KR19990085882A

KR19990085882A - Loader door of loader for semiconductor device manufacturing

Info

Publication number: KR19990085882A
Application number: KR1019980018571A
Authority: KR
Inventors: 이성만; 고재근
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-05-22
Filing date: 1998-05-22
Publication date: 1999-12-15

Abstract

본 발명은 로더도어에 연결되는 샤프트를 로더도어에 일체로 형성시켜 로더의 유지, 보수를 간단하게 한 반도체장치 제조용 로더의 로더도어에 관한 것이다.The present invention relates to a loader door of a loader for manufacturing a semiconductor device, in which a shaft connected to the loader door is integrally formed on the loader door to simplify maintenance and repair of the loader.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 로더의 로더도어(3)는, 로더본체(1)에 힌지가능하게 연결된 로더도어(3)의 내측면에 도어개폐실린더(5)와 가변가능하게 결합되는 샤프트(8)를 일체로 형성시켜 이루어진 샤프트일체형도어(91)를 포함함을 특징으로 한다.As shown in FIG. 3, the loader door 3 of the loader for manufacturing a semiconductor device according to the present invention includes a door opening / closing cylinder 5 on an inner side surface of the loader door 3 hingeably connected to the loader body 1. It characterized in that it comprises a shaft integral door 91 formed by integrally forming the shaft (8) that is variably coupled.

따라서, 로더의 유지, 보수를 단순하게 하여 로더의 정지시간을 줄이고, 전체 생산라인의 가동율을 높여 반도체장치의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.Therefore, the maintenance and repair of the loader is simplified, thereby reducing the downtime of the loader and increasing the operation rate of the entire production line, thereby improving the productivity of the semiconductor device.

Description

Loader door of loader for semiconductor device manufacturing

본 발명은 반도체장치 제조용 로더의 로더도어에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로더도어에 연결되는 샤프트를 로더도어에 일체로 형성시켜 로더의 유지, 보수를 간단하게 한 반도체장치 제조용 로더의 로더도어에 관한 것이다.The present invention relates to a loader door of a loader for manufacturing a semiconductor device, and more particularly, to a loader door of a loader for manufacturing a semiconductor device, in which a shaft connected to the loader door is integrally formed in the loader door to simplify maintenance and repair of the loader. will be.

반도체장치의 제조를 위하여는 웨이퍼의 표면에 포토레지스트를 도포하고, 소정의 패턴이 형성된 마스크를 웨이퍼와 정렬시킨 후, 노광, 현상, 식각, 불순물확산 및 전극증착 등의 일련의 공정들을 통하여 소정의 전기특성을 갖는 회로를 웨이퍼 상에 형성시키고, 후속되는 EDS공정 및 검사공정 등을 통하게 된다.To manufacture a semiconductor device, a photoresist is applied to a surface of a wafer, a mask having a predetermined pattern is aligned with the wafer, and then a predetermined process is performed through a series of processes such as exposure, development, etching, diffusion of impurities, and electrode deposition. A circuit having electrical characteristics is formed on the wafer, followed by an EDS process, an inspection process, and the like.

또한, 이들 공정들의 전후에서는 각종의 검사와 측정이 이루어지게 되며, 그 중 선폭측정설비 등에서는 웨이퍼를 낱장으로서 로딩 및 언로딩의 작업을 수행하여야 할 것이 요구되고 있다.In addition, before and after these processes, various inspections and measurements are performed, and among them, line width measuring equipment and the like are required to perform loading and unloading operations as single sheets of wafers.

여기에서, 1차적으로 진공을 형성하기 위한 로더의 경우, 도 1 및 도 2에 도시한 같이, 로더본체(1)와 이에 힌지가능하게 연결된 로더도어(3) 및 상기 로더도어(3)를 자동적으로 개폐하기 위한 도어개폐실린더(5)에 의하여 개폐된다. 여기에서, 특히 로더도어(3)와 실린더를 연결하여 주는 부품으로서 샤프트(8)가 사용되고 있으며, 이 샤프트(8)는 그 일측이 샤프트(8)삽입홈(4)에 삽입되어 회전가능하게 연결되며, 그 타측이 도어개폐실린더(5)의 일측에 형성된 샤프트수용홈(7)에 삽입되어 로더도어(3)와 도어개폐실린더(5)의 일측이 서로 연결되도록 하고, 상기 도어개폐실린더(5)의 타측에 형성된 돌기수용홈(6)에는 상기 로더본체(1)의 내벽에 형성된 실린더지지돌기(2)가 삽입되어 결국 로더본체(1)와 로더도어(3) 사이에 도어개폐실린더(5)가 연결되도록 구성되어 있어, 상기 도어개폐실린더(5)의 동작에 따라 로더도어(3)가 자동적으로 개폐되도록 구성되어 있다.Here, in the case of a loader for primarily forming a vacuum, as shown in FIGS. 1 and 2, the loader body 1 and the loader door 3 and the loader door 3 which are hingedly connected thereto are automatically connected. It is opened and closed by the door opening and closing cylinder 5 for opening and closing. Here, in particular, the shaft 8 is used as a part for connecting the loader door 3 and the cylinder, and one side of the shaft 8 is inserted into the shaft 8 insertion groove 4 so as to be rotatably connected. And, the other side is inserted into the shaft receiving groove (7) formed on one side of the door opening and closing cylinder (5) so that one side of the loader door (3) and the door opening and closing cylinder (5) are connected to each other, the door opening and closing cylinder (5) The cylinder support protrusion 2 formed on the inner wall of the loader body 1 is inserted into the protrusion accommodation groove 6 formed at the other side of the door. Thus, the door opening / closing cylinder 5 is formed between the loader body 1 and the loader door 3. ) Is configured to be connected, the loader door (3) is configured to automatically open and close according to the operation of the door opening and closing cylinder (5).

그러나, 상기한 기능을 하는 샤프트(8)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 일측으로부터 타측으로 향하여 도어삽입돌기(81), 돌기연결넥(82), 육각체(83), 실린더연결부(84) 및 나사부(85)가 일렬로 형성되어 있어, 상기 도어삽입돌기(81)가 상기 로더도어(3)의 측벽에 형성된 샤프트삽입홈(4)에 나사결합되고, 샤프트수용홈(7)은 상기 도어개폐실린더(5)의 샤프트수용홈(7)에 삽입되고, 상기 나사부(85)에는 상기 샤프트수용홈(7)을 통하여 연결된 도어개폐실린더(5)가 상기 샤프트수용홈(7)으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 통상의 볼트가 나사결합된다.However, the shaft 8 having the above function, as shown in Fig. 2, the door insertion protrusion 81, the projection connecting neck 82, the hexagonal body 83, the cylinder connecting portion 84 from one side to the other side And the threaded portion 85 are formed in a line, the door insertion protrusion 81 is screwed into the shaft insertion groove 4 formed on the side wall of the loader door 3, the shaft receiving groove 7 is The door opening / closing cylinder (5) inserted into the shaft accommodation groove (7) of the door opening / closing cylinder (5) and connected to the screw portion (85) through the shaft accommodation groove (7) is separated from the shaft accommodation groove (7). Ordinary bolts are screwed in to prevent damage.

종래의 로더의 경우, 로더도어(3)에 샤프트(8)가 착탈가능하게 취부되어 있기 때문에, 로더도어(3)의 유지, 보수 등을 위하여 로더도어(3)를 로더본체(1)로부터 분리코자 하는 경우, 우선적으로 도어개폐실린더(5)를 로더본체(1) 및 로더도어(3)로부터 분리하여야만 하였으며, 그에 따라 분해, 조립에 많은 시간과 노력이 소요되어 로더 자체의 유지, 보수에 많은 시간이 소모되는 문제점이 있었으며, 더욱이 이들 로더와 일련의 작업공정을 수행하는 다른 장비들도 정지되는 등 전체적으로 반도체장치의 생산성을 저하시키는 원인으로 작용하는 문제점이 있었다.In the conventional loader, since the shaft 8 is detachably attached to the loader door 3, the loader door 3 is separated from the loader body 1 for maintenance, maintenance, etc. of the loader door 3. In order to do this, the door opening / closing cylinder (5) had to be separated from the loader body (1) and the loader door (3) first. Therefore, it takes a lot of time and effort to disassemble and assemble. There was a problem in that it was time consuming, and furthermore, these loaders and other equipment performing a series of work processes were also stopped, and thus there was a problem that caused the overall productivity of the semiconductor device to be lowered.

따라서, 이를 해결하여야 할 필요성이 있었다.Therefore, there was a need to solve this problem.

본 발명의 목적은 로더도어에 연결되는 샤프트를 로더도어에 일체로 형성시켜 로더의 유지, 보수를 간단하게 한 반도체장치 제조용 로더의 로더도어를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a loader door of a loader for manufacturing a semiconductor device, in which a shaft connected to the loader door is integrally formed on the loader door to simplify maintenance and repair of the loader.

도 1은 종래의 반도체장치 제조용 로더의 로더도어 부분을 확대하여 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing an enlarged loader door portion of a conventional loader for manufacturing a semiconductor device.

도 2는 도 1의 로더에 사용되는 샤프트를 개략적으로 도시한 측단면도이다.2 is a side cross-sectional view schematically showing a shaft used in the loader of FIG. 1.

도 3은 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 로더의 로더도어를 개략적으로 도시한 사시도이다.3 is a perspective view schematically showing a loader door of a loader for manufacturing a semiconductor device according to the present invention.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

1 : 로더본체 2 : 실린더지지돌기1: loader body 2: cylinder support protrusion

3 : 로더도어 4 : 샤프트삽입홈3: Loader Door 4: Shaft Insertion Groove

5 : 도어개폐실린더 6 : 돌기수용홈5: door opening and closing cylinder 6: protrusion receiving groove

7 : 샤프트수용홈 8 : 샤프트7: shaft receiving groove 8: shaft

81 : 도어삽입돌기 82 : 돌기연결넥81: door insertion projection 82: projection connection neck

83 : 육각체 84 : 실린더연결부83: hexagonal body 84: cylinder connection

85 : 나사부 91 : 샤프트일체형도어85: threaded portion 91: shaft integrated door

본 발명에 따른 반도체장치 제조용 로더의 로더도어는, 로더본체에 힌지가능하게 연결된 로더도어의 내측면에 도어개폐실린더와 가변가능하게 결합되는 샤프트를 일체로 형성시켜 이루어진 샤프트일체형도어를 포함하여 이루어진다.The loader door of the loader for manufacturing a semiconductor device according to the present invention includes a shaft integral door formed by integrally forming a shaft that is variably coupled to a door opening / closing cylinder on an inner surface of a loader door hingeably connected to the loader body.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 로더의 로더도어(3)는, 로더본체(1)에 힌지가능하게 연결된 로더도어(3)의 내측면에 도어개폐실린더(5)와 가변가능하게 결합되는 샤프트(8)를 일체로 형성시켜 이루어진 샤프트일체형도어(91)를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.As shown in FIG. 3, the loader door 3 of the loader for manufacturing a semiconductor device according to the present invention includes a door opening / closing cylinder 5 on an inner side surface of the loader door 3 hingeably connected to the loader body 1. It characterized in that it comprises a shaft integral door 91 formed by integrally forming a shaft (8) that is variably coupled.

상기 샤프트일체형도어(91)는 종래의 로더도어(3)와 그에 연결되는 샤프트(8)를 일체화한 점에 특징이 있는 것으로서, 특히 종래의 샤프트(8)에서 도어삽입돌기(81)와 돌기연결넥(82) 및 육각체(83) 등 로더도어(3)에 연결되기 위한 부분들을 생략할 수 있으며, 그에 따라 종래의 샤프트(8)에서 가장 취약하던 돌기연결넥(82)의 파손에 의한 샤프트(8)의 교환 등의 문제점을 원인적으로 제거하였다.The shaft integrated door 91 is characterized in that the conventional loader door 3 and the shaft 8 connected thereto are integrated, and in particular, the door insertion protrusion 81 and the protrusion connection at the conventional shaft 8 are connected. Parts to be connected to the loader door 3 such as the neck 82 and the hexagonal body 83 can be omitted, and accordingly, the shaft due to breakage of the protrusion connecting neck 82, which is the weakest in the conventional shaft 8, can be omitted. Problems such as replacement of (8) were eliminated as a cause.

또한, 본 발명은 로더도어(3)에 샤프트(8)를 일체화시킴으로써 로더도어(3)의 유지, 보수를 위한 분리시, 분리작업 및 결합작업을 단순화시킬 수 있도록 함으로써 로더의 작업중지시간을 크게 감소시킬 수 있다.In addition, the present invention is to integrate the shaft (8) in the loader door (3) to simplify the separation work and the coupling work during the separation for maintenance, maintenance of the loader door (3) to greatly increase the downtime of the loader Can be reduced.

따라서, 본 발명에 의하면 로더도어(3)에 연결되는 샤프트(8)를 로더도어(3)에 일체로 형성시켜 로더의 유지, 보수를 간단하게 한 반도체장치 제조용 로더의 로더도어(3)를 제공하는 효과가 있다.Accordingly, the present invention provides a loader door 3 of a loader for manufacturing a semiconductor device, in which a shaft 8 connected to the loader door 3 is integrally formed in the loader door 3 to simplify maintenance and repair of the loader. It is effective.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.

Claims

A loader door of a loader for manufacturing a semiconductor device, comprising a shaft integral door formed by integrally forming a shaft that is variably coupled to a door opening / closing cylinder on an inner surface of the loader door hingeably connected to the loader body.