KR20010004160A - Method for fabricating back panel of plasma display panel - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP) 제조 기술에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판(back panel) 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel (PDP) manufacturing technology, and more particularly, to a method for manufacturing a back panel of a plasma display panel.
PDP는 기체 방전시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 영상을 표시하는 소자로 기체 방전 표시(gas discharge display) 소자라고도 부른다. PDP는 크게 플라즈마를 형성하기 위해 외부에서 가해주는 전압인가를 위해 사용되는 전극이 플라즈마에 직접 노출이 되어 전도전류가 전극을 통해 직접 흐르는 직류(DC)형과 전극이 유전체로 덮여 있어 직접 노출이 되지 않아 변위전류가 흐르게 되는 교류(AC)형으로 구분된다. 그리고, 방전 셀의 전극구조에 따라 대향 방전형, 표면 방전형, 격벽 방전형 등으로 분류가 되며, 방전가스로부터 나오는 가시광을 직접 이용하는 경우는 대부분 단색표시 PDP 소자에서 이용되는데, 대표적인 것으로 Ne 가스에서 나오는 오렌지색을 이용한 PDP가 있으며, 풀 칼라(full color) 표시가 요구될 경우, Kr이나 Xe와 같은 방전가스로부터 나오는 자외선이 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체를 여기시켜 나오는 가시광을 이용하게 된다. 다양한 평판 디스플레이 중에서도 PDP는 대화면의 구현이 가능한 표시소자로서 주목되고 있으나, 아직까지 휘도와 명암비가 낮고, 구동전압이 타 소자에 비해 높고 전력 소비 효율이 낮으며, 대형화에 따른 제조 공정기술이 까다로워 생산 수율이 낮은 문제점들이 있어 상기의 특성의 개선과 더불어 저가격화가 이루어져야 하는 과제를 안고 있다.PDP is a device that displays characters or images by using light emitted from plasma generated during gas discharge, and is also called a gas discharge display device. PDP is largely exposed to direct plasma because the electrode used to apply external voltage to form plasma is directly exposed because the direct current (DC) type and conduction current flowing through the electrode are covered with dielectric. Therefore, it is classified into AC type through which displacement current flows. In addition, according to the electrode structure of the discharge cell, it is classified into a counter discharge type, a surface discharge type, a barrier discharge type, and the like. In the case of directly using the visible light emitted from the discharge gas, it is mostly used in a monochromatic display PDP device. There is a PDP using orange color, and when full color display is required, ultraviolet light emitted from discharge gas such as Kr or Xe excites red (R), green (G) and blue (B) phosphors. Visible light is used. Among various flat panel displays, PDP is attracting attention as a display device that can realize a large screen, but it is still produced due to low brightness and contrast ratio, high driving voltage, low power consumption efficiency, and difficult manufacturing process technology due to large size. There is a problem that the yield is low, there is a problem that the low price should be made in addition to the improvement of the above characteristics.
현재 주류를 이루고 있는 면방전형 AC PDP의 경우, 전면판에는 투명 전극, 버스 전극, 투명 유전체, 유전체 보호막, 블랙 스트라이프(black stripe) 등이 형성되며, 배면판에는 어드레스 전극, 백색 유전체, 격벽 등이 형성된다. PDP에서 색상을 구현하기 위한 형광체는 투과형의 경우는 전면판에, 반사형의 경우는 배면판에 형성되어 진다. 이러한 구성을 가지는 PDP의 배면판에서 어드레스 전극은 격벽과 격벽 사이에 정확히 위치하여야만 원하는 셀(cell)의 방전을 용이하게 얻을 수 있게 된다.In the case of the surface discharge type AC PDP which is currently mainstream, a transparent electrode, a bus electrode, a transparent dielectric, a dielectric protective film, and a black stripe are formed on the front plate, and an address electrode, a white dielectric, a partition wall, etc. are formed on the back plate. Is formed. Phosphors for realizing color in the PDP are formed on the front plate for the transmissive type and on the back plate for the reflective type. In the back plate of the PDP having such a configuration, the address electrode must be located exactly between the partition walls and the partition walls to easily obtain discharge of a desired cell.
그러나, 어드레스 전극 형성시의 소성 공정을 비롯한 열공정에 의해 유리기판의 변형이 유발되고, 이로 인하여 어드레스 전극과 격벽의 정렬이 중요한 이슈(issue)로 대두되고 있다. 더구나, 유리기판의 대형화 및 고해상도 추세에 따라 이러한 격벽 및 전극의 정렬 문제는 향후 대형의 고정세화 PDP 제조시 더욱더 큰 문제를 유발하게 된다.However, deformation of the glass substrate is caused by a thermal process including a firing process in forming the address electrode, which causes the alignment of the address electrode and the partition wall to become an important issue. Moreover, in accordance with the trend toward larger glass substrates and higher resolution, such barrier and electrode alignment problems may cause more problems in the manufacture of large-size high-definition PDPs in the future.
본 발명은 유리기판의 변형에 따른 격벽과 어드레스 전극의 오정렬을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a back plate of a plasma display panel which can prevent misalignment of partition walls and address electrodes caused by deformation of a glass substrate.
도 1 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 면방전형 AC PDP의 배면판 제조 공정도.1 to 7 is a manufacturing process of the back plate of the surface discharge AC PDP according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 유리기판10: glass substrate
11 : 어드레스 전극11: address electrode
12 : 포토레지스트12: photoresist
13 : 격벽재료13: bulkhead material
13a : 격벽13a: bulkhead
14 : 백색 유전체14: white dielectric
15 : 형광체15: phosphor
본 발명은 유리기판의 전면에 어드레스 전극을 형성한 후, 포토레지스트를 전면에 도포한 상태에서 어드레스 전극을 노광 마스크로 사용한 배면 노광을 통해 격벽이 형성될 공간 패턴을 형성하고, 그 패턴 내에 격벽재료를 충진시킴으로써 어드레스 전극 형성시의 소성 공정에 수반되는 유리기판의 변형으로 인한 격벽과 어드레스 전극의 오정렬(misalign)을 방지하는 기술이다.According to the present invention, after the address electrode is formed on the entire surface of the glass substrate, a space pattern for forming the partition wall is formed through the back exposure using the address electrode as the exposure mask while the photoresist is applied on the entire surface, and the partition material is formed in the pattern. It is a technique to prevent the misalignment of the partition wall and the address electrode due to the deformation of the glass substrate accompanying the firing process at the time of forming the address electrode.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징적인 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법은, 유리기판의 전면에 어드레스 전극을 형성하는 제1 단계; 상기 제1 단계 수행 후, 전체구조 상에 포지티브 포토레지스트를 형성하는 제2 단계; 상기 어드레스 전극을 마스크로 사용하여 상기 포지티브 포토레지스트를 배면 노광하는 제3 단계; 상기 포지티브 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 제4 단계; 상기 포토레지스트 패턴에 의해 형성된 공간에 격벽용 물질을 매립하는 제5 단계; 및 소성 공정을 실시하는 제6 단계를 포함하여 이루어진다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a back plate of a plasma display panel, the method including: forming an address electrode on a front surface of a glass substrate; A second step of forming a positive photoresist on the entire structure after performing the first step; A third step of back exposing the positive photoresist using the address electrode as a mask; Developing a positive photoresist to form a photoresist pattern; A fifth step of embedding a barrier material in a space formed by the photoresist pattern; And a sixth step of carrying out the firing process.
또한, 상기 제6 단계에서, 상기 포토레지스트 패턴이 제거되도록 하는 것이 바람직하다.Also, in the sixth step, it is preferable to remove the photoresist pattern.
이하, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 보다 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예를 소개하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be introduced in order to enable those skilled in the art to more easily carry out the present invention.
첨부된 도면 도 1 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 면방전형 AC PDP의 배면판 제조 공정을 도시한 것으로, 이하 이를 참조하여 설명한다.1 to 7 illustrate a back plate manufacturing process of a surface discharge type AC PDP according to an embodiment of the present invention, which will be described with reference to the following.
본 실시예에 따른 공정은 우선, 도 1에 도시된 바와 같이 배면판용 유리기판(10)의 일면에 어드레스 전극(11)을 형성한다. 이때, 어드레스 전극(11)의 형성을 위해 인쇄법, 포토법, 박막증착법 등 기 발표된 방법이 모두 적용될 수 있으며, 소성 공정이 필요한 경우에는 소성 공정을 거친다.In the process according to the present embodiment, first, as shown in FIG. 1, the address electrode 11 is formed on one surface of the glass substrate 10 for the back plate. In this case, all previously published methods such as a printing method, a photo method, and a thin film deposition method may be applied to form the address electrode 11.
다음으로, 도 2에 도시된 바와 같이 어드레스 전극(11)이 형성된 유리기판(20) 전체구조 상에 포토레지스트(12)를 도포한다. 포토레지스트(12)는 포지티브 타입을 사용하며, 액상 레지스트, 드라이 필름 레지스트(dry film resist, DFR)를 구분하지 않고 사용할 수 있다. 또한, 포토레지스트(12)의 두께는 형성하고자 하는 격벽의 높이를 고려하여 결정한다. 즉, 포토레지스트(12)의 두께가 적어도 격벽의 높이에 이르도록 형성한다.Next, as shown in FIG. 2, the photoresist 12 is coated on the entire structure of the glass substrate 20 on which the address electrode 11 is formed. The photoresist 12 uses a positive type and may be used without distinguishing a liquid resist or a dry film resist (DFR). In addition, the thickness of the photoresist 12 is determined in consideration of the height of the partition wall to be formed. That is, the thickness of the photoresist 12 is formed at least to reach the height of the partition wall.
이어서, 도 3에 도시된 바와 같이 어드레스 전극(11)을 마스크로 사용하여 배면 노광을 실시한다. 즉, 유리기판(10)의 배면쪽에서 노광을 실시한다. 이때, 노광을 실시함에 있어서 노광 시간을 기준 시간보다 작게 설정하여 과소 노광이 이루어지도록 한다.Next, as shown in FIG. 3, back exposure is performed using the address electrode 11 as a mask. That is, exposure is performed on the back side of the glass substrate 10. At this time, in performing the exposure, the exposure time is set smaller than the reference time so that the underexposure is performed.
다음으로, 도 4에 도시된 바와 같이 현상을 실시하여 포토레지스트(12)를 패터닝한다. 이때, 패터닝된 포토레지스트(12)는 격벽(11)에 일정하게 오버랩되며, 노광시 과소 노광을 실시하였기 때문에 격벽에 비해 큰 선폭으로 오버랩된다. 상기 도 2 내지 도 4에 도시된 포토레지스트(12)의 도포, 노광, 현상은 격벽의 높이를 고려하여 다양한 방법으로 진행할 수 있다. 즉, 도포를 여러 차례 실시하고 노광 및 현상을 진행할 수 있으며, 도포/노광/현상을 여러 차례 반복하여 실시할 수 있다.Next, as shown in FIG. 4, development is performed to pattern the photoresist 12. At this time, the patterned photoresist 12 overlaps the partition wall 11 constantly, and because the underexposure is performed during exposure, the patterned photoresist 12 overlaps with a larger line width than the partition wall. The application, exposure, and development of the photoresist 12 illustrated in FIGS. 2 to 4 may be performed in various ways in consideration of the height of the partition wall. That is, the coating may be carried out several times, the exposure and the development may proceed, and the coating / exposure / developing may be repeatedly performed several times.
계속하여, 도 5에 도시된 바와 같이 패터닝된 포토레지스트(12)에 의해 만들어진 공간에 격벽재료(13)를 충진시킨다. 격벽재료(13)를 충진시키는 방법도 가능한 모든 방법을 사용할 수 있다.Subsequently, the partition material 13 is filled in the space created by the patterned photoresist 12 as shown in FIG. The method of filling the partition material 13 can also use all possible methods.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이 일정 온도 이상에서 소성을 실시하여 잔류하는 포토레지스트(12)를 제거(burn-out)하고, 격벽(13a)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 6, baking is performed at a predetermined temperature or more to remove the remaining photoresist 12 and to form a partition 13a.
다음으로, 도 7에 도시된 바와 같이 백색 유전체(14) 및 형광체(R, G, B)(15)까지 형성하여 배면판 제조 공정을 완료한다. 투과형인 경우 형광체(15)는 전면판에 형성한다.Next, as shown in FIG. 7, the white dielectric 14 and the phosphors (R, G, B) 15 are formed to complete a back plate manufacturing process. In the case of the transmission type, the phosphor 15 is formed on the front plate.
이상의 공정을 진행하게 되면, 상기 도 3에 도시된 바와 같이 격벽(13a) 형성을 위해 어드레스 전극(11)을 노광 마스크로 사용하므로 오정렬의 가능성이 희박해진다. 따라서, 어드레스 전극(11) 형성 후 소성 공정을 실시하여 유리기판(10)에 변형이 일어나더라도 큰 문제를 일으키지 않게 된다.As the above process proceeds, the address electrode 11 is used as the exposure mask to form the partition 13a as shown in FIG. Therefore, even if the glass substrate 10 is deformed by performing the firing process after the address electrode 11 is formed, it does not cause a big problem.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made in the art without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary knowledge.
전술한 본 발명은 어드레스 전극 형성시의 소성 공정에 수반되는 유리기판의 변형으로 인한 격벽과 어드레스 전극의 오정렬을 방지하는 효과가 있으며, 이로 인하여 고 해상도의 PDP 제작을 가능하게 하며, 격벽 형성시 스크린 마스크를 필요로 하지 않게 되어 생산단가의 저감 및 불량률 감소의 효과를 기대할 수 있다.The present invention described above has an effect of preventing misalignment of barrier ribs and address electrodes due to deformation of the glass substrate accompanying the firing process when forming the address electrode, thereby enabling the production of high resolution PDP, and screen forming barrier ribs. Since no mask is required, the production cost can be reduced and the defect rate can be reduced.
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KR1019990024778A KR20010004160A (en) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | Method for fabricating back panel of plasma display panel |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20040005214A (en) * | 2002-07-09 | 2004-01-16 | 주식회사 투엠테크 | Barrier Rib For PDP Using Photo Sensitive Paste |
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1999
- 1999-06-28 KR KR1019990024778A patent/KR20010004160A/en not_active Application Discontinuation
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KR20040005214A (en) * | 2002-07-09 | 2004-01-16 | 주식회사 투엠테크 | Barrier Rib For PDP Using Photo Sensitive Paste |
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