KR20000021275A - 반도체 제조 장비로의 가스 공급을 위한 가스 실린더 캐비넷 - Google Patents

반도체 제조 장비로의 가스 공급을 위한 가스 실린더 캐비넷 Download PDF

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KR20000021275A
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박병섭
박춘호
유병주
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윤종용
삼성전자 주식회사
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

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Abstract

본 발명의 가스 실린더 캐비넷은 반도체 제조 장비들로 가스를 공급하기 위한 것으로서, 주 전원 공급 장치와, 주 전원 공급 장치에 에러가 발생하는 경우에 전원을 계속 공급하는 보조 전원 공급 장치, 및 주 전원 공급 장치와 보조 전원 공급 장치 사이를 스위칭하는 스위칭 수단을 포함한다. 본 발명에 의하면, 주 전원 공급 장치에 에러가 발생된 경우에 보조 전원 공급 장치로 계속 전원을 공급 할 수 있으므로, 가스 공급 중단에 의한 웨이퍼 손상을 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조 장비로의 가스 공급을 위한 가스 실린더 캐비넷
본 발명은 반도체 제조에 사용되는 장비에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조 장비로 가스를 공급하는 가스 실린더 캐비넷(Gas Cylinder Cabinet)에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 사용되는 가스 실린더 캐비넷은 다른 반도체 제조용 설비, 예컨대 식각 설비 등으로 가스를 공급하는데 이용된다. 일반적으로 한 대의 가스 실린더 캐비넷에 복수개의 반도체 제조용 설비들이 연결되어 있다. 따라서, 가스 실린더 캐비넷에 에러가 발생하는 경우에 이 가스 실린더 캐비넷으로부터 가스를 공급받는 복수개의 반도체 제조용 설비들 및 이 설비들 내에서 처리중인 반도체 장치가 손상될 수 있다.
도 1은 가스 실린더 캐비넷과 반도체 제조 장비의 연결을 나타내 보인 도면이다. 도시된 바와 같이, 한 대의 가스 실린더 캐비넷(10)에 여러 대의 반도체 제조용 설비들(11a 내지 11f)이 연결되어 있다. 각 반도체 제조용 설비는 150매 정도의 웨이퍼를 처리할 수 있는 용량을 갖고 있으며, 가스 실린더 캐비넷(10)으로부터 반도체 제조 공정에 필요한 가스들을 공급받는다.
그런데, 반도체 제조용 설비(11a 내지 11f)들이 가스 실린더 캐비넷(10)으로부터 가스를 공급받으면서 반도체 제조 공정을 수행하는 도중에, 가스 실린더 캐비넷(10)에 에러가 발생되어 가스 공급이 갑자기 중단되면 각 반도체 제조용 설비(11a 내지 11f) 내에서 처리중인 웨이퍼들이 손상될 수 있다. 일반적으로 가스 실린더 캐비넷(10)의 에러는 여러 가지 원인으로 인하여 발생될 수 있지만, 가스 실린더 캐비넷(10) 내의 전원 공급 장치(미도시)의 수명이 다 된 경우에도 가스 실린더 캐비넷(10)의 동작이 정지될 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 전원 공급 장치에 이상이 발생한 경우에도 가스 실린더 캐비넷의 동작이 중단되지 않는 가스 실린더 캐비넷을 제공하는 것이다.
도 1은 가스 실린더 캐비넷과 반도체 제조 장비의 연결을 나타내 보인 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 가스 실린더 캐비넷을 나타내 보인 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 실린더 캐비넷의 다른 실시예를 나타내 보인 도면이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 가스 실린더 캐비넷은, 반도체 제조 장비들로 가스를 공급하는 가스 실린더 캐비넷에 있어서, 주 전원 공급 장치; 상기 주 전원 공급 장치에 에러가 발생하는 경우에 전원을 계속 공급하는 보조 전원 공급 장치; 및 상기 주 전원 공급 장치와 보조 전원 공급 장치 사이를 스위칭하는 스위칭 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 스위칭 수단은 타이머 또는 릴레이인 것이 바람직하다.
상기 스위칭 수단은 상기 주 전원 공급 장치의 에러가 발생한 후 2초 후에 스위칭 동작을 수행하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 가스 실린더 캐비넷을 나타내 보인 도면으로서, 특히 전원 공급 장치를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 가스 실린더 캐비넷은, 주 전원 공급 장치(100), 보조 전원 공급 장치(110) 및 스위칭 수단으로서의 릴레이(120)를 포함하여 구성된다.
상기 주 전원 공급 장치(100)는 일차적으로 전원을 공급하는 장치이다. 여기서 전원은 컨트롤러로 공급되며, 전원을 공급받는 컨트롤러는 반도체 제조용 설비로의 가스 공급을 제어한다.
상기 보조 전원 공급 장치(110)는 주 전원 공급 장치(100)에 에러가 발생하거나 수명이 다 한 경우에 컨트롤러로 전원을 계속 공급하기 위한 것으로서, 주 전원 공급 장치(100)와 병렬로 연결된다.
상기 릴레이(120)는 주 전원 공급 장치(100)와 보조 전원 공급 장치(110) 사이를 스위칭한다. 스위칭 수단으로서 릴레이(120) 대신에 타이머를 사용할 수도 있다. 릴레이(120)의 접점 중에서 a 접점은 주 전원 공급 장치(100)와 컨트롤러를 연결시키며, b 접점은 보조 전원 공급 장치(110)와 컨트롤러를 연결시킨다. 따라서 주 전원 공급 장치(100)에 에러가 발생한 경우에 릴레이(120)는 a 접점에서 b 접점으로 스위칭되어, 보조 전원 공급 장치(110)에서 컨트롤러로 전원이 계속 공급된다. 릴레이(120)는 주 전원 공급 장치(100)의 에러가 발생한 후 2초 후에 스위칭 동작을 수행하는 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 실린더 캐비넷의 다른 실시예를 나타내 보인 도면이다. 본 실시예는 주 전원 공급 장치가 한 대가 아니고 여러 대인 경우이다.
도 3을 참조하면, 제1 주 전원 공급 장치(200a), 제2 주 전원 공급 장치(200b) 및 제3 주 전원 공급 장치(200c)가 각각 제1 컨트롤러, 제2 컨트롤러 및 제3 컨트롤러로 전원을 공급한다. 그리고 보조 전원 공급 장치(210)가 제1, 제2 및 제3 주 전원 공급 장치(200a)(200b)(200c)와 병렬로 연결되어 있다.
한편, 스위칭 수단으로서 제1 릴레이(220a)는 제1 주 전원 공급 장치(200a)와 제1 컨트롤러 사이의 연결을 보조 전원 공급 장치(210)와 제1 컨트롤러 사이의 연결로 스위칭할 수 있고, 제2 릴레이(220b)는 제2 주 전원 공급 장치(200b)와 제2 컨트롤러 사이의 연결을 보조 전원 공급 장치(210)와 제2 컨트롤러 사이의 연결로 스위칭할 수 있으며, 그리고 제3 릴레이(220c)는 제3 주 전원 공급 장치(200c)와 제3 컨트롤러 사이의 연결을 보조 전원 공급 장치(210)와 제3 컨트롤러 사이의 연결로 스위칭할 수 있다.
따라서 제1, 제2 및 제3 주 전원 공급 장치(200a)(200b)(200c) 중 어느 하나가 에러가 발생된 경우에 보조 전원 공급 장치(210)를 통해 컨트롤러로 계속 전원을 공급할 수 있으므로 반도체 제조용 설비로 계속 가스를 공급할 수 있다.
이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 가스 실린더 캐비넷에 의하면, 주 전원 공급 장치에 에러가 발생된 경우에 보조 전원 공급 장치로 계속 전원을 공급 할 수 있으므로, 가스 공급 중단에 의한 웨이퍼 손상을 방지할 수 있다.

Claims (3)

  1. 반도체 제조 장비들로 가스를 공급하는 가스 실린더 캐비넷에 있어서,
    주 전원 공급 장치;
    상기 주 전원 공급 장치에 에러가 발생하는 경우에 전원을 계속 공급하는 보조 전원 공급 장치; 및
    상기 주 전원 공급 장치와 보조 전원 공급 장치 사이를 스위칭하는 스위칭 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 캐비넷.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스위칭 수단은 타이머 또는 릴레이인 것을 특징으로 하는 가스 실린더 캐비넷.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 스위칭 수단은 상기 주 전원 공급 장치의 에러가 발생한 후 2초 후에 스위칭 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 캐비넷.
KR1019980040291A 1998-09-28 1998-09-28 반도체 제조 장비로의 가스 공급을 위한 가스 실린더 캐비넷 KR20000021275A (ko)

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