KR20000021236A - 화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서 - Google Patents

화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서 Download PDF

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Abstract

목적 : 웨이퍼의 언로딩시 그 존재 유, 무를 정확하게 센싱하여 작업 에러, 웨이퍼의 파손 및 스크래치를 방지할 수 있도록 하는 화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서를 제공함에 그 목적을 두고 있다.
구성 : 화학 기상 증착장치로 웨이퍼를 로딩하기 전에 보관하거나 언로딩된 웨이퍼를 적재 및 보관함에 있어서, 카세트 챔버(CC)의 내부에 설치되어 승강되는 카세트 테이블(6)의 상부에 다수 웨이퍼(2)가 적재된 카세트(4)를 안착하고, 카세트의 아래쪽으로부터 언로딩되는 웨이퍼를 센싱하기 위해 그 웨이퍼에 수평한 위치에 발광 및 수광부를 구비한 커플링형 매핑 센서(12)를 설치한 것이며, 그 매핑 센서에 대응하는 위치에 반사판(14)을 설치한 구성으로 되어 있다.

Description

화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서
본 발명은 화학 기상 증착(CVD)장치로 웨이퍼를 로딩하기 전에 또 언로딩된 웨이퍼를 적재하여 보관하는데 사용하는 카세트 챔버(cassette chamber)에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼의 언로딩시 그 존재 유, 무를 센싱하여 작업 에러, 웨이퍼의 파손 및 사고를 방지할 수 있도록 한 화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서에 관한 것이다.
카세트 챔버는 공정 전의 웨이퍼와 공정을 마친 후 그 웨이퍼를 보관하는 곳으로서, 화학 기상 증착 공정을 행하는 장치에 있어서는 다수개의 웨이퍼를 카세트에 적재한 상태로 보관하고, 핸들러(handler) 혹은 트랜스퍼 암(transfer arm)을 이용하여 로딩 및 언로딩하게 된다.
핸들러에 의해 화학 기상 증착장치로 로딩된 웨이퍼는 저압의 반응 챔버의 내부에 설치되어서, 화학 가스가 기판 위에서 화학 반응하고 그 부산물이 웨이퍼의 표면에 증착되는 것에 의해 막을 형성하게 된다.
도 1은 종래 공지된 것으로 화학 기상 증착장치에 사용되고 있는 카세트 챔버(CC)를 나타내고 있다. 도면에서와 같이 웨이퍼(2)는 카세트(4)에 수납, 적재된 상태로 카세트 챔버(CC) 내부의 카세트 테이블(6) 상으로 공급되어 안착되는 것이며, 도어(8)를 닫은 후 카세트 테이블(6)의 동작에 의해 수평 배열된 상태에서 매핑 센서(10)에 의해 그 매수 및 존재 상태가 인식되는 것이다.
여기서 매핑 센서(10)는 웨이퍼(2) 및 카세트(4)가 적재되지 않은 상태의 카세트 테이블(6)의 위쪽으로 설치되고, 발광부(10a)와 수광부(10b)로 구성되어서 카세트 테이블(6)의 승강 왕복운동시 웨이퍼(2)를 센싱하게 된다.
이와 같이 적재된 웨이퍼(2)는 카세트 챔버(CC)의 내부로 인입된 트랜스퍼 암에 의해 카세트(4)의 아래쪽으로부터 언로딩되어 진다.
그러나 종래의 매핑 센서(10)는 웨이퍼(2) 및 카세트(4)가 적재되지 않은 상태의 카세트 테이블(6)의 위쪽에 설치되어 있으므로, 실제적으로 웨이퍼(2)의 언로딩이 바르게 이루어지는지를 센싱하지 못하는 문제점이 있으며, 그로 인하여 언로딩시 웨이퍼(2)가 도어(8)에 걸려 파손되는 경우가 종종 발생하고 있는 실정이다.
또한 종래에는 언로딩시, 언로딩 되는 웨이퍼(2)의 센싱이 안되어 이동 에러가 발생할 수 있으며, 만일 이동 에러가 발생하더라도 이를 감지하지 못하고 트랜스퍼 암이 작동하여 웨이퍼(2)의 파손이나 스크랫치가 발생하게 되는 문제점이 있다.
앞서 설명한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 웨이퍼의 언로딩시 그 존재 유, 무를 정확하게 센싱하여 작업 에러, 웨이퍼의 파손 및 스크래치를 방지할 수 있도록 하는 화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서를 제공함에 그 목적을 두고 있다.
이를 위하여 본 발명은 화학 기상 증착장치로 웨이퍼를 로딩하기 전에 보관하거나 언로딩된 웨이퍼를 적재 및 보관함에 있어서, 카세트 챔버의 내부에 설치되어 승강되는 카세트 테이블의 상부에 다수 웨이퍼가 적재된 카세트를 안착하고, 카세트의 아래쪽으로부터 언로딩되는 웨이퍼를 센싱하기 위해 그 웨이퍼에 수평한 위치에 매핑 센서를 설치한 구성으로 이루어진다.
상기한 매핑 센서는 발광 및 수광부를 동시에 갖춘 커플링형으로 그에 대향하는 반대쪽 위치의 카세트 챔버에는 반사판이 설치된다.
도 1은 종래 공지된 화학 기상 증착장치의 카세트 챔버를 개략적으로 도시한 구성도.
도 2는 본 발명에 의한 화학 기상 증착장치의 카세트 챔버를 개략적으로 도시한 구성도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
CC-카세트 챔버 2-웨이퍼
4-카세트 6-카세트 테이블
12-매핑 센서 14-반사판
이하, 본 발명을 실현하기 위한 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 설명한다. 참고로 본 발명을 설명함에 있어 종래 기술에서 인용한 구성한 동일한 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하기로 한다.
도 2는 본 발명에 의한 화학 기상 증착장치의 카세트 챔버를 보여주고 있다.
도면에서와 같이 본 발명의 카세트 챔버(CC)는 내부에 승강 가능하게 된 카세트 테이블(6)을 보유하고 있으며, 그 카세트 테이블(6)의 상부에는 다수 웨이퍼(2)가 카세트(4)의 슬롯에 수납된 상태로 안착 및 적재된다.
이렇게 적재된 웨이퍼(2)는 그 매수 및 존재 상태가 매핑 센서(12)에 의해 감지되어, 도시하지 않은 핸들러 및 트랜스퍼 암에 의해 이후의 화학 기상 증착 공정으로 언로딩 및 공정 완료 후 다시 로딩되어 적재되는 것인 바, 본 발명에서는 카세트(4)의 아래쪽으로부터 언로딩되는 웨이퍼(2)를 정확하게 감지하여 작업 에러 및 웨이퍼의 파손을 방지하기 위해, 매핑 센서(12)의 설치 위치를 변경함과 아울러 그 위치 변경에 따른 구조를 함께 개선하고 있다.
보다 구체적으로 본 발명의 매핑 센서(12)는 카세트(4)의 아래쪽으로부터 언로딩되는 웨이퍼(2)를 센싱하기 위해 그 웨이퍼(2)와 수평한 위치에 해당하는 카세트 챔버(CC) 일 측벽에 설치하고 있다. 이에 따라 본 발명의 매핑 센서(12)는 웨이퍼(2)의 언로딩 여부를 정확하게 감지할 수 있는 것이며, 언로딩 에러시 그 시그널을 받은 제어부(도시생략)에 의해 설비의 가동이 중지되게 하여 웨이퍼(2)의 파손 및 스크래치를 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 매핑 센서(12)는 설치 위치가 아래쪽으로 이동함에 의해 발광부 및 수광부를 설치할 공간이 여의치 않음에 따라, 발광 및 수광부를 동시에 갖춘 커플링형을 이용하고, 그에 대향하는 반대쪽 위치의 카세트 챔버(CC) 측벽 혹은 도어(8)의 상부에 반사판(14)을 설치하고 있다.
이에 따라 본 발명의 웨이퍼(2)는 화학 기상 증착 공정으로 언로딩 및 공정 후 다시 로딩될 때 매핑 센서(12)에 의해 그 상태 및 존재 유, 무가 정확하게 감지되는 것이며, 그로 인하여 카세트(4)의 아래쪽에 위치한 웨이퍼(2)의 이동시 에러를 방지할 수 있고, 에러 발생시에도 설비를 중지한 후 임의의 조치를 취하여 다시 재가동함으로써, 웨이퍼(2)의 손실 및 설비 사고를 방지하면서 화학 기상 증착 공정을 실시할 수 있는 것이다.
이상에서 설명한 구성 및 작용을 통하여 알 수 있듯이, 본 발명에 의한 화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서는 웨이퍼의 언로딩 및 로딩시 그 상태 및 잔류를 정확하게 감지함으로써 종래 기술의 문제점을 실질적으로 해소하고 있다.
즉 본 발명에 의하면 웨이퍼의 언로딩 및 로딩시 정확한 센싱이 이루어지고, 핸들러 및 트랜스퍼 암에 의한 작업시 에러를 방지할 수 있으며, 그로 인하여 웨이퍼의 파손 및 스크래치 발생을 사전에 방지할 수 있다.
또한 본 발명에 의하면 웨이퍼의 로스(loss)에 의한 제조 원가의 상승을 방지할 수 있고, 작업 에러에 의한 사고를 방지할 수 있다.

Claims (1)

  1. 화학 기상 증착장치로 웨이퍼를 로딩하기 전에 보관하거나 언로딩된 웨이퍼를 적재 및 보관함에 있어서, 카세트 챔버의 내부에 설치되어서 승강하는 카세트 테이블과 그 카세트 테이블의 상부에 안착되는 카세트의 내부로 다수 적재되는 웨이퍼를 포함하고, 카세트의 아래쪽으로부터 언로딩되는 웨이퍼를 센싱하기 위해 그 웨이퍼에 수평한 위치의 카세트 챔버 측벽에 발광 및 수광부를 구비한 커플링형 매핑 센서를 설치하며, 그 매핑 센서에 대응하는 수평 위치의 카세트 챔버 측벽에 반사판을 설치한 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장치용 카세트 챔버의 웨이퍼 센서.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100728414B1 (ko) * 2000-12-01 2007-06-13 웨이퍼마스터스, 인코퍼레이티드 웨이퍼 매핑 장치 및 방법
KR20160029398A (ko) 2014-09-05 2016-03-15 주식회사 세비카 수액 정량 공급장치

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