KR20000033115A - 음극선관용 노광장치 - Google Patents

Abstract

목적 : 훼이스 패널에서 새도우마스크를 독립시켜 공정 내내 고정된 상태에서 작업이 이루어지도록 하고, 수은등에 의한 도우밍 현상으로 인해 발생되었던 랜딩 에러 등을 제거하여 정밀한 노광작업을 가능케 하는 음극선관용 노광장치를 제공하는 것이 목적이다.

구성 : 본 발명은 훼이스 패널(30)을 향해 자외선이 조사되도록 노광대(22)의 하부에 다수의 수은등으로 된 광원부(28)가 배치되고, 수은등에서 조사되는 광을 차단하는 광차단막(34)이 일정한 간격으로 코팅되는 마스터 필터(24)가 광원부(28)와 훼이스 패널(30)의 사이에 배치되며, 마스터 필터(24)와 광원부(28)의 사이에 확산필터(26)가 설치되는 구조를 제안한다.

효과 : 노광공정이 진행되는 동안 마스터 필터가 훼이스 패널과 분리된 채 작업이 이루어져서 착탈과정에서 새도우마스크와 프레임의 변형으로 인한 랜딩 에러를 미연에 방지하고, 자외선이 확산필터를 거쳐 마스터 필터에 수직으로 입사됨으로 자외선이 마스터 필터에 의해 주어진 경로대로 이동하여 정확한 폭의 형광막이 형성되며, 미스 랜딩이 발생되면 마스터 필터의 광차단막을 적절하게 이동하여 자외선의 경로를 조절하게 됨으로 정밀한 노광작업을 획득할 수 있게 되었다.

Description

음극선관용 노광장치

본 발명은 음극선관용 노광장치에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는 훼이스 패널의 적,녹,청색의 형광체 형태를 정밀하게 노광시킬 수 있는 노광장치에 관한 것이다.

일반적으로 노광장치는 음극선관의 내면에 블랙매트릭스 및 적,녹,청색의 형광체를 도포하여 스크린을 형성하기 위한 것으로, 훼이스 패널의 세로 방향으로 길게 노광이 이루어지도록 하는 스트라이프형과 도트 형상으로 노광이 이루어지는 도트형 노광장치가 알려져 있다.

여기서, 스트라이프형 혹은 도트형 공히 노광장치는 도 3에 도시한 바와 같이 새도우마스크(2)가 장착된 훼이스 패널(4)을 노광대(6)의 상부 개구에 배치하고, 노광대(6)의 하부에 훼이스 패널(4)을 향해 자외선을 조사하는 광원부(8)가 설치되며, 광원부(8)와 새도우마스크(2)의 사이에 보정렌즈(10)와 필터(12)가 배치됨으로써 광원부(8)로부터 조사된 빛을 굴절ㆍ확산 및 차등 조절하는 것이다.

그러나, 이러한 종래 공지된 노광장치는 블랙매트릭스와 형광체를 형성하는 과정에서 훼이스 패널과 새도우마스크가 장착된 마스크 프레임 사이의 반복되는 착탈로 인하여, 착탈시 새도우마스크가 장착된 마스크프레임과 새도우마스크의 변형에 의한 랜딩 에러가 발생할 수가 있다.

또한, 노광공정에서 자외선을 조사하는 수은등의 온도에 의한 새도우마스크의 도우밍현상으로 역시 랜딩 에러가 발생되곤 한다.

아울러, 노광시 새도우마스크 곡률과 필터 투과율 사이의 불일치로 인한 막얼룩현상 및 형광체 벗어남 등의 문제점이 발생하는 것이다.

이와 같은 문제점들을 해결하기 위해 안출된 본 발명은 훼이스 패널에서 새도우마스크를 독립시켜 공정 내내 고정된 상태에서 작업이 이루어지도록 하고, 수은등에 의한 도우밍 현상으로 인해 발생되었던 랜딩 에러 등을 제거하여 정밀한 노광작업을 가능케 하는 음극선관용 노광장치를 제공하는 것이 목적이다.

이러한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 훼이스 패널을 향해 자외선이 조사되도록 노광대의 하부에 다수의 수은등으로 된 광원부가 배치되고, 수은등에서 조사되는 광을 차단하는 광차단막이 일정한 간격으로 코팅되는 마스터 필터가 광원부와 훼이스 패널의 사이에 배치되며, 마스터 필터와 광원부의 사이에 확산필터가 설치되는 구조를 제안한다.

도 1은 본 발명에 따른 노광장치의 전체구조를 개략적으로 도시한 측면도,

도 2는 본 발명에 따른 노광장치의 마스터 필터를 개략적으로 도시한 측면도,

도 3은 종래 공지된 노광장치의 전체구조를 개략적으로 측면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

22 : 노광대 24 : 마스터 필터

26 : 확산필터 28 : 광원부

30 : 훼이스 패널 34 : 광차단막

36 : 필터

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다. 도 1에서는 노광장치의 전체구조를 측면에서 개략적으로 나타내고 있다.

도면에서 알 수 있듯이, 노광장치는 상면에 개구부(20)가 형성되어지는 노광대(22)와, 이 노광대(22)의 개구부(20)에 설치되는 마스터 필터(24)와, 그 하부로 확산필터(26)와 광원부(28)가 순서대로 배치되어진다.

상기 노광대(22)의 상면에는 훼이스 패널(30)을 고정시키기 위한 고정부(32)가 설치되며, 개구부(20)에는 마스터 필터(20)가 착탈 가능하도록 장착된다.

마스터 필터(24)는 훼이스 패널(30)의 내측면에 블랙매트릭스와 적,녹,청색의 형광체를 형성하기 위한 것으로써, 도 2에 도시한 바와 같이 자외선이 투과할 수 있는 투명한 재질의 석영으로 제조되며 형태는 평평한 플레이트이고, 일면에는 광차단막(34)을 스트라이프 형태로 일렬로 코팅하여 자외선이 통과되지 못하며 광차단막(34) 사이의 투과라인에는 적,녹,청색의 자외선을 선택적으로 투과시키게 필터(36)가 배열된다.

이어서, 마스터 필터(24)의 하방에 배치되는 확산필터(26)는 후술하는 광원부(28)에서 조사되는 자외선이 난반사될 수 있도록 불규칙적인 표면을 가지며, 확산필터(26)에서 난반사되어 확산된 자외선은 상술한 마스터 필터(24)의 전체로 균일하게 입사되어진다.

상기 광원부(28)는 본 발명의 한 특징에 따라, 자외선을 방출하는 다수의 수은등으로 구성되어지며, 이 수은등을 정위치에 고정시키기 위해 수은등에 대응되는 개수로 형성되는 관통구(38)가 수은등의 전면과 밀착되는 것이다.

이렇게 구성되는 노광장치에서 노광을 위한 S치 이동은 광원부(28)가 이동하며 노광하는 종래의 방식을 채택하며, 마스터 필터(24)의 필터(36)를 따라 광원부(28)가 쉐이킹하게 된다.

이에 따라, 광원부(28)에서 확산필터(26)로 입사된 자외선은 난반사되어 확산이 이루어지고 마스터 필터(24)로 균일하게 수직으로 입사된 다음 필터(26)를 통과하여 훼이스 패널(30)에 도포된 형광막을 노광시키게 되는 것이다.

이와 같이 본 발명에 따른 노광장치는 종래의 새도우마스크가 패널에 부착된 상태에서 노광작업이 이루어지는 것이 아니라 분리된 상태에서 노광이 이루어진다.

특히, 마스터 필터(24)는 평판이기 때문에 종래와 같이 새도우마스크 곡률과 필터투과율의 불일치로 인한 막얼룩 및 형광체 벗어남의 문제점을 해결할 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 실시예는 종래의 문제점을 실질적으로 해소하고 있다.

즉, 훼이스 패널에 형광막을 형성하는 과정에서 새도우마스크가 장착된 마스크 프레임을 반복해서 착탈하는 과정을 거치지 않고, 노광공정이 진행되는 동안 마스터 필터가 훼이스 패널과 분리된 채 작업이 이루어지기 때문에 착탈과정에서 새도우마스크와 프레임의 변형으로 인한 랜딩 에러를 미연에 방지하게 된다.

또한, 광원부를 출발한 자외선이 확산필터를 거쳐 마스터 필터에 수직으로 입사되기 때문에 자외선이 마스터 필터에 의해 주어진 경로대로 이동하므로 정확한 폭의 형광막 형성이 가능해졌다.

아울러, 미스 랜딩이 발생되면 마스터 필터의 광차단막을 적절하게 이동하여 자외선의 경로를 조절하게 됨으로 정밀한 노광작업을 획득할 수 있게 되었다.

Claims (1)

1. 노광대로 얹혀진 훼이스 패널의 내측면에 적,녹,청색의 형광체가 패터닝되도록 하는 음극선관용 노광장치에 있어서,

   상기 훼이스 패널(30)을 향해 자외선이 조사되도록 상기 노광대(22)의 하부에 다수의 수은등으로 된 광원부(28)가 배치되고, 상기 수은등에서 조사되는 광을 차단하는 광차단막(34)이 일정한 간격으로 코팅되는 마스터 필터(24)가 상기 광원부(28)와 훼이스 패널(30)의 사이에 배치되며, 상기 마스터 필터(24)와 광원부(28)의 사이에 확산필터(26)가 설치되는 것을 특징으로 하는 음극선관용 노광장치.