KR20000018774A - 화학 기상 증착장치용 반응로의 오링이 구비된 플랜지 및 그 오링 제거기구 - Google Patents

Abstract

목적 : 저압 화학 기상 증착장치의 반응로와 도어의 사이에 삽입되는 실링용 오링의 제거를 용이하게 실현할 수 있도록 한 화학 기상 증착장치용 반응로의 오링이 구비된 플랜지 및 그 오링 제거기구를 제공함에 목적을 두고 있다.

구성 : 반응로 플랜지(2)의 오링 제거홈(14)을 적어도 4㎜ 이상으로 가공 형성하여 오링 제거기구(16)의 사용을 용이하게 하고, 넓고 끝이 날카롭지 않은 오링 제거기구를 사용할 수 있도록 한다. 또 손잡이부(18)와 두께가 얇고 선단이 라운드로 형성된 제거부(20)로 구성된 오링 제거기구를 제안한다.

Description

화학 기상 증착장치용 반응로의 오링이 구비된 플랜지 및 그 오링 제거기구

본 발명은 저압(Low Pressure) 화학 기상 증착(CVD로 약칭함)장치의 반응로와 도어의 사이에 삽입되는 실링용 오링(O-ring)의 제거를 용이하게 실현하는데 적합하게 이용할 수 있는 CVD장치용 반응로의 오링이 구비된 플랜지 및 그 오링 제거기구에 관한 것이다.

웨이퍼의 도체 제조 공정에 사용하는 LP CVD장치는 횡으로 놓여진 반응로의 양측 개구에 플랜지를 설치하고, 그 플랜지에 오링을 끼운 다음 도어를 닫아 내부가 밀폐되게 실링하는 구조로 이루어지며, 진공 펌프를 이용하여 내부를 저압으로 감압한 후 가스 반응이 이루어지도록 함으로써, 균일한 막질의 도체를 형성하고 있다.

이러한 LP CVD장치의 반응로 플랜지는 진공 펌프로의 연결 및 웨이퍼의 로딩, 언로딩 통로로 사용되고 있으며, 그 플랜지에는 홈을 형성하여 오링을 삽입함으로써 도어의 폐쇄시 반응로 내부의 저압 상태를 유지토록 한다.

여기서 플랜지와 도어의 실링을 위해 삽입되는 오링은 파티클 등의 오염을 방지하기 위해 플랜지의 청소시마다 홈으로부터 해체되어 함께 청소된다.

이를 위하여 종래의 플랜지에는 오링 제거기구를 삽입할 수 있는 오링 제거홈이 형성되어 있는데, 그 오링 제거홈은 1.5㎜의 크기로 너무 협소하여 아주 작은 크기의 오링 제거기구만이 사용 가능할 뿐이고, 그로 인하여 러버로 된 오링이 쉽게 파손되며 또한 재사용이 불가능하게 되는 문제점이 있다.

종래 기술에서 설명한 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 본 발명은 오링의 손상을 방지하여 장수명을 실현할 수 있도록 개선한 CVD장치용 반응로의 오링이 구비된 플랜지 및 그 오링 제거기구를 제공함에 목적을 두고 있다.

이를 위하여 본 발명은 반응로 플랜지의 오링 제거홈을 적어도 4㎜ 이상으로 가공 형성하여 오링 제거기구의 사용을 용이하게 하고, 넓고 끝이 날카롭지 않은 오링 제거기구를 사용할 수 있도록 한다.

또 본 발명은 손잡이부와 두께가 얇고 선단이 라운드로 형성된 제거부로 구성된 오링 제거기구를 제안한다.

도 1은 본 발명에 의한 반응로 플랜지를 보인 정면도.

도 2는 본 발명의 오링 제거기구를 보인 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

2-플랜지 12-오링

14-오링 제거홈 16-오링 제거기구

18-손잡이부 20-제거부

이하, 본 발명을 실현하기 위한 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 CVD장치용 반응로 플랜지의 정면 구성을 나타내고 있다.

도면에서와 같이 본 발명의 CVD용 반응로 플랜지(2)는 횡으로 놓여진 반응로의 지지대에 고정되는 베이스(4)를 갖추어 그 반응로의 양측 개구에 설치되며, 냉각수 입구(6) 및 출구(8)를 구비하고, 배기구(10)를 통하여 진공 펌프로 연결되므로 내부를 저압으로 감압할 수 있도록 되며, 상기 개구를 통하여 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 할 수 있는 구성으로 이루어진다.

플랜지(2)의 실링면에는 홈이 형성되고, 여기에는 오링(12)이 삽입되어서 도어의 폐쇄 후 감압시 반응로 내부의 저압 상태를 유지토록 한다.

여기서 플랜지(2)와 도어의 실링을 위해 삽입하는 오링(12)은 파티클 등의 오염을 방지하기 위해 플랜지(2) 청소 시마다 해체되는데, 이때 오링(12)의 파손을 방지하기 위하여 본 발명에서는 적어도 4㎜에서 10㎜ 까지 크기로 된 오링 제거홈(14)을 형성하고, 그 오링 제거홈(14)으로 삽입되어 오링(12)을 밀어내는 오링 제거기구(16)를 도 2에 도시한 바와 같이 손잡이(18)와 그 손잡이(18)로부터 연장되어 폭이 넓고 얇으며 선단이 라운드로 형성되어 날카로운 부분이 없게 한 제거부(20)로 형성하고 있다.

이에 따라 본 발명의 오링 제거기구(16)는 플랜지(2) 청소 시 오링 제거홈(14)으로 용이하게 삽입되어서, 오링(12)이 파손되게 않도록 손쉽게 제거할 수 있다.

이상에서 설명한 구성 및 작용을 통하여 알 수 있듯이, 본 발명에 의한 화학 기상 증착장치용 반응로의 오링이 구비된 플랜지 및 그 오링 제거기구는 종래 기술의 문제점을 실질적으로 해소하고 있다.

즉, 본 발명에 의하면 오링 제거홈이 크게 형성되어 오링 제거기구의 사용이 용이하게 실현되고, 넓고 끝이 날카롭지 않은 오링 제거기구를 사용함으로써 오링의 손상을 방지하고 장수명을 실현할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면 플랜지와 오링의 청소가 용이하므로, 궁극적으로 도체 제조 공정의 효율이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (2)

1. 반응로의 개구에 형성된 플랜지에 홈을 형성하여 오링을 삽입하고, 여기에 도어를 닫아 밀폐하며, 진공 펌프를 이용하여 내부를 저압으로 감압하여 가스 분위기에서 웨이퍼에 도체를 형성하는 화학 기상 증착장치에 있어서, 상기 플랜지의 외주에서 오링 삽입 홈까지 4~10㎜ 크기의 오링 제거홈을 형성한 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장치용 반응로의 오링이 구비된 플랜지.
2. 손잡이부와, 그 손잡이에서 앞쪽으로 두께가 얇고 선단이 라운드로 형성된 제거부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장치용 반응로의 오링 제거기구.