어 조정 시스템으로 송신된다. 또한, 다른 상황은 기구와 관련되어 디스플레이될 수 있다. 예를 들면, 컨덕터(218, 220, 224, 226)에 의해 송신된 임펄스는 고저 감지에 의해서 화학약품이 필요한 경우에 분배하는 기구가 분배를 실행하게 하도록 제공될 수 있다. 예를 들면 누출물 검출기(198)에 의해 누출물이 검출된 경우에, 암모니아는 공장 제어 조정 시스템에 의해 공급된다. 이러한 암모니아는 기구를 간단히 차단시키는 통상 실시 대신에 문제를 사람이 판단할 수 있게 한다. 그러나, 누출물 검출기(200)에 의해 누출물이 감지된다면, 라인(258, 280)에 의해 신호가 송신되어 분리 밸브(40, 42)를 작동시킨다. 동시에, 인접한 분리 밸브(44)는 커넥터(250)를 통해서 송신된 신호에 의해서 제어기(216)에 의해 폐쇄된 위치를 취하도록 작동된다. 또한, 제어기(214)는 다른 바로 인접한 분리 밸브(31)를 차단하도록 커넥터(262)에 의해 T자형 박스(30)와 결합된 제어기에 연결되어 있다. 커넥터(252)에 의해 알람이 공장 제어 조정 시스템으로 송신된다.

또한, 레벨 검출기(202, 204)는 커넥터(266, 268)에 의해 제어기(216)에 연결되어 있다. 커넥터(270)는 커넥터(252)와 동일한 방법으로 기능하도록 커넥터 제어 조정 시스템의 제어기에 연결되어 있다. 더욱이, 분리 밸브(44, 46)는 라인(265, 272)을 따라서 전송되는 임펄스에 의해 제어된다. 커넥터(274)는 밸브 매니폴드(18)와 결합된 유사한 제어기에 연결되어 있다.

또한, 제어 조정 시스템과 함께 제어기(214, 216)는 작동 기구의 개수를 제한하는 기능을 한다. 예를 들면, 화학약품을 수납하는 기구의 수대 분배하는데 유용한 화학약품의 양이 연속적으로 모니터된다. 많은 기구가 화학약품을 수납한다면, 화학약품이 필요한 다른 기구는 비작동 모드로 된다. 이것은 이력 데이터에 의거하여 계산된 기구로 요구물을 충전하기 위한 시간을 추적할 수 있다. 기구가 충전에 유용한 것보다 길게 취할 경우에, 알람이 발생되며, 관련 분배 밸브는 기구를 오프라인시키도록 차단될 수 있다. 다른 신호가 프로그램화될 수 있다.

본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 기술하였지만. 본 기술 분야에 숙련된 자들에게 자명한 바와 같이 본 발명의 정신 및 영역을 벗어남이 없이 많은 변경, 추가 및 생략이 이뤄질 수 있다.

밸브 매니폴드가 대향 단부에 제공되게 설계된 유체 회로를 제공함으로써, 밸브 매니폴드중 어느것을 수리할지라도 나머지 밸브 매니폴드는 화학약품을 계속 공급할 수 있으며, 밸브 매니폴드와 이중벽 도관의 잠재적인 누출이 유체 회로로부터 분리되어 나머지 밸브 매니폴드는 계속 온라인으로 유지되며, 이에 의해 기구를 정지시킬 필요가 없고 화학약품의 공급이 보다 원할하게 유지되는 효과가 있다.

Claims

밸브 매니폴드 박스 시스템에 있어서,

화학약품을 다수의 사용 지점으로 분배하기 위한 적어도 하나의 분배 유닛과,

상기 화학약품을 다수의 사용 지점으로 공급하기 위해 이중벽 도관에 의해 직렬로 연결된 밸브 매니폴드를 구비하며, 상기 밸브 매니폴드의 각각이 대향 단부에서 상기 화학약품을 공급하도록 상기 적어도 하나의 분배 유닛에 연결된 유체 회로와,

상기 밸브 매니폴드와 상기 이중벽 도관으로부터의 상기 화학약품의 누출물이 상기 밸브 박스내에 보유되도록 연결된 것으로 상기 밸브 매니폴드 및 상기 이중벽 도관을 둘러싸는 밸브 박스와,

상기 각 밸브 박스내의 상기 누출물을 검출하기 위한 누출물 검출기와,

상기 누출물이 검출되는 특정 밸브 박스내에 위치된 잠재적인 누출 밸브 매니폴드와, 또한 잠재적인 누출이 발생할 것으로 상기 매니폴드에 결합되어 인접한 이중벽 도관이 상기 밸브 매니폴드의 나머지로부터 분리될 수 있도록 상기 이중벽 도관의 단부에 그리고 상기 밸브 매니폴드의 단부에 위치된 분리 밸브와,

상기 누출물 검출기에 반응하고 그리고 상기 분리 밸브를 제어하도록 구성되어, 상기 밸브 박스의 각각내에서 누출물을 검출할 시에 상기 분리 밸브는 상기 실행된 밸브 매니폴드 및 이에 결합된 인접한 이중 벽 도관을 분리하여 상기 화학약품이 상기 밸브 매니폴드의 나머지와 그에 따라 사용 지점으로 연속적으로 공급될 수 있도록 하는 제어 시스템을 포함하는

밸브 매니폴드 박스 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 매니폴드 박스의 각각은 2개의 상이한 높이로 설정된 상기 누출물 검출기를 2개 구비하며, 상기 제어 시스템은 누출물이 2개의 누출물 검출기중 낮은 것에 의해 검출된 경우에 알람을 발생하고 그리고 누출물이 2개의 누출물 검출기중 높은 것에 의해 검출된 경우에 상기 실행된 밸브 매니폴드 및 이에 결합된 인접한 이중 벽 도관을 분리하도록 상기 분리 밸브를 제어하도록 구성되어 있는

밸브 매니폴드 박스 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 유체 회로는 루프로 배열되며, 상기 적어도 하나의 분배 유닛중 하나는 상기 루프에 연결되어 있는

밸브 매니폴드 박스 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 유체 회로는 대향 단부가 상기 유체 회로에 연결된 상기 적어도 하나의 분배 유닛을 2개 구비하고 있는

밸브 매니폴드 박스 시스템.
제 2 항에 있어서,

상기 유체 회로는 루프로 배열되며, 상기 적어도 하나의 분배 유닛중 하나는 상기 루프에 연결되어 있는

밸브 매니폴드 박스 시스템.
제 2 항에 있어서,

상기 유체 회로는 대향 단부가 상기 유체 회로에 연결된 상기 적어도 하나의 분배 유닛을 2개 구비하고 있는

밸브 매니폴드 박스 시스템.
다수의 사용 지점까지 화학약품을 분배하기 위한 방법에 있어서,

상기 밸브 매니폴드의 각각이 대향 단부에서 화학약품을 공급하도록 이중벽 도관에 의해 직렬로 연결된 밸브 매니폴드를 구비하는 유체 회로내로 상기 화학약품을 공급하는 단계로서, 상기 밸브 매니폴드는 밸브 박스에 의해 둘러싸여 있고, 상기 이중벽 도관은 상기 밸브 매니폴드와 상기 이중벽 도관으로부터의 상기 화학약품의 누출물이 상기 박스내에 수납되도록 상기 밸브 박스에 연결되어 있는, 상기 화학약품 공급 단계와,

상기 밸브 박스내의 상기 화학약품의 상기 누출물을 검출하는 단계와,

상기 누출물 검출시에, 상기 누출물이 검출되는 특정 밸브 박스내에 위치된 잠재적인 누출 밸브 매니폴드와, 또한 잠재적인 누출이 발생할 것으로 상기 매니폴드에 결합되어 인접한 이중벽 도관이 상기 밸브 매니폴드의 나머지로부터 분리되게 하여, 상기 화학약품이 상기 밸브 매니폴드의 나머지로 그리고 그에 따라 사용 지점으로 공급될 수 있게 하는 단계를 포함하는

화학약품 분배 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 유체 회로는 루프형 구성이며, 상기 유체 회로내에 위치된 접합부를 갖고 있는

화학약품 분배 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 유체 회로는 대향 단부를 갖고 있고, 상기 화학약품은 상기 유체 회로의 상기 대향 단부로 공급되는

화학약품 분배 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 누출물의 낮은 액체 레벨 및 높은 액체 레벨은 상기 밸브 박스내에서 또한 검출되며,

상기 누출물이 상기 낮은 액체 레벨로 검출될 때 알람이 작동되며, 상기 누출물이 상기 높은 액체 레벨로 검출될 때 상기 실행된 밸브 매니폴드와 이와 결합된 인접한 이중벽 도관이 분리되는

화학약품 분배 방법.