KR20000004392A - Method forming barrier rib of plasma display panel - Google Patents

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KR20000004392A
KR20000004392A KR1019980025824A KR19980025824A KR20000004392A KR 20000004392 A KR20000004392 A KR 20000004392A KR 1019980025824 A KR1019980025824 A KR 1019980025824A KR 19980025824 A KR19980025824 A KR 19980025824A KR 20000004392 A KR20000004392 A KR 20000004392A
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손홍균
이광호
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김영환
현대전자산업 주식회사
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    • H01J2211/361Spacers, barriers, ribs, partitions or the like characterized by the shape

Abstract

PURPOSE: A method forming barrier rib of plasma display panel is provided to achieve simplification of process. CONSTITUTION: The method comprises the steps of: deposing barrier rib on a back of substrate, forming exposure layer pattern to expose predetermined parts of the barrier rib, removing the exposed barrier rib by sand blast method, forming first barrier ribs on the back of substrate by removing the exposure layer pattern, forming second barrier rib on the first barrier rib by printing method, and burning the first and second barrier ribs.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법Partition wall formation method of plasma display panel

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것으로, 특히, 격벽 형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel, and more particularly, to a method of forming a partition wall.

평판 디스플레이 장치의 하나인 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하, PDP)은 독립적으로 방전시킬 수 있는 방전셀의 배열로 구성되며, 외부로부터 인가된 전기적신호에 따라 각 방전셀들을 독립적으로 방전시켜 소정의 영상을 재현한다.Plasma Display Panel (PDP), which is one of the flat panel display devices, is composed of an array of discharge cells capable of independently discharging, and discharges each discharge cell independently according to an electrical signal applied from the outside. To reproduce the image.

이러한, PDP는 전체적인 두께를 10cm 이하로 제작할 수 있기 때문에 전자총을 사용하는 브라운관 디스플레이 장치에 비해 그 두께 및 무게를 현저하게 감소시킬 수 있으며, 아울러, 액정표시소자에 비해 넓은 시야각을 확보할 수 있는 장점이 있다.Since the overall thickness of the PDP can be less than 10 cm, the thickness and weight of the PDP can be remarkably reduced compared to the CRT display device using an electron gun. There is this.

또한, PDP는 한 쌍의 유리기판이 방전셀들을 한정하는 격벽(Barrier Rib)의 개재하에 합착된 구조로 이루어지는데, 이때, 격벽들의 간격을 넓게 구성함으로써, 대화면 디스플레이 장치의 제작이 용이하다는 장점도 가지고 있다.In addition, the PDP has a structure in which a pair of glass substrates are bonded to each other through a barrier rib defining a discharge cell. In this case, a large display device can be easily manufactured by forming a wide gap between the barrier ribs. Have.

도 1은 종래 교류형 PDP를 도시한 도면으로, 도시된 바와 같이, 교류형 PDP는 어드레스전극(2)이 구비된 배면기판(1)과 방전유지전극(7)이 구비된 전면기판(6)이 서로 마주보도록 합착되고, 기판들(1, 6) 사이의 방전공간에는 아르곤(Ar), 네온(Ne) 또는 크세논(Xe)과 같은 방전가스(10)가 봉입되어 있는 구조이다.FIG. 1 is a view showing a conventional AC PDP. As illustrated, the AC PDP includes a rear substrate 1 having an address electrode 2 and a front substrate 6 having a discharge sustaining electrode 7. These are bonded to face each other, and the discharge space 10 such as argon (Ar), neon (Ne), or xenon (Xe) is sealed in the discharge space between the substrates 1 and 6.

여기서, 배면기판(1) 상에는 어드레스전극(2)과 이를 피복하는 제1유전체층(3)이 형성되어 있으며, 상기 제1유전체층(3) 상에는 독립적인 방전공간을 한정함과 아울러 이웃하는 방전공간들간의 크로스토크(Crosstalk)를 방지하는 격벽들(4)이 형성되어 있고, 격벽들(4) 사이에는 형광체층(5)이 형성되어 있다.Here, the address electrode 2 and the first dielectric layer 3 covering the address electrode 2 are formed on the rear substrate 1, and the independent discharge spaces are defined on the first dielectric layer 3, and the adjacent discharge spaces are formed. The barrier ribs 4 are formed to prevent crosstalk from each other, and the phosphor layer 5 is formed between the barrier ribs 4.

이때, 어드레스전극(2) 및 격벽(4)은 통상 인쇄법, 샌드 블라스트법(Sand Blast), 또는, 리프트 오프법(Lift-Off)을 이용하여 형성한다.At this time, the address electrode 2 and the partition wall 4 are formed using a printing method, a sand blast method (Sand Blast), or a lift-off method (Lift-Off).

그리고, 전면기판(6) 상에는 투명전극(7a)과 버스전극(7b)으로 이루어진 방전유지전극들(7)이 하나의 방전공간 마다 두 개씩 배치되게 형성되어 있으며, 상기 방전유지전극들(7)이 덮혀지도록 기판(6) 전면에는 제2유전체층(8)이 형성되어 있고, 그 상부에는 MgO와 같은 물질로된 보호막(9)이 형성되어 있다.In addition, on the front substrate 6, two discharge sustaining electrodes 7 including a transparent electrode 7a and a bus electrode 7b are formed to be disposed in each discharge space, and the discharge sustaining electrodes 7 are formed. A second dielectric layer 8 is formed on the entire surface of the substrate 6 so as to be covered, and a protective film 9 made of a material such as MgO is formed thereon.

그러나, 상기와 같이 인쇄법, 샌드 블라스트법 또는 리프트 오프법으로 어드레스전극을 형성하는 경우에는 대체적으로 용이하지만, 격벽과 같이 높이가 큰 패턴을 형성하는 경우에는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, in the case of forming the address electrode by the printing method, the sand blasting method or the lift-off method as described above, it is generally easy, but in the case of forming a pattern having a large height such as a partition wall, there are the following problems.

우선, 인쇄법을 이용하여 격벽을 형성하는 경우에는 인쇄 및 건조 공정을 반복적으로 실시해야 하기 때문에 공정 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라, 정렬이 어렵다는 단점이 있으며, 아울러, 인쇄 페이스트가 갖는 흐름성으로 인하여 격벽의 고정세화를 얻기가 어렵다는 단점이 있다.First, in the case of forming the partition wall using the printing method, the printing and drying processes must be repeatedly performed, and thus, the processing time is not only high, but also difficult to align. In addition, the partition wall is due to the flowability of the printing paste. There is a disadvantage that it is difficult to obtain a high definition.

그리고, 샌드 블라스트법을 이용하여 격벽을 형성하는 경우에는 패턴의 고정세화에는 유리하지만, 식각 대상물에 연마재를 분사시켜 패턴을 형성하는 방식이기 때문에 장시간 동안 공정을 진행할 경우에는 연마재에 의해 유리기판이 손상되는 문제점이 있고, 또한, 설비 투자에 소요되는 비용이 많다는 문제점이 있었다.In addition, when the partition wall is formed using the sand blast method, it is advantageous for high definition of the pattern. However, since the pattern is formed by spraying the abrasive on the etching target, the glass substrate is damaged by the abrasive when the process is performed for a long time. There is a problem, and there is a problem that the cost of equipment investment is high.

또한, 리프트 오프법을 이용하여 격벽을 형성하는 경우에는 샌드 블라스트법과 마찬가지로 패턴의 고정세화를 얻을 수 있다는 장점은 있으나, 격벽의 높이에 기인하여 감광막의 박리가 어렵고, 아울러, 감광막의 박리시에 격벽의 하측부가 손상되는 문제점이 있었다.In addition, when the partition wall is formed using the lift-off method, similarly to the sand blasting method, the pattern can be obtained with high definition. However, due to the height of the partition wall, it is difficult to peel off the photosensitive film. There was a problem that the lower side of the.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은, 공정의 단순화 및 격벽 패턴의 고정세화를 달성할 수 있는 PDP의 격벽 형성방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for forming a partition wall of a PDP capable of achieving a simplified process and a high definition of a partition wall pattern.

도 1은 종래의 교류형 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional AC plasma display panel.

도 2a 내지 도 2c는 샌드 블라스트법 및 인쇄법을 이용한 본 발명의 제1실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도.2A to 2C are cross-sectional views illustrating a method of forming a partition wall of a plasma display panel according to a first embodiment of the present invention using a sand blasting method and a printing method.

도 3a 내지 도 3c는 리프트 오프법 및 인쇄법을 이용한 본 발명의 제2실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도.3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of forming a partition wall of a plasma display panel according to a second embodiment of the present invention using a lift-off method and a printing method.

도 4a 내지 도 4c는 격벽 재료로서 감광성 페이스트를 이용한 본 발명의 제3실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도.4A to 4C are cross-sectional views illustrating a method of forming a partition wall of a plasma display panel according to a third embodiment of the present invention using a photosensitive paste as a partition material.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

11,21,31 : 배면기판 12 : 격벽 재료11,21,31: back substrate 12: bulkhead material

12a,23,32a : 기초 격벽부 13,22 : 감광막 패턴12a, 23, 32a: foundation partition 13, 22 photosensitive film pattern

14,24,33 : 잔여 격벽부 15,25,34 : 격벽14,24,33: Remaining bulkhead 15,25,34: Bulkhead

32 : 감광성 페이스트32 photosensitive paste

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 PDP의 격벽 형성방법은, 배면기판 상에 격벽 재료를 도포하는 단계; 상기 격벽 재료 상에 그의 소정 부분들을 노출시키는 감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 노출된 격벽 재료 부분들을 샌드 블라스트법으로 제거하는 단계; 상기 감광막 패턴을 제거하여 배면기판 상에 제1격벽들을 형성하는 단계; 상기 제1격벽 상에 인쇄법으로 제2격벽을 형성하는 단계; 및 상기 적층된 제1격벽 및 제2격벽을 소성하는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, a barrier rib forming method includes: applying a barrier material on a rear substrate; Forming a photoresist pattern on the barrier material to expose predetermined portions thereof; Removing the exposed partition material portions by sand blasting; Removing the photoresist pattern to form first barrier ribs on a rear substrate; Forming a second partition on the first partition by a printing method; And firing the stacked first and second partition walls.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 PDP의 격벽 형성방법은, 배면기판 상에 감광막을 도포하는 단계; 상기 감광막을 노광 및 현상하여 격벽 예정 영역들을 노출시키는 감광막 패턴들을 형성하는 단계; 상기 감광막 패턴들 사이에 격벽 재료를 매립시키는 단계; 상기 감광막 패턴들을 제거하여 배면기판 상에 제1격벽들을 형성하는 단계; 상기 제1격벽 상에 인쇄법으로 제2격벽을 형성하는 단계; 및 상기 적층된 제1격벽 및 제2격벽을 소성하는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the barrier rib forming method of the PDP according to another embodiment of the present invention for achieving the above object, the step of applying a photosensitive film on the back substrate; Exposing and developing the photoresist to form photoresist patterns that expose barrier rib regions; Embedding a barrier material between the photoresist patterns; Removing the photoresist patterns to form first barrier ribs on a rear substrate; Forming a second partition on the first partition by a printing method; And firing the stacked first and second partition walls.

게다가, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 PDP의 격벽 형성방법은, 배면기판 상에 감광성 페이스트를 도포하는 단계; 상기 감광성 페이스트에 대한 노광 및 현상 공정을 실시하여 배면기판 상에 제1격벽들을 형성하는 단계; 상기 제1격벽 상에 인쇄법으로 제2격벽을 형성하는 단계; 및 상기 적층된 제1격벽 및 제2격벽을 소성하는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the barrier rib forming method of the PDP according to another embodiment of the present invention for achieving the above object comprises the steps of applying a photosensitive paste on the back substrate; Exposing and developing the photosensitive paste to form first barrier ribs on a rear substrate; Forming a second partition on the first partition by a printing method; And firing the stacked first and second partition walls.

본 발명에 따르면, 소정 높이로된 제1격벽을 형성한 후에 상기 제1격벽 상에 원하는 높이로 제2격벽을 더 형성하기 때문에 공정의 단순화를 얻을 수 있음은 물론 격벽의 고정세화를 달성할 수 있다.According to the present invention, since the second partition is further formed at a desired height on the first partition after forming the first partition having a predetermined height, the process can be simplified and the definition of the partition can be achieved. have.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 도 2c는 샌드 블라스트법과 인쇄법을 이용한 본 발명의 제1실시예에 따른 PDP의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.2A to 2C are cross-sectional views illustrating a method of forming a partition wall of a PDP according to a first embodiment of the present invention using a sand blasting method and a printing method.

우선, 도 2a에 도시된 바와 같이, 배면기판(11) 상에 20 내지 60㎛ 두께로 격벽 재료(12)를 도포한 후, 상기 격벽 재료(12)에 대한 건조 공정을 실시한다. 그런 다음, 격벽 재료(12) 상에 감광막을 도포한 상태에서, 상기 감광막에 대한 노광 및 현상 공정을 실시하여 격벽 재료(12)의 소정 부분들을 노출시키는 감광막 패턴(13)을 형성한다.First, as shown in FIG. 2A, the barrier material 12 is coated on the back substrate 11 to a thickness of 20 to 60 μm, and then a drying process for the barrier material 12 is performed. Then, in a state where a photoresist film is applied on the partition material 12, the photosensitive film is exposed and developed to form a photoresist pattern 13 exposing predetermined portions of the partition material 12.

이어서, 도 2b에 도시된 바와 같이, 샌드 블라스트법으로 노출된 격벽 재료 부분들을 제거하여 배면기판(11) 상에 제1격벽들(12a : 이하, 기초 격벽부라 칭함)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 2B, portions of the partition material exposed by the sand blasting method are removed to form first partitions 12a (hereinafter, referred to as foundation partitions) on the rear substrate 11.

다음으로, 도 2c에 도시된 바와 같이, 감광막 패턴을 제거한 상태에서, 통상의 격벽 높이가 되도록 5회 내지 10회 정도의 반복적인 인쇄 공정을 실시하여 기초 격벽부(12a) 상에 제2격벽(14, 이하, 잔여 격벽부라 칭함)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 2C, in a state in which the photoresist pattern is removed, the second partition wall is formed on the foundation partition wall part 12a by performing a repeating printing process about 5 to 10 times to reach a normal partition height. 14, hereinafter referred to as the remaining partition wall portion).

여기서, 인쇄 공정은 #325 또는 #400 정도의 매쉬수가 많은 β-인쇄용 스크린 마스크나, 또는, 패턴 폭이 큰 스크린 마스크를 이용하여 실시하며, 아울러, 인쇄 페이스트는 점도는 낮지만, 수축율이 크고, 기초 격벽부에 잘 쌓일 수 있는 것을 이용한다.Here, the printing process is carried out using a screen mask for β-printing having a large number of meshes of about # 325 or # 400, or a screen mask having a large pattern width. In addition, the printing paste has a low viscosity but a high shrinkage ratio, Use what can build up well in the foundation bulkhead.

그리고, 인쇄 공정을 완료한 후에는 소성 공정을 실시하여 기초 격벽부(12a) 및 잔여 격벽부(14)으로 이루어진 격벽(15)이 소정의 강도를 갖도록 만든다.After the printing process is completed, a firing process is performed to make the partition wall 15 composed of the foundation partition wall portion 12a and the remaining partition wall portion 14 have a predetermined strength.

상기와 같이, 샌드 블라스트법 및 인쇄법을 혼용하여 격벽을 형성할 경우에는 샌드 블라스트법으로 격벽을 형성하는 경우에 발생되는 문제점과 인쇄법으로 격벽을 형성할 경우에 발생되는 문제점을 상호 보완적으로 해결할 수 있다.As described above, when the partition wall is formed by using the sand blasting method and the printing method, the problem that occurs when the partition wall is formed by the sand blast method and the problem that occurs when the partition wall is formed by the printing method are complementary to each other. I can solve it.

즉, 샌드 블라스트법의 이용은 일반적인 격벽 높이 보다 낮은 높이의 기초 격벽부를 형성하는 것이기 때문에 공정 시간의 단축에 기인하여 배면기판의 손상을 최소화할 수 있다. 또한, 이러한 기초 격벽부 상에 β-스크린 마스크를 이용한 인쇄 공정으로 나머지 격벽을 형성하기 때문에 β-인쇄법이 갖는 특성, 즉, 기판 전면에 페이스트가 인쇄되지만, 페이스트의 점도를 조절하면 실질적으로 기판 상에 형성되어 있는 패턴 상에만 페이스트가 잔류되는 특성에 기인하여 매우 용이하게 기초 격벽부 상에 잔여 격벽부를 인쇄할 수 있으며, 이에 따라, 패턴 정렬에 요구되는 시간 및 공정을 감소시킬 수 있게 되고, 결과적으로는, 격벽의 고정세화를 달성할 수 있다.That is, since the use of the sand blasting method is to form the base partition wall portion having a height lower than the general partition wall height, damage to the back substrate can be minimized due to the shortening of the process time. In addition, since the remaining barrier ribs are formed on the basic barrier rib portion by a printing process using a β-screen mask, the characteristic of the β-printing method, that is, the paste is printed on the entire surface of the substrate, is controlled by controlling the viscosity of the paste. Due to the property that the paste remains only on the pattern formed on the surface, it is possible to easily print the remaining partition wall on the foundation partition wall, thereby reducing the time and process required for pattern alignment, As a result, high definition of the partition wall can be achieved.

도 3a 내지 도 3c는 리프트 오프법과 인쇄법을 이용한 본 발명의 제2실시예에 따른 PDP의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of forming a partition wall of a PDP according to a second embodiment of the present invention using a lift-off method and a printing method.

우선, 도 3a에 도시된 바와 같이, 배면기판(21) 상에 20 내지 60㎛ 두께로 감광막을 도포한 상태에서, 상기 감광막에 대한 노광 및 현상 공정을 실시하여 격벽 예정 영역들을 노출시키는 감광막 패턴들(22)을 형성한다.First, as shown in FIG. 3A, in a state in which a photoresist film is coated on the back substrate 21 with a thickness of 20 to 60 μm, photoresist pattern patterns exposing the predetermined barrier regions by performing exposure and development processes on the photoresist film. To form (22).

그런 다음, 도 3b에 도시된 바와 같이, 감광막 패턴들(22) 사이에 격벽 재료를 매립시킨 후, 이를 건조시켜 기초 격벽부들(23)을 형성한다.Then, as shown in FIG. 3B, the barrier material is buried between the photoresist patterns 22 and then dried to form the base barrier parts 23.

그리고 나서, 도 3c에 도시된 바와 같이, 감광막 패턴들을 제거한 상태에서, 원하는 높이의 격벽이 형성되도록 기초 격벽부들(23) 상에 앞선 실시예에서와 마찬가지로 β-스크린 마스크 또는 패턴 폭이 큰 스크린 마스크를 이용한 5회 내지 10회 정도의 인쇄 공정을 실시하여 잔여 격벽부(24)를 형성한다.Then, as shown in FIG. 3C, with the photoresist patterns removed, a β-screen mask or a screen mask having a large pattern width, as in the previous embodiment, on the base partition walls 23 to form a partition wall having a desired height. The remaining partition wall part 24 is formed by performing a printing process about 5 to 10 times using.

이후, 소성 공정을 실시하여 기초 격벽부(23)와 잔여 격벽부(24)로 이루어진 격벽(25)이 소정의 강도를 갖도록 만든다.Thereafter, a firing process is performed to make the partition wall 25 formed of the foundation partition portion 23 and the remaining partition wall portion 24 to have a predetermined strength.

상기와 같이 리프트 오프법과 인쇄법을 혼용하여 격벽을 형성할 경우에는 앞선 실시예와 마찬가지로 각 방법들에 대한 문제점을 상호 보완적으로 해결하여 격벽의 고정세화 및 공정의 단순화를 얻을 수 있다.When the partition wall is formed by using the lift-off method and the printing method as described above, the problem of each method may be complementarily solved, as in the previous embodiment, to obtain a high definition of the partition and simplify the process.

즉, 리프트 오프법을 이용하는 공정은 기초 격벽부의 높이가 낮은 것에 기인하여 감광막의 박리가 용이하게 이루어질 수 있으며, 아울러, 인쇄법을 이용하는 공정은 앞서 설명된 바와 같이, 인쇄 공정의 횟수를 감소시킬 수 있기 때문에 결과적으로는 공정 단순화 및 격벽의 고정세화를 달성할 수 있다.That is, the process using the lift-off method can be easily peeled off due to the low height of the foundation partition wall, and the process using the printing method can reduce the number of printing processes as described above. As a result, process simplification and high definition of partition walls can be achieved.

도 4a 내지 도 4c는 격벽 재료로서 감광성 페이스트를 이용하는 본 발명의 제3실시예에 따른 PDP의 격벽 형성방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.4A to 4C are cross-sectional views illustrating a method of forming a partition wall of a PDP according to a third embodiment of the present invention using a photosensitive paste as the partition material.

우선, 도 4a에 도시된 바와 같이, 배면기판(31) 상에 격벽 재료로서 감광성 페이스트(32)를 20 내지 60㎛ 두께로 도포한다.First, as shown in FIG. 4A, the photosensitive paste 32 is applied to the back substrate 31 as a partition material in a thickness of 20 to 60 탆.

그런 다음, 도 4b에 도시된 바와 같이, 감광성 페이스트(32)에 대한 노광 및 현상 공정을 실시하여 배면기판(31) 상에 감광성 페이스트로된 기초 격벽부들(32a)을 형성한다.Then, as shown in FIG. 4B, the photosensitive paste 32 is exposed and developed to form the base partition portions 32a made of the photosensitive paste on the back substrate 31.

그리고 나서, 도 4c에 도시된 바와 같이, 앞선 실시예들과 마찬가지로 β-스크린 마스크 또는 패턴 폭이 큰 스크린 마스크를 이용한 5회 내지 10회 정도의 인쇄 공정을 반복적으로 실시하여 기초 격벽부(32a) 상에 잔여 격벽부(33)를 형성한 후, 소성 공정을 실시하여 기초 격벽부(32a) 및 잔여 격벽부(33)로 이루어진 격벽(34)이 소정의 강도를 갖도록 만든다.Then, as shown in FIG. 4C, the base bulkhead portion 32a is repeatedly subjected to five to ten printing processes using a β-screen mask or a screen mask having a large pattern width as in the previous embodiments. After the remaining partition wall portion 33 is formed on the surface, a baking process is performed to make the partition wall 34 composed of the foundation partition wall portion 32a and the remaining partition wall portion 33 have a predetermined strength.

상기와 같이 격벽 재료로서 감광성 페이스트를 이용할 경우에는 공정의 단순화를 얻을 수 있으며, 아울러, 잔여 격벽부를 형성하기 위한 인쇄 공정시에는 앞선 실시예들에서 설명한 바와 같이 공정의 단순화 및 격벽의 고정세화에 매우 유리하다.As described above, when the photosensitive paste is used as the barrier material, the process can be simplified. In addition, during the printing process for forming the remaining partition wall part, as described in the above embodiments, the process is simplified and the definition of the partition wall is very high. It is advantageous.

이상에서와 같이, 본 발명은 샌드 블라스트법, 리프트 오프법 또는 감광성 페이스트를 이용하여 배면기판 상에 소정의 높이로 기초 격벽부를 형성한 후에 인쇄법으로 나머지 높이의 격벽을 형성하기 때문에 격벽의 고정세화에 유리하게 적용시킬 수 있으며, 아울러, 종래 보다는 공정의 단순화를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, after forming the base partition wall part at a predetermined height on the back substrate by using the sand blast method, the lift-off method or the photosensitive paste, the partition wall of the remaining height is formed by the printing method. It can be advantageously applied to the process, and at the same time, the process can be simplified.

한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.Meanwhile, although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated, modifications and variations can be made by those skilled in the art. Accordingly, the following claims are to be understood as including all modifications and variations as long as they fall within the true spirit and scope of the present invention.

Claims (12)

배면기판 상에 격벽 재료를 도포하는 단계;Applying a partition material on the back substrate; 상기 격벽 재료 상에 그의 소정 부분들을 노출시키는 감광막 패턴을 형성하는 단계;Forming a photoresist pattern on the barrier material to expose predetermined portions thereof; 상기 노출된 격벽 재료 부분들을 샌드 블라스트법으로 제거하는 단계;Removing the exposed partition material portions by sand blasting; 상기 감광막 패턴을 제거하여 배면기판 상에 제1격벽들을 형성하는 단계;Removing the photoresist pattern to form first barrier ribs on a rear substrate; 상기 제1격벽 상에 인쇄법으로 제2격벽을 형성하는 단계; 및Forming a second partition on the first partition by a printing method; And 상기 적층된 제1격벽 및 제2격벽을 소성하는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.And firing the stacked first and second partition walls. 제 1 항에 있어서, 상기 격벽 재료는 20 내지 60㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.The method of claim 1, wherein the barrier material is applied to a thickness of 20 to 60㎛. 제 1 항에 있어서, 상기 제2격벽은 5회 내지 10회의 반복적인 인쇄 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.The method of claim 1, wherein the second partition wall is formed by a repeated printing process 5 to 10 times. 제 3 항에 있어서, 상기 인쇄 공정은 #325 또는 #400의 β-스크린 마스크 또는 패턴 폭이 큰 스크린 마스크를 이용하여 실시하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.4. The method of claim 3, wherein the printing process is performed using a # -screen mask or a screen mask having a large pattern width of # 325 or # 400. 배면기판 상에 감광막을 도포하는 단계;Applying a photoresist film on the back substrate; 상기 감광막을 노광 및 현상하여 격벽 예정 영역들을 노출시키는 감광막 패턴들을 형성하는 단계;Exposing and developing the photoresist to form photoresist patterns that expose barrier rib regions; 상기 감광막 패턴들 사이에 격벽 재료를 매립시키는 단계;Embedding a barrier material between the photoresist patterns; 상기 감광막 패턴들을 제거하여 배면기판 상에 제1격벽들을 형성하는 단계;Removing the photoresist patterns to form first barrier ribs on a rear substrate; 상기 제1격벽 상에 인쇄법으로 제2격벽을 형성하는 단계; 및Forming a second partition on the first partition by a printing method; And 상기 적층된 제1격벽 및 제2격벽을 소성하는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.And firing the stacked first and second partition walls. 제 5 항에 있어서, 상기 감광막은 20 내지 60㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.The method of claim 5, wherein the photosensitive film is coated with a thickness of 20 to 60 μm. 제 5 항에 있어서, 상기 제2격벽은 5회 내지 10회의 반복적인 인쇄 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.The method of claim 5, wherein the second partition wall is formed by a repeated printing process 5 to 10 times. 제 7 항에 있어서, 상기 인쇄 공정은 #325 또는 #400의 β-스크린 마스크 또는 패턴 폭이 큰 스크린 마스크를 이용하여 실시하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.8. The method of claim 7, wherein the printing process is performed using a # 325 or # 400 β-screen mask or a screen mask having a large pattern width. 배면기판 상에 감광성 페이스트를 도포하는 단계;Applying a photosensitive paste on the back substrate; 상기 감광성 페이스트에 대한 노광 및 현상 공정을 실시하여 배면기판 상에 제1격벽들을 형성하는 단계;Exposing and developing the photosensitive paste to form first barrier ribs on a rear substrate; 상기 제1격벽 상에 인쇄법으로 제2격벽을 형성하는 단계; 및Forming a second partition on the first partition by a printing method; And 상기 적층된 제1격벽 및 제2격벽을 소성하는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.And firing the stacked first and second partition walls. 제 9 항에 있어서, 상기 감광성 페이스트는 20 내지 60㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.10. The method of claim 9, wherein the photosensitive paste is applied in a thickness of 20 to 60 µm. 제 9 항에 있어서, 상기 제2격벽은 5회 내지 10회의 반복적인 인쇄 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.10. The method of claim 9, wherein the second partition wall is formed by a repeated printing process 5 to 10 times. 제 11 항에 있어서, 상기 인쇄 공정은 #325 또는 #400의 β-스크린 마스크 또는 패턴 폭이 큰 스크린 마스크를 이용하여 실시하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성방법.12. The method of claim 11, wherein the printing process is performed using a β-screen mask of # 325 or # 400 or a screen mask having a large pattern width.
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KR20030050397A (en) * 2001-12-18 2003-06-25 오리온전기 주식회사 Barrier rib forming method of pdp back panel using ltcc-m
KR20050102745A (en) * 2004-04-21 2005-10-27 삼성에스디아이 주식회사 Plasma display panel and the fabrication methode thereof

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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