KR20000019934U - 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것으로, 종래에는 각 탐침이 인쇄회로기판에 삽입 고정되는 것으로, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩이 파손되거나 또는 상기 탐침이 각각의 웨이퍼에 지속적으로 접촉됨에 따라 그 팁부가 닳아 안쪽으로 밀리면서 접촉불량이 발생되는 등 프로브카드의 수명이 단축되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성함으로써, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩 또는 탐침이 파손되는 것을 방지함은 물론 그 탐침을 장기간 사용하더라도 접촉불량이 발생되지 않게 되는 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드{PROBE CARD FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR WAFER}

본 고안은 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것으로, 특히 장기간 반복 사용에도 그 팁이 마모되지 않는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼의 제조공정은 고도의 정밀성을 요하게 되므로, 각각의 공정을 진행할 때마다 여러 가지의 테스트를 받거나 또는 테스트 전에 칩의 기능 및 특성을 미리 살피는 것도 대단히 중요하다.

이와 같은 웨이퍼에 대한 테스트공정 중에서 통상 프로브 테스트라고 하는 제품 특성시험은 웨이퍼 내에 있는 칩의 특성을 검사하기 위한 것으로, 웨이퍼척에 검사할 웨이퍼를 올려놓고 그 웨이퍼의 각 칩패드에 프로브카드의 탐침(PROBE)을 접촉 연결시켜 상기 칩의 DC 파라미터 및 기능을 검사하여 기능을 수행하지 못하거나 스펙(SPECIFICATION)을 벗어난 칩을 정상 상태의 칩과 구별시킨다.

상기 프로브카드는 웨이퍼를 테스트하기 위하여 웨이퍼에 본딩된 다수개의 칩과 테스터와의 전기적인 선로 역할을 하는 것으로, 도 1은 종래 프로브카드의 일례를 보인 측면도이다.

이에 도시한 바와 같이, 종래의 프로브카드는 회로 패턴들이 형성된 인쇄회로기판(1)과, 이 인쇄회로기판(1)의 패턴에 구비되는 와이어(2)와, 그 와이어(2)에 전기적으로 연결되도록 상기 인쇄회로기판(1)에 삽입되어 웨이퍼(W)에 접촉하는 다수개의 탐침(3)으로 구성되어 있다.

상기 프로브카드는 각 탐침(3)들이 약 103°로 꺾여 형성되는 것으로, 이 탐침(3)들이 웨이퍼(W)의 칩패드(미도시)에 접촉될 될 때에 상기 탐침(3)들이 갖고 있는 자체 탄성에 의해 칩패드(미도시) 위에서 탐침(3)의 끝단이 미끄러지듯 접촉하게 된다.

상기와 같은 종래의 프로브카드의 탐침(3)이 웨이퍼(W)에 접촉되면 인쇄회로기판(1)으로 신호를 전달하고, 상기 인쇄회로기판(1)은 퍼포먼스 보드(미도시)를 통해 테스터(미도시)에 연결되어 웨이퍼(W)에 본딩되어 있는 반도체 칩(미부호)의 전기적인 특성을 검사하게 되는 것이었다.

그러나, 상기와 같은 종래의 프로브카드에서는 각 탐침(3)이 인쇄회로기판(1)에 삽입 고정되는 것으로, 상기 탐침(3)이 웨이퍼(W)에 접촉될 때에 칩이 파손되거나 또는 상기 탐침(3)이 각각의 웨이퍼(W)에 지속적으로 접촉됨에 따라 그 팁부(미부호)가 닳아 안쪽으로 밀리면서 접촉불량이 발생되는 등 프로브카드의 수명이 단축되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래 프로브카드가 가지는 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩 또는 탐침이 파손되는 것을 방지함은 물론 그 탐침을 장기간 사용하더라도 접촉불량이 발생되지 않는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드를 제공하려는데 본 고안의 목적이 있다.

도 1은 종래 웨이퍼 검사용 프로브카드를 보인 측면도.

도 2는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드의 일례를 보인 측면도.

도 3은 본 고안 프로브카드의 동작을 보인 측면도.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

11 : 인쇄회로기판 12 : 와이어

13 : 탐침 14 : 탄성부

14a : 상부스프링 14b : 하부스프링

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드의 일례를 보인 측면도이고, 도 3은 본 고안 프로브카드의 동작을 보인 측면도이다.

이에 도시된 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드는, 소정의 인쇄회로기판(11)과, 그 인쇄회로기판(11)에 삽입되어 테스터(미도시)와 후술할 탐침(13)을 연결하는 와이어(12)와, 그 와이어(12)에 전기적으로 연결되고 상기 탐침(13)의 팁부가 웨이퍼(W)에 접촉되도록 일부가 노출되어 상기한 인쇄회로기판(11)에 끼워지는 다수개의 탐침(13)과, 상기 인쇄회로기판(11)에 장착되어 상기한 각각의 탐침(13)을 탄력적으로 지지하는 탄성부(14)로 구성된다.

상기 탄성부(14)는 각 탐침(13)의 프로빙시 그 탐침(13)이 웨이퍼(W)에 접촉되면서 밀려나는 정도를 일정하게 하여 평탄도를 보상하도록 각 탐침(13)의 상측에 위치하도록 장착되는 압축 코일스프링의 상부스프링(14a)과, 상기 각 탐침(13)의 마모시 안쪽으로 밀리는 것을 방지하도록 각 탐침(13)의 하측에 위치하도록 장착되는 역시 압축 코일스프링의 하부스프링(14b)으로 이루어진다.

도면중 미설명 부호인 11a 및 11b는 스프링 장착홈이다.

상기와 같은 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드는 다음과 같은 작용효과를 갖는다.

즉, 상기 프로브카드의 탐침(3)이 웨이퍼(W)에 접촉되면 인쇄회로기판(1)으로 신호를 전달하고, 상기 인쇄회로기판(1)은 퍼포먼스 보드(미도시)를 통해 테스터(미도시)에 연결되어 웨이퍼(W)에 본딩되어 있는 반도체 칩(미부호)의 전기적인 특성을 검사하게 된다.

이때, 상기 웨이퍼(W)는 웨이퍼척에 얹혀 고정되어 있으므로 인해 탐침(13)이 웨이퍼(W)에 접촉되는 순간 각 탐침(13)의 팁부가 누르는 힘을 받게 되나, 이 힘은 상기 인쇄회로기판(11)에 구비된 상부스프링(14a)에 의해 완충되어 각 탐침(13)이 균일하게 밀려 올라가면서 평탄도를 유지하게 되므로 각 칩의 특성을 균일하게 검사할 수 있게 되는 것은 물론, 각 탐침(13)의 팁부가 웨이퍼(W)에 밀리거나 반대로 칩이 탐침(13)에 눌리면서 그 탐침(13)이나 칩(미부호)이 파손되는 것이 미연에 방지된다.

또한, 상기 각 탐침(13)의 하측에 구비되는 하부스프링(14b)에 의해 프로빙시 각 탐침(13)이 웨이퍼(W)에 밀리면서 안쪽으로 말리는 것을 막아주게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드는, 소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성함으로써, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩 또는 탐침이 파손되는 것을 방지함은 물론 그 탐침을 장기간 사용하더라도 접촉불량이 발생되지 않게 되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드.