KR20000020163U - 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암 - Google Patents

Abstract

본 고안 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암(13)은 웨이퍼가 얹혀지는 웨이퍼 안착부(11)의 일측에 웨이퍼의 위치를 검출하기 위한 위치검출수단을 설치하고, 그 위치검출수단의 주변에 웨이퍼를 정위치시키기 위한 위치조정수단을 설치하여, 웨이퍼 안착부(11)에 안착되는 웨이퍼의 위치가 틀어진 경우에 위치조정수단으로 웨이퍼를 정위치시켜서 이동되도록 함으로서, 종래와 같이 이송되는 웨이퍼의 위치틀어짐에 의한 코팅불량 및 노광불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.

Description

반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암{WAFER TRANSFER ARM FOR SEMICONDUCTOR TRACK EQUIPMENT}

본 고안은 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암에 관한 것으로, 특히 이송되는 웨이퍼를 정확히 센터링할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암에 관한 것이다.

반도체 트랙장비에 장착되어 있는 암(ARM)은 유니트에 작업할 웨이퍼를 넣거나, 작업이 완료된 웨이퍼를 꺼내고, 다음공정의 유니트로 웨이퍼를 이동시키는 기능을 하며, 이러한 암이 설치되어 있는 트랙장비가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 반도체 트랙장치를 부분적으로 보인 사시도로서, 도시된 바와 같이, 장비의 상측에 암(1)이 설치되어 있어서, 웨이퍼를 이송할 수 있도록 되어 있다.

상기와 같이 설치되어 있는 암(1)은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 웨이퍼가 얹혀지는 대략 원형의 웨이퍼 안착부(2)와, 그 웨이퍼 안착부(2)에 일체로 연결되는 연결부(3)로 구성되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 암(1)은 웨이퍼가 이동되면 웨이퍼 안착부(2)에 웨이퍼를 안착시킨 상태에서 작업을 진행하기 위한 유니트로 웨이퍼를 이동시키고, 작업을 마친 다음에는 웨이퍼를 꺼내어 다른 유니트로 이송한다.

그러나, 상기와 같이 이송되는 웨이퍼가 암(1)의 웨이퍼 안착부(2)에 정확히 안착되지 못한 상태로 이송되는 경우에 후공정에서 코팅불량 및 노광불량이 발생되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 웨이퍼가 웨이퍼 안착부(2)로 이송되면 센터링이 이루어지도록 하여 웨이퍼를 항상 정확하게 이송할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암을 제공함에 있다.

도 1은 종래 반도체 트랙장치를 부분적으로 보인 사시도.

도 2는 종래 웨이퍼 이송 암을 보인 평면도.

도 3은 본 고안 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암을 보인 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 웨이퍼 안착부 12 : 연결부

21 : 발광센서 22 : 수광센서

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 안착부와, 그 웨이퍼 안착부에 연결됨과 아울러 로봇에 연결되는 연결부로 구성되어 있는 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암에 있어서, 상기 웨이퍼 안착부의 일정부분에 웨이퍼 위치를 검출하기 위한 위치검출수단이 설치되고, 그 위치검출수단의 주변에 웨이퍼를 정위치 시키기 위한 위치조정수단이 설치되어서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암이 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암을 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 고안 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암을 보인 평면도로서, 도시된 바와 같이, 본 고안 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암은 웨이퍼가 얹혀지는 웨이퍼 안착부(11)와, 그 웨이퍼 안착부(11)에 일체로 일단부가 연결됨과 아울러 타단부는 로봇(미도시)에 연결되어 있는 연결부(12)로 구성되어 있는 것은 종래와 유사하다.

여기서, 상기 웨이퍼 안착부(11)에 얹혀지는 웨이퍼의 위치를 검출하기 위한 위치검출수단으로서 일측에 수개의 발광센서(21)를 설치하고, 그 발광센서(21)들에 각각 대응되도록 맞은 편에 수개의 수광센서(22)들을 설치하여서 구성된다.

또한, 상기 위치검출수단의 주변에 각각 위치조정수단이 설치되어 있어서, 위치검출수단에 의하여 검출된 웨이퍼의 위치를 조정할 필요가 있을때는 위치조정수단으로 웨이퍼의 위치를 조정할 수 있도록 되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암(13)은 웨이퍼를 웨이퍼 안착부(11)에 안착시킨 상태에서 작업을 진행하기 위한 유니트로 이동시키고, 작업을 마친 다음에는 웨이퍼를 꺼내어 다른 유니트로 이송하는 것을 종래와 유사하다.

여기서, 본 고안은 상기 웨이퍼 안착부(11)에 웨이퍼가 안착되면 발광센서(21)에서 발광하고, 수광센서(22)에서 수광하는 방법으로 웨이퍼의 위치를 검출하고, 그와 같이 검출된 웨이퍼의 위치가 정위치에 있지 않으면 위치조정수단을 이용하여 웨이퍼를 정위치시킨 상태에서 이송한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암은 웨이퍼 안착부에 웨이퍼의 위치를 검출하기 위한 위치검출수단을 설치하고, 그 위치검출수단의 주변에 웨이퍼의 위치를 조정하기 위한 위치조정수단을 설치하여, 웨이퍼 안착부에 웨이퍼가 안착되면 웨이퍼의 위치를 검출한 다음, 웨이퍼의 위치가 틀어진 경우에 위치조정수단으로 웨이퍼의 위치를 조정한 후 이송하도록 함으로서, 종래와 같이 웨이퍼의 위치가 틀어져서 발생되는 코팅불량 및 노광불량의 발생을 방지할 수 있다.

Claims (2)

1. 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 안착부와, 그 웨이퍼 안착부에 연결됨과 아울러 로봇에 연결되는 연결부로 구성되어 있는 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암에 있어서, 상기 웨이퍼 안착부의 일정부분에 웨이퍼 위치를 검출하기 위한 위치검출수단이 설치되고, 그 위치검출수단의 주변에 웨이퍼를 정위치 시키기 위한 위치조정수단이 설치되어서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암.
2. 제 1항에 있어서, 상기 위치검출수단은 상기 웨이퍼 안착부의 일측에 설치되는 수개의 발광센서와, 그 발광센서들에 대응되도록 타측에 설치되는 수개의 수광센서인 것을 특징으로 하는 반도체 트랙장비의 웨이퍼 이송 암.