KR20000001014U - 이력표시부를 갖는 반도체장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체장치의 패키지 테스트에서 오류가 발생된 샘플에 대한 오류분석시 정확한 테스트공정을 추적하여 공정의 이상유무를 확인하여 제조공정에 반영할 수 있도록 하기 위한 이력표시부를 두어 불량원인 분석시 테스트 공정의 정확한 진행여부를 확인할 수 있도록 하는 이력표시부를 갖는 반도체장치에 관한 것이다.

Description

이력표시부를 갖는 반도체장치의

본 고안은 반도체장치의 테스트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치의 패키지 테스트에서 오류가 발생된 샘플에 대한 오류분석시 정확한 테스트공정을 추적하여 공정의 이상유무를 확인하여 제조공정에 반영할 수 있도록 하기 위한 이력표시부를 갖는 반도체장치에 관한 것이다.

설계된 회로는 제조공정을 통해 반도체장치가 되는데, 제조단계의 각 공정 요소는 제조된 반도체장치의 신뢰성에 많은 영향을 미친다. 물론, 제조 공정의 각 단계 또한 여러 가지의 실험 및 검사를 거쳐 원하는 형상, 도핑 상태 등을 형성하도록 조정되지만, 제조 공정의 아주 미세한 오차 하나 하나가 반도체장치의 동작에 큰 영향을 줄 수 있으므로, 제조된 반도체장치는 반드시 검사 단계를 거쳐 설계된 데로 제조되었는가를 검사하여야 한다. 이 단계를 테스트(Test)라고 한다.

반도체장치의 테스트는 테스트를 위한 장비(탐침 스테이션, 테스터 등)를 사용하여 이루어지는 것이 보통이다. 반도체장치의 집적도가 증가함에 따라 테스트를 위한 기술도 테스트 비용 절감과 테스트 시간의 감소를 위해 같이 발전하여 왔으며, 따라서, 테스트 장비 또한 같이 발전하여, 최근에는 거의 자동화된 테스트 장비가 출현하게 되었다.

위와 같은 반도체장치의 테스트는 제조 공정이 끝난 다음, 이루어지는데 이때 불합격 판정을 받게되면 불량의 원인을 분석하기 위해 웨이퍼 테스트와 관련된 공정을 찾아 그 공정의 이상유무를 확인하고 불량 원인을 분석하여 제조공정에 반영함으로서 더욱 완벽한 반도체장치를 제조하도록 하고 있다.

그런데, 반도체장치의 테스트 공정에서 불량으로 판정된 샘플들을 분석하기 위해 오류가 발생된 테스트 공정을 추적해야 하는데 현재는 불량판정된 웨이퍼의 로드번호만이 추적가능하여 해당 샘플이 정확하게 테스트의 모든 공정을 진행하였는지 체크하기가 어렵다는 문제점이 있다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 고안의 목적은 반도체장치의 테스트시 불량판정을 받은 웨이퍼의 테스트공정을 역추적할 수 있도록 이력표시부를 형성하여 분량의 원인 분석시 정확한 테스트 공정의 진행여부를 판별할 수 있도록 한 이력표시부를 갖는 반도체장치를 제공함에 있다.

도1은 본 고안에 의한 이력표시부를 나타낸 실시예이다.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -

10 : 이력표시부 20 : 퓨즈

상기와 같은 목적을 이루기 위한 본 고안은 반도체기판상에 각종 회로들을 집적하여 형성한 반도체장치에 있어서, 반도체장치의 테스트 공정시 공정단계의 이력을 표시할 수 있는 이력표시부를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

위와 같이 이루어진 본 고안의 작동을 설명하면 다음과 같다.

반도체장치의 제조과정을 종료한 후 테스트 공정을 진행할 때 이력표시부에 각종 테스트단계에 대한 정보와 웨이퍼의 위치에 대한 정보를 기록하여 불량판정시 불량원인을 분석할 때 정확한 테스트의 진행여부를 확인할 수 있다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 고안의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이다.

도1은 본 고안에 의한 실시예로서 이력표시부를 나타낸 구성도이다.

여기에 도시된 바와 같이 이력표시부(10)는 다수개의 퓨즈(20)로 이루어진 퓨즈박스로서 퓨즈(20)의 개수에 해당하는 비트정보를 기록할 수 있도록 한다.

위와 같은 퓨즈(20)는 제조공정에서 회로가 집적되지 않는 주변에 폴리실리콘으로 형성하여 테스트 공정시 각 공정의 진행시 공정 단계를 기록하여 이후 불량판정을 받을 경우 이 이력표시부(10)를 확인하여 어느 공정까지 진행되었는지 확인할 수 있게된다.

폴리실리콘의 퓨즈(20)는 레이저빔을 조사하여 융단시키거나 전기적인 과전류를 흘려 융단시키거나 하여 퓨즈가 끊어졌을 경우를 '0'이라고 한다면 퓨즈가 끊어지지 않은 상태를 '1'로 정의하여 퓨즈(20)의 개수에 해당하는 비트정보를 표시하게 된다.

즉, 퓨즈박스의 퓨즈(20) 개수가 5개일 경우 기록될 수 있는 정보량은 2⁵개인 32가지의 정보를 기록할 수 있게된다.

또한, 퓨즈(20)의 개수에 따라 기록할 수 있는 정보량을 더욱 많아 지게 되어 웨이퍼의 번호 및 웨이퍼내의 불량 다이의 위치정보도 기록할 수 있어 정확한 이력을 인지하게 된다.

상기한 바와 같이 본 고안은 반도체장치의 이력을 표시할 수 있는 이력표시부를 두어 테스트 공정시 진행된 단계 및 각종 테스트 정보를 기록하여 불량판정시 테스트 진행 공정을 정확하게 확인할 수 있어 불량분석을 할 경우 정확한 테스트 진행여부를 확인할 수 있으며 제조과정에서 발생된 오류 등을 정확하게 분석할 수 있어 제조과정 및 회로설계에 피드백되어 더욱더 안정된 반도체장치를 제조할 수 있다는 이점이 있다.

Claims (2)

1. 반도체기판상에 각종 회로들을 집적하여 형성한 반도체장치에 있어서,

   상기 반도체장치의 테스트 공정시 공정단계의 이력을 표시할 수 있는 이력표시부

   를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 이력표시부는

   다수개의 퓨즈로 이루어진 퓨즈박스인 것

   을 특징으로 하는 반도체장치.