KR20000020462A - Cassette stage of stepper for fabricating semiconductor device - Google Patents

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KR20000020462A
KR20000020462A KR1019980039074A KR19980039074A KR20000020462A KR 20000020462 A KR20000020462 A KR 20000020462A KR 1019980039074 A KR1019980039074 A KR 1019980039074A KR 19980039074 A KR19980039074 A KR 19980039074A KR 20000020462 A KR20000020462 A KR 20000020462A
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KR
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cassette
fixing
stepper
semiconductor device
cassette table
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KR1019980039074A
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박상우
김성일
이상훈
신인섭
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윤종용
삼성전자 주식회사
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    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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    • G03F7/70716—Stages

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Abstract

PURPOSE: A cassette stage is supplied to prevent the damage of wafer in the process of loading and unloading in the cassette. CONSTITUTION: A cassette stage is disclosed. the cassette stage is the connection part where cassette table where many wafers are loaded and stepper is connected with a connection means. The connection means are bolt and nut. Between the cassette stage and the stepper, a nut is fixed. The fixing bits combined with the nut. The rotational direction of the nut for combination is different from that of bits. Liquid for fixing may be coated over the combination part and stainless steel plate may be placed between the cassette table and the nut. Bolts can be used to fix the fixing bits through the hole formed in the end part of the bits.

Description

반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지Cassette stage of stepper for semiconductor device manufacturing

본 발명은 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스텝퍼로 투입될 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 안착되는 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette stage of a semiconductor device manufacturing stepper, and more particularly, to a cassette stage of a semiconductor device manufacturing stepper on which a cassette on which a plurality of wafers to be put into the stepper is placed is seated.

통상, 반도체장치 제조공정에서는 노광, 현상 및 식각공정을 수반하는 사진식각공정을 수행함으로서 웨이퍼 상에 소정의 패턴을 형성하고 있다. 상기 사진식각공정의 노광공정은 포토레지스트(Photoresist)가 도포된 웨이퍼의 소정영역에 스텝퍼(Stepper)를 사용하여 빛을 주사함으로서 빛이 주사된 포토레지스트를 화학적으로 변성시키는 공정으로서, 상기 스텝퍼로 투입될 랏(Lot)단위의 웨이퍼는 카세트(Cassette)에 적재되어 스텝퍼와 인접한 카세트 테이블 상에 위치되도록 되어 있다.In general, a semiconductor device manufacturing process forms a predetermined pattern on a wafer by performing a photolithography process involving exposure, development, and etching. The exposure process of the photolithography process is a process of chemically modifying the photoresist in which the light is scanned by scanning light using a stepper in a predetermined region of the photoresist coated wafer. Lot-to-lot wafers are loaded on cassettes and placed on a cassette table adjacent to the stepper.

도1은 종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 1 카세트 스테이지를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for explaining a first cassette stage of a stepper for manufacturing a conventional semiconductor device.

종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 1 카세트 스테이지에는 도1에 도시된 바와 같이 랏단위의 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 위치하는 카세트 테이블(10)이 설치되어 있고, 상기 카세트 테이블(10) 소정영역에는 관통홀(18)이 형성되어 있다.In the first cassette stage of the conventional stepper for manufacturing a semiconductor device, as shown in FIG. 1, a cassette table 10 is provided on which a cassette on which a plurality of wafers in a unit of a lot is placed is located, and a predetermined area of the cassette table 10 is provided. The through hole 18 is formed in this.

그리고, 상기 카세트 테이블(10) 하부에는 스텝퍼(도시되지 않음)와 연결되는 연결부(12)가 설치되어 있다. 상기 연결부(12) 소정영역에는 카세트 테이블(10)의 관통홀(18)과 연통되는 나사홈(15)이 형성되어 있다.In addition, a connection part 12 connected to a stepper (not shown) is installed below the cassette table 10. In the predetermined region of the connecting portion 12, a screw groove 15 is formed in communication with the through-hole 18 of the cassette table 10.

또한, 고정너트(16)가 쳬결된 고정비스(14)가 연결부(12)의 상기 나사홈(15)에 나사체결되고, 상기 고정비스(14)의 단부에 형성된 고정홈(21)에 고정볼트(20)가 카세트 테이블(10)의 관통홀(18)을 통해서 체결됨으로서 카세트 테이블(10) 및 연결부(12)가 서로 고정되어 있다. 상기 고정너트(16) 및 고정비스(14)의 체결방향은 오른쪽으로 일정하도록 되어 있다.In addition, a fixing screw 14 to which the fixing nut 16 is connected is screwed into the screw groove 15 of the connecting portion 12, and the fixing bolt 21 is fixed to the fixing groove 21 formed at the end of the fixing screw 14. As the cassette 20 is fastened through the through hole 18 of the cassette table 10, the cassette table 10 and the connecting portion 12 are fixed to each other. The fastening direction of the fixing nut 16 and the fixing screw 14 is fixed to the right.

그러나, 상기 종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 1 카세트 스테이지는 고정너트(16)가 연결부(12) 하부에 위치됨으로서 풀림현상이 일단 발생하면, 고정너트(16)가 연속적으로 풀어졌다. 또한, 고정너트(16) 및 고정비스(14)의 체결방향이 오른쪽으로 일정함으로서 카세트 테이블(10) 상에 위치되는 카세트의 로딩(Loading) 및 언로딩(Unloading)에 의한 진동에 의해서 카세트 테이블(10) 및 연결부(12)의 결합력이 약해져 카세트 테이블(10) 상의 카세트에 적재된 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 과정에 웨이퍼가 깨지는 문제점이 있었다.However, in the first cassette stage of the conventional stepper for manufacturing a semiconductor device, once the loosening phenomenon occurs because the fixing nut 16 is positioned below the connecting portion 12, the fixing nut 16 is continuously released. In addition, since the fastening direction of the fixing nut 16 and the fixing screw 14 is fixed to the right side, the cassette table (B) may be vibrated by vibration of loading and unloading of the cassette located on the cassette table 10. 10) and the coupling force of the connection portion 12 is weak, there is a problem that the wafer is broken during the loading and unloading process of the wafer loaded on the cassette on the cassette table 10.

도2는 종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 2 카세트 스테이지를 설명하기 위한 단면도이다.Fig. 2 is a cross-sectional view for explaining a second cassette stage of a conventional stepper for manufacturing a semiconductor device.

종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 2 카세트 스테이지에는 도2에 도시된 바와 같이 랏단위의 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 위치하는 카세트 테이블(30)이 설치되어 있다. 상기 카세트 테이블(30) 소정영역에는 관통홀(38)이 형성되어 있고, 상기 관통홀(38) 하부에 0.2 ㎜ 두께의 황동판(42)이 설치되어 있다. 상기 황동판(38)은 카세트 테이블(30)에 가해지는 충격을 완화시키는 역할을 수행하도록 설치된 것이다.In the second cassette stage of the conventional stepper for manufacturing a semiconductor device, as shown in FIG. 2, a cassette table 30 is provided on which a cassette on which a plurality of wafers in a unit of a lot is placed is located. A through hole 38 is formed in a predetermined region of the cassette table 30, and a brass plate 42 having a thickness of 0.2 mm is provided below the through hole 38. The brass plate 38 is installed to play a role of mitigating the impact applied to the cassette table 30.

그리고, 상기 카세트 테이블(30) 하부에 스텝퍼(도시되지 않음)와 연결되는 연결부(32)가 설치되어 있다. 상기 연결부(32) 소정영역에는 상기 카세트 테이블(30)의 관통홀(38)과 수직선상 일치하는 나사홈(35)이 형성되어 있다.In addition, a connection part 32 connected to a stepper (not shown) is provided below the cassette table 30. In the predetermined region of the connecting portion 32, a screw groove 35 corresponding to the through hole 38 of the cassette table 30 in a vertical line is formed.

또한, 고정너트(36)가 체결된 고정비스(34)가 연결부(32)의 나사홈(35)에 나사체결되고, 상기 고정비스(34)의 단부에 형성된 고정홈(41)에 고정볼트(40)가 카세트 테이블(30)의 관통홀(38)을 통해서 황동판(42)을 관통하여 체결됨으로서 카세트 테이블(30) 및 연결부(32)가 서로 고정되어 있다. 상기 고정너트(36) 및 고정비스(34)의 체결방향은 오른쪽으로 일정하도록 되어 있다.In addition, the fixing nut 34 to which the fixing nut 36 is fastened is screwed into the screw groove 35 of the connecting portion 32, and the fixing bolt 41 is fixed to the fixing groove 41 formed at the end of the fixing screw 34. 40 is fastened through the brass plate 42 through the through hole 38 of the cassette table 30 so that the cassette table 30 and the connecting portion 32 are fixed to each other. The fastening direction of the fixing nut 36 and the fixing screw 34 is fixed to the right.

그러나, 전술한 바와 같은 구성으로 이루어지는 종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 2 카세트 스테이지는 제 1 카세트 스테이지와 동일하게 고정너트(36)가 연결부(32) 하부에 위치됨으로서 풀림현상이 일단 발생하면, 고정너트(36)가 연속적으로 풀어졌다. 또한, 고정너트(36) 및 고정비스(34)의 체결방향이 오른쪽으로 일정함으로서 카세트 테이블(30) 상에 위치되는 카세트의 로딩 및 언로딩에 의한 진동에 의해서 카세트 테이블(30) 및 연결부(32)의 결합력이 약해져 카세트 테이블(30) 상의 카세트에 적재된 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 과정에 웨이퍼가 깨지는 문제점이 있었다However, the second cassette stage of the stepper for manufacturing a semiconductor device of the related art having the above-described configuration is fixed once the loosening phenomenon occurs because the fixing nut 36 is positioned below the connecting portion 32 in the same manner as the first cassette stage. The nut 36 was loosened continuously. In addition, since the fastening directions of the fixing nut 36 and the fixing screw 34 are fixed to the right side, the cassette table 30 and the connecting portion 32 are caused by the vibration caused by the loading and unloading of the cassette positioned on the cassette table 30. ) Has a weak bonding force, the wafer is broken during the loading and unloading process of the wafer loaded in the cassette on the cassette table 30

또한, 카세트 테이블(30) 상에 가해지는 충격을 흡수할 수 있도록 설치된 황동판(42)이 재질특성에 의해서 공정과정에 휨으로서 오히려 카세트 테이블(30)의 수평상태에 이상을 초래하여 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 과정에 웨이퍼가 깨지는 문제점이 있었다.In addition, the brass plate 42 installed to absorb the shock applied to the cassette table 30 is warped in the process due to the material characteristics, and thus causes an abnormality in the horizontal state of the cassette table 30, thereby loading the wafer and There was a problem that the wafer was broken during the unloading process.

본 발명의 목적은, 카세트 테이블 및 연결부의 결합이 약해져 웨이퍼 로딩 및 언로딩 과정에 웨이퍼의 깨짐이 발생하는 것을 방지할 수 있는 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cassette stage of a stepper for manufacturing a semiconductor device which can prevent the cracking of the wafer during the wafer loading and unloading process due to weak coupling of the cassette table and the connecting portion.

본 발명의 다른 목적은, 카세트 테이블 상에 가해지는 충격을 흡수할 수 있도록 카세트 테이블과 고정비스가 연결되는 부위에 설치된 황동판이 휨으로서 웨이퍼 로딩 및 언로딩 과정에 웨이퍼의 깨짐이 발생하는 것을 방지할 수 있는 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to prevent the occurrence of cracking of the wafer during wafer loading and unloading due to the warpage of the brass plate installed at the portion where the cassette table and the fixing screw are connected to absorb the shock applied to the cassette table. There is provided a cassette stage of a stepper for manufacturing a semiconductor device.

도1은 종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 1 카세트 스테이지를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for explaining a first cassette stage of a stepper for manufacturing a conventional semiconductor device.

도2는 종래의 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 2 카세트 스테이지를 설명하기 위한 단면도이다.Fig. 2 is a cross-sectional view for explaining a second cassette stage of a conventional stepper for manufacturing a semiconductor device.

도3은 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 1 카세트 스테이지의 일 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining an embodiment of the first cassette stage of the stepper for manufacturing a semiconductor device according to the present invention.

도4는 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 2 카세트 스테이지의 일 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.4 is a cross-sectional view for explaining an embodiment of the second cassette stage of the stepper for manufacturing a semiconductor device according to the present invention.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of symbols for main parts of drawing

10, 30, 50, 70 : 카세트 테이블 12, 32, 52, 72 : 연결부10, 30, 50, 70: cassette table 12, 32, 52, 72: connection part

14, 34, 54, 74 : 고정비스 15, 35, 55, 75 : 나사홈14, 34, 54, 74: fixed screws 15, 35, 55, 75: screw groove

16, 36, 56, 76 : 고정너트 18, 38, 58, 78 : 관통홀16, 36, 56, 76: fixing nut 18, 38, 58, 78: through hole

20, 40, 60, 80 : 고정볼트 21, 41, 61, 81 : 고정홈20, 40, 60, 80: fixing bolt 21, 41, 61, 81: fixing groove

42 : 황동판 82 : 스테인레스 스틸판42: brass plate 82: stainless steel plate

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 카세트 스테이지는, 다수의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼가 위치하는 카세트 테이블과 스텝퍼와 연결되는 연결부가 체결수단에 의해서 서로 연결된 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지에 있어서, 상기 카세트 테이블과 연결부 사이에 고정너트를 사이에 두고 고정비스에 의한 나사체결방식에 의해서 상기 카세트 테이블 및 연결부가 체결된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a cassette stage for manufacturing a semiconductor device according to the present invention includes a cassette table on which a wafer on which a plurality of wafers are loaded is placed and a cassette stage of a semiconductor device manufacturing stepper connected to each other by fastening means. The cassette table and the connecting portion are fastened by a screw fastening method using a fixing screw with a fixing nut between the cassette table and the connecting portion.

상기 고정너트 및 고정비스는 서로 상이한 체결방향으로 체결되며, 상기 고정비스 및 고정비스의 체결부위에 고정액이 도포될 수 있다.The fixing nut and the fixing bis are fastened in different fastening directions, and a fixing liquid may be applied to the fastening portions of the fixing bis and the fixing bis.

그리고, 상기 고정너트와 카세트 테이블 사이에 충격에 대한 내성이 강한 충격 흡수용 스테인레스 스틸(Stainless steel) 재질의 스테인레스 스틸판이 더 설치될 수 있다.In addition, a stainless steel plate of a shock absorbing stainless steel (Stainless steel) material may be further installed between the fixing nut and the cassette table.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도3은 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 1 카세트 스테이지의 일 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining an embodiment of the first cassette stage of the stepper for manufacturing a semiconductor device according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 1 카세트 스테이지에는 도3에 도시된 바와 같이 랏단위의 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 위치하는 카세트 테이블(50)이 설치되어 있고, 상기 카세트 테이블(50) 소정영역에는 관통홀(58)이 형성되어 있다.In the first cassette stage of the stepper for manufacturing a semiconductor device according to the present invention, as shown in FIG. 3, a cassette table 50 is provided on which a cassette on which a plurality of wafers in a unit of a lot is placed is located, and the cassette table 50 is provided. The through hole 58 is formed in the predetermined region.

그리고, 상기 카세트 테이블(50) 하부에는 스텝퍼(도시되지 않음)와 연결되는 연결부(12)가 고정너트(56)를 사이에 두고 서로 밀착되어 있다. 상기 연결부(12) 소정영역에는 카세트 테이블(10)의 관통홀(18), 고정너트(56)의 홀과 연통되는 나사홈(55)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 고정너트(56)가 카세트 테이블(50)과 연결부(52) 사이에 위치됨으로서 고정너트(56)가 용이하게 풀리는 것을 방지할 수 있다.In addition, a connection part 12 connected to a stepper (not shown) is attached to the lower portion of the cassette table 50 with the fixing nut 56 interposed therebetween. In the predetermined region of the connection part 12, a screw groove 55 is formed in communication with the through hole 18 of the cassette table 10 and the hole of the fixing nut 56. Here, the fixing nut 56 is located between the cassette table 50 and the connecting portion 52 can prevent the fixing nut 56 from being easily loosened.

또한, 고정비스(54)가 연결부(52)의 상기 나사홈(55)에 나사체결되고, 상기 고정너트(56)의 홀에 삽입된 후, 고정비스(54)의 단부에 형성된 고정홈(61)에 고정볼트(60)가 카세트 테이블(50)의 관통홀(58)을 통해서 체결됨으로서 카세트 테이블(50) 및 연결부(52)가 서로 고정되어 있다. 한편 상기 고정너트(56) 및 고정비스(54)의 체결방향은 서로 상이하도록 고정너트(56) 및 고정비스(54)가 설치됨으로서 고정너트(56) 및 고정비스(54)가 용이하게 풀리는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상기 고정너트(56) 및 고정비스(54)의 체결부위에 고정액이 도포됨으로서 고정너트(56) 및 고정비스(54)가 용이하게 풀리는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다.In addition, the fixing screw 54 is screwed into the screw groove 55 of the connecting portion 52, is inserted into the hole of the fixing nut 56, the fixing groove 61 formed at the end of the fixing screw 54 The fastening bolt 60 is fastened through the through hole 58 of the cassette table 50 so that the cassette table 50 and the connecting portion 52 are fixed to each other. On the other hand, the fixing nuts 56 and fixing screws 54 are installed so that the fastening directions of the fixing nuts 56 and the fixing screws 54 are different from each other so that the fixing nuts 56 and the fixing screws 54 are easily loosened. It is prevented. In addition, the fixing nut is applied to the fastening portion of the fixing nut 56 and the fixing vis 54 so that the fixing nut 56 and the fixing vis 54 can be easily released.

도4는 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 2 카세트 스테이지의 일 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.4 is a cross-sectional view for explaining an embodiment of the second cassette stage of the stepper for manufacturing a semiconductor device according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체장치 제조용 스텝퍼의 제 2 카세트 스테이지에는 도4에 도시된 바와 같이 랏단위의 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 위치하는 카세트 테이블(70)이 설치되어 있다. 상기 카세트 테이블(70) 소정영역에는 관통홀(78)이 형성되어 있고, 상기 관통홀(78) 하부에 0.5 ㎜ 두께로 소정크기의 스테인레스 스틸 재질의 스테인레스 스틸판(82)이 설치되어 있다. 또한, 상기 스테인레스 스틸판(82)은 카세트 테이블(70)에 가해지는 충격을 완화시키는 역할을 수행하도록 설치된 것이다.In the second cassette stage of the stepper for manufacturing a semiconductor device according to the present invention, as shown in Fig. 4, a cassette table 70 is provided on which a cassette on which a plurality of wafers in a unit of a lot is placed is located. A through hole 78 is formed in a predetermined region of the cassette table 70, and a stainless steel plate 82 of a predetermined size stainless steel material having a thickness of 0.5 mm is provided below the through hole 78. In addition, the stainless steel plate 82 is installed to mitigate the impact applied to the cassette table 70.

그리고, 상기 카세트 테이블(70) 하부에는 스텝퍼(도시되지 않음)와 연결되는 연결부(72)가 고정너트(76)를 사이에 두고 서로 밀착되어 있다. 상기 연결부(72) 소정영역에는 카세트 테이블(70)의 관통홀(78), 고정너트(76)의 홀과 연통되는 나사홈(75)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 고정너트(76)가 카세트 테이블(70)과 연결부(72) 사이에 위치됨으로서 고정너트(76)가 용이하게 풀리는 것을 방지할 수 있다.In addition, a connection part 72 connected to a stepper (not shown) is attached to the lower portion of the cassette table 70 with the fixing nut 76 interposed therebetween. In the predetermined region of the connecting portion 72, a screw groove 75 communicating with the through hole 78 of the cassette table 70 and the hole of the fixing nut 76 is formed. Here, the fixing nut 76 is located between the cassette table 70 and the connecting portion 72 can prevent the fixing nut 76 from being easily loosened.

또한, 고정비스(74)가 연결부(72)의 나사홈(75)에 체결되고, 고정너트(76)의 홀에 삽입된 후, 고정비스(74)의 단부에 형성된 고정홈(81)에 고정볼트(80)가 관통홀(78) 하부의 스테인레스 스틸판(82)을 관통하여 체결됨으로서 카세트 테이블(70) 및 연결부(72)가 서로 고정되어 있다. 상기 고정너트(76) 및 고정비스(74)의 체결방향은 서로 상이한 방향으로 체결되어 있다. 여기서, 상기 고정너트(76) 및 고정비스(74)의 쳬결방향은 서로 상이하도록 고정너트(76) 및 고정비스(74)가 설치됨으로서 고정너트(76) 및 고정비스(74)가 용이하게 풀리는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상기 고정너트(76) 및 고정비스(74)의 체결부위에 고정액이 도포됨으로서 고정너트(76) 및 고정비스(74)가 용이하게 풀리는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다.In addition, the fixing screw 74 is fastened to the screw groove 75 of the connecting portion 72 and inserted into the hole of the fixing nut 76, and then fixed to the fixing groove 81 formed at the end of the fixing screw 74. As the bolt 80 is fastened through the stainless steel plate 82 below the through hole 78, the cassette table 70 and the connection portion 72 are fixed to each other. The fastening directions of the fixing nut 76 and the fixing screw 74 are fastened in different directions from each other. Here, the fixing nut 76 and the fixing screw 74 is easy to loosen the fixing nut 76 and the fixing screw 74 is installed so that the fixing nut 76 and the fixing screw 74 are different from each other. It is to be prevented. In addition, the fixing nut is applied to the fastening portion of the fixing nut 76 and the fixing bis 74 to prevent the fixing nut 76 and the fixing vis 74 from being easily loosened.

따라서, 본 발명에 의하면 카세트 테이블 상의 카세트에서 웨이퍼를 로딩 및 언로딩 과정에 웨이퍼가 깨지는 것을 방지할 수 있고, 카세트 테이블 하부에 충격에 대한 내성이 강한 충격 완화용 스테인레스 스틸판을 설치함으로서 종래와 같이 황동판이 휘어 카세트 테이블의 수평상태에 이상을 초래하여 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 과장에 웨이퍼가 깨지는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent the wafer from being broken during the loading and unloading of the wafer in the cassette on the cassette table, and by installing a shock-resistant stainless steel plate having a high resistance to shock under the cassette table, as in the prior art. The brass plate is bent, causing an abnormality in the horizontal state of the cassette table, thereby preventing the wafer from being broken due to the overloading and unloading of the wafer.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.

Claims (3)

다수의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼가 위치하는 카세트 테이블과 스텝퍼와 연결되는 연결부가 체결수단에 의해서 서로 연결된 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지에 있어서,In a cassette stage of a semiconductor device manufacturing stepper, in which a cassette table on which a plurality of wafers are loaded and a connecting portion connected to a stepper are connected to each other by fastening means, 상기 카세트 테이블과 연결부 사이에 고정너트를 사이에 두고 고정비스에 의한 나사체결방식에 의해서 상기 카세트 테이블 및 연결부가 체결된 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지.And a cassette table and a connection part of the stepper for manufacturing a semiconductor device, wherein the cassette table and the connection part are fastened by a screw fastening method using a fixing screw with a fixing nut interposed between the cassette table and the connection part. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정너트 및 고정비스는 서로 상이한 체결방향으로 체결되며, 상기 고정비스 및 고정비스의 체결부위에 고정액이 도포된 것을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지.The fixing nut and the fixing bis are fastened in different fastening directions, and the fixing liquid is coated on the fastening portions of the fixing bis and the fixing bis. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정너트와 카세트 테이블 사이에 충격 흡수용 스테인레스 스틸(Stainless steel) 재질의 스테인레스 스틸판이 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 스텝퍼의 카세트 스테이지.The cassette stage of the semiconductor device manufacturing stepper, characterized in that the stainless steel plate of the shock absorbing stainless steel (Stainless steel) is further provided between the fixing nut and the cassette table.
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