KR20000012030A - 정전형척의성능변수를외부위치에서테스트하는장치및방법 - Google Patents

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길버트 하우스만
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조셉 제이. 스위니
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Abstract

정전형 척의 성능 변수를 외부 위치에서 측정하고 외부 위치에서의 측정을 본래 위치에서의 성능과 상관시키는 장치 및 방법. 상기 장치는 탐침, 고정기, 데이터 획득 시스템, 제어기를 포함한다. 고정기는 척에 대해 실질적으로 고정된 위치에 탐침 헤드를 고정시킨다. 상기 장치는 시간의 함수인 척 표면 전위의 측정치를 척 전극에 인가된 전압과 함께 좌표 설정한다. 상기 방법은 척과 탐침 헤드를 고정기에 고정시키는 단계, 표면 전위와 같은 척의 외부 위치 성능 변수를 측정하는 단계, 그리고 측정된 변수를 소정의 본래 위치 성능 프로파일과 비교하는 단계를 포함한다. 외부 위치 성능 변수 측정치는 시간의 함수로 측정될 수 있으며/있거나 척 전극에 인가되는 전압의 변화와 함께 좌표 설정될 수 있다. 측정된 변수를 이상적인 본래 위치 성능 프로파일과 비교함에 의해, 외부 위치 측정치가 본래 위치에서의 척 동작의 예보자로 된다.

Description

정전형 척의 성능 변수를 외부 위치에서 테스트하는 장치 및 방법 {APPARATUS AND METHOD FOR EX-SITU TESTING OF PERFORMANCE PARAMETERS ON AN ELECTROSTATIC CHUCK}
정전형 척(electrostatic chucks)은 컴퓨터 그래픽 플로터에서 종이를 지지하는 데에서부터 반도체 웨이퍼 처리 챔버 내의 반도체 웨이퍼를 지지하는 것에 이르기까지의 여러 분야에서 피가공재를 지지하는데 사용된다. 반도체 웨이퍼 처리 장치에서, 정전형 척은 처리하는 동안 웨이퍼를 받침대(pedestal)에 고정시키는데 사용된다. 정전형 척은 에칭, 화학 기상 증착(CVD), 물리 기상 증착(PVD) 등에서 사용된다.
정전형 척은 피가공재와 척 사이에 정전 인력을 생성함에 의해 피가공재를 고정시킨다. 척의 하나 이상의 전극에 전압이 인가되어 피가공재와 전극의 각각에 반대 극성 전하를 유도한다. 반대 전하는 피가공재를 척으로 끌어당겨 피가공재를 지지시킨다. 예를 들어, 단극형(monopolar) 정전형 척에서는 기준 전위(ground reference)에 대해 전도성 척 전극에 전압이 인가된다. 고정된 피가공재와 정전형 척 사이에 정전력이 형성된다. 전압이 인가되면, 피가공재는 웨이퍼로의 전도성 연결에 의해 전압원과 동일한 기준 전위를 갖게된다. 양극형(bipolar) 정전형 척은 일반적으로 하나의 세라믹 척 본체 내에 내장된 두개의 전극을 포함한다. 예를 들어, 세라믹 척 본체는 질화 알루미늄, 또는 산화 티타늄, 산화 크롬과 같은 금속 산화물로 도핑된 질화 붕소, 또는 이와 비슷한 저항 특성을 가진 다른 세라믹 재료로 제조된다. 상기 유형의 세라믹들은 특히 고온에서 전도성이 있다(비교적 낮은 저항을 가진다). 세라믹 재료의 전도성때문에, 피가공재는 존슨-라벡 효과(Johnsen-Rahbek effect)에 의해 척 본체의 상면에 주로 지지된다. 존슨-라벡 척은 1992년 5월 26일자 미국 특허 제 5,117,121호와 1995년 10월 31일자 미국 특허 5,463,526호에 개시되어 있다.
정전형 척의 성능(즉, 처킹력(chucking force))은 시간에 따라 변화된다. 예를 들어, 어떤 척들은 처킹 전압(chucking voltage)이 척 전극에 인가된 후에 시간에 따라 처킹력의 약화를 보인다. 이는 척의 벌크 재료(bulk material)에 저 이동도 전하 캐리어가 존재하기 때문인 것으로 생각된다. 다른 척들은 처킹 전압이 차단되었을 때 순시적 척력을 나타낸다. 이는 척 전원의 차단 시에 척 전극 상의 순시 과전하에 의해 척 전극 상에 유도된 동 극성 전하에 의한 웨이퍼 배면의 잔류 전하의 척력에 기인하는 것이다.
척의 반응은 척에 따라 예상 불가한 형태로 변한다. 그러나, 정전형 척의 성능은 일반적으로 척의 상면의 정전 표면 전위와 같은 성능 변수에 의해 측정될 수 있다. 표면 전위는 피가공재를 실제로 끌어당기는 처킹력에 직비례한다.
종래에는 본래의 위치(즉, 처리 챔버 내)에 있는 정전형 척의 표면 전위를 측정하는데 휴대용 정전형 탐침 및 계측기가 사용되었다. 그러나 불행히도 그러한 측정은 척 성능의 신뢰성있는 지표로 생각되지 않는다. 표면 전위의 신뢰성있는 측정은 정전형 탐침이 척 표면으로부터 일정 거리만큼 떨어져 있을 것은 요한다. 게다가, 시간에 따라 측정된 표면 전위의 측정치를 비교하거나 서로 다른 척에 대한 측정치들을 비교하기 위해서는 탐침이 척 표면의 동일 위치에 유지되어야 한다. 마지막으로, 휴대용 탐침 측정을 척 전극에 인가되는 전압의 타이밍과 함께 좌표 설정시키는 것이 어렵다.
따라서, 정전형 척 성능 변수를 신뢰성 있게 측정하고 이들 측정치를 본래 위치(in-situ)에서의 척 성능과 상관(correlation) 시키는 장치 및 방법에 대한 요청이 존재한다. 종래 기술 상의 상기 문제점은 정전형 척 성능 변수를 외부 위치(ex-situ) 측정하고 이 외부 위치 측정치들을 본래 위치에서의 척 성능과 상관 시키는 장치 및 방법에 관한 본 발명에 의해 해결된다. 이 장치는 조정된 조건 하에서 정전형 척이 테스트될 수 있도록 외부 위치(즉, 챔버 환경 외부)에 위치된다.
본 발명의 내용은 다음의 첨부 도면을 참고로 하여 이하의 상세한 설명을 고찰함에 의해 용이하게 이해될 것이다. 이해를 돕기 위해 동일 부재를 지시하는 데에는 될 수 있으면 동일 도면부호를 사용하였다.
도 1은 본 발명의 외부 위치 측정 장치의 개략도.
도 2는 도 1의 처리 시스템의 시스템 제어기의 블록도.
도 3은 본 발명의 방법의 흐름도.
도 4는 본 발명의 외부 위치 측정 장치에 의한 전형적인 데이터 기록.
이 장치는 탐침, 고정기(fixture), 데이터 획득 시스템 및 제어기(controller)를 포함한다. 고정기는 척에 대해 실질적으로 고정된 위치에 탐침 헤드를 고정시킨다. 탐침 헤드는 척 표면 전위와 같은 외부 위치 성능 변수를 측정한다. 데이터 획득 시스템은 탐침 헤드(또는 탐침 헤드에 연결된 계기)로부터 아날로그 표면 전위 측정치를 수신하고 처리와 저장을 위해 제어기로 보낸다. 스위칭 장치는 척 전원을 데이터 획득 시스템에 연결시킨다. 제어기는 소정의 테스트 루틴에 따라 척 전극에 인가되는 전압을 제어한다. 테스팅 장치는 시간의 함수로서의 척 표면 전위의 측정치를 척 전극에 인가되는 전압과 함께 좌표 설정한다.
상기 장치는 본 발명의 방법을 구현하는데 사용될 수 있다. 본 발명의 방법은 척과 탐침 헤드를 고정기에 고정하는 단계, 척의 외부 위치 성능 변수를 측정하는 단계, 및 상기 측정된 변수를 소정의 본래 위치 성능 프로파일과 비교하는 단계를 포함한다. 외부 위치 성능 변수(예를 들어, 표면 전위)는 시간의 함수로 측정되고/되거나 척 전극에 인가되는 전압의 변화와 함께 좌표 설정될 수 있다. 측정된 변수를 이상적인 본래 위치 성능 프로파일과 비교함에 의해, 외부 위치 측정이 본래 위치에서의 척 동작의 예보자로 된다. 대안적으로, 측정된 외부 위치 성능 변수가 품질 제어 또는 고장 분석 목적으로 사용될 수도 있다.
본 발명의 측정 장치(100)는 도 1에 도시되어 있다. 장치(100)는 정전형 척(110)의 하나 이상의 성능 변수의 측정을 위해 외부 위치(즉, 처리 챔버 외부)에 위치해 있다. 장치(100)는 고정기(120), 탐침(130), 제어기(140) 및 데이터 획득 시스템(150)을 포함한다. 고정기(120)는 척 지지부(chuck support)(122)와 탐침대(probe mount)(124)를 포함한다. 척은 볼트 또는 클램프와 같은 적당한 수단에 의해 척 지지부에 고정된다. 두개의 수직 기둥(126A, 126B)이 탐침대(124)를 지지한다. 탐침(130)의 탐침 헤드(132)가 척(110)에 대해 실질적으로 고정된 위치에 고정될 수 있도록 탐침 헤드(132)가 탐침대(124)에 고정된다. 탐침대(124)는 탐침 헤드(132)를 척(110)의 표면(112)으로부터 일정 거리(D) 만큼 유지시킨다. 거리(D)는 약 1-2㎜임이 바람직하다. 탐침대(124)는 서로 다른 크기와 형상의 척(110)을 수용할 수 있도록 탐침 헤드(132)의 위치 조정을 허용하며 또한 척 표면(112)의 서로 다른 위치에서의 성능 변수 측정을 허용한다.
탐침 헤드(132)는 예를 들어 척(11)의 표면(112)에서 정전 표면 전위를 측정하는 정전형 탐침이다. 탐침 헤드(132)로부터의 신호는 증폭과 필터링 같은 선처리(pre-processing)를 위해 정전형 전기 계기(134)로 전달된다. 탐침과 계기는 예를 들어 뉴욕 메디나의 Trek, Inc.에서 제조되는 Trek 344 정전 계기이다. 계기(134)는 데이터 획득 시스템(150)의 아날로그 입력(152)에 연결되는 아날로그 출력(136)을 가진다. 데이터 획득 시스템은 예를 들어 코네티컷 스탬포드의 Omega Engineering에서 제조되는 Omega Data Shuttle이다. 표면 전위 측정치를 나타내는 탐침 헤드로부터의 신호는 계기(134)를 통해 데이터 획득 시스템(150)으로 전달된다. 다음, 데이터 획득 시스템(150)은 이 신호를 처리하여 제어기(140)로 보낸다. 예를 들어, 데이터 획득 시스템(150)은 아날로그-디지털(A/D) 컨버터(153) 그리고 메모리, 클록, 전원, 필요한 신호 처리를 수행하기 위한 입출력(I/O)과 같은 지원 회로(156)를 포함한다.
어떤 형태의 척(110)도 장치(100)에 의해 테스트될 수 있다. 척(110)은 통상 폴리이미드 또는 세라믹과 같은 유전 재료로 제조된다. 척은 척(110)이 본래 위치(즉, 처리 챔버 내부)에 있는 처리 기간 동안 지지면(112) 상에 반도체 웨이퍼(도시되지 않음)를 지지한다. 척(110)은 예를 들어 두개의 척 전극(114A, 114B)을 포함하는 양극 척(bipolar chuck)이다. 비록 두개의 전극(114A, 114B)을 가진 양극 척(110)이 도시되어 있지만, 장치(100)는 어떤 개수의 처킹 전극과 단극형, 양극형, 삼극형, 깍지형(interdigitated), 띠형(zonal) 등 어떤 형태의 처킹 전극 구조를 포함하는 척(110)과도 사용될 수 있다.
전압 전원(160)에 의해 반대 극성의 전압이 척 전극(114A, 114B)에 인가된다. 전압 전원(160)의 접지된 중간 탭(162)이 계기(134)에 연결되어 계기(134)에 고정 기준 전위를 제공한다. 전원(160)이 데이터 획득 시스템(150)을 통해 제어기(140)에 연결되어 있어서, 제어기(140)로부터의 명령에 의해 변수 측정이 수행될 수 있다. 예를 들어, 전압이 척 전극(114A, 114B)에 인가될 수 있다. 예를 들어, 릴레이(164) 같은 고전압 온/오프 스위칭 장치가 스위치(166)를 동작시켜 척 전극(114A 및/또는 114B)으로의 전압을 차단한다. 비록 도 1에 쌍극 스위치(double pole switch)가 도시되어 있지만, 단극 스위치나 다른 적당한 스위치도 그 위치에 사용될 수 있다. 릴레이는 데이터 획득 시스템(150)의 프로그램 가능 출력(154)과 같은 신호에 응답하여 동작한다.
제어기(140)는 척의 하나 이상의 성능 변수의 외부 위치 측정을 개시, 모니터, 조정 및 종료하는데 필요한 신호들을 제공하는 하드웨어를 포함한다. 제어기(140)의 세부 사항은 도 2의 블록도에 도시되어 있다. 제어기는 예를 들어 캘리포니아 프레몬트의 West Coast Peripherals에서 제조되는 펜티엄 90이다. 펜티엄은 Intel Corporation의 상표이다. 제어기(140)는 메모리(142)(예를 들어, RAM, ROM, 하드 디스크 및/또는 제거가능 저장수단)와 동작할 수 있는 프로그램 가능 중앙 처리 장치(CPU), 그리고 전원(144), 클록(145), 캐쉬(146), 입/출력(I/O)회로(147) 등과 같은 공지의 지원 회로(143)를 포함한다. 더 상세히 말하면, 입/출력 회로(147)는 제어 출력(147A)과 같은 제어 신호를 생성하면, 입력(147B)과 같은 신호를 수신한다. 메모리(142)에 저장된 소프트웨어를 실행함에 의해, 제어기(140)는 데이터 획득 시스템의 프로그램 가능 출력(154)을 통해 전원 릴레이(power relay)(164)를 제어하는 제어 출력(147A)을 생성한다. 제어기는 데이터 획득 시스템(150)의 아날로그 입력(152)과 A/D 컨버터(153)를 통해 입력(147B)에서 정전형 전기 계기로부터의 신호를 수신한다.
제어기(140)는 또한 조작자에 의해 용이하게 이해될 수 있는 형태로 정보를 디스플레이하는 적어도 하나의 디스플레이 장치(148)를 포함한다. 제어기는 또한 제어기(140)에 의해 용이하게 해석될 수 있는 형태로 조작자로부터 제어기(140)로 정보는 보내는 적어도 하나의 사용자 인터페이스(149)를 포함한다. 디스플레이 장치(148)는 예를 들어 음극선관(CRT) 모니터이다. 사용자 인터페이스(149)는 예를 들어 키보드 또는 마우스이다. 대안적으로, 디스플레이(148)와 사용자 인터페이스(149)가 "터치 스크린" 또는 라이트 펜(light pen)형 인터페이스 상에 시스템 변수와 제어 아이콘을 묘사하는 그래픽 디스플레이로 결합될 수도 있다.
본 발명의 방법의 단계들은 제어기(140)의 CPU(141)에서 수행되는 적당한 컴퓨터 프로그램에 의해 실행될 수 있다. CPU(141)는 도 3의 흐름도에 도시된 본 발명의 방법의 실시예의 프로그램(300)과 같은 프로그램을 실행할 때 특정 목적 컴퓨터로 되는 범용 컴퓨터를 구성한다. 비록 본 발명이 소프트웨어로 구현되고 범용 컴퓨터 상에서 실행되는 것으로 개시되었지만, 당업자는 본 발명이 에이식(ASIC) 또는 기타 하드웨어 회로와 같은 하드웨어를 이용하여 구현될 수도 있음을 인지할 것이다. 따라서, 본 발명은 전체 또는 부분적으로 소프트웨어, 하드웨어 또는 양자로 구현될 수 있다.
당업자는 도 3의 흐름도에 도시된 프로그램(300)과 같은 컴퓨터 프로그램을 용이하게 고안할 수 있을 것이다. 프로그램(300)은 정전형 척의 성능 변수의 외부 위치 측정을 모니터링하고 제어하는데 적합하다. 비록 프로그램(300)이 표면 전위 측정에 대해 개시되었지만, 당업자는 본 발명의 방법이 전계 강도 또는 전속 밀도와 같은 어떠한 외부 위치 변수에도 적용될 수 있음을 인지할 것이다.
본 발명의 방법은 단계(302)에서 시작하여, 척(110)과 탐침 헤드(132)가 고정기(120)에 고정되는 단계(304)로 진행된다. 예를 들어 프로그램(300)은 탐침 헤드(132)와 척(110)을 고정기(120)에 고정시키도록 조작자를 상기시키는 프롬프트가 디스플레이 장치(148)에 나타나도록 하는 제 1 명령 세트를 실행한다. 척 형태, 척 전압, 실험 시간과 날짜 같은 실험 변수들도 이 때 조작자에 의해 입력될 수 있다.
다음, 단계(306)에서, 척의 외부 위치 성능 변수 측정이 시작된다. 예를 들어, 프로그램(300)은 클록으로부터의 타이밍 신호, 탐침 헤드로부터의 표면 전위 신호를 처리하는 제 2 명령 세트를 실행하여 표면 전위(Φ)가 시간(t)의 함수로 측정될 수 있도록 한다. 시간과 전압 측정치는 예를 들어 배열 Φ(t)로 저장될 수 있다. 제 1 소정 시간(T1)이 지난 후에, 제 3 명령 세트가 데이터 획득 시스템(150)으로의 제어 출력으로 하여금 릴레이(164)를 여기시켜 스위치(166)를 닫아 전원(160)이 처킹 전압을 척 전극(114A 및/또는 114B)에 인가하도록 한다. 제 2 소정 시간(T2)이 지난 후에, 제 4 명령 세트가 제어 출력으로 하여금 데이터 처리 시스템(150)에 신호를 공급하여 릴레이(164)를 개방하여 척 전극(114A 및/또는 114B)에 인가되는 전압을 차단하도록 한다. 제 3 소정 시간(T3)이 지난 후에, 제 5 명령 세트가 프로세서(141)에 신호를 보내어 데이터 기록과 측정 단계(306)가 종료되도록 한다. 소정 시간(T1)과 소정 시간(T2)은 프로그램(300)의 일부일 수도 있고 단계(306) 이전에 조작자에 의해 입력될 수도 있다. 대안적으로, 척 전압의 인가와 측정 단계(306)의 시작과 정지는 사용자 인터페이스(149)를 통해 조작자의 재량으로 제어될 수도 있다. 비록 이 실시예에서는 처킹 전압이 한번 켜지고 한번 꺼졌지만, 처킹 전압은 몇번이라도 온 오프될 수 있다
다음, 측정된 성능 변수는 단계(308)에서 소정의 성능 프로파일과 비교된다. 예를 들어, 시간의 함수인 척 표면 전위의 외부 위치 측정치가 공지의 본래 위치에서의 척 성능에 대한 시간 대 척 전압의 표준 프로파일과 비교될 수 있다. 소정의 본래 위치 성능 프로파일이 제어기(140)의 메모리(142)에 배열 P(t)로 저장될 수 있다. 구체적으로, 6개 명령 세트는 적당한 상관 알고리듬(correlation algorithm)에 따라 배열 Φ(t)과 배열 P(t) 사이의 비교를 정량화하는 상관 변수(C)를 계산한다. 대안적으로, 제 7 명령 세트는 조작자가 시각적으로 비교할 수 있도록 디스플레이 상에 배열 Φ(t)와 P(t)를 그래프로 디스플레이한다. 측정된 성능 변수가 소정의 성능 프로파일과 비교된 후, 방법은 단계(310)에서 종료된다.
외부 위치 성능 변수 측정치와 표준 본래 위치 성능 프로파일의 비교 예가 도 4에 도시되어 있다. 그래프(400)는 척(110)과 같은 정전형 척의 전극(114A)과 같은 음극을 근사한 표면 전위 Φneg(볼트로 측정됨)를 나타내는 수직축(402)을 가진다. 시간 t(초로 측정됨)는 수평축(404)을 따라 도시되어 있다. 실선 플롯(406)은 소정의 성능(즉, 표면 전위) 프로파일을 나타낸다. 원(407)으로 표시된 플롯(408)은 외부 위치 변수(즉, 표면 전위) 측정치를 나타낸다.
두 플롯(406, 408) 모두 모니터되는 전극(114A)에 인가된 처킹 전압 0에 대해 거의 0의 표면 전위를 보이고 있다. 제 1 소정 시간(T1)에, 음 전압이 척 전극(114A)에 인가된다. 두 플롯 모두 표면 전위 Φ가 음의 값 Φ0으로 급격하게 떨어진다. 이상적으로는, 플롯(406)으로 도시된 바와 같이 척 전압이 유지되는 동안 표면 전위 Φ의 프로파일이 Φ0로 고정 유지되어야 한다. 그러나, 측정된 표면 전위는 플롯(408)으로 도시된 바와 같이 시간에 따라 감소(즉, 덜 음성적으로 됨)된다. 결국, 측정된 표면 전위는 Φ0에서 ΔV만큼 차이나게 된다. 표면 전위의 이러한 감소는 척(110)에 의해 생성된 처킹력의 감소에 대응된다. 제 2 소정 시간(T2)이 지난 후, 전극(114A)에 인가된 전압이 꺼진다. 이상적으로는, 표면 전위 프로파일 Φ이 플롯(406)으로 도시된 바와 같이 급속하게 0으로 되어야 한다. 그러나, 실제로는 플롯(408)으로 도시된 바와 같이 측정된 전위가 소정의 프로파일을 Φmax만큼 오버슈트하고 이어서 감소된다. 그러한 표면 전위의 오버슈트는 처킹력을 인력에서 척력으로 전환시켜 웨이퍼가 척으로부터 해제되도록 할 수 있다. 본 발명의 방법의 바람직한 실시예에서는 T1이 60초이며, T2는 300초이며, 처킹 전압은 ±125볼트이다.
전압차 ΔV 또는 오버슈트 Φmax는 프로그램(300) 내에서 적절한 명령 세트에 의해 계산될 수 있다. ΔV 또는 Φmax값(또는 그 중 하나 또는 둘에 의거한 계산치)은 상관 변수(C)로 될 수 있다. 소정의 수용 가능한 한계치를 넘는 C 값은 조작자에게 테스트되는 척이 본래 위치 동작에 부적당함을 경고하는 것이다.
본 발명은 제어기(140) 없이도 실시될 수 있다. 예를 들어, 데이터 획득 시스템(150)이 탐침 헤드(132) 및/또는 정전형 전기 계기(134)에 직접 연결된 저장 오실로스코프(storage oscilloscope), 펜 플로터, 또는 스트립 챠트 레코더(strip chart recorder)를 포함할 수 있다. 그러면, 플롯(408)과 같은 디스플레이 장치(148)로부터의 플롯이 플롯(406)과 같은 소정의 성능 프로파일과 용이하게 비교될 수 있다.
당업자는 개시된 본 발명의 장치와 방법의 다른 변형 예를 용이하게 고안할 수 있을 것이다. 예를 들어, 탐침 헤드(132)는 탐침 헤드(132)가 척 표면(112)을 주사하는 동안 성능 변수 측정이 이루어질 수 있도록 탐침 헤드(132)가 고정기(120)에 이동 가능하게 장착될 수 있다. 대안적으로, 전원(160)이 연속적으로 조정되도록 하고 척 전극(114A, 114B)에 인가되는 전압이 측정될 수 있도록 하는 적당한 회로로 릴레이(164)가 대체될 수도 있다. 따라서, 표면 전위와 같은 성능 변수가 척 전극(114A, 114B)에 인가되는 전압의 함수로 측정될 수도 있다.
본 발명의 장치와 방법은 정전형 척에 관련된 문제를 검출하는 외부 위치 측정을 제공한다. 외부 위치 측정은 척이 처리 챔버에 장착되기 전에 벤치-탑(bench-top) 또는 다른 제어된 실험 환경에서 수행될 수 있다. 따라서, 이 장치와 방법은 정전형 척의 외부 위치에서의 품질 제어를 제공한다. 게다가, 본 발명의 방법은 본래 위치에서 수용 불가한 성능을 보이는 척의 외부 위치 고장 분석의 품질 제어를 제공한다.
비록 본 발명의 내용을 포함하는 여러 실시예들이 개시되었지만, 당업자는 본 발명의 내용을 포함하는 다른 실시예들도 용이하게 고안할 수 있을 것이다.

Claims (19)

  1. 정전형 척의 성능 변수를 외부 위치에서 테스트하는 장치에 있어서,
    (a) 탐침;
    (b) 상기 정전형 척에 대해 실질적으로 고정된 위치에 상기 탐침을 고정시키는 고정기; 그리고
    (c) 상기 탐침에 연결된 데이터 획득 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탐침은 계기에 연결된 탐침 헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 계기는 정전형 계기인 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 탐침은 상기 정전형 척의 정전 표면 전위를 측정하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정기는 두개의 수직 기둥에 의해 지지되는 탐침대를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 획득 시스템에 연결된 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    전압 전원과 릴레이를 더 포함하며, 상기 릴레이는 상기 전압 전원을 상기 데이터 획득 시스템에 연결시키는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  8. 정전형 척의 성능 변수를 외부 위치에서 테스트하는 장치에 있어서,
    (a) 탐침 헤드와 계기를 구비한 탐침;
    (b) 상기 정전형 척에 대해 실질적으로 고정된 위치에 상기 탐침 헤드를 고정시키는 고정기;
    (c) 상기 탐침에 연결된 데이터 획득 시스템; 그리고
    (d) 상기 데이터 획득 시스템에 연결된 시스템 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 탐침은 상기 정전형 척의 정전 표면 전위를 측정하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    전압 전원과 릴레이를 더 포함하며, 상기 릴레이는 상기 전압 전원을 상기 데이터 획득 시스템에 연결시키는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  11. 상기 전압 전원은 상기 데이터 획득 시스템에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  12. 탐침, 고정기, 상기 탐침에 연결된 데이터 획득 시스템을 포함하는 장치에서 하나 이상의 전극을 구비한 정전형 척의 성능 변수를 측정하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 정전형 척과 상기 탐침을 상기 고정기에 고정시키는 단계;
    (b) 외부 위치 성능 변수를 측정하는 단계; 그리고
    (c) 상기 외부 위치 성능 변수를 소정의 본래 위치 성능 프로파일과 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 측정 단계는 상기 하나 이상의 전극에 인가되는 전압을 변경시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 비교 단계는 상관 변수를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 외부 위치 성능 변수는 상기 정전형 척의 표면 전위인 것을 특징으로 하는 측정 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 표면 전위는 시간의 함수로 측정되는 것을 특징으로 하는 측정 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 본래 위치 성능 프로파일은 상기 정전형 척의 이상적인 표면 전위를 시간의 함수로서 나타낸 것임을 특징으로 하는 측정 방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 비교 단계는 상기 표면 전위를 시간의 함수로 플로팅(plotting)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 방법.
  19. 탐침, 고정기, 상기 탐침에 연결된 데이터 획득 시스템, 및 상기 데이터 획득 시스템에 연결된 제어기를 포함하며 하나 이상의 전극을 가진 정전형 척의 성능 변수를 측정하는 장치를 제어하는 프로그램 코드를 내장한, 컴퓨터로 판독 가능한 저장 매체에 있어서, 상기 프로그램 코드는
    (a) 상기 정전형 척과 상기 탐침을 상기 고정기에 고정시키는 단계;
    (b) 외부 위치 성능 변수를 측정하는 단계; 그리고
    (c) 상기 외부 위치 성능 변수를 소정의 본래 위치 성능 프로파일과 비교하는 단계에 다라 상기 측정 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터로 판독 가능한 저장 매체.
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