JP3142900B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents

Manufacturing method of color filter

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JP3142900B2 JP20233991A JP20233991A JP3142900B2 JP 3142900 B2 JP3142900 B2 JP 3142900B2 JP 20233991 A JP20233991 A JP 20233991A JP 20233991 A JP20233991 A JP 20233991A JP 3142900 B2 JP3142900 B2 JP 3142900B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
方法に関するものであり、さらに詳しくはモノクローム
型の液晶表示素子と組み合わせることによりカラー表示
を可能とすることができる赤、青、緑の3原色のドット
マトリクスあるいは所定のパターン形状を有するカラー
フィルター部とこの3原色間を埋める黒色の遮光性層か
らなる液晶表示素子用のカラーフィルターの製造方法に
関するものである。
The present invention relates to is a method of manufacturing a color filter, red detail further can enable color display by combining a monochrome liquid crystal display device of the blue, green 3 The present invention relates to a method for manufacturing a color filter for a liquid crystal display device comprising a dot matrix of a primary color or a color filter portion having a predetermined pattern shape and a black light-shielding layer filling between the three primary colors.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示素子はその薄さ、軽さ、低消費
電力などの特徴から従来表示装置の主流を占めてきたC
RT(陰極線管)に代わり得るものとして近年目覚まし
い発展を示しているが、この表示素子をカラー化し、よ
りCRTに近い表示性能を得るために欠くことができな
いものがカラーフィルターであり、これまでに様々な材
料や方式が提案されてきている。
2. Description of the Related Art Liquid crystal display elements have been the mainstream of conventional display devices because of their features such as thinness, lightness and low power consumption.
In recent years, remarkable developments have been shown as an alternative to an RT (cathode ray tube), but a color filter is indispensable to colorize this display element and obtain a display performance closer to a CRT. Various materials and methods have been proposed.

【0003】その代表例はゼラチンなどの天然高分子の
薄膜を染料により染色して得られる染色カラーフィルタ
ーであり、これまでの液晶方式の小型カラーテレビなど
に用いられてきている。この染色カラーフィルターは透
過率、色度の点で優れているものであったが、近年液晶
表示素子の大型化が進むに及んで幾つかの欠点が指摘さ
れている。
A typical example thereof is a dyed color filter obtained by dyeing a thin film of a natural polymer such as gelatin with a dye, and has been used in a small liquid crystal type color television and the like. Although this dyed color filter was excellent in terms of transmittance and chromaticity, several drawbacks have been pointed out as the size of liquid crystal display elements has been increasing in recent years.

【0004】すなわち、大面積にわたる色度の均一性の
不足、工程の複雑さからくるコスト高、あるいは染料を
用いることによる耐熱性や耐候性の不足等である。
That is, there is a lack of uniformity of chromaticity over a large area, a high cost due to the complexity of the process, and a lack of heat resistance and weather resistance due to the use of a dye.

【0005】こうした欠点を補うものとして、近年、色
素として顔料を用い、これを感光性樹脂の中にあらかじ
め分散させた、いわゆる顔料分散法が注目されている。
顔料分散法によるカラーフィルターの製造は一般に次の
工程により行われている。
In order to make up for these disadvantages, in recent years, a so-called pigment dispersion method in which a pigment is used as a pigment and the pigment is dispersed in a photosensitive resin in advance has been receiving attention.
The production of a color filter by a pigment dispersion method is generally performed by the following steps.

【0006】まずガラス、プラスチック等の透明基板に
ブラックマトリクスと呼ばれる遮光層を形成する。この
遮光層はTFT方式の液晶素子にいてはトランジスタ
の特性の保持あるいはコントラストの低下防止のために
設けられるもので、通常遮光性に優れたクロム薄膜によ
り形成される。
First, a light-shielding layer called a black matrix is formed on a transparent substrate such as glass or plastic. The light-shielding layer is In its contact to the liquid crystal element of the TFT type is provided in order to hold or preventing deterioration in the contrast of the characteristics of the transistors are formed by high chromium thin film to the normal light-shielding.

【0007】またSTN方式の液晶素子に代表される単
純マトリクス駆動にいては、もともとこれらの素子の
コントラストがTFT方式に比べて低いことや、低コス
ト化の追求のために、ブラックマトリクスは省略された
り、あるいは3原色の重ね合わせにより形成されるのが
通常であり、必ずしも高い遮光性を与えることは行われ
ていない。
[0007] Contact simple matrix driving represented by a liquid crystal element of the STN mode information, originally or lower than the contrast TFT type of these devices, due to the pursuit of low cost, black matrix is omitted Usually, they are formed by superposition of three primary colors, and high light-shielding properties are not always provided.

【0008】次に顔料と感光性樹脂とを含む着色レジス
トを塗布し、さらにこの着色レジスト層に重ねて酸素遮
断膜としてPVA(ポリビニルアルコール)層を塗布し
た後、所定のパターン形状のフォトマスクを介して露光
を行い、その後現像により未露光部分を除去してカラー
パターンを形成する。この操作をさらに別の色で2回繰
り返し3原色のカラーフィルターを形成している。
Next, a colored resist containing a pigment and a photosensitive resin is applied, and a PVA (polyvinyl alcohol) layer is applied as an oxygen barrier film on the colored resist layer. Then, an unexposed portion is removed by development to form a color pattern. This operation is repeated twice with another color to form a color filter of three primary colors.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】こうして形成されたカ
ラーフィルターを用いてカラー液晶素子を作成する場合
に生じる問題点の一つにカラーフィルターのピンホール
や異物の存在が挙げられる。
One of the problems that arises when a color liquid crystal element is produced using the color filter thus formed is the presence of pinholes or foreign matter in the color filter.

【0010】中でもカラーフィルターのピンホールは液
晶素子の光漏れとなり表示外観を著しく損なう原因とな
るため、これをなくすことはカラーフィルター製造の重
要なポイントである。本発明の課題は、生産性良く厚膜
でも充分に硬化した良好なブラックマトリクスを形成す
るとともに、カラーフィルター中のピンホールを遮光し
て表示品位を向上させることである。
[0010] Above all, pinholes of the color filter cause light leakage of the liquid crystal element and cause significant deterioration of the display appearance. Therefore, eliminating the pinhole is an important point in the production of the color filter. The object of the present invention is to provide a thick film with good productivity.
But it forms a well-cured good black matrix
And shield the pinholes in the color filter from light.
To improve the display quality.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明はこうした点に鑑
みて行われたものであり、透明基板上に所定のパターン
のカラーフィルターを形成する工程と、該カラーフィル
ター上のほぼ全面に光硬化性の遮光性被膜形成用液を塗
布して遮光性被膜形成用液層を形成する工程と、該遮光
性被膜形成用液層を露光する工程を有するカラーフィル
ターの製造方法において、該遮光性被膜形成用液層を露
光する工程が、該遮光性被膜形成用液層を、その上方か
らパターン化して露光する工程及び透明基板の反対側か
ら基板のほぼ全面を露光する工程を同時に又は順次行
い、遮光性被膜により形成されるブラックマトリクスパ
ターンを、カラーフィルターが決める間隙よりもやや幅
広くなるように形成する工程であることを特徴とするカ
ラーフィルターの製造方法を提供する。また、透明基板
上に所定のパターンのカラーフィルターを形成する工程
と、該カラーフィルター上のほぼ全面に光硬化性の遮光
性被膜形成用液を塗布して遮光性被膜形成用液層を形成
する工程と、該遮光性被膜形成用液層を露光する工程を
有するカラーフィルターの製造方法において、該遮光性
被膜形成用液層を露光する工程が、該遮光性被膜形成用
液層を、その上方からパターン化されたフォトマスクを
用いて露光する工程及び透明基板の反対側から基板のほ
ぼ全面を露光する工程を同時に又は順次行うことによ
り、カラーフィルターが決める間隙よりもやや幅広い
ラックマトリクスパターンを形成するとともに、カラー
フィルター中のピンホールを黒欠陥に変える工程である
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法を提供す
る。つまりカラーフィルター中のピンホールを除去する
ことにより高品質のカラー表示を可能としたものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and includes a step of forming a color filter having a predetermined pattern on a transparent substrate, and a step of forming a photo-curing layer on substantially the entire surface of the color filter. Forming a liquid layer for forming a light-shielding film by applying a liquid for forming a light-shielding film, and a step of exposing the liquid layer for forming a light-shielding film. In the step of exposing the liquid layer for forming, the step of patterning and exposing the liquid layer for forming a light-shielding film from above and the step of exposing substantially the entire surface of the substrate from the side opposite to the transparent substrate are performed simultaneously or sequentially.
Black matrix
Turn is slightly wider than the gap determined by the color filter
A method for producing a color filter is provided, which is a step of forming the color filter to be wider . Further, a step of forming a color filter having a predetermined pattern on the transparent substrate and forming a light-shielding film forming liquid layer by applying a photocurable light-shielding film forming liquid over substantially the entire surface of the color filter. In the method for producing a color filter, comprising the steps of: exposing the light-shielding film-forming liquid layer, exposing the light-shielding film-forming liquid layer; And a step of exposing substantially the entire surface of the substrate from the opposite side of the transparent substrate, simultaneously or sequentially, so that the width is slightly wider than the gap determined by the color filter. and forming a black matrix pattern, provides a method for producing a color filter according to claim <br/> step is a step of changing the pin hole in the color filter black defect I do. That is, high quality color display is enabled by removing pinholes in the color filter.

【0012】また、本発明のもう一つの目的は赤、青、
緑の各色のカラーフィルターの相互の位置精度と形状を
正確に規定し、これにより液晶表示素子の各画素の光漏
れや開口率の低下をくすることを可能としたものであ
る。
Another object of the present invention is to provide red, blue,
Green mutual positional accuracy and shape of each color filter of precisely defined, thereby is obtained by enabling Kusuru that such a reduction in light leakage and the aperture ratio of each pixel of the liquid crystal display device.

【0013】以下に、本発明の内容をさらに詳しく説明
する。
[0013] In the following, it will be described in detail the content of the present invention in further.

【0014】本発明によるカラーフィルターの製造は次
のように行われる。まず、ガラス基板上に着色レジスト
液を塗布し、さらにこの上にPVAなどの酸素遮断膜
を塗布する。次に、フォトマスクを介して露光を行い、
着色レジストを所定の形状にパターニングする。
The production of the color filter according to the present invention is performed as follows. First, the colored resist liquid on a glass substrate was coated, applying the oxygen barrier film such as PVA film on this further. Next, exposure is performed through a photomask,
The colored resist is patterned into a predetermined shape.

【0015】こうして第1番目のカラーパターンを形成
した後、同じ操作を繰り返し第2、第3番目のカラーフ
ィルターパターンを形成する。ここで形成されたカラー
フィルターパターンはストライプ、デルタ、モザイクの
いずれの場合にも露光時に使用した装置の性能、あるい
は現像条件からくる、ある程度の形状や位置精度上の誤
差を伴っている。この誤差は使用する材料の種類の差に
よっても生じることがあり、3色の全てのパターンを所
定の形状、位置に形成することは困難な作業である。
After forming the first color pattern in this way, the same operation is repeated to form the second and third color filter patterns. The color filter pattern formed here has a certain degree of shape and positional error due to the performance of the apparatus used at the time of exposure or development conditions in any of the stripe, delta, and mosaic cases. This error may also be caused by a difference in the type of material used, and it is difficult to form all three color patterns in a predetermined shape and position.

【0016】次いで、このカラーフィルター上に黒色に
着色されたレジストなどの遮光性被膜形成用液を塗布す
る。そして、塗布面側からパターン化されたフォトマス
クを介して露光すると同時に反対のガラス面からも、こ
ちらの方はフォトマスクを介さずに、ほぼ全面に露光を
行う。この後、現像を行うことにより所定のブラックマ
トリクスパターンが形成され、液晶表示素子の表示電極
間がブラックマトリクスで覆われた、コントラストの高
い表示を可能とするカラーフィルター基板が形成され
る。ここで塗布面からのフォトマスクを介しての露光
は、所定のブラックマトリクスパターンがカラーフィル
ターの形状や位置精度とは無関係に形成されるように、
カラーフィルターが決める間隙よりもやや幅広く形成さ
れる。
Next, a liquid for forming a light-shielding film such as a resist colored black is applied on the color filter. Then, exposure is performed from the application surface side through a patterned photomask, and at the same time, exposure is performed almost entirely from the opposite glass surface, without passing through the photomask. Thereafter, by performing development, a predetermined black matrix pattern is formed, and a color filter substrate that enables high-contrast display in which the gap between display electrodes of the liquid crystal display element is covered with the black matrix is formed. Here, the exposure through the photomask from the application surface is performed so that a predetermined black matrix pattern is formed irrespective of the shape and position accuracy of the color filter.
It is formed slightly wider than the gap determined by the color filter.

【0017】また、同時に行われるガラス基板側からの
ほぼ全面にわたる露光はカラーフィルターが決める間隙
部分とカラーフィルターの中に生じたピンホール部分に
選択的に行われ、カラーフィルターの上に重なっている
部分の黒色レジストには、十分な光量が届かない。こう
して、この後の現像により、ブラックマトリクスパター
ンが所定の形状に形成されるとともに、カラーフィルタ
ー中に生じたピンホール部分にもブラック層が形成さ
れ、ピンホール部分は修復されてしまう。このようにし
て、カラーフィルター中の欠陥のうちピンホールによる
ものは除去され、カラー液晶表示素子に良好な外観を与
えることができる。同時に、ブラックマトリクスで囲ま
れた部分には3原色が正確に配置される。
[0017] Simultaneously, exposure over substantially the entire surface from the glass substrate side is selectively performed on a gap portion determined by the color filter and a pinhole portion formed in the color filter, and overlaps the color filter. Not enough light reaches the part of the black resist. Thus, the development of subsequent, to together the black matrix pattern is formed into a predetermined shape, black layer is formed in the pinhole portions that occur in the color filter, a pinhole portion would be repaired. In this manner, of the defects in the color filter, those caused by pinholes are removed, and a good appearance can be given to the color liquid crystal display device. At the same time, the three primary colors are accurately arranged in the portion surrounded by the black matrix.

【0018】遮光性被膜形成用液は紫外線等の光で硬化
する材料であって、硬化後に遮光性を有するものであれ
ば何でもい。カーボンなどの黒色顔料を混入した光レ
ジストや、その他光硬化性樹脂が好ましく用いられる。
The light-shielding film-forming liquid is a material that is cured by light such as ultraviolet rays, have good anything as long as it has a light blocking property after curing. A photo resist mixed with a black pigment such as carbon or a photo-curable resin is preferably used.

【0019】パターン化して露光する方法は、フォトマ
スクを介して行うものが最も簡単で好ましいが、光ビー
ム走査によるものなど、他の方法によってもい。
The method of patterned exposure is preferably the easiest to perform through a photomask, such as by light beam scanning, but it may also in other ways.

【0020】透明基板の反対側から露光する際は、基板
のほぼ全面について行う。具体的にはカラーフィルター
を液晶表示素子に組み込んだ場合に有効な表示領域に相
当する部分について行えばい。
When exposing from the opposite side of the transparent substrate, exposure is performed on almost the entire surface of the substrate. More specifically, it not good is carried out for the portion corresponding to the effective display area in the case of incorporating a color filter in the liquid crystal display element.

【0021】[0021]

【実施例】以下図面に従って説明する。図1は本発明工
程の1例を示す断面図である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. FIG. 1 is a sectional view showing one example of the process of the present invention.

【0022】実施例1 一方の面を研磨し平坦にしたガラス基板1を洗浄、乾燥
し、赤色顔料を分散させたカラーレジストを塗布、乾燥
したのちさらに酸素遮断膜としてのPVAを塗布乾燥
し、続いて露光、現像を行いフォトリソグラフィー法に
よりストライプパターンを形成した。ここで得られた赤
パターンの膜厚はおよそ2μであった。次に同様の
方法で緑パターン、青パターンをそれぞれ約2μ
の厚さに形成し、3原色のパターンを得た。これらのパ
ターンはこのカラーフィルター基板を用いて得られるカ
ラー液晶表示素子の表示パターンよりも約520μ
寸法を大きく作成した。こうして作成したカラーフィル
ターにはある割合で直径が10100μ程度のピン
ホールが含まれていた(図1(a))。
Example 1 A glass substrate 1 having one surface polished and flattened was washed and dried, and a color resist in which a red pigment was dispersed was applied and dried, and then a PVA film as an oxygen barrier film was applied and dried. Subsequently, exposure and development were performed to form a stripe pattern by photolithography. The film thickness of the red pattern R obtained here was approximately 2.mu. m. Green pattern G and then at a similar manner, about each blue pattern B 2.mu. m
And a pattern of three primary colors was obtained. These patterns about 5 ~ 20 [mu] m than the display pattern of the color liquid crystal display device obtained by using the color filter substrate
The dimensions were made larger. Thus the diameter at a certain ratio to the color filter created contained a pinhole 6 of about 10 ~ 100μ m (Figure 1 (a)).

【0023】次に、こうして得たカラーフィルターの上
に黒色レジスト2を塗布、乾燥し、PVA膜3をさらに
塗布乾燥する(図1(b))。
Next, a black resist 2 is applied on the color filter thus obtained, dried, and a PVA film 3 is further applied and dried (FIG. 1B).

【0024】またこの基板の露光に際しては塗布面側か
らは既に形成されている3原色相互の間隙部分を完全に
覆うようにパターンの位置合わせをされたパターンを有
するフォトマスク4を介した第の露光及びこれに続い
て裏面のガラス基板側から基板全面に第の露光を行っ
た(図1(c))。この基板を露光、現像し膜厚1.3
μ、線幅約30μのブラックマトリクス5を得た
(図1(d))。この第1の露光により黒色レジストは
マトリクス状にパターニングされているが、前記ピンホ
ール部分に対応した所には、フォトマスクにより遮られ
るために有効に紫外光が照射されていない。続く第
露光により基板の裏面から紫外光が照射されるとカラー
フィルターの欠落した部分であるピンホールび赤、
青、緑の各カラーフィルターの間隙には紫外光が照射さ
れこれらの部分は硬化する。
[0024] The first through the photomask 4 having a pattern already aligned pattern so as to completely cover the three primary mutual gap portion being formed from the coating surface side during exposure of the substrate Then, a second exposure was performed on the entire surface of the substrate from the back side of the glass substrate (FIG. 1C). The substrate is exposed and developed to a film thickness of 1.3.
give mu m, the black matrix 5 of the line width of about 30.mu. m (FIG. 1 (d)). Although the black resist is patterned in a matrix by the first exposure, a portion corresponding to the pinhole is not effectively irradiated with ultraviolet light because it is blocked by a photomask. Pinhole beauty red second ultraviolet light from the back surface of the substrate by the exposure is missing part of the irradiated color filter followed,
Ultraviolet light is applied to the gap between the blue and green color filters, and these portions are cured.

【0025】こうして、カラーフィルター中のピンホー
ル部分には黒色レジストが残り、いわゆる「白欠陥」が
「黒欠陥」に変えられ、液晶表示素子の表示品位に影響
の大きいものから影響の少ない欠陥への転換が行われ
た。また。この第の露光により黒色レジストのガラス
面に接する部分の硬化が進むため、カラーフィルター間
隙部分の黒色レジストは上下両面からの紫外光照射が行
われ、1.3μと比較的厚膜であるにもかかわらず、
良好な膜が形成できた。こうして、ブラックマトリクス
部分の透過率が1%以下の良好なカラーフィルター基板
を得た。
As described above, the black resist remains in the pinhole portion in the color filter, and the so-called "white defect" is changed to "black defect", and the defect having a large influence on the display quality of the liquid crystal display element is changed to a defect having a small influence. The conversion was made. Also. Since the curing of the portion in contact with the glass surface of the second black resist by exposure proceeds, black resist of the color filter over between <br/> gap portion is made ultraviolet light irradiation from the upper and lower surfaces, and 1.3Myu m Despite being relatively thick,
A good film could be formed. Thus, a good color filter substrate having a transmittance of the black matrix portion of 1% or less was obtained.

【0026】実施例2 実施例1と同様のカラーフィルター基板の作成におい
て、黒色レジストの露光に用いる露光装置を両面露光が
可能な装置を用いて、第と第の露光を同時に行っ
た。結果は、実施例1と同様であり、ピンホール部分は
完全に修復された。
Example 2 For producing a color filter substrate similar to that of Example 1,Hey
The exposure equipment used to expose the black resist
Using a possible device,1And the second2Exposure at the same time
Was. The results are the same as in Example 1, except that the pinhole portion is
Completely restored.

【0027】実施例3 実施例1において、カラーレジストび黒色レジストの
上に形成したPVAの代わりに露光時にフォトマスク
と基板との間に窒素ガスを通じ露光を行ったところ、P
VA酸素遮断膜を用いた場合と同様の結果を得た。
[0027] In Example 3 Example 1 was subjected to exposure through the nitrogen gas between the photomask and the substrate during exposure instead of the PVA film formed on the color resist beauty black resist, P
The same result as that obtained when the VA oxygen barrier film was used was obtained.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明によればピンホールの目立たない
カラーフィルターが得られる。また、赤、青、緑の各色
のカラーフィルターの相互の位置精度と形状を正確に規
定し、液晶表示素子の各画素の光漏れや開口率の低下を
くすることができる。
According to the present invention, a color filter with less noticeable pinholes can be obtained. Also, the mutual positional accuracy and shape of the red, blue, and green color filters are accurately specified to prevent light leakage and decrease in the aperture ratio of each pixel of the liquid crystal display element.
It can be such Kusuru.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例を示す断面図FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 黒色レジスト 3 PVA膜 4 フォトマスク 5 ブラックマトリクス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Black resist 3 PVA film 4 Photomask 5 Black matrix

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 5/20 - 5/28 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02B 5/20-5/28

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】透明基板上に所定のパターンのカラーフィ
ルターを形成する工程と、該カラーフィルター上のほぼ
全面に光硬化性の遮光性被膜形成用液を塗布して遮光性
被膜形成用液層を形成する工程と、該遮光性被膜形成用
液層を露光する工程を有するカラーフィルターの製造方
法において、該遮光性被膜形成用液層を露光する工程
が、該遮光性被膜形成用液層を、その上方からパターン
化して露光する工程及び透明基板の反対側から基板のほ
ぼ全面を露光する工程を同時に又は順次行い、遮光性被
膜により形成されるブラックマトリクスパターンを、カ
ラーフィルターが決める間隙よりもやや幅広くなるよう
に形成する工程であることを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法。
1. A step of forming a color filter having a predetermined pattern on a transparent substrate, and applying a photocurable light-shielding film forming liquid to substantially the entire surface of the color filter to form a light-shielding film forming liquid layer. Forming a light-shielding film forming liquid layer, and exposing the light-shielding film forming liquid layer to the light-shielding film forming liquid layer. , have at the same time or sequentially rows exposing substantially the entire substrate from the opposite side of the step and the transparent substrate to be exposed by patterning from above, the light-shielding property to be
The black matrix pattern formed by the film is
Is slightly wider than the gap determined by the color filter
A process for producing a color filter.
【請求項2】透明基板上に所定のパターンのカラーフィ
ルターを形成する工程と、該カラーフィルター上のほぼ
全面に光硬化性の遮光性被膜形成用液を塗布して遮光性
被膜形成用液層を形成する工程と、該遮光性被膜形成用
液層を露光する工程を有するカラーフィルターの製造方
法において、該遮光性被膜形成用液層を露光する工程
が、該遮光性被膜形成用液層を、その上方からパターン
化されたフォトマスクを用いて露光する工程及び透明基
板の反対側から基板のほぼ全面を露光する工程を同時に
又は順次行うことにより、カラーフィルターが決める間
隙よりもやや幅広いブラックマトリクスパターンを形成
するとともに、カラーフィルター中のピンホールを黒欠
陥に変える工程であることを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法。
2. A step of forming a color filter having a predetermined pattern on a transparent substrate, and applying a light-curable light-shielding film forming liquid to substantially the entire surface of the color filter to form a light-shielding film forming liquid layer. Forming a light-shielding film forming liquid layer, and exposing the light-shielding film forming liquid layer to the light-shielding film forming liquid layer. The step of exposing using a photomask patterned from above and the step of exposing almost the entire surface of the substrate from the opposite side of the transparent substrate are performed simultaneously or sequentially, so that the color filter is determined.
To form a somewhat wide black matrix pattern than chance, a method for manufacturing a color filter which is a process of changing the pin hole in the color filter black defect.
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