KR20150081934A - 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스 - Google Patents

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스 Download PDF

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Abstract

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스가 개시된다.
개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스는 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조하기 위한 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 공급되는 가스가 유동되는 가스 관이 관통되는 박스 케이스; 및 상기 박스 케이스를 관통하는 상기 가스 관 내의 가스 압력을 감지하는 압력 감지 센서와, 상기 압력 감지 센서에 의해 감지되는 상기 가스의 압력을 요구되는 압력으로 제어 유지시키는 레귤레이터(regulator)가 결합되고, 상기 박스 케이스 내부의 상기 가스 관에 연결되는 통합 가스 공급 유닛(integrated gas supply unit);을 포함한다.
개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스에 의하면, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스가 박스 케이스와 통합 가스 공급 유닛을 포함함에 따라, 각 가스 관의 제어를 위한 부재들의 개별 설치로 인해 발생되는 다수의 리크 포인트가 최소화될 수 있어서 가스 누설 위험이 감소될 수 있고, 정전 또는 누설 사고 발생 시 자동으로 밸브가 차단될 수 있게 되며, 각 가스 관의 제어를 위한 부재들의 개별 설치의 경우에 비해 그 설치를 위한 공간이 최소화될 수 있고, 원격지에서 신속한 제어가 가능하며, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스 자체가 브이엠비(valve manifold box)를 대체하여 각 가스를 각 장비로 분배시켜주는 분배기 기능도 수행할 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스{Gas interface box for semiconductor and display manufacturing facilities}
본 발명은 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스는 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조하기 위한 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 공급되는 소스 가스, 퍼지 가스 등의 가스가 유동되는 가스 관이 관통되는 것이다.
이러한 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스가 적용된 예로 아래의 등록특허들이 제시될 수 있다.
그러나, 종래의 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스에 의하면, 가스 인터페이스 박스에서 밸브와 가스 관을 연결하는 부분이 피팅(fitting)으로 결합되는 구조로 이루어져 있어서, 리크 포인트(leak point)가 많아, 피팅의 헐거워짐 등으로 인해 가스 누설 사고가 발생될 수 있는 위험이 있었다.
또한, 종래의 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스에 의하면, 단순히 가스 관에 작업자가 수동으로 조작하여야 하는 매뉴얼 밸브가 설치된 형태여서, 화재 또는 가스 누설 사고 발생시 그러한 가스 관이 차단될 때까지 많은 시간이 소요되는 단점이 있었다.
등록특허 제 10-0726381호, 등록일자: 2007.06.01., 발명의 명칭: 반도체 처리용 가스 분배 장치 등록특허 제 10-0378497호, 등록일자: 2003.03.19., 발명의 명칭: 처리기용 가스 분배 시스템 및 반도체 기판의 처리 방법
본 발명은 가스 누설이 될 수 있는 리크 포인트가 최소화되고, 정전 또는 누설 사고 발생 시 자동으로 밸브가 차단될 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스는 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조하기 위한 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 공급되는 가스가 유동되는 가스 관이 관통되는 박스 케이스; 및 상기 박스 케이스를 관통하는 상기 가스 관 내의 가스 압력을 감지하는 압력 감지 센서와, 상기 압력 감지 센서에 의해 감지되는 상기 가스의 압력을 요구되는 압력으로 제어 유지시키는 레귤레이터(regulator)가 결합되고, 상기 박스 케이스 내부의 상기 가스 관에 연결되는 통합 가스 공급 유닛(integrated gas supply unit);을 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스에 의하면, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스가 박스 케이스와 통합 가스 공급 유닛을 포함함에 따라, 각 가스 관의 제어를 위한 부재들의 개별 설치로 인해 발생되는 다수의 리크 포인트가 최소화될 수 있어서 가스 누설 위험이 감소될 수 있고, 정전 또는 누설 사고 발생 시 자동으로 밸브가 차단될 수 있게 되며, 각 가스 관의 제어를 위한 부재들의 개별 설치의 경우에 비해 그 설치를 위한 공간이 최소화될 수 있고, 원격지에서 신속한 제어가 가능하며, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스 자체가 브이엠비(valve manifold box)를 대체하여 각 가스를 각 장비로 분배시켜주는 분배기 기능도 수행할 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스를 위에서 비스듬하게 내려다 본 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스를 위에서 내려다 본 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스를 위에서 비스듬하게 내려다 본 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스를 위에서 내려다 본 도면이다.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스(100)는 박스 케이스(110)와, 통합 가스 공급 유닛(140)을 포함한다.
상기 박스 케이스(110)는 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조하기 위한 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 공급되는 가스가 유동되는 가스 관이 관통되는 것이다.
도면 번호 111은 상기 박스 케이스(110) 내부를 식히는 등 공기 유동을 위한 배기구이다.
상기 통합 가스 공급 유닛(140)(integrated gas supply unit)은 압력 감지 센서(141)와 레귤레이터(142)(regulator)가 결합되고, 상기 박스 케이스(110) 내부의 상기 가스 관에 연결되는 것이다.
상기 박스 케이스(110)에 복수 개의 상기 가스 관이 관통되는 경우, 상기 통합 가스 공급 유닛(140)은 상기 각 가스 관 상에 각각 개별적으로 연결되어, 상기 각 가스 관을 제어하게 된다.
상기 통합 가스 공급 유닛(140)은 상기 압력 감지 센서(141)와 상기 레귤레이터(142)가 결합된 상태로 블럭화되어 상기 가스 관에 블럭 자체로 연결되고, 상기 통합 가스 공급 유닛(140)과 상기 가스 관의 유입부(135)와 유출부(130, 131)의 각 연결부는 용접으로 밀폐된다.
상기 압력 감지 센서(141)는 상기 박스 케이스(110)를 관통하는 상기 가스 관 내의 가스 압력을 감지하는 것이다.
상기 레귤레이터(142)는 상기 압력 감지 센서(141)에 의해 감지되는 상기 가스의 압력을 요구되는 압력으로 제어 유지시키는 것이다. 예를 들어, 상기 압력 감지 센서(141)에 의해 감지되는 상기 가스의 압력이 요구되는 압력과 차이가 나는 경우, 상기 레귤레이터(142)는 상기 가스 관에 대한 차단 명령을 내리고, 상기 차단 명령을 받은 후술되는 차단 밸브 부재(144)가 상기 가스 관을 차단하게 된다.
상기 레귤레이터(142)는 원격지에 위치한 원격 제어부(미도시)와 연결되어, 정전, 화재 등 비상 시 상기 원격 제어부에서 내려지는 차단 신호에 의해서도 작동되어, 상기 차단 밸브 부재(144)가 상기 가스 관을 차단하도록 할 수 있다.
상기 차단 밸브 부재(144)는 상기 통합 가스 공급 유닛(140)에 결합된 상태로 상기 가스 관에 연결되어, 상기 가스 관을 차단시킬 수 있는 것이다. 상기 압력 감지 센서(141)에 의해 감지되는 상기 가스의 압력이 요구되는 압력과 다른 이상 시의 경우 상기 레귤레이터(142)의 차단 명령에 따라 상기 차단 밸브 부재(144)가 상기 가스 관을 차단하게 된다.
상기 차단 밸브 부재(144)는 상기 가스 관을 개폐(on/off)시킬 수 있는 일반적인 차단 밸브와, 상기 차단 밸브가 개폐되도록 작동시킬 수 있는 동작 수단으로 구성되고, 상기 동작 수단으로는 본원의 출원인이 이미 실용신안등록 제 20-0469867호로 등록받은 장치에 적용되는 에어 실린더들이 적용될 수 있다. 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 위에서 제시된 실용신안등록 제 20-0469867호의 에어 실린더들에 대한 기재사항으로부터 상기 차단 밸브 부재(144)에 대하여 이해할 수 있을 것이므로, 위에서 제시된 실용신안등록 제 20-0469867호의 해당 기재사항으로 갈음하고, 여기서는 그 구체적인 도시 및 설명에 대하여는 생략하기로 한다.
상기 압력 감지 센서(141), 상기 레귤레이터(142) 및 상기 차단 밸브 부재(144)는 상기 통합 가스 공급 유닛(140)에 착탈 가능하게 결합되어, 교체 등이 용이하게 이루어질 수 있다.
상기 박스 케이스(110) 표면에는 상기 박스 케이스(110)를 관통하는 상기 가스 관을 통한 가스의 정상적인 유동 여부를 표시하는 표시 램프(120)가 설치된다. 상기 표시 램프(120)는 상기 각 레귤레이터(142)에서 신호를 받아 정상 또는 비정상 표시를 하게 된다.
상기 박스 케이스(110)에는 복수 개의 상기 가스 관이 관통되고, 복수 개의 상기 가스 관에는 각각 상기 통합 가스 공급 유닛(140)이 개별적으로 연결되며, 복수 개의 상기 가스 관 중 서로 이웃하는 가스 관에서 상기 박스 케이스(110)에서 유출되는 각 부분은 상기 각 가스 관과 상기 각 통합 가스 공급 유닛(140)의 연결을 위한 용접을 위하여 서로 다른 높이로 형성될 수 있다.
예를 들어, 복수 개의 상기 가스 관 중 하나인 제 1 가스 관(131)은 상기 제 1 가스 관(131)에 연결된 해당 통합 가스 공급 유닛(140)에서 곧게 뻗은 형태를 이루고, 상기 제 1 가스 관(131)에 이웃한 제 2 가스 관(130)은 상기 제 2 가스 관(130)에 연결된 해당 통합 가스 공급 유닛(140)에서 유출되는 쪽에서 상방으로 꺽인 다음 일정 높이에서 상기 제 1 가스 관(131)과 평행하게 다시 꺽인 형태로 이루어질 수 있다.
상기와 같이 구성되면, 서로 이웃하는 상기 각 가스 관 사이에 일정한 공간이 형성될 수 있어서, 그 공간을 통해 상기 각 가스 관과 상기 각 통합 가스 공급 유닛(140)의 용접을 위한 도구 및 작업자의 손 등이 용이하게 접근될 수 있다.
상기와 같이, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스(100)가 상기 박스 케이스(110)와 상기 통합 가스 공급 유닛(140)을 포함함에 따라, 상기 각 가스 관의 제어를 위한 부재들의 개별 설치로 인해 발생되는 다수의 리크 포인트가 최소화될 수 있어서 가스 누설 위험이 감소될 수 있고, 정전 또는 누설 사고 발생 시 자동으로 밸브가 차단될 수 있게 되며, 상기 각 가스 관의 제어를 위한 부재들의 개별 설치의 경우에 비해 그 설치를 위한 공간이 최소화될 수 있고, 원격지에서 신속한 제어가 가능하며, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스(100) 자체가 브이엠비(valve manifold box)를 대체하여 각 가스를 각 장비로 분배시켜주는 분배기 기능도 수행할 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스에 의하면, 가스 누설이 될 수 있는 리크 포인트가 최소화되고, 정전 또는 누설 사고 발생 시 자동으로 밸브가 차단될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
110 : 박스 케이스 120 : 표시 램프
140 : 통합 가스 공급 유닛 141 : 압력 감지 센서
142 : 레귤레이터 144 : 차단 밸브 부재

Claims (5)

  1. 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조하기 위한 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 공급되는 가스가 유동되는 가스 관이 관통되는 박스 케이스; 및
    상기 박스 케이스를 관통하는 상기 가스 관 내의 가스 압력을 감지하는 압력 감지 센서와, 상기 압력 감지 센서에 의해 감지되는 상기 가스의 압력을 요구되는 압력으로 제어 유지시키는 레귤레이터(regulator)가 결합되고, 상기 박스 케이스 내부의 상기 가스 관에 연결되는 통합 가스 공급 유닛(integrated gas supply unit);을 포함하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 통합 가스 공급 유닛에는 상기 압력 감지 센서에 의해 감지되는 상기 가스의 압력이 요구되는 압력과 다른 이상 시의 경우 상기 레귤레이터의 명령에 따라 상기 가스 관을 차단할 수 있는 차단 밸브가 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 압력 감지 센서, 상기 레귤레이터 및 상기 차단 밸브는 상기 통합 가스 공급 유닛에 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 박스 케이스 표면에는 상기 박스 케이스를 관통하는 상기 가스 관을 통한 가스의 정상적인 유동 여부를 표시하는 표시 램프가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 박스 케이스에는 복수 개의 상기 가스 관이 관통되고, 복수 개의 상기 가스 관에는 각각 상기 통합 가스 공급 유닛이 개별적으로 연결되며, 복수 개의 상기 가스 관 중 서로 이웃하는 가스 관에서 상기 박스 케이스에서 유출되는 각 부분은 상기 각 가스 관과 상기 각 통합 가스 공급 유닛의 연결을 위한 용접을 위하여 서로 다른 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스.
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KR20220015930A (ko) * 2020-07-31 2022-02-08 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 기판 처리 장치
KR20230013574A (ko) * 2021-07-19 2023-01-26 주식회사 제이토탈솔루션 반도체 전용 안전하고 편리한 특별 공급 시스템 박스

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