KR20000025562A

KR20000025562A - Method for repairing color filter board

Info

Publication number: KR20000025562A
Application number: KR1019980042702A
Authority: KR
Inventors: 노수귀
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-10-13
Filing date: 1998-10-13
Publication date: 2000-05-06

Abstract

PURPOSE: A method is provided to repair a color pattern to reduce an error rate of a color filter board by using a photoresist exposed by the ultraviolet ray. CONSTITUTION: A colored photoresist having a photosensitive property by the ultra violet raysis partially applied on a pixel opening(12) with a predetermined thickness. An exposure to white light is carried out, then a color pattern is formed on a color filter board though a black matrix is formed on the color filter board. The colored photoresist which is not formed on an area of pixel openings(12) is all removed since that portions, which covered by the black matrix(11) or other color patterns(13, 14), is not exposed to the light or the ultra violet rays.

Description

Repair method of color filter board

이 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면, 컬러 패턴(color pattern)이 제거되는 불량을 수리(repair)하기 위한 컬러 필터의 수리 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a method for repairing a color filter for repairing a defect in which a color pattern is removed.

일반적으로 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터 기판과, 상기 박막 트랜지스터 기판과 마주 보는 컬러 필터 기판과, 상기 기판 사이에 주입되는 액정 물질을 포함하는 장치로써, 내부에 삽입되는 액정 물질의 전기적인 광학적 효과를 이용한 표시 장치이다.Generally, a liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate, a color filter substrate facing the thin film transistor substrate, and a liquid crystal material injected between the substrates, and uses an electrical optical effect of the liquid crystal material inserted therein. It is a display device.

그로 인해 게이트 선과 데이터 선을 통해 해당 구동 신호와 화상 신호를 출력하여 각 화소의 동작 상태를 결정하므로 원하는 화상을 표시한다.Therefore, the operation state of each pixel is determined by outputting the corresponding drive signal and the image signal through the gate line and the data line, thereby displaying a desired image.

박막 트랜지스터 기판과 마주보며 장착되는 컬러 필터 기판에는 각 적(R), 녹(G), 청(B) 화소에 대응되게 적, 녹, 청의 컬러 필터가 각각 형성되어 있다.Red, green, and blue color filters are formed on the color filter substrate facing the thin film transistor substrate so as to correspond to the red (R), green (G), and blue (B) pixels, respectively.

이와 같이, 각 화소에 대응되게 형성되는 적, 녹, 청의 컬러 필터를 제조하기 위해, 일반적으로 네거티브 포토 레지스트를 이용한다.As such, in order to manufacture red, green, and blue color filters formed corresponding to each pixel, a negative photoresist is generally used.

그로 인해, 각 해당하는 포토 레지스트를 코팅한 후 환경성 미립자(particle)나 마스크를 이용하여 원하는 컬러 패턴을 형성할 때, 빛에 노광된 부분이 컬러 패턴으로 형성된다.Therefore, after coating each corresponding photoresist, when forming a desired color pattern using environmental particle | grains or a mask, the part exposed to light is formed in a color pattern.

그러나, 환경성 미립자나 마스크가 불량일 경우, 원하는 컬러 패턴이 형성되지 않아 해당 컬러 필터 기판을 불량 처리된다.However, when the environmental fine particles or the mask is defective, the desired color pattern is not formed and the color filter substrate is poorly processed.

도 1a 및 도 1b에 컬러 패턴 불량을 도시한다.1A and 1B show color pattern defects.

도 1a는 컬러 패턴이 형성되지 않아 불량이 발생한 컬러 필터 기판의 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 A-A'부를 절개할 때 표시되는 단면도이다.FIG. 1A is a plan view of a color filter substrate in which a defect occurs because a color pattern is not formed, and FIG. 1B is a cross-sectional view displayed when cutting the line AA ′ of FIG. 1A.

도 1a 및 도 1b에 도시한 바와 같이 컬러 필터 기판(1)은, 기판(10) 위에 화소 개구부(12)가 형성된 블랙 매트릭스(11)가 형성되고, 블랙 매트릭스(11)의 화소 개구부(12)가 형성된 부분에 중첩되도록 세로 방향으로 길게 적, 녹, 청의 컬러 패턴(13-15)이 각각 형성된다.As shown in FIGS. 1A and 1B, the color filter substrate 1 includes a black matrix 11 having pixel openings 12 formed on the substrate 10, and the pixel openings 12 of the black matrix 11. Red, green, and blue color patterns 13-15 are formed in the longitudinal direction so as to overlap with the formed portions.

이와 같은 구성으로 형성되는 컬러 필터 기판(1)에 환경성 미립자나 마스크 불량이 발생하면, 도 1a 및 도 1b에 도시한 바와 같이, 해당 컬러 패턴(15)이 정상적으로 형성되지 않고, 컬러 패턴(15)이 벗겨지거나 형성되지 않아 해당 화소 개구부(12)가 드러나는 현상이 발생한다. 그로 인해, 제조 원가가 높은 컬러 필터 기판의 불량율이 증가하고 제조 원가가 높아지는 문제가 발생한다.When environmental particulates or mask defects occur in the color filter substrate 1 formed in such a configuration, as shown in FIGS. 1A and 1B, the color pattern 15 is not normally formed, and the color pattern 15 is formed. The peeling or not forming may cause the corresponding pixel opening 12 to be exposed. Therefore, a problem arises in that the defective rate of the color filter substrate having high manufacturing cost increases and the manufacturing cost increases.

그러므로 이 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 액정 표시 장치의 컬러 필터 기판 제조시 컬러 패턴에 발생하는 불량을 수리하여, 제조시 불량율을 감소시키기 위한 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to reduce the defect rate during manufacturing by repairing the defects occurring in the color pattern during the manufacturing of the color filter substrate of the liquid crystal display device.

도 1a는 컬러 패턴이 형성되지 않아 불량이 발생한 컬러 필터 기판의 평면도이고,1A is a plan view of a color filter substrate in which a defect occurs because a color pattern is not formed;

도 1b는 도 1a의 A-A'부를 절개할 때 표시되는 단면도이고,FIG. 1B is a cross-sectional view displayed when the A-A 'portion of FIG.

도 2a는 이 발명의 실시예에 따라 컬러 레지스트가 발라진 컬러 필터 기판의 평면도이고,2A is a plan view of a color filter substrate coated with color resist in accordance with an embodiment of the present invention;

도 2b는 이 발명의 실시예에 따라 수리된 컬러 필터 기판의 평면도이고,2B is a top view of a color filter substrate repaired according to an embodiment of this invention,

도 2c는 도 2b의 B-B'부를 절개할 때 표시되는 단면도이다.FIG. 2C is a cross-sectional view displayed when the BB ′ section of FIG. 2B is cut.

이러한 과제를 해결하기 위하여 이 발명에서는In order to solve this problem,

패턴 에러가 발생하는 화소 개구부 위에 국부적으로 자외선에 대해 감광 특성을 갖는 컬러 레지스트를 국부적으로 바르고, 백 노광을 실행한다.Locally apply a color resist having photosensitivity to ultraviolet light on the pixel opening where a pattern error occurs, and perform back exposure.

바람직하게, 컬러 레지스트는 네거티브 타입이고, 설정 두께를 갖는다.Preferably, the color resist is of negative type and has a set thickness.

그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 이 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 컬러 패턴 수리 방법에 대하여 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 종래의 기술과 동일한 구조로 이루어져 같은 동작을 실행하는 부분은 종래 기술의 부호와 동일한 부호를 부여한다.Then, with respect to the color pattern repair method of the color filter substrate according to an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings the most preferred that can be easily carried out by those of ordinary skill in the art Embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Parts having the same structure as those of the prior art and performing the same operation are given the same symbols as those of the prior art.

도 2a는 이 발명의 실시예에 따라 컬러 레지스트가 발라진 컬러 필터 기판의 평면도이고, 도 2b는 이 발명의 실시예에 따라 수리된 컬러 필터 기판의 평면도이고, 도 2c는 도 2b의 B-B'부를 절개할 때 표시되는 단면도이다.FIG. 2A is a plan view of a color filter substrate coated with color resist in accordance with an embodiment of the present invention, FIG. 2B is a plan view of a color filter substrate repaired in accordance with an embodiment of the present invention, and FIG. 2C is BB ′ of FIG. 2B. It is a cross-sectional view displayed when making an incision.

도 1a와 같은 구성으로 컬러 필터 기판(1)이 형성될 때, 컬러 패턴(15)에 패턴 에러가 발생하면, 도 2a에 도시한 바와 같이 컬러 패턴(15)의 패턴 에러가 발생한 부분에 해당 컬러 패턴의 컬러 레지스트(21)를 떨어뜨린 후, 스피닝(spinning) 방식을 이용하여 패턴 에러를 모두 도포할 수 있고 일정한 해당 두께를 가질 수 있도록 컬러 레지스트(21)의 두께를 조절한다.If the pattern error occurs in the color pattern 15 when the color filter substrate 1 is formed with the configuration as shown in FIG. 1A, the corresponding color is applied to the portion where the pattern error of the color pattern 15 occurs as shown in FIG. 2A. After the color resist 21 of the pattern is dropped, the thickness of the color resist 21 is adjusted so that all of the pattern errors can be applied using a spinning method and have a predetermined corresponding thickness.

그로 인해, 정상적으로 형성된 컬러 패턴(13-15)과의 색도를 맞출 수 있도록 한다.Therefore, chromaticity with the normally formed color pattern 13-15 can be matched.

이 때, 사용되는 컬러 레지스트(21)는 네거티브 타입의 포토 레지스트이며 동시에 자외선에 의해서만 감광 특성이 이루어질 수 있는 감광 물질이다.At this time, the color resist 21 used is a negative type photoresist and at the same time a photosensitive material which can be made photosensitive only by ultraviolet light.

스피닝 동작에 의해, 설정 두께로 컬러 레지스트(21)의 도포 상태가 조절되면, 백 노출을 실행한다.When the application state of the color resist 21 is adjusted to the set thickness by the spinning operation, back exposure is performed.

이 때, 컬러 필터 기판(1)에 블랙 매트릭스(11)가 도포되어 있지만 화소 개구부(12)가 형성되어 있으므로, 화소 개구부(12)를 통해 빛이 컬러 레지스트(21)로 도달한다.At this time, the black matrix 11 is applied to the color filter substrate 1, but the pixel opening 12 is formed, so that light reaches the color resist 21 through the pixel opening 12.

그로 인해, 화소 개구부(12)에 도포되어 화소 개구부(12)를 통해 자외선에 노광된 컬러 레지스트(21)는 도 2b에 도시한 바와 같이 컬러 패턴(151)이 형성된다.Therefore, the color resist 21 applied to the pixel opening 12 and exposed to ultraviolet rays through the pixel opening 12 forms a color pattern 151 as shown in FIG. 2B.

그러나, 블랙 매트릭스(11)에 의해 차단된 부분이나 다른 컬러 패턴(13,14)에 의해 가려진 부분은 빛에 노광되지 않거나 또는 이미 형성된 다른 컬러 패턴(13,14)에 의해 자외선이 차단되므로, 화소 개구부(12) 영역에 형성되지 않는 컬러 레지스트(21)는 모두 제거된다.However, the part blocked by the black matrix 11 or the part covered by the other color patterns 13 and 14 is not exposed to light or the ultraviolet rays are blocked by the other color patterns 13 and 14 already formed. All color resists 21 not formed in the opening 12 region are removed.

따라서 도 2b의 B-B'부를 절개한 단면도인 도 2c에 도시한 바와 같이, 패턴 결합이 발생한 부위에 새로운 해당 컬러 패턴(151)이 형성되어 패턴 이상 부위가 정상적으로 수리된다.Therefore, as shown in FIG. 2C, which is a cross-sectional view taken along the line B-B ′ of FIG. 2B, a new corresponding color pattern 151 is formed on a portion where pattern coupling occurs, thereby repairing a pattern abnormal portion normally.

이와 같이 동작하는 이 발명의 효과는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 컬러 패턴에 패턴 에러가 발생할 경우 정상적으로 해당 컬러 패턴을 수리할 수 있으므로, 컬러 필터 기판의 에러율을 감소시킬 수 있다.The effect of the present invention operating as described above can normally repair the color pattern when a pattern error occurs in the color pattern of the color filter substrate for the liquid crystal display device, thereby reducing the error rate of the color filter substrate.

또한, 자외선에 의해 반응하는 감광 물질을 이용하므로, 주변의 다른 컬러 패턴에 영향을 미치지 않고 정확하게 수리를 실행할 수 있고, 별도의 제작 공정이 필요없는 효과가 발생한다.In addition, since the photosensitive material reacts with ultraviolet rays, the repair can be performed accurately without affecting other color patterns in the surroundings, and an effect that does not require a separate manufacturing process occurs.

Claims

In the method of repairing the formed color pattern when the color pattern is formed on the color filter substrate to which the black matrix having the pixel openings is formed is applied,

Locally applying a color resist having a set thickness on the pixel openings and having a photosensitive characteristic to ultraviolet rays;

And performing a back exposure.

The method of claim 1,

And the color resist is of a negative type.