KR20000003771A - Method for forming pattern of flat display panel - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A method for forming a pattern of a flat display panel is provided to form various patterns on the flat display panel easily. CONSTITUTION: The method for forming the pattern of the flat display panel comprises the steps of forming a pattern on a portion of the flat display panel through photoregist process using a photomask shaped smaller than a pattern area, exposure, development and etching process. and the further step includes the rotating a substrate at an angle of 180 degrees and performing a pattern the remaining portion of the flat display panel using the photomask. Thereby, it is possible to form various patterns on the flat display panel easily.

Description

평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법Pattern formation method of flat panel display panel

본 발명은 평판 디스플레이 패널을 제작하는 방법에 관한 것으로서, 특히 대형패널의 글래스기판상에 전극 등의 패턴을 형성하기 위한 패턴형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a flat panel display panel, and more particularly, to a pattern forming method for forming a pattern such as an electrode on a glass substrate of a large panel.

일반적으로 근래의 새로운 표시소자로서 각종 평판소자가 대두되고 있다.In general, various flat panel devices have emerged as new display devices in recent years.

상기 평판소자는 가볍고 얇아서 전체적으로 차지하는 면적이 적기 때문이며, 현재 주로 휴대용 및 차량, 기기들의 탑재용으로 이용되고 있다.This is because the flat panel device is light and thin, so that the overall area of the flat panel is small, and is currently mainly used for mounting of portable devices, vehicles, and devices.

특히 최근에는 벽걸이용 텔레비젼으로 이용하고자 많은 연구활동이 벌어지고 있으며, 그중 평판소자로서 부각되는 것이 플라즈마 디스플레이 패널(Plasm Display Panel)이다.In particular, in recent years, a lot of research activities have been conducted for use as a wall-mounted TV, and among them, a plasma display panel is emerging as a flat panel device.

상기 플라즈마 디스플레이 패널의 기본 단위는 도 1에서 보는 바와 같이 유지전극(3)이 형성된 전면기판(1)과, 어드레스전극(4)이 형성되는 배면기판(2)으로 이루어지며, 2매의 절연기판 사이로 전기적 또는 광학적 크로스토크와 전/배면기판 간의 간격유지를 목적으로 격벽(5)이 형성되고, 상기 격벽 사이에는 형광체(6)가 형성되게 된다.As shown in FIG. 1, the basic unit of the plasma display panel includes a front substrate 1 having a sustain electrode 3 and a back substrate 2 having an address electrode 4 formed thereon, and two insulating substrates. The partition wall 5 is formed for the purpose of maintaining the gap between the electrical or optical crosstalk and the front / back substrate, and the phosphor 6 is formed between the partition walls.

그리고 상기 패널의 내부는 10-6∼10-8Torr정도의 진공상태로 만든후 400∼500 Torr 정도의 압력으로 불활성 혼합가스를 채워 봉입한다.The inside of the panel is made into a vacuum state of about 10 -6 to 10 -8 Torr, and then filled with an inert mixed gas at a pressure of about 400 to 500 Torr.

이와같은 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널은 상하 기판에 형성된 전극(3,4)의 교차부가 1개의 화소에 대응하고 있으며, 상기 양전극간에 100볼트 이상의 전압을 인가하고 가스를 방전 시키면 내부의 불활성 가스가 방전되면서 자외선이 발생하고 발생된 자외선은 다시 방전공간의 형광체(6)와 충돌하여 가시광선이 출사되면서 그 때의 발광을 이용하여 외부로의 색상표시가 이루어지게 된다.In the plasma display panel having such a structure, the intersections of the electrodes 3 and 4 formed on the upper and lower substrates correspond to one pixel, and when the voltage is discharged by applying a voltage of 100 volts or more between the two electrodes, the inert gas is discharged. As the ultraviolet rays are generated and the generated ultraviolet rays collide with the phosphor 6 in the discharge space again, the visible light is emitted and color is displayed to the outside using the light emitted at that time.

이러한 플라즈마 디스플레이 패널(이하 "PDP"라 약칭함)의 제작에 있어서 패널상에 격벽, 블랙메트릭스, 전극 등의 패턴을 형성하기 위해서는 포토마스크를 사용하게 되는데 종래 기술에 의한 패턴 형성공정중 격벽의 패턴형성을 실시예로 나타낸 도 2를 참조하여 이하에서 살펴본다.In the fabrication of such plasma display panels (hereinafter referred to as "PDP"), photomasks are used to form patterns of barrier ribs, black metrics, electrodes, etc. on the panel. The formation will be described below with reference to FIG.

먼저, 패널전면에 격벽재를 일정높이로 형성한 후 포토레지스트(7)를 그위에 도포한 후→ 빛을 일정패턴으로 차폐하는 포토마스크(8)를 마스크홀더(미도시)로 고정시켜 노광을 수행하고→ 포토레지스트(7)를 패턴 형성시킨다.→ 그후 에칭공정을 수행하여 포토레지스트(7) 패턴을 따라 격벽패턴을 형성하고→ 박리공정을 통해 남아있던 포토레지스트를 제거시킴으로 기판면에 격벽패턴이 완성되는 것이다.First, the barrier ribs are formed on the front surface of the panel at a predetermined height, and then the photoresist 7 is applied thereon. The photomask 8, which shields light in a predetermined pattern, is fixed with a mask holder (not shown) for exposure. The photoresist 7 is patterned. Then, an etching process is performed to form a barrier rib pattern along the photoresist 7 pattern, and the remaining photoresist is removed through a stripping process. This is done.

또한, 블랙메트릭스나 전극 등의 패턴 역시 상기와 같은 공정에 따라 형성시키게 되는 것이다.In addition, a pattern such as a black matrix or an electrode is also formed by the above process.

그리고 최근에는 화면이 점차 대형화 추세로 흐르면서 대형사이즈의 패널을 필요로 하게 되나, 대형 사이즈의 패널을 제작하기 위해서는 거기에 상응하는 대형사이즈의 패턴형성용 포토마스크 원판이 필요하게 된다.In recent years, as the screen gradually increases in size, a large size panel is required. However, in order to manufacture a large size panel, a corresponding large size pattern photomask disc is required.

그러나 대형사이즈의 포토마스크를 개발하기 위한 별도의 생산설비를 갖추게 되면 제품의 생산원가를 상승시키게 되는 문제점이 있었다.However, if a separate production facility for developing a large size photomask is provided, there is a problem of increasing the production cost of the product.

본 발명은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로 소형사이즈 포토마스크를 이용하여 대형 사이즈의 글래스 기판 상에 2회에 걸쳐 패턴을 형성하는 분할패턴형성방식을 제공함으로서, 저비용으로 대형 사이즈의 패턴형성용 포토마스크 및 평판 디스플레이 패널을 제작 가능하도록 하는데 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the problems of the prior art as described above, by providing a split pattern forming method for forming a pattern twice on a large size glass substrate using a small size photomask, An object of the present invention is to provide a large-sized pattern forming photomask and a flat panel display panel.

도 1 은 플라즈마 디스플레이 패널의 상,하기판 분리 사시도.1 is an exploded perspective view of an upper and a lower substrate of a plasma display panel.

도 2 은 일반적인 패턴형성 공정도.2 is a general pattern forming process.

도 3 은 본 발명의 패턴형성을 구현하기 위한 구성도.Figure 3 is a block diagram for implementing the pattern formation of the present invention.

도 4 는 본 발명의 분할패턴형성방식에 의한 패턴형성 공정도.4 is a pattern formation process diagram according to the division pattern formation method of the present invention.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for the main parts of the drawing ***

1 : 전면기판 2 : 배면기판1: Front board 2: Back board

3 : 유지전극 4 : 어드레스전극3: sustain electrode 4: address electrode

5 : 격벽 6 : 형광체5: bulkhead 6: phosphor

7 : 포토레지스트 8 : 포토마스크7: photoresist 8: photomask

10 : 포토마스크 11 : 마스크홀더10: photo mask 11: mask holder

11': 비투과부 12 : 글래스패널(대형사이즈)11 ': non-transmissive part 12: glass panel (large size)

이하, 본 발명을 첨부도면을 참조하여 이하에서 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명을 이루기 위한 구성으로는 도 3 에 도시된 바와같이 소형사이즈의 포토마스크(10)와, 기구적으로 반만 노광되도록 비투과부(11')가 구성된 대형사이즈용 마스크홀더(11)가 구비된다.As shown in FIG. 3, a small size photomask 10 and a large size mask holder 11 having a non-transmissive portion 11 ′ configured to expose only half of the structure are provided. .

상기 구성을 이용해 대형사이즈의 패턴형성용 포토마스크를 제작하거나, 직접 패널에 패턴을 형성할 수가 있는데 도 4를 통해 설명되는 하기 실시예를 통해 본 발명의 패턴 형성방법을 살펴보기로 한다.Using the above configuration, a photomask for forming a large size pattern may be manufactured or a pattern may be directly formed on a panel. The pattern forming method of the present invention will be described with reference to FIG. 4.

먼저, 제 1 실시예로 일정 패턴이 형성된 소형사이즈의 포토마스크(10)를 마스크홀더(11)에 장착하고 패턴을 형성할 대형사이즈의 패널(12)위에 고정시킨 후, 노광→현상→에칭공정을 거쳐 패널(12)의 일부분에 도 4 의 (가)와 같이 패턴을 형성시킨다. 이때, 마스크홀더(11)의 비투과부(11')에 의해 가려진 패널(12)의 나머지 부위는 빛에 의해 노광되지 않으므로 패턴이 형성되지 않게된다.First, in the first embodiment, a small size photomask 10 having a predetermined pattern is mounted on a mask holder 11 and fixed on a large size panel 12 on which a pattern is to be formed, and then exposure → development → etching process. A pattern is formed on a portion of the panel 12 as shown in FIG. At this time, since the remaining portion of the panel 12 covered by the non-transmissive portion 11 ′ of the mask holder 11 is not exposed by light, a pattern is not formed.

상기 일부분에 패턴형성이 완성된 후에는 도 4 의 (나)와 같이 상기 패널(12)을 180도 회전시켜 포토마스크(10)가 패널(12)의 비노광부와 일치되도록 고정 시킨다. 그리고 상기와 같은 방법으로 다시 노광→현상→에칭공정을 거쳐 패널(12)의 나머지 부분에 패턴을 형성시키면 필요로 하는 전체 패턴이 형성된 대형패널(12)이 완성되게 된다.After the pattern formation is completed in the portion, as shown in (b) of FIG. 4, the panel 12 is rotated by 180 degrees to fix the photomask 10 to coincide with the non-exposed part of the panel 12. When the pattern is formed on the remaining portion of the panel 12 through the exposure → development → etching process in the same manner as described above, the large panel 12 having the entire pattern required is completed.

그리고 제 2 실시예로 투명전극이나 버스전극등과 같이 포토레지스트가 필요한 패턴형성방법을 살펴보면 다음과 같다.In the second embodiment, a pattern formation method which requires a photoresist such as a transparent electrode or a bus electrode is as follows.

일정 패턴이 형성된 소형사이즈의 포토마스크(10)를 마스크홀더(11)에 장착하고 포토레지스트가 전면에 도포된 대형사이즈의 패널(12)위에 고정시킨 후, 노광→현상→에칭공정을 거쳐 패널(12)의 절반 부위에 도 4 의 (가)와 같이 패턴을 형성시킨다. 이때, 마스크홀더(11)의 비투과부(11')에 의해 가려진 패널(12)의 나머지 부위는 빛에 의해 노광되지 않으므로 패턴이 형성되지 않게된다.After mounting a small size photomask 10 having a predetermined pattern on the mask holder 11 and fixing it on a large size panel 12 having a photoresist applied thereon, the panel is subjected to exposure → development → etching process. A pattern is formed on half of 12) as shown in FIG. At this time, since the remaining portion of the panel 12 covered by the non-transmissive portion 11 ′ of the mask holder 11 is not exposed by light, a pattern is not formed.

상기 절반 부위에 패턴형성이 완성된 후에는 패널(12) 전면에 다시 포토레지스트를 도포한 후 도 4 의 (나)와 같이 상기 패널(12)을 180도 회전시켜 포토마스크(10)가 패널(12)의 비노광부와 일치되도록 고정 시킨다. 그리고 제 1 실시예와 동일하게 다시 노광→현상→에칭공정을 거쳐 패널(12)의 나머지 부분에 패턴을 형성시키면 필요로 하는 전체 패턴이 형성된 대형패널(12)이 완성되게 된다.After the pattern formation is completed on the half area, the photoresist is applied to the entire surface of the panel 12 again, and then the panel 12 is rotated 180 degrees as shown in FIG. Fix in line with non-exposed part of 12). In the same manner as in the first embodiment, when the pattern is formed on the remaining part of the panel 12 through exposure → development → etching process, the large panel 12 having the entire pattern required is completed.

상기한 방법 이외에 소형사이즈 포토마스크를 이용해 대형사이즈 포토마스크를 제작할 경우에는 마스크 전면에 크롬(Cr)을 증착하고, 그 위에 포토레지스트를 코팅한 후 상기와 같은 공정을 거쳐 완성함으로, 완성된 대형 포토마스크를 이용해 대형 패널의 패턴을 형성할 수 있는 것이다.In addition to the method described above, when manufacturing a large size photomask using a small size photomask, chromium (Cr) is deposited on the entire surface of the mask, the photoresist is coated thereon, and then the above-described process is completed. The mask can be used to form large panels.

전술한 바와같이 본 발명의 기술적 요지는 소형사이즈의 포토마스크를 이용하여 분할 패턴형성방식으로 대형사이즈의 포토마스크를 제작하거나 패널글래스상에 직접 패턴을 형성하는 것으로서, 상기 실시예로 제시한 격벽패턴 뿐만 아니라 분할 패턴형성방식을 이용하여 블랙메트릭스, 전극 등의 패턴을 형성하는 기타 모든 실시예가 기술적 범주에 포함된다.As described above, the technical gist of the present invention is to form a photomask of a large size by a split pattern formation method using a photomask of a small size or to form a pattern directly on a panel glass. In addition, all other embodiments for forming a pattern of a black matrix, an electrode, etc. using the division pattern forming method are included in the technical category.

이상 설명한 바와같이 본 발명은 대형사이즈의 글래스 기판상에 저비용으로 용이하게 패턴을 형성할 수 있고, 또한 동일한 방법으로 대형사이즈의 포토마스크도 제작할 수 있어 대형설비를 위한 별도의 투자없이 저비용으로 대형사이즈의 평판 디스플레이 패널을 제작할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention can easily form a pattern on a large sized glass substrate at low cost, and also can produce a large sized photomask in the same manner, and thus, large size at low cost without additional investment for large facilities. There is an effect that can produce a flat panel display panel.

Claims (7)

패턴을 형성할 기판상에 상기 기판보다 크기가 작은 일정패턴의 포토마스크를 이용하여 노광/현상/에칭 공정을 거쳐 기판의 일부분에 패턴을 형성하는 제1단계와,A first step of forming a pattern on a portion of the substrate through an exposure / development / etching process by using a photomask having a predetermined size smaller than that of the substrate on the substrate on which the pattern is to be formed; 상기 기판의 나머지 부분에 상기 포토마스크를 이용하여 패턴을 형성하는 제2단계로 이루어짐을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법.And a second step of forming a pattern on the remaining portion of the substrate by using the photomask. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 단계와 제2단계에서 각각 절반씩 패턴을 형성시킴을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법.The pattern forming method of the flat panel display panel, characterized in that for each of the first step and the second step to form a pattern in half. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 1단계에 의한 패턴형성후 기판을 180도 회전하여 2단계의 나머지 패턴을 형성시키는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법.The pattern forming method of the flat panel display panel, characterized in that to form the remaining pattern of the second step by rotating the substrate 180 degrees after the pattern formation in the first step. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 1단계에서 형성된 패턴과 2단계에서 형성된 패턴이 서로 겹치는 부분이 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법.The pattern forming method of the flat panel display panel, characterized in that there is a portion where the pattern formed in the first step and the pattern formed in the second step overlap each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 1단계에서 형성된 패턴과 2단계에서 형성된 패턴은 서로 겹치는 부분이 없이 서로 접촉되도록 형성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법.And the pattern formed in step 1 and the pattern formed in step 2 are formed to contact each other without overlapping portions. 포토레지스트가 코팅된 기판상에 상기 기판보다 크기가 작은 일정패턴의 포토마스크를 이용하여 노광/현상/에칭 공정을 거쳐 기판의 일부분에 패턴을 형성하는 제1단계와,A first step of forming a pattern on a portion of the substrate through an exposure / development / etching process using a photomask having a predetermined size smaller than that of the substrate on the photoresist-coated substrate; 상기 일부분의 패턴이 형성된 기판면에 다시 포토레지스트를 코팅하는 2단계와,Recoating a photoresist on the surface of the substrate on which the partial pattern is formed; 기판의 나머지 부분에 상기 포토마스크를 이용하여 패턴을 형성하는 제3단계로 이루어짐을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법.And a third step of forming a pattern on the remaining portion of the substrate by using the photomask. 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,The method according to claim 1 or 6, 상기 각 단계에 의해 제작된 기판은 대형사이즈의 포토마스크인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 패턴형성방법.The substrate formed by each step is a pattern forming method of a flat panel display panel, characterized in that the large size photomask.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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