KR20000016847A - Apparatus of manufacturing a liquid crystal display panel - Google Patents

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KR20000016847A
KR20000016847A KR1019990011805A KR19990011805A KR20000016847A KR 20000016847 A KR20000016847 A KR 20000016847A KR 1019990011805 A KR1019990011805 A KR 1019990011805A KR 19990011805 A KR19990011805 A KR 19990011805A KR 20000016847 A KR20000016847 A KR 20000016847A
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KR1019990011805A
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이시자카이치로
타케후시노리유키
코가야수유키
카타기리키요오
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코수게 마사루
신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: An apparatus for hardening a sealing material is provide to prevent mismatching in a parallel direction and warping of a substrate by heating and pressing uniformly. CONSTITUTION: The apparatus comprises: (a)a couple of fixed boards inserting a substrate therebetween, and (b)a operating board set opposite with the fixed board and moving in a vertical direction from the fixed board for pressing the substrate. In the apparatus, the fixed boards are a two-storied structure composed of a upper board with a cooling mean and a lower board with a heating mean. A separating means for releasing a contact condition of the two fixed boards is mounted. The operating board has a heating means and a pressing surface thereof is formed by a material with flexibility.

Description

액정패널 제조장치{APPARATUS OF MANUFACTURING A LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}Liquid crystal panel manufacturing apparatus {APPARATUS OF MANUFACTURING A LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}

본 발명은 액정패널의 제조장치에 관한 것이고, 구체적으로는 열경화성 수지의 시일재를 끼운 상하의 유리기판을 가열·가압하여 그 시일재를 경화시키고, 소정의 간격을 확보한 액정패널을 형성하는 제조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, and in particular, a manufacturing apparatus for heating and pressing glass substrates with a sealing material of a thermosetting resin to be cured to form a liquid crystal panel having a predetermined interval. It is about.

액정패널(LCD)은, 투명도전성 전극을 입힌 2매의 유리기판 사이에 수㎛의 스페이서를 끼워서 양 유리기판 사이를 소정의 간격으로 유지시키고, 양 유리기판간의 주위를 시일재로 구획된 내측의 공간 내로 액정을 봉입함으로서, 2매의 유리기판이 위치가 맞춰지는 마크(mark)에 의하여 틀림없이 접합하게 된다.A liquid crystal panel (LCD) has a spacer having a thickness of several μm between two glass substrates coated with a transparent conductive electrode to hold the glass substrates at predetermined intervals, and the inner side of the two glass substrates partitioned with a sealing material. By enclosing the liquid crystal in the space, the two glass substrates are surely joined by a mark in which the positions are aligned.

또한, 액정패널을 구성하는 2매의 유리기판은 그 한쪽 유리기판상에 스페이서를 산재하게 하고, 다른쪽 유리기판의 내면(한쪽 유리기판과 대향하는 면)에는 열경화성 수지의 시일재가 부착되며, 이렇게 한 상하의 유리기판이 접합되는 장치에 의해서 마크의 맞춤을 행하여 접합시키는 것과 함께, 상하의 유리기판이 분리되지 않도록 임시로 고정시킨다. 그리고 접합되어 임시로 고정된 2매를 한쌍으로 하는 유리기판은 가열, 가압처리를 하여 상하의 유리기판 사이의 간격을 스페이서의 입경까지 시일재를 가압하여 그 시일재를 경화시킨다.In addition, the two glass substrates constituting the liquid crystal panel have the spacers interspersed on one glass substrate, and a sealing material of a thermosetting resin is attached to the inner surface of the other glass substrate (the surface facing one glass substrate). While the upper and lower glass substrates are bonded to each other to align the marks, the upper and lower glass substrates are temporarily fixed so as not to be separated. The pair of glass substrates bonded and temporarily fixed to each other is heated and pressurized to pressurize the sealing material to the particle size of the spacer between the upper and lower glass substrates to cure the sealing material.

이러한 종래의 시일재를 경화시키는 장치는, 접합시켜 임시로 고정된 2매를 한쌍으로 하는 유리기판의 적어도 한쪽 기판을 가요성 재료로 입히고, 패널을 넣은 용기 내를 감압하거나 또는 용기를 외부로부터 가압한 상태에서 기판의 고착을 행하도록 한다. 상기한 바와 같이 구성함으로서, 기판에 균일하게 압력을 가할 수가 있다. 그리고, 가용성 재료로 기판을 가압하는 장치에서는 강성이 높은 정반을 사용하는 장치에 비해 가압의 균일성이 상당히 개선되고, 간격 불량에 수반하는 표시가 감소한다.The apparatus for curing such a conventional sealing material is to coat at least one substrate of a pair of glass substrates bonded together and temporarily fixed with a flexible material, to depressurize the inside of the container containing the panel or pressurize the container from the outside. In one state, the substrate is fixed. By configuring as described above, pressure can be applied uniformly to the substrate. In the apparatus for pressurizing the substrate with the soluble material, the uniformity of the pressurization is considerably improved as compared with the apparatus using the high rigidity surface plate, and the display accompanying the gap defect is reduced.

또, 가열방법으로는, 패널 전면을 가열할 수 있도록 2매를 한쌍으로 하는 기판을 끼우는 상·하 정반에 가열수단을 배치하는 것이 특개평 5-232420호에 제안되어 있지만, 이 구성에 의하면 노((爐)) 중의 히터를 이용하여 패널측면을 가열하는 방법에 비해 고속가열성 및 균열성(均熱性)이 개선되었다.In addition, as a heating method, it is proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-232420 to arrange heating means on an upper and lower platen in which two pairs of substrates are sandwiched so that the entire surface of the panel can be heated. The high-speed heating and cracking properties were improved compared to the method of heating the panel side by using the heater in (iii).

또한, 정반의 한쪽을 가요성 부재로 함으로서 상·하 기판 사이의 간격의 불량한 정도를 방지하거나, 상·하 기판의 횡방향으로의 어긋남이나 기판의 휘어짐을 방지할 수가 없었다. 특히, 생산성 향상을 위하여 하나의 용기 중에 2쌍의 패널을 병렬로 설치한 경우에는 횡방향으로의 어긋남이 크게 된다는 것이 확인되었다.Moreover, by using one side of the surface plate as a flexible member, it was not possible to prevent a poor degree of the gap between the upper and lower substrates, or to prevent the displacement of the upper and lower substrates in the lateral direction and the bending of the substrate. In particular, when two pairs of panels were installed in parallel in one container for productivity improvement, it was confirmed that the shift in the lateral direction was large.

또, 상·하 정반에 가열수단을 배치한 장치에 있어서는 상하로부터 열이 전달되기 때문에 휘어짐이 적게 되지만, 상·하 유리기판의 수㎛ 정도의 어긋남을 방지할 수가 없고, 이 위치정밀도가 액정의 성능향상과 함께 높아짐에 따라, 기판의 어긋남이 허용될 수 없는 값으로 되었다. 더욱이, 종래 구조에 있어서, 2매를 한쌍으로 하는 유리기판을 정반의 중심에 배치한 경우에 비해 중심으로부터 벗어난 경우나, 작은 기판을 복수개 나란히 설치한 경우에 어긋남이 커지게 되는 것이 실험에 의해서 밝혀졌다. 이러한 결과로부터, 상하 정반의 열팽창계수의 차나 상하 정반 및 정반의 위치에 의한 정반과 기판 사이의 마찰계수의 차에 의해서, 정반과 기판 사이, 기판과 기판 사이에 선단력이 발생하고, 특히 가장자리부만이 시일재로 접착되는 상·하 기판 사이에서 최고 힘이 해방되기 쉽게 되고, 상·하 기판 사이에 어긋남이 발생하도록 하는 것이 실험에 의해서 밝혀졌다. 더욱이, 상기 종래장치에서는 균열성을 확보함에 있어서 상하 가열수단의 열용량을 크게 하는 것이 유효하지만, 가열·냉각 속도가 희생된다고 하는 문제점을 가지고 있다. 특히, 양산(量産)장치를 고려한 경우에, 장치가 라인의 택트타임(tact time)에 맞게 대응하는 수가 준비되게 된다. 또, 프로세스상의 이유로 인하여, 패널이 장치에 설치될 때 적어도 기판에 접촉하는 부분은 어느 온도 이하로 냉각될 필요가 있다.Moreover, in the apparatus in which the heating means are arranged on the upper and lower platen, the heat is transferred from the upper and lower sides, so that the warpage is reduced. However, a deviation of several micrometers of the upper and lower glass substrates can not be prevented, and this positional accuracy of the liquid crystal Increasing with the performance improvement, the substrate shifted to an unacceptable value. Moreover, in the conventional structure, the experiment revealed that the deviation becomes larger when the two substrates are separated from the center or when a plurality of small substrates are installed side by side, as compared with the case where two pairs of glass substrates are arranged at the center of the surface plate. lost. From these results, the tip force is generated between the surface plate and the substrate, and between the substrate and the substrate due to the difference in coefficient of thermal expansion of the upper and lower plates and the difference of the friction coefficient between the surface plate and the substrate due to the position of the upper and lower plates and the surface plate. It has been found by experiment that the highest force is easily released between the upper and lower substrates to which only the adhesive is bonded by the sealing material, and the deviation occurs between the upper and lower substrates. Further, in the conventional apparatus, it is effective to increase the heat capacity of the vertical heating means in securing cracking properties, but has a problem that the heating and cooling rate is sacrificed. In particular, in the case of a mass production apparatus, a number corresponding to the tact time of the line is prepared. In addition, for process reasons, at least the portion in contact with the substrate needs to be cooled below a certain temperature when the panel is installed in the apparatus.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술이 보유하는 문제점에 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 유리기판의 전면을 균일하게 가열할 수 있고, 그 유리기판의 가압도 균일한 분포 하중으로 작용시킬 수 있으며, 또한 가열처리 후 정반을 신속히 냉각할 수 있는 액정패널 제조장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of the problems possessed by the prior art as described above, and an object thereof is to uniformly heat the entire surface of the glass substrate, and also pressurize the glass substrate to act as a uniform distribution load, In addition, to provide a liquid crystal panel manufacturing apparatus that can quickly cool the surface plate after the heat treatment.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명이 이루고자 하는 기술적 수단은, 2매의 유리기판을 스페이서를 통하여 대향시키고, 겹쳐진 상태로 가열·가압하고, 상기 2매의 기판 사이에 배치된 열경화성 수지로 이루어진 시일재를 경화시키는 액정패널 제조장치에 있어서, 위치를 맞추고, 또한 임시로 고정한 2매를 한쌍으로 하는 유리기판을 끼워붙이는 한쪽의 고정정반과, 그 고정정반과 대향하여 그 정반과의 간격을 넓게 또는 좁게 변화시키고, 가압수단으로 가압되는 가동정반으로 이루어지고, 상기 고정정반은 2층구조로서 유리기판에 가까운 쪽의 상층부재에 냉각수단을 매설하고, 먼쪽의 하층부재에 가열수단을 구비하며, 상기한 상·하층 부재의 접촉상태를 해제시키는 분리기구를 설치하고, 또한 가동정반은 가열수단을 구비한 중공구조로 하고, 유리기판과 상당하는 가압면은 가요성을 보유하는 부재로 구성한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a technical means of the present invention is to seal two glass substrates through a spacer, heat and press in an overlapping state, and a seal made of a thermosetting resin disposed between the two substrates. In a liquid crystal panel manufacturing apparatus for hardening ash, one fixed surface to which a pair of glass substrates, which are aligned and temporarily fixed, is fitted, and the surface of the surface facing the fixed surface is wide or It consists of a movable plate which is narrowly changed and pressurized by the pressing means, and the fixed plate has a two-layer structure in which cooling means is embedded in an upper layer member close to the glass substrate, and a heating means is provided in the far lower layer member. A separating mechanism is provided for releasing contact between the upper and lower member, and the movable table is of hollow structure provided with heating means. The backboard and the pressing surface correspond to the members having flexibility.

상기한 고정정반으로는 강성이 높은 열전도율이 좋은 부재, 예컨대 금속판 또는 흑연판 등을 이용할 수가 있다. 단, 유리기판에 직접 접촉하는 부재는 유리기판에 가까운 열팽창계수를 보유한 부재로 한정된다. 그리고, 이 상하 2층으로 분할된 고정정반은 유리기판에 가까운 쪽의 상층부재에 냉각수단을 매설한다. 이 냉각수단으로는 수냉식이 좋고, 따라서 상층부재에는 냉각용 파이프를 배관하기 위한 통로를 형성한다.As the fixed surface plate, a member having a high rigidity and high thermal conductivity, such as a metal plate or a graphite plate, can be used. However, the member directly contacting the glass substrate is limited to a member having a coefficient of thermal expansion close to that of the glass substrate. In the fixed plate divided into two upper and lower layers, cooling means is embedded in the upper layer member closer to the glass substrate. The cooling means is preferably water-cooled, and therefore, an upper layer member is provided with a passage for piping a cooling pipe.

또, 유리기판으로부터 먼쪽의 하층부재에 가열수단을 설치함으로서, 열전도에 의해서 균열가열이 가능하게 된다.In addition, by providing a heating means in the lower layer member far from the glass substrate, crack heating is possible by heat conduction.

상기한 가동정반은 평면형상이 직사각형을 한 단열기능을 보유한 프레임의 한쪽에 강성이 낮은 가용성 부재를 매설한 것으로서, 그 가용성 부재와 프레임으로 구획된 중공부에 가열수단을 내장하는 것으로 가요성 부재를 간접적으로 가열하고, 장치 전체의 온도분포를 작게 하여 유리기판의 균열성을 향상시킨다. 가동정반을 구성하는 가용성 부재로는, 강성이 낮은 흑연판 또는 유리기판의 열팽창계수와 같은 정도의 열팽창계수를 보유하는 필름, 예컨대 폴리테트라플로로에틸렌(PTFE)을 함침시킨 유리섬유포 등을 들 수 있다.The movable plate has a low rigid soluble member embedded in one side of a frame having a rectangular insulated function in a planar shape, and a heating member is incorporated in the hollow portion partitioned by the soluble member and the frame. Indirect heating is performed to reduce the temperature distribution of the entire apparatus, thereby improving the cracking properties of the glass substrate. Examples of the soluble member constituting the movable table include a film having a coefficient of thermal expansion equivalent to that of a low rigid graphite or glass substrate, such as glass fiber cloth impregnated with polytetrafluoroethylene (PTFE). have.

또, 상기 가열수단은 보조히터이기 때문에, 종래예와 같이 상하 히터의 온도를 동일하게 제어할 필요가 없고, 고정정반에 장착한 가열수단에 근접한 온도로 설정하는 것이 좋다. 더욱이, 이 가열수단으로는 열용량이 작은 고무히터부 반사판이 바람직하다. 반사판은, 고정정반에 장착된 가열수단의 온도가 상승하는 쪽에서는 고정정반으로부터 열을 반사판으로 반사시킴으로서, 고무히터의 출력을 최저한으로 억제하여 에너지 절약에 공헌할 수 있다.Further, since the heating means is an auxiliary heater, it is not necessary to control the temperature of the upper and lower heaters in the same way as in the conventional example, and it is preferable to set the temperature close to the heating means attached to the fixed table. Moreover, as the heating means, a rubber heater part reflecting plate having a small heat capacity is preferable. On the side where the temperature of the heating means mounted on the fixed plate rises, the reflecting plate reflects heat from the fixed plate to the reflecting plate, thereby suppressing the output of the rubber heater to the minimum and contributing to energy saving.

이러한 반사판으로는 알루미늄판 또는 금, 은의 코팅을 실시한 금속미러코팅재 등을 들 수 있다.As such a reflecting plate, an aluminum plate or a metal mirror coating material coated with gold or silver may be mentioned.

또한, 고정정반에 있어서의 하층부재와 상층부재의 접합면을 분리하는 분리기구로는, 편심력을 이용한 기구 또는 유압, 공기압을 이용한 실린더에 의한 기구를 들 수 있다.Moreover, as a separation mechanism which separates the joining surface of the lower layer member and the upper layer member in a fixed surface plate, the mechanism using an eccentric force, or the mechanism by the cylinder which used hydraulic pressure and pneumatic pressure is mentioned.

상기한 수단에 의하면, 가동정반을 중공구조로 하여 유리기판과 접촉하는 가압면을 고정정반에 의해 강성이 낮은 가요성 부재로 구성하고, 고정정반과 가동정반의 가압면에 강성차를 갖게 함으로서, 가동정반의 강성이 낮은 가요성 부재는 유리기판에 밀착하여 균일한 분포 하중이 부여되고, 상하 유리기판 사이의 간격은 균일하게 형성된다.According to the above means, the movable surface has a hollow structure, and the pressing surface in contact with the glass substrate is composed of a flexible member having a low rigidity by the fixed surface plate, and the rigid surface has a rigid difference between the pressing surface of the fixed surface plate and the movable surface plate. The flexible member with low rigidity of the movable plate is in close contact with the glass substrate and is given a uniform distribution load, and the space between the upper and lower glass substrates is formed uniformly.

그리고, 고정정반은 상·하층 부재의 2층구조로 하고, 기판에 가까운 쪽의 상층부재에는 냉각수단을 설치하고, 기판으로부터 먼쪽의 하층부재에는 가열수단을 설치함으로서, 급속냉각, 급속가열이 가능하게 된다. 게다가, 상기한 2층구조의 고정정반은 분리기구에 의해 붙이고 떼어냄이 자유롭도록 구성되어 있기 때문에, 가열·가압 형성후, 상·하층 부재를 분리하여 상층부재를 냉각하면, 냉각효율이 좋게 되고, 다음의 패널을 세트하여 열이력(熱履歷)을 가할 때, 패널상으로의 온도분포에 악영향을 끼치지 않게 된다.The fixed table has a two-layer structure of upper and lower layer members, and a cooling means is provided in the upper layer member close to the substrate, and a heating means is provided in the lower layer member far from the substrate, so that rapid cooling and rapid heating are possible. Done. In addition, since the above-mentioned two-layer fixed table is configured to be attached and detached by a separating mechanism freely, after heating and pressurizing, the upper and lower members are separated and the upper member is cooled, resulting in good cooling efficiency. When the next panel is set and a thermal history is applied, the temperature distribution on the panel is not adversely affected.

도 1은, 본 발명의 제조장치의 일 실시예를 나타내는 일부가 잘려진 정면도이다.1 is a cut-away front view showing an embodiment of the manufacturing apparatus of the present invention.

도 2는, 가동정반의 구조를 나타내는 확대단면도이다.2 is an enlarged cross-sectional view showing the structure of the movable table.

도 3은, 고정정반의 상·하층 부재를 분리하는 분리기구의 배치를 나타내는 평면도이다.3 is a plan view showing the arrangement of the separation mechanism for separating the upper and lower layer members of the fixed table.

도 4는, 편심축에 의한 분리기구의 동작을 나타내는 설명도로서, (a)는 상층부재가 하층부재와 접촉되어 있는 상태를 나타내고, (b)는 상층부재가 분리기구에 의해 상방으로 이동된 상태를 나타낸다.4 is an explanatory view showing the operation of the separation mechanism by the eccentric shaft, (a) shows a state where the upper layer member is in contact with the lower layer member, and (b) shows a state where the upper layer member is moved upward by the separation mechanism. Indicates.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

1 ‥‥ 고정정반 1a ‥‥ 상층부재1 ‥‥ Fixed plate 1a ‥‥ Upper layer member

1b ‥‥ 하층부재 2 ‥‥ 가동정반1b ‥‥ Lower layer member 2 ‥‥ Moving table

3 ‥‥ 분리기구 4 ‥‥ 냉각수단3 ‥‥ Separation mechanism 4 ‥‥ Cooling means

5 ‥‥ 가열수단 10 ‥‥ 가열수단(가동정반측)5 ‥‥ Heating means 10 ‥‥ Heating means (movable plate side)

a, b ‥‥ 유리기판a, b ‥‥ glass substrate

이하에, 본 발명의 일 실시예를 도면에 의거하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, one Example of this invention is described based on drawing.

도 1은 액정패널 제조장치의 개략을 나타내는 것이고, 위치를 맞추고, 또한 임시로 고정된 2매를 한쌍으로 하는 유리기판을 끼워붙여서 가열·가압하고, 유리기판 사이에 장착된 시일재를 소정의 간격까지 가압하고 열경화시킨 것으로서, 도면 중에서 1은 상·하층 부재의 2층구조로 이루어진 고정정반이고, 2는 상기 고정정반(1)의 상방으로 대향하여 배치된 가동정반이며, 3은 고정정반(1)을 구성하는 상·하층 부재(1a),(1b)의 접합상태를 상하방향으로 분리하는 분리기구이다.Fig. 1 shows an outline of a liquid crystal panel manufacturing apparatus, and puts and heats and presses a pair of glass substrates which are aligned and temporarily fixed to each other. Pressurized and thermoset as shown in the drawing, 1 is a fixed table having a two-layer structure of upper and lower layer members, 2 is a movable table disposed to face upward of the fixed table 1, and 3 is a fixed table ( It is a separation mechanism for separating the joining state of the upper and lower layer members 1a and 1b constituting 1) in the vertical direction.

상기한 고정정반(1)은, 액정패널을 구성하는 2매를 한쌍으로 하는 유리기판을 얹어놓는 것으로서 강성이 높은 흑연판으로 구성된 평면형상이 직사각형인 상층부재(1a)와 하층부재(1b)로 이루어지며, 유리기판과 접촉하는 상층부재(1a)에는 냉각수단(4)의 냉각수 배관을 삽입설치하고, 하층부재(1b)에는 가열수단(5)의 히터를 삽입배치한다. 그리고, 상기한 상·하층 부재(1a),(1b)는 유리기판을 가열·가압할 때에 대향하는 면(접합면)을 접촉상태로 유지시켜 하층부재(1b)에 삽입배치한 가열수단(5)의 열이 상층부재(1a)에 전달되어 유리기판의 가열을 효과적으로 행할 수가 있도록 구성되어 있다.The fixed surface plate 1 is a pair of glass substrates comprising two sheets of a liquid crystal panel. The flat plate 1 is a rectangular flat upper layer member 1a and lower layer member 1b. The cooling water pipe of the cooling means 4 is inserted into the upper layer member 1a in contact with the glass substrate, and the heater of the heating means 5 is inserted into the lower layer member 1b. The above-described upper and lower layer members 1a and 1b are provided with heating means 5 inserted and placed in the lower layer member 1b while keeping the opposing surfaces (bonding surfaces) in contact with each other when heating and pressing the glass substrate. Heat is transferred to the upper layer member 1a so as to effectively heat the glass substrate.

또, 상기한 상·하층 부재(1a),(1b)의 접합면은 각각 평탄면으로 형성하여 전면이 접촉하도록 구성되어도 좋고, 또는 상·하층 부재(1a),(1b)의 어느 한쪽의 접합면에 그 주위를 제외하고 오목부를 형성하고, 그 오목부의 공기층을 통하여 하층부재(1b)의 열이 상층부재(1a)에 전달되도록 구성하여도 좋다. 이러한 오목부를 형성한 경우에는 고정정반(1)의 균열성 및 평탄성을 개선할 수가 있다. 또, 상·하층 부재(1a),(1b)의 접촉은 평탄도를 좋게 하여도 접촉저항이 크고, 열균형에 있어서 균열성을 높이는 것도 어렵다. 이를 위하여, 평탄도를 높이는 것 대신에, 쿠션성이 있고 또한 열전도율이 좋은 필름, 예컨대 흑연섬유필름을 상층부재(1a)와 하층부재(1b) 사이에 위치시킨다.In addition, the joining surfaces of the upper and lower layer members 1a and 1b may each be formed into a flat surface, and may be configured so that the entire surface contacts each other, or the bonding of either the upper and lower layer members 1a and 1b. A concave portion may be formed on the surface except for its surroundings, and the heat of the lower layer member 1b may be transmitted to the upper layer member 1a through the air layer of the concave portion. When such a recess is formed, the cracking property and flatness of the fixed surface plate 1 can be improved. Moreover, even if the contact between the upper and lower layer members 1a and 1b improves the flatness, the contact resistance is large, and it is difficult to increase the cracking property in thermal balance. To this end, instead of increasing the flatness, a cushioning and good thermal conductivity film, such as a graphite fiber film, is placed between the upper layer member 1a and the lower layer member 1b.

그리고, 상·하층 부재(1a),(1b)는 항상 안정한 접촉상태를 유지하도록 상층부재(1a)와 하층부재(1b) 주위의 여러 곳에 스프링(6)을 설치한다. 이 스프링(6)의 작용으로 상·하층 부재(1a),(1b) 사이에 끼워진 흑연섬유필름이 압축되고, 상·하층 부재(1a),(1b) 사이의 간극이 채워져서 균열성이 얻어진다.The upper and lower layer members 1a and 1b are provided with springs 6 at various positions around the upper layer member 1a and the lower layer member 1b so as to always maintain a stable contact state. By the action of the spring 6, the graphite fiber film sandwiched between the upper and lower layer members 1a and 1b is compressed, and the gap between the upper and lower layer members 1a and 1b is filled to obtain cracking properties. Lose.

또, 고정정반(1)의 유리기판과 접촉하는 상층부재(1a)의 상면 주위에는 그 고정정반(1)의 상면에 놓여지는 2매를 한쌍으로 하는 유리기판(a),(b)의 주위를 에워싸도록 프레임(7)을 배치고정한다. 이 프레임(7)은, 유리기판(a),(b)의 총 두께와 같은 두께로 하고, 그 프레임(7)의 외측에는 O링(8)을 부착하고, 후술하는 가동정반(2)을 하강시켜서 유리기판에 접하게 한 때에 고정정반(1)과 가동정반(2) 및 O링(8)에 의해 폐공간이 구획되고, 그 내부공간은 통로(9)를 통하여 진공배기할 수 있도록 구성되어 있다.Also, around the upper surface of the upper layer member 1a in contact with the glass substrate of the fixed surface plate 1, the pair of glass substrates (a) and (b) paired with two sheets placed on the upper surface of the fixed surface plate 1 are Place and fix frame 7 to enclose it. The frame 7 is made to have the same thickness as the total thickness of the glass substrates a and b. An O-ring 8 is attached to the outside of the frame 7, and the movable plate 2 to be described later is attached. When lowered and brought into contact with the glass substrate, the closed space is partitioned by the fixed table 1, the movable table 2 and the O-ring 8, and the internal space is configured to allow vacuum exhaust through the passage 9. have.

고정정반(1)의 상방에 배치되는 가동정반(2)은, 상기한 고정정반(1)보다 둘레가 큰 단열기능을 보유한 직사각형의 프레임(2a)의 한 쪽 개구면(하면)에 가요성 부재로 이루어진 가압판(2b)을 설치하여 구성한다. 이러한 가압판(2b)으로는, 유리기판과 같은 정도의 열팽창율을 보유하고, 또한 가요성을 보유하는 시이트로서, 예컨대 폴리테트라플로로에틸렌(PTFE)을 함침한 유리크로스를 사용한다. 그리고, 정전기가 문제가 되는 경우에는 탄소가 함유된 폴리테트라플로로에틸렌(PTFE) 함침의 유리크로스를 사용하는 것이 좋다.The movable plate 2 disposed above the fixed plate 1 has a flexible member on one opening surface (lower surface) of the rectangular frame 2a having a larger thermal insulation function than the fixed plate 1 described above. The pressure plate 2b which consists of these is installed and comprised. As the pressure plate 2b, a glass cloth impregnated with polytetrafluoroethylene (PTFE) is used as a sheet having a thermal expansion rate similar to that of a glass substrate and also having flexibility. In addition, when static electricity is a problem, it is preferable to use glass cloth of impregnated polytetrafluoroethylene (PTFE) containing carbon.

상기한 가압판(2b)은, 가압판(2b)을 구성하는 시이트의 가장자리를 프레임 (2a)의 외측면을 따라서 직립하게 하고, 그 직립된 가장자리부를 시이트고정금구 (11)로 누르고, 시이트고정금구(11)를 나사(12)로 고정하여 부착된다. 또, 가압판 (2b)은 중앙부가 하방을 향하여 다소 늘어지도록 느슨하게 고정하여 설치한다.The pressing plate 2b makes the edge of the sheet constituting the pressing plate 2b stand up along the outer surface of the frame 2a, and presses the upright edge portion with the sheet fixing bracket 11, 11) is attached by fixing with a screw (12). In addition, the pressing plate 2b is loosely fixed to be installed so that the central portion thereof is slightly stretched downward.

또, 상기한 가동정반(2)의 내부, 즉 프레임(2a) 내측의 가압판(2b)보다 상방위치에는 가열수단(10)이 수용배치된다. 이 가동정반(2)에 요구되는 성능은, 평면균열성과 고정정반(1)과의 상하 온도관계이다. 따라서, 가압판(2b)에 온도의 기복이 발생하지 않는 가열수단(10)을 설치하는 것이 바람직하다. 이러한 구조에서는, 도 2에 나타내듯이 평면균열성이 높고, 열용량이 작은 고무히터부 반사판을 가압판의 상방에 매달리게 유지시킨다.Moreover, the heating means 10 is accommodated in the position above the inside of the movable surface plate 2, ie, the pressing plate 2b inside the frame 2a. The performance required for the movable table 2 is the relationship between the plane cracking and the upper and lower temperatures of the fixed plate 1. Therefore, it is preferable to provide the heating means 10 which does not generate | occur | produce temperature rise and fall in the pressure plate 2b. In such a structure, as shown in FIG. 2, the rubber heater part reflecting plate with high plane cracking property and small heat capacity is hold | maintained above the pressing plate.

이 고무히터부 반사판(10)은 실리콘히터(10a)의 하면에 반사판(10b)을 부착시킨 것으로서, 고정정반(1)의 상층부재(1a)로부터의 열을 반사판(10b)으로 반사시키는 것에 의해, 고무히터(10a)의 출력을 최저한으로 억제하여, 에너지 절약에 공헌할 수가 있다. 또한, 반사판(10b)으로는 알루미늄판 또는 금속미러코팅을 실시한 평판 등을 들 수 있다.The rubber heater part reflecting plate 10 is a reflecting plate 10b attached to the lower surface of the silicon heater 10a, and reflects heat from the upper layer member 1a of the fixed surface plate 1 to the reflecting plate 10b. The output of the rubber heater 10a can be suppressed to the minimum, contributing to energy saving. As the reflecting plate 10b, an aluminum plate or a flat plate subjected to metal mirror coating may be mentioned.

상기한 바와 같이 구성한 가동정반(2)은 지지부재(13)에 매달리게 유지시키고, 지지부재(13)를 하방으로 이동시킴으로서 가압판(2b)을 고정정반(1)의 O링에 접촉시킨다.The movable surface plate 2 constructed as described above is suspended from the support member 13, and the pressing plate 2b is brought into contact with the O-ring of the fixed surface plate 1 by moving the support member 13 downward.

고정정반(1)을 구성하는 상·하층 부재(1a),(1b)를 접촉상태로부터 분리하는 분리기구(3)는 편심축(14)을 이용한 것으로서, 고정정반(1)의 좌우 양측에 각각 2대를 중심으로부터 전후방향에 같은 거리의 간격으로 설치하고, 이 분리기구를 동시에 작동시킴으로서 상층부재(1a)를 하층부재(1b)와의 접촉으로부터 상방으로 들어올린다.Separation mechanism 3 for separating the upper and lower layer members 1a and 1b constituting the fixed surface plate 1 from the contact state uses an eccentric shaft 14, respectively, on the left and right sides of the fixed surface plate 1. The two units are provided at the same distance from the center in the front-rear direction, and the separating mechanism is operated simultaneously to lift the upper layer member 1a upward from the contact with the lower layer member 1b.

이 분리기구(3)는, 하우징(15)에 편심축(14)을 베어링(16)을 통하여 회전가능하게 유지시키고, 그 편심축(14)의 선단측, 즉 상층부재(1a)의 하면을 지지하는 곳에는 베어링(16')이 부착되며, 편심축(14)의 기단측은 로터리실린더(17)의 출력축에 커플링(18)에 의해 연결되고, 로터리실린더(17)의 회전으로 편심축(14)이 회전하도록 구성되어 있다. 그리고, 이 편심축(14)의 회전에 의해 베어링(16')을 통하여 상층부재(1a)가 치수 L만큼 들어올려져서, 하층부재(1b)와의 접촉이 분리된다.The separating mechanism 3 holds the eccentric shaft 14 in the housing 15 so as to be rotatable through the bearing 16, and the front end side of the eccentric shaft 14, that is, the lower surface of the upper layer member 1a. The bearing 16 'is attached to the supporting part, and the proximal end of the eccentric shaft 14 is connected to the output shaft of the rotary cylinder 17 by the coupling 18, and the eccentric shaft ( 14) is configured to rotate. By the rotation of the eccentric shaft 14, the upper layer member 1a is lifted up by the dimension L through the bearing 16 ', and the contact with the lower layer member 1b is separated.

또, 분리기구(3)의 편심축(14)을 회전시키는 구동원으로는 상술한 로터리실린더(공기식 액추에이터(actuator))에 한정되지 않으며, 전동모터로 한 것도 좋다. 또, 상·하층 부재(1a),(1b)는 상술한 분리기구(3)의 작동시, 양자의 상대적인 위치관계가 어긋남이 없도록 안내지주 등으로 지지한다.The driving source for rotating the eccentric shaft 14 of the separating mechanism 3 is not limited to the above-described rotary cylinder (air actuator), but may be an electric motor. In addition, the upper and lower layer members 1a and 1b are supported by a guide column or the like so that the relative positional relationship between the two and the lower layer members 1a and 1b does not deviate during operation of the above-described separation mechanism 3.

다음에 상술한 제조장치의 작동을 설명하면 다음과 같다. 고정정반(1)에 대해 가동정반 (2)을 상방으로 끌어올린만큼 열려진 상태에서 위치를 맞추고, 또한 임시로 고정된 2매를 한쌍으로 하는 유리기판(a),(b)을 고정정반(1)의 상층부재 (1a)의 상면에 놓이게 한다. 다음에, 가동정반(2)을 하방으로 내려서 그 정반의 가압판(2b)을 O링(8)에 접촉시켜서, 가압판(2b)과 O링(8)과 상층부재(1b)로 폐공간을 형성하고, 고정정반 (1)의 통로(9)를 통해 상기한 폐공간의 내부를 진공배기한다. 이로 인하여, 가동정반(2)의 가압판(2b)이 유리기판(a)에 부합하도록 변형밀착하여, 유리기판(a),(b)이 가압된다. 그리고 이 상태에서 고정정반(1)의 가열수단(5)과, 가동정반(2)의 가열수단(10)을 작동시키면 고정정반(1)은 하층부재(1b)로부터 열전도하여 상층부재 (1b)가 가열되고, 열전달에 의해 유리기판(a),(b)을 가열하고, 종래와 마찬가지로 하여 유리기판(a),(b) 사이의 시일재를 소정의 간격까지 압축하여 고착시킨다. 이 때, 가열과 함께 유리기판(a),(b) 및 고정정반(1), 가동정반(2)의 가압판(2b)도 열팽창하지만, 고정정반(1) 및 가압판(2b)이 열팽창계수가 유리기판과 거의 동일하기 때문에 어긋남이 제어될 수 있다. 또 상기한 가열은 가동정반(2)의 가열수단(10)이 히터부 반사판인 경우에는, 고정정반(1)으로부터의 열이 반사판(10b)으로 반사되어 유리기판(a)의 가열에 공헌하기 때문에 가열수단(10) 자체의 히터의 출력을 최저한으로 억제할 수가 있다.Next, the operation of the above-described manufacturing apparatus will be described. The glass substrates (a) and (b), which are paired with two sheets temporarily fixed and aligned in a state of being opened as far as the movable plate 2 is lifted upward with respect to the fixed plate 1, are fixed plate (1). ) Is placed on the upper surface of the upper layer member 1a. Next, the movable plate 2 is lowered and the platen plate 2b of the plate plate is brought into contact with the O-ring 8 to form a closed space with the platen plate 2b, the O-ring 8, and the upper layer member 1b. Then, the inside of the waste space is evacuated through the passage 9 of the fixed table 1. As a result, the pressing plate 2b of the movable plate 2 is deformed and adhered to conform to the glass substrate a, and the glass substrates a and b are pressed. In this state, when the heating means 5 of the fixed surface plate 1 and the heating means 10 of the movable surface plate 2 are operated, the fixed surface plate 1 conducts heat from the lower layer member 1b to allow the upper layer member 1b to operate. The glass substrates (a) and (b) are heated by heat transfer, and the sealing material between the glass substrates (a) and (b) is compressed and fixed to a predetermined interval in the same manner as before. At this time, the glass substrates (a), (b) and the fixed plate 1 and the pressing plate 2b of the movable plate 2 also thermally expand together with heating, but the coefficient of thermal expansion of the fixed plate 1 and the pressing plate 2b The shift can be controlled because it is almost the same as the glass substrate. In the above heating, when the heating means 10 of the movable table 2 is a heater reflecting plate, the heat from the fixed plate 1 is reflected by the reflecting plate 10b to contribute to the heating of the glass substrate a. Therefore, the output of the heater of the heating means 10 itself can be suppressed to the minimum.

상기한 가열·가압에 의한 성형 후, 고정정반(1)의 가열수단(5)과 가동정반 (2)의 가열수단(10)의 히터를 분리하고, 상기한 폐공간을 대기압으로 복귀시키고, 가동정반(2)을 상방으로 이동시켜 고정정반(1)상의 성형품(접합유리기판)을 꺼낸다. 그리고 꺼낸 후 고정정반(1)의 상층부재(1a)의 냉각수단(4)을 작동시켜 그 고정정반(1)을 냉각하지만, 냉각수단(4)을 구비한 상층부재(1a)가 가열된 하층부재 (1b)와 접촉한 상태대로 냉각한 경우, 소정의 온도까지 냉각하는데 필요한 시간이 길어지고, 열손실이 매우 많게 되어 냉각효율이 악화되어, 생산성에 큰 영향을 미치게 된다.After molding by the above-mentioned heating and pressing, the heating means 5 of the fixed table 1 and the heater of the heating means 10 of the movable table 2 are separated, and the above-mentioned closed space is returned to atmospheric pressure and operated. The platen 2 is moved upwards to take out the molded article (bonded glass substrate) on the fixed platen 1. After the removal, the cooling means 4 of the upper layer member 1a of the fixed surface plate 1 is operated to cool the fixed surface plate 1, but the lower layer on which the upper layer member 1a having the cooling unit 4 is heated. When cooling in the state in contact with the member 1b, the time required for cooling to a predetermined temperature becomes long, the heat loss becomes very large, the cooling efficiency is deteriorated, and the productivity is greatly affected.

이렇게 하여, 본 제조장치는 상하 2층구조의 고정정반을 분리기구에 의해 분리가 자유롭도록 함으로서, 가열성형 후의 냉각시는 상층부재(1a)와 하층부재(1b)를 분리시키고, 하층부재(1b)의 열영향을 없게 한 상태에서 상층부재(1a)를 냉각할 수가 있다. 그리고, 상기한 조작에 의해 다음의 유리기판이 놓여지는 상층부재(1a)의 표면온도를 소정의 온도 이하로 신속히 냉각시킬 수 있고, 다음의 유리기판을 세트하여 열이력을 가할 때에 기판상으로의 온도분포가 분산되는 것을 방지할 수가 있다.In this way, the present apparatus allows the fixing table of the upper and lower two-layer structure to be freely separated by the separating mechanism, so that the upper layer member 1a and the lower layer member 1b are separated during the cooling after the heating molding, and the lower layer member 1b. The upper layer member 1a can be cooled in the state which eliminated the heat influence of (). By the above operation, the surface temperature of the upper layer member 1a on which the next glass substrate is placed can be quickly cooled below a predetermined temperature, and when the next glass substrate is set to apply thermal history, It is possible to prevent the temperature distribution from being dispersed.

한편, 가열시 상층부재(1a)와 하층부재(1b)를 접촉시키고, 상층부재(1a)의 냉각능력으로 유리기판의 온도프로필을 탄력적으로 설정하는 운전도 가능하다.On the other hand, during heating, the upper layer member 1a and the lower layer member 1b are brought into contact with each other, and the operation of elastically setting the temperature profile of the glass substrate by the cooling capability of the upper layer member 1a is also possible.

본 발명의 액정패널 제조장치는 청구항 1에 기재된 구성에 의해, 유리기판의 전면을 균일하게 가열할 수 있고, 그 유리기판의 가압도 균일한 분포 하중으로서 압력을 가할 수 있으며, 또한 가열처리 후, 유리기판이 놓여지는 측의 정반표면을 소정의 온도 이하로 신속히 냉각시킬 수가 있다.In the liquid crystal panel manufacturing apparatus of the present invention, according to the configuration of claim 1, the entire surface of the glass substrate can be uniformly heated, and the pressure of the glass substrate can also be applied as a uniform distribution load, and after the heat treatment, The surface plate on the side where the glass substrate is placed can be quickly cooled below a predetermined temperature.

또, 청구항 2에 기재된 구성에 의해, 유리기판을 상하의 가열수단으로 가열할 때, 하측의 열을 반사판으로 반사시켜 유리기판에 효과적으로 작용시킬 수가 있기 때문에, 가동정반측에 구비되는 히터가 열용량이 작은 것이어도 좋고, 에너지 절약에 공헌할 수 있는 장치를 제공할 수 있다.Further, according to the configuration of claim 2, when the glass substrate is heated by the upper and lower heating means, the lower side heat can be reflected by the reflecting plate to effectively act on the glass substrate, so that the heater provided on the movable surface side has a small heat capacity. It may be used, and the apparatus which can contribute to energy saving can be provided.

또한, 청구항 3과 청구항 4에 기재된 구성에 의해, 가열시의 열팽창에 의한 어긋남을 제어할 수가 있다.Moreover, the shift | offset | difference by thermal expansion at the time of heating can be controlled by the structure of Claim 3 and Claim 4.

Claims (4)

2매의 유리기판을 스페이서를 통하여 대향시키고, 겹쳐진 상태로 가열·가압하고, 상기 2매의 기판 사이에 배치된 열경화성수지로 이루어진 시일재를 경화시키는 액정패널 제조장치에 있어서, 위치를 맞추고, 또한 임시로 고정된 2매를 한쌍으로 하는 유리기판을 끼워붙이는 한쪽의 고정정반과, 이 고정정반과 대향하여 그 정반과의 간격을 넓게 또는 좁게 변화시키고, 가압수단에 의해 가압되는 가동정반으로 이루어지고, 상기한 고정정반은 2층구조로서 유리기판에 가까운 쪽의 상층부재에는 냉각수단을 매설하고, 먼쪽의 하층부재에는 가열수단을 설치하며, 상기한 상·하층 부재의 접촉상태를 분리하는 분리기구를 설치하고, 또한 가동정반은 가열수단을 구비한 중공구조로 하고 유리기판과 상당하는 가압면은 가요성을 보유하는 재료로 구성한 것을 특징으로 하는 액정패널 제조장치.In the liquid crystal panel manufacturing apparatus which opposes two glass substrates through a spacer, heats and presses in an overlapping state, and hardens the sealing material which consists of thermosetting resins arrange | positioned between the two sheets, It consists of a fixed surface plate on which two pairs of temporarily fixed glass substrates are fitted, and a movable surface plate that is pressurized by a pressing means to change the distance between the surface plate and wide or narrow the surface plate. The fixed plate has a two-layer structure in which a cooling means is embedded in an upper layer member close to a glass substrate, a heating means is installed in a far lower member, and a separation mechanism for separating the contact state between the upper and lower layer members. And the movable table has a hollow structure with heating means, and the glass substrate and the corresponding pressing surface are made of a material having flexibility. A liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim. 제1항에 있어서, 상기한 가동정반이 중공부에 히터부 반사판을 내장한 것임을 특징으로 하는 액정패널 제조장치.2. The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the movable plate has a heater part reflecting plate embedded therein. 제1항에 있어서, 상기한 가동정반의 가요성 가압부재가, 유리기판과 같은 정도의 열팽창율을 보유하는 가용성 필름인 것을 특징으로 하는 액정패널 제조장치.The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the flexible pressing member of the movable plate is a soluble film having a coefficient of thermal expansion equivalent to that of a glass substrate. 제2항에 있어서, 상기한 가동정반의 가용성 가압부재가, 유리기판과 같은 정도의 열팽창율을 보유하는 가용성 필름인 것을 특징으로 하는 액정패널 제조장치.3. The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 2, wherein the soluble pressing member of the movable plate is a soluble film having a coefficient of thermal expansion equivalent to that of a glass substrate.
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