KR19990082585A - Manufacturing method and apparatus for plasma display - Google Patents

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타카오 사노
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요시노리 타니
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Abstract

플라즈마 디스플레이의 제조방법은 다수의 칸막이가 형성된 기판 위에 형광체층을 형성함으로서 다수의 토출구를 가지는 노즐을 통해 기판에 형광체 분할 및 유기화합물을 함유하는 형광체 페이스트를 연속적으로 토출함으로서 다수의 칸막이가 형성된 기판 위에 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 한다.In the method of manufacturing a plasma display, a phosphor layer is formed on a substrate on which a plurality of partitions are formed, thereby continuously discharging a phosphor paste containing a phosphor split and an organic compound onto the substrate through a nozzle having a plurality of discharge ports, and then on the substrate on which a plurality of partitions are formed. It is characterized by forming a phosphor layer.

빨강, 초록 또는 파란색 빛을 방사하는 형광체 분할을 각각 함유하는 세 종류의 형광체 페이스트를 노즐로부터 직선형으로 형성된 칸막이 사이의 틈에 사용한 후, 형광체층을 페이스트를 가열함으로서 형성한다.Three kinds of phosphor pastes each containing phosphor divisions emitting red, green or blue light are used in the gaps between the partitions formed in a straight line from the nozzle, and then a phosphor layer is formed by heating the paste.

플라즈마 디스플레이 제조용 장치는 칸막이가 있는 기판을 고정하는 테이블, 기질의 칸막이에 접하고, 토출개구부를 가지는 노즐, 노즐에 형광체 페이스트를 제공하는 방법 및 서로 관계있는 테이블과 노즐을 공간이동시키는 방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.The apparatus for manufacturing a plasma display provides a table for holding a partitioned substrate, a nozzle in contact with a partition of a substrate, a nozzle having a discharge opening, a method of providing a phosphor paste to the nozzle, and a method of moving a table and a nozzle relative to each other. It features.

Description

플라즈마 디스플레이의 제조방법 및 제조장치Manufacturing method and apparatus for plasma display

플라즈마 디스플레이에 있어서는, 전면판과 후면판의 사이에 형성된 방전공간 내에서 방전을 일으킨다. 이 방전에 의하여, 크세논가스로부터 파장 147㎚을 중심으로 하는 자외선이 생겨서, 이 자외선이 형광체를 여기하는 것에 의하여 표시가 가능하게 된다. RGB에 발광하는 형광체를 발라 말린 방전셀을 구동회로에 의하여 발광시키는 것에 의하여 풀칼러 표시에 대응 가능하게 된다.In the plasma display, discharge is caused in a discharge space formed between the front plate and the back plate. By this discharge, ultraviolet rays centered on the wavelength of 147 nm are generated from the xenon gas, and the ultraviolet rays excite the phosphor to enable display. By discharging the discharge cells dried by applying a phosphor that emits RGB light by a driving circuit, it becomes possible to cope with full color display.

또 최근활발하게 개발이 진행되고 있는 AC형 플라즈마 디스플레이는, 표시전극/유도체층/보호층을 형성한 전면유리기판과 어드레스전극/유도체층/격벽층/형광체층이 형성된 배면유리기판과를 발라 맞추고, 스트라이프상의 격벽으로 구획된 방전공간에 He-Xe 또는 Ne-Xe의 혼합가스를 봉입한 구조를 가지고 있다.In addition, the AC plasma display, which is being actively developed recently, is matched with a front glass substrate on which display electrodes / conductor layers / protective layers are formed, and a rear glass substrate on which address electrodes / conductor layers / binder layers / phosphor layers are formed. It has a structure in which a mixed gas of He-Xe or Ne-Xe is sealed in a discharge space partitioned by stripe-shaped partition walls.

종래, 플라즈마 디스플레이에 필요한 RGB의 형광체층을 형성하는 방법으로서, 형광체분말과 바인더수지로 이루어지는 형광체 페이스트를 사용한 스크린인쇄법이 주로 사용되어 왔다. 이 방법은 스크린메시(scrssn mesh)에, 격벽간격에 맞추어서 개구부를 설치하고, 그것 이외의 부분에는 유제(乳劑)에 의하여 차단한 스크린판상에 페이스트를 바르고, 형광체 페이스트가 필요한 부분, 즉, 격벽간에만 스크린메시를 통하여 전사되는 것을 이용한 방법이다.Conventionally, the screen printing method using the phosphor paste which consists of phosphor powder and binder resin has been mainly used as a method of forming the phosphor layer of RGB required for a plasma display. In this method, openings are provided in screen meshes in accordance with the partition wall spacing, and the paste is applied to the screen plate that is blocked by an emulsion at other parts of the screen mesh, and the portion where phosphor paste is required, that is, between partition walls. Only the screen mesh is transferred.

그리고, 일본특개평 6-5205호 공보에는, 스크린인쇄를 행한 후에, 샌드프라스트를 사용하는 방법이, 또, 일본특개평 5-144375호 공보에는, 가교제를 도포한 후에 스크린인쇄하는 방법이 각각 제안되고 있다.In Japanese Patent Laid-Open No. 6-5205, after screen printing, a method of using sandblasting is used, and in Japanese Patent Laid-Open No. 5-144375, a method of screen printing after applying a crosslinking agent, respectively. It is proposed.

그러나, 스크린인쇄를 사용하는 방법은 인쇄를 반복하는 동안에 스크린판의 형상이 변화하기 때문에 정밀도가 낮고, 고정밀의 플라즈마 디스플레이에 대응할 수 있는 형광체층을 형성하는 것이 곤란하다고 하는 결점이 있고, 또, 고가인 스크린판을 빈번하게 교환할 필요가 있기 때문에 코스트가 높게 된다고 하는 문제가 있었다.However, the method of using screen printing has a drawback that it is difficult to form a phosphor layer that is low in precision and can cope with a high-precision plasma display because the shape of the screen plate changes during repeating printing. There is a problem that the cost becomes high because it is necessary to replace the in-screen board frequently.

또, 고정밀의 플라즈마 디스플레이에 대응하는 형광체층을 형성하는 방법으로서, 형광체분말과 감광성을 가지는 바인더수지를 혼합한 감광성 형광체 페이스트를 사용하는 방법도 알려지고 있다. 이 방법은 격벽을 형성한 기판상에 감광성 페이스트를 전면도포하고, 포트마스크에 의하여 부분적으로 빛을 조사하여, 현상액에 대하여 가용부분과 불용부분을 형성한 후에 형성하여, 필요한 부분을 남기는 방법이다. 그러나, 이 방법에서는, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 각 색 형광체층을 형성하기 때문에, RGB 3회의 도포-노광-현상-건조 등 복잡한 공정이 필요하다.Moreover, as a method of forming the phosphor layer corresponding to a high precision plasma display, the method of using the photosensitive fluorescent substance paste which mixed the fluorescent substance powder and the binder resin which has photosensitivity is also known. This method is a method in which the photosensitive paste is completely coated on the substrate on which the barrier ribs are formed, partially irradiated with a port mask, and then formed after the soluble and insoluble portions of the developer are formed to leave the necessary portions. However, in this method, since each color phosphor layer of red (R), green (G), and blue (B) is formed, a complicated process such as three times of RGB coating, exposure, development, and drying is required.

또, 이 방법에서는 형광체 페이스트의 손실이 많다고 하는 결점도 있고, 비용이 많이 든다고 하는 문제가 있었다. 또, 잉크젯트노즐의 선단으로부터 형광체 페이스트를 분출시켜, 형광체층을 형성하는 방법도 제안되고 있으나, 이 방법의 경우는, 지름이 작은 잉크젯트노즐의 선단으로부터 페이스트를 분출시킬 필요가 있기 때문에, 페이스트점도를 0.2포이즈 이하로 할 필요가 있었다. 이 때문에, 페이스트의 속의 형광체분말량을 많게 할 수가 없으므로, 형광체층의 두께를 콘트롤할 수 없다고 하는 결점이 있었다. 또, 이 방법에서는 잉크젯트노즐에 형광체분말이 막힌다고 하는 문제도 있어, 실용적으로 사용할 수는 없었다.Moreover, this method also has the drawback that there is a large loss of phosphor paste, and has a problem that it is expensive. In addition, a method of forming a phosphor layer by ejecting the phosphor paste from the tip of the inkjet nozzle is also proposed, but in this case, it is necessary to eject the paste from the tip of the inkjet nozzle having a small diameter. It was necessary to make viscosity into 0.2 poise or less. For this reason, since the amount of phosphor powder in the paste cannot be increased, there is a drawback that the thickness of the phosphor layer cannot be controlled. Moreover, this method also has a problem that the phosphor powder is clogged in the ink jet nozzle, and has not been practically used.

본 발명은 벽걸이 텔레비전이나 정보표시용 등의 디스플레이로서 적합하게 사용되는 신규한 플라즈마 디스플레이의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a novel method and apparatus for manufacturing a plasma display, which is suitably used as a display for a wall-mounted television or an information display.

최근, 멀티미디어의 발전에 의하면, 여러 종류의 다양한 정보를 표시하기 위한 디스플레이의 역할이 커지고 있다. 그에 따라서, 디스플레이의 대형화, 박형화(薄型化)가 요구되고 있고, 액정디스플레이는 노트북형 퍼스널 컴퓨터를 비롯하여 많은 분야에 이용되도록 되고 있다. 그러나, 액정디스플레이는 대형화시의 가격이나 응답속도의 점에서, 대형 텔레비젼에 사용하는 것은 곤란하다. 그래서, 대형 디스플레이의 후보로서, 플라즈마 디스플레이가 주목되고 있다.Recently, with the development of multimedia, the role of the display for displaying various kinds of various information is increasing. Accordingly, there is a demand for larger displays and thinner displays, and liquid crystal displays have been used in many fields, including notebook type personal computers. However, it is difficult to use a liquid crystal display for large-sized televisions in view of the price and response speed at the time of enlargement. Therefore, as a candidate for a large display, a plasma display is attracting attention.

본 발명은 이러한 분야에 있어서, 고정밀 플라즈마 디스플레이에 대응하는 형광체층을 형성할 수가 있는 플라즈마 디스플레이를 제공하는 수단에 관한 것이다.The present invention relates to means for providing a plasma display capable of forming a phosphor layer corresponding to a high precision plasma display in this field.

도1은 본 발명의 감광체 페이스트의 도포공정의 일예를 설명하기 위한 도포장치의 개략도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic diagram of a coating apparatus for explaining an example of a coating process of the photosensitive member paste of the present invention.

도2는 본 발명의 플라즈마 디스플레이용의 기판과 도포용의 구금의 관계를 설명하기 위한 단면도이다.Fig. 2 is a cross-sectional view for explaining the relationship between the substrate for plasma display of the present invention and the detention for coating.

도3은 본 발명의 일실시예에 관한 플라즈마 디스플레이의 제조장치의 개략을 표시하는 전체 사시도이다.3 is an overall perspective view showing an outline of an apparatus for manufacturing a plasma display according to an embodiment of the present invention.

도4는, 도3에 표시한 플라즈마 디스플레이의 제조장치의 요부를 설명하기 위한 개략도이다.FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a main part of the apparatus for manufacturing a plasma display shown in FIG.

도5는, 본 발명에서 사용되는 구금의 일예를 표시하는 사시도이다.5 is a perspective view showing an example of the detention used in the present invention.

도6은 본 발명에서 사용되는 다른 구금의 일예를 표시하는 사시도이다.6 is a perspective view showing an example of another detention used in the present invention.

도7은 본 발명에서 사용되는 또다른 구금의 일예를 표시하는 단면도와 저면도이다.Fig. 7 is a sectional view and a bottom view showing an example of yet another detention used in the present invention.

도8는 본 발명의 다른 실시예에 관한 플라즈마 디스플레이의 제조장치의 사시도이다.8 is a perspective view of an apparatus for manufacturing a plasma display according to another embodiment of the present invention.

도9는 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조장치에 있어서의 구금의 토출구면의 청정장치를 표시하는 측면도이다.Fig. 9 is a side view showing the cleaning device of the discharge port surface of the detention in the apparatus for manufacturing a plasma display of the present invention.

상기의 도면에 있어서, 부호는 각각 하기를 표시한다.In the above drawings, the symbols each indicate the following.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

2 … 기대 4 … 기판2 … Expectations 4. Board

6 … 테이불 7 … 흡인공6. Table 7. Suction

8 … 가이드홈레일 9 … 슬라이드각8 … Guide groove 9. Slide angle

10 … 피드스크류 11 … 커넥터10... Feed screw 11. connector

12 … 축받이 16 … AC서보모터12... Bearing 16. AC servo motor

20 … 구금 22 … 홀더20... Detention 22. holder

24 … 수평바아 26 … 리니어액츄에이터24. Horizontal bar 26. Linear Actuator

28 … 승강브라켓 29 … 신축로드28. Lifting bracket 29. Telescopic rod

30 … 승강기구 32 … Y축이동브라켓30. Lifting mechanism 32. Y-axis moving bracket

34 … 지주 36 … 폭방향이동기구34. Landlord 36. Width moving mechanism

38 … 센서지주 40 … 높이센서38. Sensor holding 40. Height sensor

41 … 매니폴드 42 … 형광체 페이스트41…. Manifold 42. Phosphor paste

44 … 토출구 46 … 공급호스44. Discharge port 46. Supply hose

48 … 토출용 전자변환밸브 50 … 공급유니트48. Discharge solenoid valve 50. Supply Unit

52 … 흡인호스 54 … 흡인용전자변환밸브52... Suction hose 54... Suction solenoid valve

56 … 형광체 페이스트탱크 58 … 공급장치콘트롤러56. Phosphor paste tank 58. Supply controller

60 … 전체콘트롤러 62 … 모터콘트롤러60... Full controller 62. Motor controller

64 … 센서브라켓 66 … 위치센서64. Sensor bracket 66. Position sensor

68 … 위치센서 70 … 카메라지주68. Position sensor 70. Camera

72 … 카메라 74 … 화상처리장치72. Camera 74. Image processing device

76 … 승강기구용 액츄에이터 78 … 폭방향이동기구용 액츄에이터76. Actuator for lifting mechanism 78.. Actuator for Width Moving Mechanism

501 … 토출구 601 … 파이프501... Discharge port 601. pipe

701 … 형광체 페이스트공급구 702 … 형광체 페이스트저장부701. Phosphor paste supply port 702. Phosphor Paste Storage

703 … 통로부 704 … 토출구703. Passage portion 704. Outlet

801 … 구금 802 … 구금801. Detention 802. Detention

901 … 청정장치 902 … 토출구면901... Cleaning device 902. Discharge sphere

903 … 닦아내는 부재 904 … 브라켓903... Wiping member 904. Brackets

905 … 트레이 906 … 배출구905... Tray 906... outlet

907 … 튜브 908 … 승강부907... Tube 908. Lift

909 … 가이드 910 … 이동유니트909... Guide 910. Mobile unit

911 … 가대 912 … 보올나사911. Trestle 912. Bowl Screw

(발명을 실시하기 위한 실시형태)(Embodiment for Carrying Out the Invention)

플라즈마 디스플레이(PDP)는, 주로 전면판과 배면판으로 이루어지고, 그 양자간에는 희(希)가스가 봉입되어 있다.A plasma display (PDP) mainly consists of a front plate and a back plate, and the rare gas is enclosed between them.

배면판에 대하여는, 구동전압을 인가하기 위한 전극이나 방전젤을 구획하기 위한 격벽을 형성한 기판상에, 형광체층을 형성할 필요가 있다. 또, 그 기판상에 다시 유도체층을 형성하는 것에 의하여 방전안정화를 도모하는 경우도 있다. 기판으로서는, 소다유리나, 플라즈마 디스플레이용으로 시판되고 있는 PD200(아사히가라스샤제) 등의 유리기판이나, 세라믹스제의 기판을 사용할 수 있다. 기판두께는 바람직하게는 1∼3㎜보다 바람직하게는 2∼3㎜의 유리를 사용할 수가 있다.As for the back plate, it is necessary to form a phosphor layer on a substrate on which an electrode for applying a driving voltage or a partition wall for partitioning a discharge gel is formed. In addition, discharge stabilization may be attained by forming a derivative layer on the substrate again. As a board | substrate, glass substrates, such as soda glass, PD200 (made by Asahi Glass Co., Ltd.) marketed for plasma displays, and the board | substrate made from ceramics can be used. The substrate thickness is preferably 1 to 3 mm, preferably 2 to 3 mm glass.

이 기판상에 도전성의 금속으로 된 전극이 형성된다, 바람직하게 사용되는 전극재료로서는, 금, 은, 동, 크롬, 파라듐, 알루미늄 및 니켈로부터 선정되는 적어도 1종류를 함유하는 금속재료를 들 수 있다. 이들의 금속재료를 사용하여, 바람직하게는 0.1∼10㎛, 보다 바람직하게는 1∼5㎛의 두께로, 필요한 패턴형상의 전극을 형성한다.An electrode made of a conductive metal is formed on the substrate. Examples of the electrode material to be used include metal materials containing at least one selected from gold, silver, copper, chromium, palladium, aluminum and nickel. have. Using these metal materials, the required pattern electrode is formed to a thickness of preferably 0.1 to 10 m, more preferably 1 to 5 m.

전극패턴을 형성하는 방법으로서는, 상기 금속분말과 에틸셀룰로오스에 대표되는 셀룰로오스 화합물을 함유하는 유기바인더와 섞어서 얻어진 금속 페이스트를 유리기판상에 스크린판을 사용하여 패턴인쇄하는 방법이나, 혹은 진공증착이나, 스펏터링(sputtering)으로 유리기판상에 금속막을 형성한 후에 레지스트를 사용하여 에칭을 행하는 방법 등을 사용할 수가 있다. 또, 다른 바람직한 방법의 하나는, 금속분말과 감광성유기성분을 함유하는 유기바인더성분을 혼련하여 얻어진 감광성 페이스트를, 유리기판상에 도포한 후, 포토마스크를 사용하여 패턴노광을 행하고, 현상에 의하여 현상액의 가용부분을 제거한 후에, 500∼600℃로 소성하는 것에 의하여 전극을 형성하는 방법이고, 고정밀한 전극을 고정밀하게 형성할 수 있다.As a method of forming an electrode pattern, the method of pattern-printing the metal paste obtained by mixing with the said organic powder containing the said metal powder and the cellulose compound represented by ethyl cellulose on a glass substrate using a screen board, or vacuum deposition, After forming a metal film on a glass substrate by sputtering, the etching method using a resist, etc. can be used. In another preferred method, a photosensitive paste obtained by kneading a metal powder and an organic binder component containing a photosensitive organic component is applied onto a glass substrate, followed by pattern exposure using a photomask. After removing the soluble part of, it is a method of forming an electrode by baking at 500-600 degreeC, and a highly precise electrode can be formed with high precision.

이 전극상에는, 다시 유전체층을 형성하는 것에 의하여, 발광을 안정화할 수 있다. 유전체는, 유리분말과 에틸셀룰로오스에 대표되는 셀룰로오스화합물을 함유하는 유기바인더로 이루어지는 유리페이스트를 도포한 후에, 450∼600℃로 소성하는 것에 의하여 형성할 수가 있다. 격벽을 형성하는 방법으로서는, 여러 가지의 방법이 적용된다.On this electrode, light emission can be stabilized by further forming a dielectric layer. The dielectric can be formed by applying a glass paste composed of an organic binder containing a glass powder and a cellulose compound represented by ethyl cellulose, and then firing at 450 to 600 ° C. As a method of forming a partition, various methods are applied.

예컨데, 유리분말과 에틸셀룰로오스로 대표되는 셀룰로오스 화합물을 함유하는 유기바인더로 이루어지는 유리페이스트를, 스크린판을 사용하여 패턴형상으로 다층 인쇄한 후에 450∼600℃로 소성하는 것에 의하여 형성할 수가 있다.For example, the glass paste which consists of an organic binder containing a glass powder and the cellulose compound represented by ethyl cellulose can be formed by baking at 450-600 degreeC after multilayer printing in a pattern form using a screen board.

또, 격벽은 기판상에 유리페이스트를 전면도포한 후, 드라이필름 레지스트를 적층한 후, 광석판인쇄에 의하여 형성한 패턴을 마스크하여, 샌드블라스트에 의하여 연삭한 후에 소성하는 것에 의하여 형성할 수가 있다. 바람직한 격벽의 형성방법의 하나는, 유리분말과 감광성유기성분을 혼련하여 얻어진 감광성 유리페이스트를 기판상에 전면 도포한 후에, 포토마스크를 사용하여 광석판인쇄에 의하여 패턴형성 및 소성을 행하는 방법이다. 형성되는 격벽으로서는, 각 방전셀의 방전을 구획하기 위한 스트라이프형상이나 격자형상의 격벽이 사용되나, 스트라이프형상의 격벽쪽이, 저코스트로 간편하게 형성할 수 있으므로 바람직하다.In addition, the barrier rib can be formed by coating the entire surface of the glass paste on the substrate, laminating the dry film resist, masking the pattern formed by ore plate printing, and then firing after grinding by sandblasting. . One of the preferable formation methods of a partition is the method of pattern-forming and baking by photolithographic plate printing using a photomask, after apply | coating the photosensitive glass paste obtained by kneading | mixing glass powder and the photosensitive organic component on the board | substrate. As the partition wall formed, stripe-shaped or lattice-shaped partition walls for partitioning the discharge of each discharge cell are used. However, the stripe-shaped partition walls can be easily formed at low cost.

특히 본 발명에 의하면, 종래의 스크린인쇄에서는 형성이 곤란한 고정밀의 격벽을 형성한 유리기판상에, 형광체층을 형성할 수가 있다.In particular, according to the present invention, a phosphor layer can be formed on a glass substrate on which a high-precision partition wall is difficult to form in conventional screen printing.

예컨데, 격벽층이 하기의 바람직한 디멘tus을 가지는 스트라이프형상의 격벽의 경우에, 스크린인쇄법에 비하여 결함이 없는 형광체층을 형성할 수가 있다.For example, in the case of a stripe-shaped partition wall in which the partition layer has the following preferred dimensions, it is possible to form a phosphor layer free of defects as compared with the screen printing method.

피치=100∼250㎛Pitch = 100 to 250㎛

선폭=15∼40㎛Line width = 15 to 40 µm

높이=60∼170㎛Height = 60-170㎛

격벽과 격벽의 사이에 토출구를 설정하는 경우에, 기판상에 형성된 격벽의 상면을 흑색으로 하는 것에 의하여, 화상인식을 한층 용이하게할 수 있다.In the case where a discharge port is set between the partition wall and the partition wall, the image recognition can be further facilitated by making the upper surface of the partition wall formed on the substrate black.

본 발명에서는, 상기와 같이 격벽이 형성된 유리기판상에, 형광체분말을 함유하는 페이스트를 복수의 토출구를 가지는 구금으로부터 토출하여, 형광체층을 형성한다.In the present invention, the phosphor layer is formed by discharging a paste containing phosphor powder from a mold having a plurality of discharge ports on the glass substrate on which the partition wall is formed as described above.

사용되는 형광체분말로서는, 적, 청, 녹으로 발광하는 형광체분말이 사용된다. 본 발명에서 사용되는 형광체분말로서는, 예컨데, 적색에서는, Y2O3:Eu, YVO4:Eu, (Y, Gd)BO3:Eu, Y2O3S:Eu, γ-Zn3(PO4)2:Mn, (ZnCd)S:Ag+In2O3등을 들 수 있다. 녹색에서는 Zn2GeO2=M, BaAl12O19:Mn, Zn2SiO4:Mn, LaPO4:Tb, ZnS:Cu, A1, ZnS:Au, Cu, A1, (ZnCd)S:Cu, A1, Zn2SiO4:Mn, As, Y3Al5O12:Ce, CeMgAl11O19:Tb, Gd2O2S:Tb, Y3Al5O12;Tb, ZnO:Zn 등을 들 수 있다. 청색에서는, Sr5(PO4)3Cl:Eu, BaMgAl14O23:Eu, BaMgAl16O27:Eu, BaMgAl14O24:Eu, ZnS:Ag+적색안료, Y2SiO3:Ce 등을 들 수 있다.As the phosphor powder to be used, a phosphor powder which emits light in red, blue and green is used. As the phosphor powder used in the present invention, for example, in red, Y 2 O 3 : Eu, YVO 4 : Eu, (Y, Gd) BO 3 : Eu, Y 2 O 3 S: Eu, γ-Zn 3 (PO 4 ) 2 : Mn, (ZnCd) S: Ag + In 2 O 3 , and the like. In green, Zn 2 GeO 2 = M, BaAl 12 O 19 : Mn, Zn 2 SiO 4 : Mn, LaPO 4 : Tb, ZnS: Cu, A1, ZnS: Au, Cu, A1, (ZnCd) S: Cu, A1 , Zn 2 SiO 4 : Mn, As, Y 3 Al 5 O 12 : Ce, CeMgAl 11 O 19: Tb, Gd 2 O 2 S: Tb, Y 3 Al 5 O 12; Tb, ZnO: Zn, etc. are mentioned. In blue, Sr 5 (PO 4 ) 3 Cl: Eu, BaMgAl 14 O 23 : Eu, BaMgAl 16 O 27: Eu, BaMgAl 14 O 24 : Eu, ZnS: Ag + red pigment, Y 2 SiO 3 : Ce, and the like. Can be.

또, 본 발명에서는, 트리움(Tm), 테르비움(Tb) 및 유로피움(Eu)으로 이루어지는 군으로부터 선정된 적어도 하나의 원소에서, 잇트리움(Y) 가드륨(Gd) 및 루테티움(Lu)으로부터 선정된 적어도 하나의 모체구성희토류원소를 치환한 탄탈산희토류형광체가 이용된다. 바람직한 탄탈산희토류형과체는, 조성식 Y1-xEuxTaO4(식중, X는 대략 0.005∼0.1이다)로 나타내지는 유로비움부활탄탈산잇트륨형광체이다. 적색형광체에는, 유로비움부활탄탈산잇트륨이 바람직하고 녹색형광체에는, 탄탈산희토류형광체가 조성식 Y1-xTbxTaO4(식중 X는 대략 0.001∼0.2이다)으로 나타내지는 테르비움부활탄탈산잇트륨이 바람직하다. 청색형광체에는, 탄탈산희토류형광체가 Y1xTbxTaO4(식중, X는 대략 0.001∼0.2이다)으로 나타내지는 트리움부활탄탈산잇트륨이 바람직하다. 또 녹색형광체에는, Mn이 규소산아연(Zn2SiO4)모체량에 대하여 0.2중량% 이상, 0.1중량% 미만 부활된 평균입자지름 2.0㎛ 이상 8.0㎛ 이하의 망간부활아연형광체(Zn2SiO4:Mn) 및 일반식이(Zn1-xMnx)O·αSiO2(식중, X 및 α는 0.01≤X≤0.2, 0.5<α≤1.5의 범위의 값이다)로 나타내지는 망간부활규소산아연형광체가 바람직하다.Further, in the present invention, itium (Y) gardium (Gd) and lutetium (Lu) in at least one element selected from the group consisting of triumium (Tm), terbium (Tb) and europium (Eu). Tantalic acid rare earth phosphors substituted with at least one parent constituent rare earth element selected from are used. A preferred tantalum rare earth-like fruit is a europium-activated yttrium fluorescent substance represented by the composition formula Y 1-x Eu x TaO 4 (wherein X is approximately 0.005 to 0.1). Europium-activated yttrium phosphate is preferred for the red phosphor, and for the green phosphorus, terbium-activated yttrium phosphate is represented by the composition Y 1-x Tb x TaO 4 (wherein X is approximately 0.001 to 0.2). This is preferred. As the blue phosphor, trium-activated yttrium tantalate is preferable in which the tantalum rare earth phosphor is represented by Y 1 - x Tb x TaO 4 (wherein X is approximately 0.001 to 0.2). The green phosphor has a manganese-activated zinc phosphor (Zn 2 SiO 4) having an average particle diameter of 2.0 μm or more and 8.0 μm or less, in which Mn is 0.2% by weight or more and less than 0.1% by weight with respect to the zinc silicate (Zn 2 SiO 4 ) matrix amount. Manganese - activated zinc silicate represented by : Mn) and the general formula (Zn 1-x Mn x ) O.αSiO 2 , wherein X and α are in the range of 0.01 ≦ X ≦ 0.2 and 0.5 <α ≦ 1.5. Phosphor is preferred.

상기에 있어서 사용되는 형광체분말의 입자지름은 작게하고저 하는 형광체층 패턴의 선폭, 선간격(스페이스) 및 두께를 고려하여 선정되나, 50중량% 입자지름이 0.5∼10㎛, 비표면적 0.1∼2㎡/g인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, 50중량% 입자지름이 0.5∼5㎛, 비표면적이 0.2∼1.0㎡ /g이다. 입자지름과 비표면적이 이 범위에 있으면, 페이스트의 혼련성이 향상하고 치밀한 형광체층을 형성할 수가 있기 때문에, 발광효율이 향상되고, 고수명으로 되므로 바람직하다. 분말의 입자지름이 0.5㎛미만, 비표면적이 2㎡/g 이상으로 되면, 분말이 너무 작아서 발광휘도가 저하할 때까지의 수명이 단축된다.The particle diameter of the phosphor powder used in the above is selected in consideration of the line width, line spacing and thickness of the phosphor layer pattern to be reduced, but the 50 wt% particle diameter is 0.5 to 10 µm and specific surface area is 0.1 to 2 It is preferable that it is m <2> / g. More preferably, 50 weight% particle diameter is 0.5-5 micrometers, and specific surface area is 0.2-1.0 m <2> / g. When the particle diameter and the specific surface area are in this range, since the kneading property of the paste can be improved and a compact phosphor layer can be formed, the luminous efficiency is improved and the long life is preferable. When the particle diameter of the powder is less than 0.5 µm and the specific surface area is 2 m 2 / g or more, the lifetime until the powder is so small that the luminance of light emission decreases is shortened.

형광체분말의 형상으로서는, 다면체형상(입상)의 분말이 바람직하게 사용되나, 응집이 없는 분말이 바람직하다. 그 중에서도, 구상의 분말은 치밀한 형광체층을 형성할 수가 있으므로, 발광효율을 향상할 수 있는 장점이 있고, 더욱이, 노광시에 산란의 영향을 적게할 수 있으므로 바람직하다. 형광체분말의 구형율이 80개수% 이상의 입자형상을 가지고 있는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 구형율이 90개수% 이상이다. 구형률이 80개수% 미만의 경우에는, 자외선 노광시에 형광체분말에 의한 산란의 영향을 받아서 고정밀한 패턴을 얻기 어렵게 된다. 구형율의 측정은 형광체분말을 광학현미경에서 300배의 배율에서 촬영하고, 이 중 계수 가능한 입자를 계수하는 것에 의하여 행하여, 구형의 분말의 비율을 구형률로 한다.As the shape of the phosphor powder, a polyhedral (granular) powder is preferably used, but a powder without aggregation is preferable. Especially, since spherical powder can form a dense fluorescent substance layer, it has the advantage of improving luminous efficiency, and furthermore, since it is possible to reduce the influence of scattering at the time of exposure, it is preferable. It is preferable that the sphericity of the phosphor powder has a particle shape of 80% or more. More preferably, the sphericity is 90% or more. When the sphericity is less than 80% by number, it becomes difficult to obtain a high precision pattern under the influence of scattering by the phosphor powder during ultraviolet exposure. The measurement of the sphericity is carried out by photographing a phosphor powder at a magnification of 300 times with an optical microscope, and counting the countable particles among them, so that the proportion of spherical powder is set as the sphericity.

본 발명에서 사용되는 유기성분에는, 바인더수지, 용매 및 필요에 따라서 가소제, 분산제, 레벨링제 등의 첨가물이 포함된다.The organic component used in the present invention includes a binder resin, a solvent, and additives such as a plasticizer, a dispersant, and a leveling agent, as necessary.

바인더수지의 구체적인 예로서는 폴리비닐부티랄, 폴리비닐아세테이트, 폴리비닐알콜, 폴리에틸렌, 실리콘폴리머(예컨데, 폴리메틸실록산, 폴리메틸페닐실록산), 폴리스틸렌, 부타디엔/스틸렌공중합체, 폴리스틸렌, 폴리비닐피롤리돈, 폴리아미드, 고분자량폴리에테르, 에틸렌옥시드와 프로필렌옥시드의 공중합체, 폴리아크릴아미드 및 여러 가지의 아크릴폴리머(예컨데, 폴리아크릴산나트륨, 폴리저급알콜아크릴레이트, 폴리저급알킬메타크릴레이트, 및 저급알킬아크릴레이트 및 메타크릴레이트의 여러 가지의 고폴리머 및 멀티폴리머 등을 들 수 있다. 또, 바람직한 바인더수지로서, 셀룰로오스화합물, (예컨데, 메틸셀룰로오스, 에틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스, 메틸히드록시에틸셀룰로오스) 등을 사용하는 것에 의하여, 소성 후의 바인더 나머지가 적은 형광체층을 형성할 수가 있다.Specific examples of the binder resin include polyvinyl butyral, polyvinylacetate, polyvinyl alcohol, polyethylene, silicone polymer (eg, polymethylsiloxane, polymethylphenylsiloxane), polystyrene, butadiene / styrene copolymer, polystyrene, polyvinylpyrrolidone, Polyamides, high molecular weight polyethers, copolymers of ethylene oxide and propylene oxide, polyacrylamides and various acrylic polymers (e.g. sodium polyacrylate, polylower alcohol acrylates, polylower alkyl methacrylates, and lower And various high polymers and multipolymers of alkyl acrylates and methacrylates, etc. Moreover, as a preferable binder resin, a cellulose compound, (for example, methyl cellulose, ethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, methyl hydroxyethyl Vine after baking by using cellulose) It is possible to form a phosphor layer with less remaining.

가소제의 구체적인 예로서는, 디부틸프탈레이트, 디옥틸프탈레이트, 폴리에틸렌글리코올, 글리셀린 등을 들 수 있다.Specific examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glyceline and the like.

용매의 구체적인 예로서는, 테르피네올, 이소부틸알콜, 이소프로필알콜, 벤질알콜, 2-페녹시에탄올, γ-페닐아릴알콜, 디메틸벤질카루비놀, β-페닐에틸알콜, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브 등의 알콜계 용매, 메틸에틸케톤, 디옥산, 아세톤, 시클로헥사논, 시클로펜타논, 테트라히드로퓨란, 부틸카루비톨아세테이트, 디메틸술폭시드, γ-부티로락톤, 브로모벤젠, 클로로벤젠, 디브로모벤젠, 디클로벤젠, 브로모안식향산, 클로로안식향산 등이나 이들 중 1종 이상을 함유하는 유기용매혼합물이 사용된다. 특히, 알콜계 용매가 분말을 분산시키는 점에서 유리하다. 그 중에서도, 테르피네올이 특히 바람직하다. 또, 테르피네올과 벤질알콜 등의 다른 알콜계 용매를 혼합하여 사용하는 것에 의하여, 페이스트의 점도 조정이 용이하게 된다.Specific examples of the solvent include terpineol, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, benzyl alcohol, 2-phenoxyethanol, γ-phenylaryl alcohol, dimethylbenzyl carbinol, β-phenylethyl alcohol, methyl cellosolve, ethyl Alcohol solvents such as cellosolve and butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, tetrahydrofuran, butyl carbitol acetate, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone , Bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, and the like, and an organic solvent mixture containing at least one of them is used. In particular, the alcohol solvent is advantageous in that the powder is dispersed. Especially, terpineol is especially preferable. Moreover, the viscosity of a paste becomes easy by mixing and using another alcohol solvent, such as terpineol and benzyl alcohol.

상기의 형광체분말과 바인더 및 용매를 소망의 비율로 혼합, 혼련하여 형광체 페이스트를 제작하지만, 바람직하게는 2∼50㎩·S의 점도의 페이스트를 사용하는 것에 의하여, 페이스트를 도포한 때에 격벽 측면의 두께를 조정하는 것이 용이하게 되고, 휘도 및 표시의 균일성을 높이기 때문에 효과적이다.The above-mentioned phosphor powder, binder and solvent are mixed and kneaded at a desired ratio to produce a phosphor paste. Preferably, a paste having a viscosity of 2 to 50 Pa · S is used to apply the paste so that It is easy to adjust thickness and it is effective because it raises brightness and uniformity of a display.

형광체분말과 바인더수지의 중량비가 6:1∼3:1인 형광체 페이스트를 사용하면, 고정밀의 PDP를 제작할 때에, 두께의 균일성을 한층높일 수가 있다. 바람직한페이스트의 조성은 적, 녹, 청의 어느 것인가 1색으로 발광하는 형광체분말 30∼60중량%, 바인더수지 5∼20중량%, 및 용매 20∼65중량%의 조성이고, 이와 같은 조성으로 하는 것에 의하여, 페이스트도포 후의 건조조건에 의함이 없이, 격벽측면과 방전공간저부에 균일한 두께의 형광체층을 형성할 수가 있다.When the phosphor paste having a weight ratio of the phosphor powder and the binder resin is 6: 1 to 3: 1, the uniformity of the thickness can be further increased when producing a high-precision PDP. The preferred paste is composed of 30 to 60% by weight of phosphor powder, 5 to 20% by weight of binder resin, and 20 to 65% by weight of solvent, which emit light of one color of red, green or blue. Thus, a phosphor layer having a uniform thickness can be formed on the partition wall side and the bottom of the discharge space, regardless of the drying conditions after the paste coating.

또, 페이스트의 조성에 대하여, 제작하는 플라즈마 디스플레이의 격벽높이를 H㎛, 격벽피치 P㎛, 격벽선폭 W㎛으로 한 때, 형광체 페이스트 중에 함유되는 형광체분말의 비율 a(vol %)의 사이에, 하기식의 관계가 성립하는 조성으로 하는 것에 의하여, 격벽측면과 방전공간의 저부에 균일한 두께의 형광체층을 형성할 수 있다.Also, with respect to the composition of the paste, when the partition height of the plasma display to be produced was H 占 퐉, the barrier pitch P 占 퐉, and the partition line width W 占 퐉, the ratio a (vol%) of the phosphor powder contained in the phosphor paste was By setting it as the composition which the relationship of following formula holds, it is possible to form the phosphor layer of uniform thickness in the partition side surface and the bottom of discharge space.

(2H+P-W)×5≤H×(P-W)×a≤(2H+P-W)×30(2H + P-W) × 5 ≦ H × (P-W) × a ≦ (2H + P-W) × 30

본 발명에서는, 형광체 페이스트 중에 유기염료를 첨가하는 것에 의하여, 도포부분과 도포되지 않은 부분을 용이하게 구분할 수 있다. 이 경우, RGB의 각각의 형광체층에 다른색을 발색하는 유기염료를 첨가하는 것에 의하여, 도포 후의 결함검사가 한층 용이하게 된다. 유기염료로서는, 루코계염료, 아조계염료, 아미노케톤계염료, 크산텐계염료, 퀴놀린계염료, 아미노케톤계염료, 안트라퀴논계염료, 벤조페논게염료, 디페닐시아노아크릴레이트계 염료, 트리아진계, p-아미노안식향산계염료 등을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 수단불루, 수단 4, 빅토리아퓨어블루, 나일블루, 브리리안트그린, 뉴트랄레드, 메틸바이올렛 등을 사용할 수 있다.In the present invention, the coated portion and the uncoated portion can be easily distinguished by adding an organic dye in the phosphor paste. In this case, the defect inspection after application | coating becomes easier by adding an organic dye which develops a different color to each phosphor layer of RGB. As organic dyes, leuco dyes, azo dyes, amino ketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, amino ketone dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes, tria A true type, p-amino benzoic acid dye, etc. can be used. Specifically, Sudan Blue, Sudan 4, Victoria Pure Blue, Nile Blue, Brian Green, Neutral Red, Methyl Violet and the like can be used.

본 발명에 있어서는, 바인더수지로서 감광성화합물을 함유하는 감광성 형광체 페이스트를 사용할 수가 있다. 감광성 형광체 페이스트를 사용하는 것에 의하며, 포토마스크를 사용하여 노광, 현상을 행하여 불필요한 부분에 부착한 형광체 페이스트를 제거할 수가 있다. 특히, 도포한 형광체 페이스트가 격벽의 상면에 부착한 경우나, 도포할 셀의 이웃의 셀에 삐저나온 경우에, 도포할 부분에만 빛을 조사하여, 빛이 조사되고 있지 않는 부분을 현상에 의하여 제거하는 것에 의하여, 혼색이나 방전결함을 방지할 수가 있다.In the present invention, a photosensitive phosphor paste containing a photosensitive compound can be used as the binder resin. By using the photosensitive fluorescent substance paste, the fluorescent substance paste which adhered to the unnecessary part by exposing and developing using a photomask can be removed. In particular, when the applied phosphor paste adheres to the upper surface of the partition wall or when it sticks out to a cell adjacent to the cell to be coated, light is irradiated only to the portion to be applied, and the portion where the light is not irradiated is removed by development. By doing so, mixing and discharging defects can be prevented.

감광성 형광체 페이스트에 사용되는 감광성화합물을 함유하는 유기성분 이라함은 감광성폴리머, 감광성모노머 및 감광성올리고머외 중 적어도 1종류로부터 선택되는 감광성 성분을 함유하고, 다시 필요에 따라서 광중합개시제, 증감제자외선흡광제 등의 첨가물을 보탠 성분이다.The organic component containing the photosensitive compound used for the photosensitive phosphor paste contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive polymer, a photosensitive monomer, and a photosensitive oligomer, and, if necessary, a photopolymerization initiator and a sensitizer ultraviolet absorber. Additives such as these are the ingredients.

감광성 형광체 페이스트로서, 유기성분 15∼60중량부, 형광체분말 40∼85중량부, 용매 10∼50중량부로 이루어지는 조성의 페이스트가, 두께균일성, 패턴형성성을 향상시키는 점에서 효과적이다.As a photosensitive fluorescent substance paste, the paste which consists of 15-60 weight part of organic components, 40-85 weight part of fluorescent substance powder, and 10-50 weight part of solvents is effective at the point which improves thickness uniformity and pattern formation property.

본 발명에서 사용되는 감광성화합물을 함유하는 유기성분의 양은 15∼60중량%인 것이 바람직하다. 15중량% 미만에서는 감광부족 때문에 패턴성이 열화하고, 60중량% 보다 많으면, 소성시의 탈바인더성이 나쁘고, 소성부족으로 되는 경향을 나타낸다.It is preferable that the quantity of the organic component containing the photosensitive compound used by this invention is 15 to 60 weight%. If it is less than 15 weight%, the pattern property will deteriorate because of photosensitive shortage, and when more than 60 weight%, the binder removal property at the time of baking is bad, and it shows the tendency to become a baking short.

본 발명에서 사용되는 감광성 성분에는 광불용화형의 것과 광가용화형의 감광성 성분이 있다. 광불용화의 것으로서는,The photosensitive component used in the present invention includes a photoinsoluble type photosensitive component. As thing of photoinsolubilization,

(A) 분자 내에 불포화기 등을 하나 이상 가지는 관능성의 모노머, 올리고머, 폴리머를 함유하는 것,(A) containing a functional monomer, oligomer, or polymer having at least one unsaturated group in the molecule,

(B) 방향족디아조 화합물, 방향족아지드 화합물, 유기할로겐 화합물 등의 감광성 화합물을 함유하는 것 및,(B) containing photosensitive compounds, such as an aromatic diazo compound, an aromatic azide compound, and an organic halogen compound, and

(C) 디아조계아민과 포름알데히드와의 축합물 등 이른바 디아조수지라고 하는 것 등이 있다. 또 광가용형의 것으로서는,(C) So-called diazo resins, such as a condensate of a diazo amine and formaldehyde. In addition, as a light-soluble type,

(D) 디아조화합물의 무기염이나 유기산과의 혼합, 퀴논디아조류를 함유하는 것,(D) mixed with inorganic salts or organic acids of diazo compounds, containing quinone diazos,

(E) 퀴논디아조류를 적당한 폴리머바인더와 결합시킨, 예컨데, 페놀, 노보락수지의 나프토퀴논 1,2-디아지드-5-술폰산에스테르 등이 있다.(E) A phenol and the naphthoquinone 1, 2- diazide- 5-sulfonic acid ester of phenol and a novolak resin which combined quinone diazos with a suitable polymer binder are mentioned.

본 발명에서 사용되는 감광성 성분으로서는, 상기의 모든 것을 사용할 수 있으나, 상기(A)의 감광성 성분이 특히 바람직하다. 또, 본 발명에서는, 감광성 페이스트에, 무기 미립자를 혼합하여 간편하게 사용할 수 있다.As the photosensitive component used in the present invention, all of the above can be used, but the photosensitive component of the above-mentioned (A) is particularly preferable. Moreover, in this invention, inorganic fine particles can be mixed and used for the photosensitive paste easily.

감광성모노머는, 탄소-탄소불포화결합을 함유하는 화합물이다. 그 구체적인 예로서, 메틸아크릴레이트, 에틸아크릴레이트, n-프로필아크릴레이트, 이소프로필아크릴레이트, n-부틸아크릴레이트, sec-부틸아크릴레이트, sec-부틸아크릴레이트, 이소부틸아크릴레이트, tert-부틸아크릴레이트, n-펜틸아크릴레이트, 아릴아크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 부톡시에틸아크릴레이트, 부톡시트리에틸렌글리콜아크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트, 디시클로펜타닐아크릴레이트, 디시클로펜테닐아크릴레이트, 2-에틸헥실아크릴레이트, 글리세롤아크릴레이트, 글리시딜아크릴레이트, 헵타데카플로로데실아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 이소보닐아크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트, 이소데실아크릴레이트, 이소옥틸아크릴레이트, 라울릴아크릴레이트, 2-메톡시에틸아크릴레이트, 메톡시에틸렌글리콜아크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜아크릴레이트, 옥타프로로펜틸아크릴레이트, 페녹시에틸아크릴레이트, 스테아릴아크릴레이트, 트리플로로에틸아크릴레이트, 아릴화시클로헥산실디아크릴레이트, 1,4-부타디올디아크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜디아크릴레이트, 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 디펜타에리스리톨모노히드록시펜타아크릴레이트, 디트리메티롤프로판테트라아크릴레이트, 글리세롤디아크릴레이트, 메톡시화시크롤헥실디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디아크릴레이트, 프로필렌글리콜디아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 트리글리세롤디아크릴레이트, 트리메티롤프로판트리아크릴레이트, 아크릴아미도, 아미노에틸아크릴레이트, 페닐아크릴레이트, 페녹시에틸아크릴레이트, 펜딜아크릴레이트 1-나프틸아크릴레이트, 2-나프틸아크릴레이트, 비스페놀A디아크릴레이트, 비스페놀A-에틸렌옥사이드부가물의 디아크릴레이트, 비스페놀A-프로필렌옥사이드부가물의 디아크릴레이트, 티오페놀아크릴레이트, 벤질메르탄아크릴레이트, 또, 이들의 방향환의 수소원자중, 1∼5개를 염소 또는 브롬원자로 치환한 모노머, 또는, 스틸렌, p-메틸스틸렌, o-메틸스틸렌, m-메틸스틸렌, 염소화스틸렌, 브롬화스틸렌, α-메틸스틸렌, 염소화-α-메틸스틸렌, 브롬화α-메틸스틸렌, 클로로메틸스틸렌, 히드록시메틸스틸렌, 카르복실메틸스틸렌, 비닐나프탈렌, 비닐안트라센, 비닐카르바졸, 및 상기 화합물의 분자 내의 아크릴레이트를 일부 혹은 모두를 메타크릴레이트로 바꾼 것, γ-메타크릴리록시프로필트리메톡시실란, 1-비닐-2-피롤리돈 등을 들 수 있다. 본원 발명에서는 이것을 1종 또는 2종 이상 사용할 수가 있다.The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond. Specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, isobutyl acrylate and tert-butyl Acrylate, n-pentyl acrylate, aryl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxy triethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2 -Ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate, heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodecyl acrylate, Isooctylacrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxy Ethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octapropentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, triloethyl acrylate, arylated cyclohexane sildi acrylate, 1,4-buta Diol diacrylate, 1, 3- butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, di Pentaerythritol monohydroxypentaacrylate, ditrimetholol propane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate Latex, triglycerol diacrylate, tri Tyrol propane triacrylate, acrylamido, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, pendyl acrylate 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, bisphenol A -1 to 5 of ethylene oxide adduct diacrylate, bisphenol A-propylene oxide adduct diacrylate, thiophenol acrylate, benzyl mertan acrylate, and hydrogen atoms of these aromatic rings as chlorine or bromine atoms; Substituted monomer or styrene, p-methyl styrene, o-methyl styrene, m-methyl styrene, chlorinated styrene, bromide styrene, α-methyl styrene, chlorinated α-methyl styrene, brominated α-methyl styrene, chloromethyl styrene , Hydroxymethylstyrene, carboxymethylstyrene, vinylnaphthalene, vinylanthracene, vinylcarbazole, and the molecule of the compound What changed an acrylate part or all to methacrylate, (gamma) -methacryloxypropyl trimethoxysilane, 1-vinyl- 2-pyrrolidone, etc. are mentioned. In this invention, this can use 1 type, or 2 or more types.

감광성 페이스트에는, 이들 이외에, 불포화카르본산 등의 불포화산을 가하는 것에 의하여, 감광후의 현상성을 한층 향상시킬 수 있다. 불포화카르본산의 구체적인 예로서는, 아크릴산, 메타아크릴산, 이타곤산, 크로톤산, 말레인산, 푸말산, 비닐초산, 또는 이들의 산무수물 등을 들 수 있다.In addition to these, the developability after photosensitive can be improved further by adding unsaturated acids, such as unsaturated carboxylic acid, to these photosensitive pastes. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, or acid anhydrides thereof.

바인더로서는, 폴리비닐알콜, 폴리비닐부틸랄, 메타크릴산에스테르중합체, 아크릴산에스테르중합체, 아크릴산에스테르메타클릴산에스테르공중합체, α-메틸스틸렌중합체, 부틸메타크릴레이트수지 등을 들 수 있다.Examples of the binder include polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylic acid ester polymer, acrylic acid ester polymer, acrylic acid ester methacrylic acid ester copolymer, α-methylstyrene polymer, butyl methacrylate resin and the like.

또, 상술한 탄소-탄소이중결합을 가지는 화합물중 적어도 1종류를 중합하여 얻어진 올리고머나 폴리머를 사용할 수가 있다. 중합할 때에, 이들 모노머의 함유율이 10중량% 이상, 더욱 바람직하게는 35중량% 이상으로 되도록, 다른 감광성의 모노머와 공중합할 수가 있다.Moreover, the oligomer and polymer obtained by superposing | polymerizing at least 1 sort (s) of the compound which has a carbon-carbon double bond mentioned above can be used. When superposing | polymerizing, it can copolymerize with another photosensitive monomer so that the content rate of these monomers may be 10 weight% or more, More preferably, 35 weight% or more.

공중합하는 모노머로서는, 불포화카르본산 등의 불포화산을 공중합하는 것에 의하여, 감광후의 현상성을 한층향상시킬 수 있다. 불포화카르본산의 구체적인 예로서는, 아크릴산, 메타아크릴산, 이타곤산, 크로톤산, 메레인산, 푸말산, 비닐초산, 또는 이들이 산무수물 등을 들 수 있다. 이와 같이하여 얻어진 곁사슬에 카르복실기 등의 선성기를 가지는 폴리머, 또는 올리고머의 산가(AV)는, 바람직하게는, 50∼180, 더욱 바람직하게는 70∼140의 범위이다. 산가가 180을 넘으면, 현상허용폭이 좁아지고, 또, 산가가 50미만으로 되면, 미노광부의 현상액에 대한 용해성이 저하하도록 되기 때문에 현상액농도를 진하게 하는 것이 되고, 노광부까지 박리가 발생하여, 고정밀한 패턴을 얻기 어렵다.As a monomer to copolymerize, the developability after photosensitive can be improved further by copolymerizing unsaturated acids, such as unsaturated carboxylic acid. As a specific example of unsaturated carboxylic acid, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, meleinic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, or these acid anhydrides are mentioned. The acid value (AV) of the polymer or oligomer which has linear groups, such as a carboxyl group, in the side chain obtained in this way becomes like this. Preferably it is 50-180, More preferably, it is the range of 70-140. If the acid value exceeds 180, the developing allowable width is narrowed, and if the acid value is less than 50, solubility in the developing solution of the unexposed part is reduced, so that the developer concentration is increased, and peeling occurs to the exposed part. It is difficult to obtain a precise pattern.

본 발명에서는, 상기한 폴리머 또는 올리고머에 대하여, 광반응성기를 곁사슬 또는 분자말단에 부가시키는 것에 의하여 감광성을 가지는 감광성 폴리머나 감광성 올리고머로서 사용할 수가 있다. 바람직한 광반응성기는, 에틸렌성 불포화기를 가지는 것이다. 에틸렌성 불포화기로서는, 비닐기, 아릴기, 아크릴기, 메타클릴기 등을 들 수 있다.In the present invention, the above-described polymer or oligomer can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer having photosensitivity by adding a photoreactive group to the side chain or the molecular end thereof. Preferable photoreactive group has an ethylenically unsaturated group. As an ethylenically unsaturated group, a vinyl group, an aryl group, an acryl group, methacryl group, etc. are mentioned.

이와 같은 곁사슬을 올리고머나 폴리머에 부가시키는 방법에는, 폴리머중의 메르캅트기, 아미노기, 수산기나 카르복실기에 대하여, 글리시딜기나 이소시아네이트기를 가지는 에틸렌성불포화화합물이나 아크릴산클로라이드, 메타크릴산클로라이드 또는 아릴클로라이드를 부가반응시키는 방법이 있다.In the method of adding such a side chain to an oligomer or a polymer, the ethylenically unsaturated compound, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride, or aryl chloride which has glycidyl group or an isocyanate group with respect to the mercap group, an amino group, a hydroxyl group, or a carboxyl group in a polymer is included. There is a method of addition reaction.

글리시딜기를 가지는 에틸렌성불포화화합물로서는, 아크릴산글리시딜, 메타크릴산글리시딜, 아릴글리시딜에테르, 에틸아크릴산글리시딜, 크로토닐글리시딜에테르, 크로톤산글리시딜에테르, 이소크로톤산글리시딜에테르 등을 들 수 있다.Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, aryl glycidyl ether, glycidyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, crotonic acid glycidyl ether, and iso Crotonic acid glycidyl ether, etc. are mentioned.

이소시아네트기를 가지는 에틸렌성불포화합물로서는, (메타)아클리로일이소시아네이트, (메타)아클리로일에틸이소시아네이트 등이 있다.As an ethylenic unsaturated compound which has an isocyanate group, (meth) acryloyl isocyanate, (meth) acryloyl ethyl isocyanate, etc. are mentioned.

또, 글리시딜기나 이소시아네이트기를 가지는 에틸렌성불포화화합물이나 아크릴산클로라이드, 메타클릴산클로라이드 또는 아릴클로라이드는, 폴리머 중의 메르캅토기, 아미노기, 수산기나 카르복실기에 대하여 0.05∼1몰당량 부가시키는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to add 0.05-1 molar equivalent of the ethylenically unsaturated compound which has glycidyl group and an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride, or aryl chloride with respect to the mercapto group, an amino group, a hydroxyl group, or a carboxyl group in a polymer.

광중합개시제로서의 구체적인 예로서, 펜조페논, o-벤조일안식향상메틸, 4,4-비스(디메틸아민)벤조페논, 4,4-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4-디클로로벤조페논, 4-벤조일-4-메틸디페닐케톤, 디벤질케톤, 플루오레논, 2-디에톡시아시토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐-2-페닐아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로피오페논, p-t-부틸디클로로아세트페논, 티옥산톤, 2-메틸옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2-이소프로필디옥산톤, 디에틸티옥산톤, 벤질, 벤질디메틸케타놀, 벤질메톡시에틸아세탈, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인부틸에테르, 안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 2-아밀안트라퀴논, β-크롤안트라퀴논, 안트론, 벤조안트론, 디벤조스베론, 메틸렌안트론, 4-아지드벤잘아세트페논, 2,6-비스(p-아지드벤질리덴)시크로헥사논, 2,6-비스(p-아지드벤질리덴)-4-메틸시클로헥사논, 2-페닐-1,2-부타디엔-2-(o-메톡시카르보닐)옥심, 1-페닐-프로판디온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, 1,3-디페닐-프로판트리온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, 1-페닐-3-에톡시-프로판트리온-2-(o-벤조일)옥심, 미힐러케톤, 2-메틸-[4-(메틸티오)페닐]-2-몰포리노-1-프로판, 나프탈렌술포닐클로라이드, 키놀린슬포닐클로라이드, N-페닐티오아크리돈, 4,4-아조비스이소부티로니트릴, 디페닐디슬피드, 벤조티아졸디설파이드, 트리페닐포스핀, 간파퀴논, 사브롬화탄소, 트리브로모페닐슬폰, 과산화벤조인 및 에오신, 메틸렌불루 등의 광환원성의 색소와 아스코르빈산, 트리에타놀아민 등의 환원제의 조합 등을 들 수 있다. 본 발명에서는 이들을 1종 또는 2종이상 사용할 수가 있다.Specific examples of the photopolymerization initiator include phenzophenone, o-benzoylbenzoate-enhanced methyl, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone , 4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2-diethoxy acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2 -Methyl propiophenone, p-t-butyldichloroacetphenone, thioxanthone, 2-methyloxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropyldioxanthone, diethyl thioxanthone, benzyl, benzyl dimethyl Ketanol, benzyl methoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, 2-amyl anthraquinone, β-croc anthraquinone, anthrone, benzoan Tron, dibenzosverone, methylene anthrone, 4-azide benzalacetphenone, 2,6-bis (p-azidebenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bi (p-azidebenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadiene-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o- Ethoxycarbonyl) oxime, 1, 3- diphenyl propane trione 2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3- ethoxy propane trione 2- (o-benzoyl) Oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propane, naphthalenesulfonyl chloride, chinoline sulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4, Photoreducible compounds such as 4-azobisisobutyronitrile, diphenyldisulfide, benzothiazoledisulfide, triphenylphosphine, ganpaquinone, carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoin peroxide and eosin, methylene blue And combinations of dyes and reducing agents such as ascorbic acid and triethanolamine. In the present invention, these may be used alone or in combination of two or more.

광중합개시제는, 감광성 성분에 대하여, 바람직하게는 0.1∼6중량%, 보다 바람직하게는, 0.2∼5중량%의 범위에서 첨가된다. 중합개시제의 양이 너무 적으면 빛에 대한 감도가 둔하게 되고, 광중합개시제의 양이 너무 많으면, 노광부의 잔존율이 너무 작게될 우려가 있다.A photoinitiator is added with respect to a photosensitive component, Preferably it is 0.1-6 weight%, More preferably, it is added in 0.2-5 weight% of range. If the amount of the polymerization initiator is too small, the sensitivity to light becomes dull, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

감광성 페이스트에, 자외선흡광제를 첨가하는 것도 유효하다. 자외선흡수효과의 높은 흡광제를 첨가하는 것에 의하여, 고 아스펙트(aspect)비, 고정밀 및 고해상도가 얻어진다. 자외선흡광제로서는, 유기계염료로 이루어지는 것, 그 중에서도 350∼450㎚의 파장범위에서 고 UV흡수계수를 가지는 유기계 염료가 바람직하게 사용된다. 구체적으로는, 아조계염료, 아미노케톤계염료, 키산텐계염료, 퀴놀린계염료, 아미노케톤계염료, 안트라퀴논계염료, 벤조페논계, 디페닐시아노아크릴레이트계, 트리아진계, p-아미노안식향산계염료 등이 사용된다. 유기계염료는, 흡광제로서 첨가한 경우에도, 소성후의 절연막중에는 잔존하지 않고, 흡광제에 의한 절연막 특성의 저하를 적게할 수 있으므로 바람직하다. 이들 중에서도, 아조계 및 번조페놀계염료가 특히 바람직하다. 유기염료의 첨가량은 바람직하게는 0.05∼5중량%이다. 유기염료가 적으면, 자외선 흡광제의 첨가효과가 감소하고, 너무 많으면 소성후의 절연막 특성이 저하하므로 바람지하지 않다. 유기염료의 첨가량은 보다 바람직하게는 0.15∼1중량%이다.It is also effective to add an ultraviolet light absorber to the photosensitive paste. By adding a high light absorber with ultraviolet absorption effect, a high aspect ratio, high precision and high resolution are obtained. As an ultraviolet absorber, what consists of organic dyes, especially the organic dye which has a high UV absorption coefficient in the wavelength range of 350-450 nm is used preferably. Specifically, azo dyes, amino ketone dyes, chianthene dyes, quinoline dyes, amino ketone dyes, anthraquinone dyes, benzophenones, diphenylcyanoacrylates, triazines, and p-aminobenzoic acid Dyestuffs etc. are used. The organic dyes are preferred because they do not remain in the insulating film after firing even when added as a light absorbing agent, and the degradation of the insulating film properties due to the light absorbing agent can be reduced. Among these, azo-type and a precursor phenol type dye are especially preferable. The amount of the organic dye added is preferably 0.05 to 5% by weight. If the amount of organic dye is small, the effect of adding the ultraviolet absorber decreases. If the amount of the organic dye is too high, the insulating film properties after firing decrease. The amount of the organic dye added is more preferably 0.15 to 1% by weight.

유기안료로 이루어지는 자외선흡광제의 첨가방법의 일예를 들면, 유기안료를 미리 유기용매에 용해한 용액을 만들고, 다음에 그 유기용매중에 유리분말을 혼합후, 건조하는 방법이다. 이 방법에 의하여, 유리분말의 개개의 분말표면에 유기의 막을 도포한 이른바 캅셀상의 분말이 만들어진다.As an example of the addition method of the ultraviolet absorber which consists of organic pigments, the solution which melt | dissolved the organic pigment previously in the organic solvent is made, Next, after mixing a glass powder in the organic solvent, it is a method of drying. By this method, a so-called capsule-like powder obtained by applying an organic film to individual powder surfaces of the glass powder is produced.

증감제는, 감광성 페이스트의 감도를 향상시키기 위해 첨가된다. 증감제의 구체예로서는, 2,4-디에틸티옥산톤, 이소프로필티옥산톤, 2,3-비스(4-디에틸아미노벤잘)시크로펜타논, 2,6-비스(4-디메틸아미노벤잘)시클로헥사논, 2,6-비스(4-디메틸아미노벤잘)-4-메틸시클로헥사논, 미힐러케톤, 4,4-비스(디에틸아미노)-벤조페논, 4,4-비스(디메틸아미노)카르곤, 4,4-비스(디에틸아미노)카르곤, p-디메틸아미노신나밀리덴인다논, p-디메틸아미노벤질리덴인다논, 2-(p-디메틸아미노페닐비닐렌)-이소나프트타아졸, 1,3-비스(4-디메틸아미노벤잘)아세톤, 1,3-카르보닐-비스(4-디에틸아미노벤잘)아세톤, 3,3-카르보닐-비스(7-디에틸아미노쿠마린), N-페닐-N-에틸에타놀아민, N-페닐에탄올아민, N-트릴에탄올아민, N-페닐에탄올아민, 디메틸아미노안식향상이소아밀, 디에틸아미노안식향사이조아밀, 3-페닐-5-벤조일티오트라졸, 1-페닐-5-에톡시카르보닐티오테트라졸 등을 들 수 있다. 본 발명에서는, 이들을 1종 또는 2종이상 사용할 수가 있다. 그리고 감광제의 속에는 광중합개시제로서도 사용할 수 있는 것이 있다. 증감제를 본 발명의 감광성 페이스트에 첨가하는 경우, 그 첨가량은 감광성 성분에 대하여 통상 0.05∼10중량%, 보다 바람직하게는 0.1∼10중량%이다.A sensitizer is added in order to improve the sensitivity of the photosensitive paste. As a specific example of a sensitizer, 2, 4- diethyl thioxanthone, isopropyl thioxanthone, 2, 3-bis (4-diethylamino benzal) cyclopentanone, 2, 6-bis (4-dimethylamino Benzal) cyclohexanone, 2, 6-bis (4-dimethylaminobenzal)-4-methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4, 4-bis (diethylamino)-benzophenone, 4, 4-bis ( Dimethyl amino) carbon, 4, 4- bis (diethylamino) carbon, p-dimethylamino cinnamylidene indanone, p-dimethylaminobenzylidene indanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene)- Isonaphthazole, 1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonyl-bis (7-di Ethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine, N-triethanolamine, N-phenylethanolamine, dimethylamino benzoyl isoamyl, diethylamino benzoyl azoamyl, 3 - The carbonyl benzoyl-5-thio trad sol, 1-phenyl-5, and the like ethoxycarbonyl-thio-tetrazole. In this invention, these can be used 1 type or 2 or more types. Some photosensitive agents can also be used as photopolymerization initiators. When adding a sensitizer to the photosensitive paste of this invention, the addition amount is 0.05-10 weight% normally with respect to a photosensitive component, More preferably, it is 0.1-10 weight%.

증감제의 양이 너무 적으면 감광도를 향상시키는 효과가 발휘되지 않고, 증감제의 양이 너무 많으면, 감광부의 잔존율이 너무 작아질 우려가 있다.If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exerted. If the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the photosensitive section may be too small.

감광성 페이스트는, 통상, 형광체분말, 자외선흡광제, 감광성폴리머, 감광성모너머, 광중합개시제 및 용제의 각종성분을 소정의 조성으로 되도록 조합한 후, 3본롤러나 혼련기에서 혼합분산하여 제작한다.The photosensitive paste is usually produced by combining and dispersing various components of a phosphor powder, an ultraviolet light absorber, a photosensitive polymer, a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator and a solvent so as to have a predetermined composition, followed by mixing and dispersing in a three roller or a kneader.

페이스트의 점도는, 형광체분말, 유기용제, 가소제 및 침전방지제 등의 첨가비율에 의하여 적의 조제되나, 그 범위는 2∼5㎩·S가 바람직하고, 보다 바람직하게는 5∼20㎩·S이다.The viscosity of the paste is suitably prepared by the addition ratio of the phosphor powder, the organic solvent, the plasticizer, and the precipitation inhibitor, but the range is preferably 2 to 5 Pa · S, more preferably 5 to 20 Pa · S.

다음으로, 본 발명의 형광체층의 형성에 대하여 설명한다. 상기와 같이해서 준비된 형광체 페이스트는, 복수의 격벽을 설치한 기판의 격벽간(격벽과 격벽의 사이)에 도포된다. 도 1은 전극, 유전체, 격벽이 설치된 기판의 격벽간에, 구금의 토출구로부터 형광체 페이스트가 토출되어 도포되고 있는 상태를 표시하고 있다. 또, 도 2는, 이와 같은 기판과 구금의 위치관계를 설명하기 위해 준비된 도면이고, 이하 설명하는 본 발명의 이해에 한층 유용하다.Next, formation of the phosphor layer of the present invention will be described. The fluorescent substance paste prepared as mentioned above is apply | coated between the partitions (between a partition and a partition) of the board | substrate with which the some partition was provided. FIG. 1 shows a state in which phosphor paste is discharged and applied from a discharge port of a detention between partitions of a substrate provided with an electrode, a dielectric, and a partition. 2 is a figure prepared in order to demonstrate the positional relationship of such a board | substrate and a detention, and is further useful for understanding of this invention demonstrated below.

상기의 형광체 페이스트를 토출하기 위한 토출구로서, 선단에 토출공이나 노즐, 니들을 가지는 금속이나 세라믹스, 풀라스틱제의 구금을 가지는 구금을 사용할 수가 있다. 토출구에는, 공경(내경)10∼500㎛의 토출구를 사용할 수 있으나, 바람직한 공경은 50∼500㎛이다. 공경이 10㎛ 보다 작은 경우는, 형광체분말에 의한 막힘이 생기기 쉽고, 또 공경이 500㎛ 보다도 큰 경우는, 고정밀에의 도포시에 이웃의 셀에 형광체 페이스트가 새어 나온다고 하는 문제가 있다. 또, 인접하는 격벽의 간격(S)과 토출구의 평균공경(D)이 다음 식의 조건을 채우는 것에 의하여, 격벽상부에의 형광체 페이스트의 부착을 한층 억제할 수가 있다.As the discharge port for discharging the above-mentioned phosphor paste, a metal cap having a discharge hole, a nozzle, a needle having a metal, ceramics, or a plastic cap can be used. As the discharge port, a discharge port having a pore size (inner diameter) of 10 to 500 m can be used, but a preferred pore size is 50 to 500 m. If the pore size is smaller than 10 μm, clogging due to the phosphor powder is likely to occur, and if the pore size is larger than 500 μm, there is a problem that the phosphor paste leaks into neighboring cells upon application to high precision. In addition, adhesion of the phosphor paste to the upper portion of the partition wall can be further suppressed by satisfying the condition of the following formula with the distance S between the adjacent partition walls and the average hole diameter D of the discharge port.

10㎛≤D≤S≤500㎛10 μm ≦ D ≦ S ≦ 500 μm

토출구수(공수)는 1∼600개의 구멍을 사용할 수 있으나, 20-2000개의 구멍이 바람직할 수 있으나, 토출구수가 적으면, 도포하기 위한 시간이 너무 걸린다. 바람직하게는 150개 이상으로 하는 것에 의하여, 고정밀의 PDP에 대응하는 형광체층을 단시간에서 형성할 수가 있다. 공수가 2000개를 넘는 경우는, 토출구부분의 가공정도를 확보하는 곤란하게 되고, 고정밀의 PDP에 대응하는 것은 곤란하게 된다. 또, 토출구수를 16n±5(n는 자연수)의 범위로 하는 것에 의하여, 범용의 회로에서 구동가능한 PDP에 대하여, 형광체층을 형성하는 것이 용이하게 된다.The number of ejection openings (airborne) may use 1 to 600 holes, but 20 to 2000 holes may be preferable. However, when the number of ejection openings is small, it takes too long to apply. Preferably, 150 or more can form the phosphor layer corresponding to the high-precision PDP in a short time. When the number of airflows exceeds 2000 pieces, it becomes difficult to secure the processing accuracy of the discharge port portion, and it becomes difficult to cope with a high-precision PDP. In addition, by setting the number of discharge ports in the range of 16n ± 5 (n is a natural number), it is easy to form a phosphor layer for a PDP that can be driven in a general-purpose circuit.

토출구의 피치는, 0.12∼3㎜가 바람직하다. 0.12㎜ 미만에서는 토출구와 토출구의 간격이 작아지기 때문에, 구금제작이 곤란하게 되고, 또 3㎜보다 크게하면, 300㎜ 이하의 피치로 격벽이 형성된 유리가 판에 도포하는 경우에는, 도포제어가 곤란하게 된다. 또, 토출구의 피치를 격벽피치의 3m배(m는 1∼10의 정수)로 하는 것에 의하여, 정밀도 좋게 효율적으로 도포할 수가 있다. 또한, 토출구의 길이(L)와 토출구의 평균공경(D)에 대하여는, 아래 식을 충족하는 구금을 사용하면, 페이스트의 토출성이 향상한다.The pitch of the discharge port is preferably 0.12 to 3 mm. If the thickness is less than 0.12 mm, the gap between the discharge port and the discharge port becomes small. Therefore, it is difficult to manufacture the mold. When the thickness is larger than 3 mm, the coating control is difficult when the glass having the partition wall is coated on the plate at a pitch of 300 mm or less. Done. In addition, the pitch of the discharge port is 3 m times the partition pitch (m is an integer of 1 to 10), whereby the coating can be applied efficiently and accurately. In addition, with respect to the length L of the discharge port and the average pore D of the discharge port, the use of a mold satisfying the following expression improves the discharge property of the paste.

L/D=0.1∼600L / D = 0.1 to 600

이 L/D가 600을 넘으면, 압력손실이 커지기 때문에, 페이스트의 토출량이 적어지고, 형광체층의 두께가 얇게 된다. 또, 0.1 미만으로 되면, 토출구로 부터의 페이스트의 늘어짐이 크게된다.If the L / D exceeds 600, the pressure loss becomes large, so that the discharge amount of the paste decreases and the thickness of the phosphor layer becomes thin. In addition, when it becomes less than 0.1, the sagging of the paste from the discharge port becomes large.

토출구로부터 형광체 페이스트를 토출하기 위하여는, 일정 범위의 압력으로 연속적으로 페이스트를 토출하는 것에 바람직하다. 이에 의하여, 페이스트의 토출량을 일정하게 유지할 수 있음과 아울러, 안정한 도포두께를 얻을 수가 있다.In order to discharge the phosphor paste from the discharge port, it is preferable to discharge the paste continuously at a predetermined range of pressure. As a result, the discharge amount of the paste can be kept constant, and a stable coating thickness can be obtained.

도 1에 표시하는 바와 같이, 토출구로부터 페이스트를 토출하면서, 형광체 페이스트를 도포할 수가 있다. 이 경우, 기판을 고정하여 구금을 주행시켜도 좋고, 구금을 고정하여 기판쪽을 주행시켜도 좋다. 혹은 양쪽을 동시에 주행시켜도 상광이 없다.As shown in Fig. 1, the phosphor paste can be applied while discharging the paste from the discharge port. In this case, the substrate may be fixed and the detention may be driven, or the substrate may be fixed and the substrate may be driven. Or there is no phase light even if both run simultaneously.

구금의 토출구로부터 형광체 페이스트의 토출을 멈출때에, 구금내부를 부압의 상태로 하는 것에 의하여, 도포단부의 액처짐이 없고, 도포두께의 불균형이 없이 페이스트를 도포할 수가 있다.When the discharge of the phosphor paste is stopped from the discharge port of the cap, the inside of the cap is brought into a negative pressure state, whereby the paste can be applied without liquid sagging at the coating end and without imbalance in the coating thickness.

또, 구금과 유리기판의 기판상의 격벽에 대하여 평행하게 상대이동개시이후에 형광체 페이스트토출을 개시하고, 또한 상대이동종료이전에 토출을 멈추는 것에 의하여도, 도포단부의 액처짐에 의한 두께불균형을 억제할 수 있다.In addition, by discharging the phosphor paste after the relative movement starts parallel to the partition on the substrate of the glass substrate and the glass substrate, and discharging is stopped before the relative movement ends, the thickness imbalance due to the liquid droop at the coating end is also suppressed. can do.

토출하는 경우의 토출구선단부와 유리기판상에 형성된 격벽상단부의 간격은 바람직하게는 0.01∼2㎜, 보다 바람직하게는 0.05∼0.5㎜이다. 토출구와 격벽상단부의 접촉을 억제하기 위하여는, 이 간격은 0.01㎜ 이상, 또는 0.05㎜ 이상이 바람직하다. 또, 토출구로부터 토출한 페이스트가 끊어지는 것을 방지하기 위하여는, 그 간격은 2㎜ 이하, 또는 0.5 이하가 바람직하다.The interval between the discharge port leading end portion and the partition upper end portion formed on the glass substrate in the case of discharging is preferably 0.01 to 2 mm, more preferably 0.05 to 0.5 mm. In order to suppress the contact of a discharge port and the upper part of a partition, this space | interval is preferably 0.01 mm or more, or 0.05 mm or more. In order to prevent the paste discharged from the discharge port from breaking, the interval is preferably 2 mm or less, or 0.5 or less.

또, 장치상에 복수의 구금을 부착하여 동시에 도포하는 것에 의하여, 효율좋게 단시간에서 도포할 수가 있다. 이 경우, 복수의 구금을 같은 속도로 움직이는 것에 의하여 균일한 두께로 도포할 수가 있다. 또, 3개이상의 구금을 부착하여 23개이상의 구금으로부터 다른 색으로 발색하는 형광체를 함유하는 페이스트를 토출하는 것에 의하여, 한 번에 RGB 3색을 도포하는 것이 가능하게 된다. 또한, 하나의 구금으로부터 3색의 형광체 페이스트를 토출할 수가 있다. 이 경우 다른색의 형광체 페이스트를 토출하는 토출구의 최단간격을 600㎜ 이상으로 하는 것에 의하여, RGB 각각의 형광체의 혼색을 방지할 수가 있다.In addition, by applying a plurality of detention on the device and applying at the same time, it can be applied efficiently in a short time. In this case, it can apply | coat with a uniform thickness by moving several detention | capture at the same speed. In addition, it is possible to apply RGB three colors at once by attaching three or more detentions and discharging a paste containing a phosphor that develops a different color from 23 or more detentions. In addition, the phosphor paste of three colors can be discharged from one mold. In this case, by mixing the shortest intervals of the discharge ports for discharging the phosphor pastes of different colors into 600 mm or more, it is possible to prevent color mixing of the respective phosphors of RGB.

또, 고정밀격벽상에 형광체층을 형성하는 경우 등은 1색마다에 도포하며, 1색도포할 때마다 건조공정을 거치는 것에 의하여, 혼색을 방지할 수가 있다.In the case where the phosphor layer is formed on the high-precision bulkhead, the color is applied to each color and the drying process is performed every time one color is applied, whereby color mixing can be prevented.

본 발명에 있어서, 형광체 페이스트를 토출구로부터 토출한 후, 건조공정, 소성공정 등의 가열공정을 사용하여, 물이나 유기용매, 유기성분 등을 증발 또는 분해하여 제거하는 것에 의하여, 형광체층을 형성할 수 있다.In the present invention, after the phosphor paste is discharged from the discharge port, the phosphor layer is formed by evaporating or decomposing and removing water, an organic solvent, an organic component, or the like using a heating step such as a drying step or a firing step. Can be.

이 경우의 가여공정에 있어서, 통상, 형광체토포면을 위로하여 건조하나, 형광체도포면을 아래로하여 건조하여도 좋다. 형광체도포면을 아래로 하는 것에 의하여, 형광체 페이스트가 격면측면을 따르는 것에 의하여, 격벽측면에 형광체층을 형성할 수가 있다. 형광체층을 격벽간의 저부만이 아니고 격벽측면에도 형성하는 것에 의하여, 형광체면의 면적을 크게 할 수 있고, 플라즈마 디스플레이의 휘도를 향상시킬 수 있다.In this case, the phosphor coating surface is usually dried up, but the phosphor coating surface may be dried down. By lowering the phosphor coating surface, a phosphor layer can be formed on the partition wall side by the phosphor paste along the partition surface side. By forming the phosphor layer not only at the bottom between the partition walls but also at the partition wall side surface, the area of the phosphor surface can be increased, and the luminance of the plasma display can be improved.

또, 형광체 페이스트로서, 감광성 형광체 페이스트를 사용하는 것에 의하여, 광석판인쇄에 의한 패턴가공이 가능하게 된다. 이 경우, 도포공정을 거처서 형성된 형광체가 격벽의 상부 등의 불요한 부분에 형성된 형광체를 제거하는 데에 유효하다.In addition, by using the photosensitive phosphor paste as the phosphor paste, pattern processing by ore plate printing becomes possible. In this case, the phosphor formed through the application process is effective for removing the phosphor formed at an unnecessary portion such as the upper portion of the partition wall.

RGB각색의 감광성 형광체 페이스트를 토출구로부터 토출하여 도포한 후, 포토마스크를 개재하여 노광하고, 노광부분의 페이스트를 현상액에 대하여 가용화 또는 불용화 하는 것에 의하여, 현상공정에서 불요한 부분을 제거하고, 혀광체층을 형성할 수 있다. 현상액은 감광성 페이스트 중의 유기성분이 용해가능한 유기용매를 사용할 수가 있다. 또 그 유기용매에, 그 용해력이 손실되지 않는 범위에서 물을 첨가하여도 좋다. 감광성 페이스트 중의 카르복실기 등의 산성기를 가지는 화합물이 존재하는 경우, 알카리수용액으로 현상할 수 있다. 그 알카리수용액으로서, 수산화나트륨이나 수산화칼루슘 등과 같은 금속알칼리수용액을 사용할 수 있으나, 유기알칼리수용액을 사용하는 쪽이 소성시에 알칼리성분을 제거하기 쉬움으로 바람직하다.After discharging and applying the RGB photosensitive phosphor paste from the discharge port, it is exposed through a photomask, and the paste of the exposed portion is solubilized or insolubilized with the developer to remove the unnecessary portion in the developing process, and the tongue The body layer can be formed. The developing solution can use the organic solvent in which the organic component in a photosensitive paste is soluble. Moreover, you may add water to the organic solvent in the range in which the solvent power is not lost. When there exists a compound which has acidic groups, such as a carboxyl group, in a photosensitive paste, it can develop with alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, a metal alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide or calcium hydroxide can be used, but an organic alkaline aqueous solution is preferred because it is easy to remove the alkali component during firing.

유기알칼리로서는, 아민화합물을 사용할 수가 있다. 아민화합물로서, 구체적으로는, 테트라메틸암모늄히드록사이드, 트리메틸벤질암모늄히드록사이드, 모노에탄올아민, 디에탄올아민 등을 들 수 있다. 알칼리수용액의 농도는 통상 0.01∼10중량%, 보다 바람직하게는, 0.1∼5중량%이다. 알칼리농도가 너무 낮으면 미노광부가 제거되기 어렵고, 알카리농도가 너무높으면, 패턴부를 박리시키고, 또 노광부를 부식시킬우려가 있어 바람직하지 않다. 또, 현상시의 현상농도는, 20∼50℃로 하는 것이 공정관리상 바람직하다.As the organic alkali, an amine compound can be used. Specific examples of the amine compound include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine, and the like. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the unexposed portion is difficult to remove. If the alkali concentration is too high, the pattern portion may be peeled off and the exposed portion may be corroded, which is not preferable. Moreover, it is preferable in process control that the developing concentration at the time of image development shall be 20-50 degreeC.

형광체층의 두께는, 측면(격벽두께의 반분의 위치에서의) 형광체층의 두께(T1)와 저부두께(T2)의 사이에서 하기의 관계를 만족하는 것에 의하여, 휘도에 뛰어난 플라즈마 디스플레이를 제작할 수 있다.The thickness of the phosphor layer satisfies the following relationship between the thickness T1 and the bottom portion T2 of the phosphor layer on the side surface (at half of the partition thickness), whereby a plasma display excellent in luminance can be produced. have.

10≤T1≤50㎛10≤T1≤50㎛

10≤T2≤50㎛10≤T2≤50㎛

T1 또는 T2가 10㎛ 미만의 경우는, 방전에서 생긴 자외선이 형광체층을 빠저나오기 때문에, 충분한 휘도를 얻는 것이 곤란하고, 또 50㎛을 넘으면 방전전압이 높게 되는 등의 문제가 나오게 된다.When T1 or T2 is less than 10 µm, since ultraviolet rays generated from the discharge escape the phosphor layer, it is difficult to obtain sufficient luminance, and when the thickness exceeds 50 µm, problems such as high discharge voltage arise.

또, T1과 T2이 관계에 대하여는 다음 식을 충족하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that T1 and T2 satisfy the following formula.

0.2≤T1/T2≤50.2≤T1 / T2≤5

측면의 두께와 저부의 두께비율이, 과대하거나, 과소하는 경우는, 표시화면에 시야각의 존성이 발생하기 쉽게 되고, 대형화면화에 문제가 있다.If the thickness ratio of the side surface and the bottom portion is excessive or excessive, the dependence of the viewing angle is likely to occur on the display screen, and there is a problem in making the large screen.

형광체 페이스트를 소정의 위치로 도포한 후에, 소성로에서 소성을 실시하므로서 유기성분을 제거하여, 형광체층을 형성할 수 있다. 소성분위기나, 온도는 페이스트나 기판의 종류에 따라서 달리하지만, 공기중의, 질소, 수소 등의 분위기속에서 소성한다. 소성온도는, 바람직하게는 300∼550℃이고, 보다 바람직하게는, 350∼500℃이다.After apply | coating fluorescent substance paste to a predetermined | prescribed position, an organic component can be removed by baking in a kiln and a fluorescent substance layer can be formed. The minor component risk and temperature vary depending on the type of paste or substrate, but are fired in an atmosphere such as nitrogen or hydrogen in the air. The firing temperature is preferably 300 to 550 ° C, more preferably 350 to 500 ° C.

격벽의 상면부에 형광체가 부착된 경우에는, 전면판과 합쳐서 봉착하는 경우에 격벽에서 각 셀이 충분히 간막이 되지 않는 것에 의한 방전누출이 발생하므로, 그 상면부에 부착된 형광체를 점착체에 부착시키므로서, 제거하는 방법을 사용할 수 있다.In the case where the fluorescent material is attached to the upper surface of the partition wall, discharge leakage occurs due to the fact that each cell is not sufficiently intercalated at the partition wall when sealing together with the front plate. Therefore, the fluorescent material attached to the upper surface part is attached to the adhesive. The removal method can be used.

유기성분을 완전히 제거하기 위해서는, 300℃, 바람직하게는 350℃로 승온할 필요가 있지만, 열에 의한 형광체의 열화를 억제하기 위하여 550℃ 이하, 바람직하게는 500℃ 이하로 한다. 소정로로서는, 배치식의 소성로나 벨트식 또는 로울러허 스식의 연속형 소성로를 사용할 수 있다.In order to completely remove an organic component, it is necessary to raise it to 300 degreeC, Preferably it is 350 degreeC, but in order to suppress deterioration of fluorescent substance by heat, it is set to 550 degreeC or less, Preferably it is 500 degrees C or less. As a predetermined method, a batch type firing furnace or a belt type or a roller type continuous firing furnace can be used.

이와 같이하여 형광체층을 형성한 기판을, 전배면의 글라스기판과 맞쳐서 봉착한다. 전면판에는, ITO와 버스전극으로된 방전유지전극, 글라스층으로된 유도체, 방전으로부터 유전체를 보호하기 위한 보호막(보통은 산화마그네슘)이 형성되고, 필요에 따라서, 컬러필터나 블랙매트릭스, 블랙스트라이프가 형성된다. 전면판과 배면판의 봉착은 글라스프리트 등을 사용하여 실시된다.Thus, the board | substrate with which the fluorescent substance layer was formed is matched with the glass substrate of the front surface, and is sealed. On the front panel, a discharge holding electrode made of ITO and a bus electrode, a derivative made of a glass layer, and a protective film (usually magnesium oxide) for protecting the dielectric from discharge are formed, and if necessary, a color filter, a black matrix, or a black stripe. Is formed. Sealing of the front plate and the back plate is carried out using glass frit or the like.

다음으로, 전면판과 배면판사이로, 헬륨, 네온 및 크세논 등의 희가스를 봉입하므로서, 플라즈마 디스플레이의 패널부분이 제조된다. 더욱이, 구동용의 드라이버 IC를 실장하므로서, 플라즈마 디스플레이를 제조할 수 있다. 그리고 전면판과 배면판의 전극을 매트릭스구동하므로서, 디스플레이표시가 가능하게 된다.Next, a panel portion of the plasma display is manufactured by enclosing rare gases such as helium, neon and xenon between the front plate and the back plate. Furthermore, a plasma display can be manufactured by mounting a driver IC for driving. In addition, display driving is possible by matrix driving the electrodes of the front plate and the back plate.

다음에, 본 발명의 형광체 페이스트를 도포하기 위한 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 프라스마디스플레이의 제조장치는, 복수의 격벽을 형성한 기판을 재치하는 테이블과, 그 기판상의 격벽간에 형광체 페이스트를 스트라이프형상으로 형성하는 격벽배치에 대응한 복수의 토출구를 보유하는 쇠붙이를 구비한 장치를 사용할 수 있다.Next, an apparatus for applying the phosphor paste of the present invention will be described. The apparatus for manufacturing a plasma display according to the present invention includes a metal table having a table on which a plurality of partitions are formed, and a plurality of discharge ports corresponding to the partition arrangement for forming a phosphor paste in a stripe shape between partitions on the substrate. The apparatus provided can be used.

도 3은 본 발명의 실시예에 관한 플라즈마 디스플레이의 제조장치의 전체 사시도이고, 도 4는, 도 3의 테이블(6) 구금(20) 주위의 개략도이고, 제조장치의 요부를 설명하기 위한 도면이다.3 is an overall perspective view of the apparatus for manufacturing a plasma display according to the embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a schematic diagram of the periphery 20 of the table 6 in FIG. 3 and for explaining the main part of the apparatus. .

도 3, 도 4에 있어서, 기대(2)위에는, 한쌍의 가이드홈레일(8)이 설치되어 있고, 이 가이드홈레일(8)위에 테이블(6)이 배치되어 있다. 이 테이블(6)에는, 복수의 흡인공(7)이 설치되어 있고, 일정피치의 격벽을 보유하는 기판(4)이, 진공흡인에 의하여 테이블(6)표면에 고정된다. 또, 도시하지 않는 리프트핀에 의하여, 기판(4)은 테이블(6)상을 승강한다. 더욱 테이블(6)은 슬라이드를 떠받치는 밑부분(9)을 개재하여 가이드홈레일(8)상을 X축방향으로 왕복이동이 자유롭게 되어 있다.3 and 4, a pair of guide groove rails 8 are provided on the base 2, and a table 6 is disposed on the guide groove rails 8. A plurality of suction holes 7 are provided in the table 6, and the substrate 4 holding the partition walls having a constant pitch is fixed to the surface of the table 6 by vacuum suction. Moreover, the board | substrate 4 raises and lowers the table 6 by the lift pin which is not shown in figure. Further, the table 6 is free to reciprocate in the X-axis direction on the guide groove rail 8 via the bottom portion 9 supporting the slide.

한쌍의 가이드홈레일(8)의 사이에는, 송달나사기구를 구성하는 피드스크루우(10)가, 테이블(6)의 하면에 고정된 너트형상인 커넥터(11)를 관통하여 연장되어 있다. 피이드스크루우(10)의 양단부는, 축받이(12)에 의하여 회전자재하게 지지되고, 더욱 한쪽의 한끝은 AC서보모터(16)에 연결되어 있다.Between the pair of guide groove rails 8, the feed screw 10 constituting the delivery screw mechanism extends through the connector 11 which is a nut shape fixed to the lower surface of the table 6. Both ends of the feed screw 10 are rotatably supported by the bearing 12, and one end thereof is connected to the AC servomotor 16.

테이블(6)의 위쪽에는, 형광체 페이스트를 토출하는 쇠붙이(20)가, 호울더(22)를 개재하여 승강기구(30)와 폭방향이동기구(36)에 연결되어 있다. 승강기구(30)는 승강가능한 승강브래킷(28)을 구비하며, 승강브래킷(28)은 승강기구(30)의 케이싱내부에서 한쌍의 가이드로드에 승강자재하게 설치되어 있다. 또, 이 케이싱내에는, 가이드로드사이에 위치하여 보올나사로 된 피드스크루우(도시하지않음)도 또 회전자재하게 배치되어 있고, 너트형인 커넥터를 개재하여 승강브래킷(28)과 연결되어 있다. 더욱 이 도시하지 않은 피드스크루우의 상단에는, 도시하지 않은 AC서보모터가 접속되어 있고, 이 AC서보모터의 회전에 의하여 승강브래킷(28)을 임의로 승강작동시킬 수 있다.Above the table 6, a metal fitting 20 for discharging the phosphor paste is connected to the lifting mechanism 30 and the widthwise movement mechanism 36 via the holder 22. The elevating mechanism 30 includes an elevating bracket 28 that is capable of elevating, and the elevating bracket 28 is installed on the pair of guide rods in the casing of the elevating mechanism 30. In this casing, a feed screw (not shown), which is located between the guide rods and made of a threaded screw, is also disposed to rotate, and is connected to the lifting bracket 28 via a nut-shaped connector. Furthermore, an AC servomotor (not shown) is connected to the upper end of the feed screw (not shown), and the lifting bracket 28 can be arbitrarily lifted and operated by the rotation of the AC servomotor.

더욱 승강기구(30)는 Y축이동브래킷(32)을 개재하여 폭방향이동기구(36)에 연결되어 있다. 폭방향이동기구(36)는, Y축이동브래킷(32)을 Y축방향으로 왕복동자재하게 이동시키는 것이다. 동작 때문에 필요한 가이드로드, 피드스크루우, 너트형케넥터, AC서보모터 등은 케이싱내로 승강기구(30)와 동일하도록 배치되어 있다. 폭방향이동기구(36)는 지주(34)로 기대(2)상에 고정되어 있다.Further, the elevating mechanism 30 is connected to the widthwise moving mechanism 36 via the Y-axis moving bracket 32. The width direction movement mechanism 36 moves the Y-axis movement bracket 32 reciprocally in the Y-axis direction. The guide rod, feed screw, nut type connector, AC servo motor, etc. necessary for the operation are arranged in the casing to be the same as the lifting mechanism 30. The width direction movement mechanism 36 is fixed on the base 2 by the support | pillar 34. As shown in FIG.

이들의 구성에 의하여, 구금(20)를 Z축과 Y축방향으로 자재하게 이동시킬 수 있다. 구금(20)는, 테이블(6)의 왕복동방향과 직교하는 방향, 결국, Y축방향에 수평하게 연장되어 있지만, 이것을 직접유지하는 호울더(22)는, 승강브래킷(28) 내에서 회전자재하게 지지되어 있고, 수직면내에서 자재하게 도 3의 화살표방향으로 회전할 수 있다.By these configurations, the detention 20 can be freely moved in the Z-axis and Y-axis directions. Although the cage 20 extends horizontally in the direction orthogonal to the reciprocating direction of the table 6, and eventually in the Y-axis direction, the holder 22 which holds this directly is a rotating material in the lifting bracket 28. It can be rotated in the direction of the arrow of FIG. 3 in a vertical plane.

호울더(22)의 위쪽으로 위치하는 수평바아(24)도 또, 승강브래킷(28)에 고정되어 있다. 수평바아(24)의 양단부에는, 전자작동형인 리니어액츄에이터(26)가 설치되어 있다. 리니어액츄에이터(26)는, 수평바아(24)의 하면에서 돌출하는 신축로드(29)를 보유하고, 이들 신축로드(29)가 호울더(22)의 양단과 접촉하므로서 호울더(22)의 회전각도를 이미 제작할 수 있고, 결과로서 구금(20)의 경사도를 임의로 설정할 수 있다.The horizontal bar 24 located above the holder 22 is also fixed to the lifting bracket 28. At both ends of the horizontal bar 24, an electronically actuated linear actuator 26 is provided. The linear actuator 26 has telescopic rods 29 protruding from the lower surface of the horizontal bar 24, and the telescopic rods 29 come into contact with both ends of the holder 22 to rotate the holder 22. As shown in FIG. An angle can already be produced, and as a result, the inclination of the detention 20 can be arbitrarily set.

기대(2)의 윗면에는, 역L자모양의 센서지주(38)와 카메라지주(70)가 고정되어 있다. 센서지주(38)의 선단에는, 테이블(6)상의 기판(4)의 표면의 격벽상단부의 높이를 측정하기 위한 높이센서(40)가 설치되어 있다. 또, 테이블(6)의 한끝에는, 센서브래킷(64)을 개재하여 위치센서(66)가 설치되어 있고, 이 위치센서(66)가 구금(20)의 토출구가 있는 하단면의, 테이블(6)에 대한 수직방향의 위치를 검출한다.On the upper surface of the base 2, an inverted L-shaped sensor column 38 and a camera column 70 are fixed. At the tip of the sensor column 38, a height sensor 40 for measuring the height of the upper end of the partition wall on the surface of the substrate 4 on the table 6 is provided. In addition, at one end of the table 6, the position sensor 66 is provided via the sensor bracket 64, and this position sensor 66 is the table 6 of the lower end surface in which the discharge port of the detention 20 is located. Detect the position in the vertical direction with respect to

카메라지주(70)의 선단에는, 기판(4)의 표면의 격벽 혹은 격벽사이의 위치 또는 격벽부이외에 원점마아크를 검지하는 카메라(72)가 설치되어 있다. 도 4에 표시하듯이, 카메라(72)는 화상처리장치(74)에 상기적으로 접속되어 있고, 이 카메라(72)에 의하여, 기판(4)의 격벽 혹은 격벽간의 위치 및 격벽간의 수, 및, 원점마아크의 위치를 정량적으로 산출할 수 있다.At the tip of the camera support 70, a camera 72 for detecting the origin mark is provided in addition to the position of the partition wall or the partition wall of the surface of the substrate 4 or the partition wall portion. As shown in Fig. 4, the camera 72 is connected to the image processing apparatus 74 in the above manner, and by this camera 72, the position of the partition walls or partition walls of the substrate 4 and the number of partition walls, and The position of the origin mark can be calculated quantitatively.

도 4에 있어서, 구금(20)는 매니폴드(41)를 보유하고, 매니폴드(41) 내로 형광체 페이스트(42)를 충전하여 토출구(44)에서 형광체 페이스트(42)가 토출된다. 구금(20)에는 공급호스(46)가 접속되어 있고, 토출용 전자변환밸브(48), 공급유니트(50), 흡인호스(52), 흡인용전자변환밸브(54), 형광체 페이스트탱크(56) 등과 연관되어 있다. 형광체 페이스트탱크(56)에는, 형광체 페이스트(42)가 저장되어 있다.In FIG. 4, the detention 20 holds the manifold 41, and the phosphor paste 42 is filled into the manifold 41 to discharge the phosphor paste 42 from the discharge port 44. A supply hose 46 is connected to the cap 20, and the discharge electromagnetic conversion valve 48, the supply unit 50, the suction hose 52, the suction electromagnetic conversion valve 54, and the phosphor paste tank 56 ), And so on. The phosphor paste 42 is stored in the phosphor paste tank 56.

공급유니트(50)에는, 피스톤, 다이어프램형 등의 정용량펌프나, 튜우빙펌프, 기어펌프, 모노펌프나 기체의 압력으로 액체를 밀어내는 압송콘트로울저 등에 의한 것이 있다.The supply unit 50 may be a constant capacity pump such as a piston or a diaphragm, a tubing pump, a gear pump, a mono pump, or a pressure feeding roller for pushing liquid at the pressure of gas.

공급장치콘트롤러(58)에서의 제어신호를 받아서, 공급유니트(50)이나, 각각의 전자변환밸브를 작동시키므로서, 형광체 페이스트탱크(56)로부터 형광체 페이스트(42)를 흡인하고, 구금(20)에 공급할 수 있다.In response to the control signal from the supply device controller 58, the phosphor paste 42 is sucked from the phosphor paste tank 56 by actuating the supply unit 50 or the respective electromagnetic conversion valves. Can be supplied to

공급장치콘트롤러(58)는, 더욱이, 전체콘트롤러(60)에 상기적으로 접속되어 있다. 전체콘트롤러(60)에는, 모터콘트롤러(62), 높이센서(40)의 상기입력, 카메라(72)의 화상처리장치(74), 승강기구용 액츄에이터(76)나 폭방향이동기구용 액츄에이터(78)로 부터의 정도 등, 모든 제어정보가 상기적으로 접속되어 있고, 전체의 시컨스제어를 담당하도록 되어 있다. 전체 콘트롤러(60)는, 컴퓨터나 시컨서 등, 제어기능을 지니고 있는 것이라면 어떠한 기구인 것이라도 좋다.The supply device controller 58 is further connected to the whole controller 60 in the above manner. The entire controller 60 includes a motor controller 62, the input of the height sensor 40, the image processing apparatus 74 of the camera 72, the actuator 76 for the lifting mechanism, and the actuator 78 for the widthwise movement mechanism. All the control information, such as the accuracy from the above, is connected to the above, and is responsible for the whole sequence control. The whole controller 60 may be any mechanism as long as it has a control function, such as a computer and a sequencer.

또, 모터콘트롤러(62)에는, 테이블(6)을 구동하는 AC서보모터(16)의 신호, 승강기구(30)와 폭방향이동기구(36)의 각각의 AC서보모터의 신호, 테이블(6)의 이동위치를 검출하는 위치센서(68)에서의 신호, 구금(20)의 작동위치를 검출하는 Y,Z축의 각각의 리니어센서(도시하지않음 )로 부터의 신호 등이 입력된다. 또한, 위치센서(68)를 사용하는 대신에, AC서보모터(16)에 엔코우터를 짜넣고, 인코더(encoder)서 출력되는 밸브신호에 의거하여 테이블(6)의 위치를 검출할 수도 있다.In addition, the motor controller 62 includes a signal of the AC servomotor 16 for driving the table 6, a signal of the AC servomotor of each of the lifting mechanism 30 and the widthwise movement mechanism 36, and the table 6. The signal from the position sensor 68 which detects the movement position of), the signal from each linear sensor (not shown) of the Y- and Z-axis which detects the operation position of the detention | suction 20, etc. are input. In addition, instead of using the position sensor 68, the encoder may be incorporated in the AC servomotor 16, and the position of the table 6 may be detected based on the valve signal output from the encoder.

다음으로, 이 플라즈마 디스플레이의 제조장치를 사용한 형광체 페이스트의 도포방법에 대하여 설명한다.Next, a method of applying the phosphor paste using the apparatus for manufacturing this plasma display will be described.

우선, 각 작동부의 원점복귀가 실시되면, 테이블(6)과 구금(20)는, 각각 스탠드바이의 위치로 이동한다. 이 때, 형광체 페이스트탱크(56)로부터 구금(20)까지는 형광체 페이스트가 이미 충만되어 있고, 토출용전자변환밸브(48)는 열림상태, 또 흡인용전자변환밸브(54)는 닫힘상태로 되어 있다. 그리고, 테이블(6)의 표면에는 도시하지않은 리프트핀이 상승하고, 도시하지않은 로우더로부터 기판(5)이 리프트핀상부에 재치된다.First, when the origin return of each operation part is performed, the table 6 and the detention part 20 respectively move to the position of a standby. At this time, the phosphor paste is already filled from the phosphor paste tank 56 to the detention 20, the discharge electron conversion valve 48 is in an open state, and the suction electron conversion valve 54 is in a closed state. . Then, a lift pin (not shown) rises on the surface of the table 6, and the substrate 5 is placed on the lift pins from a loader not shown.

다음에, 리프트핀을 하강시켜서 기판(4)을 테이블상면에 재치하고, 도시하지 않은 얼라이멘트장치에 의하여 테이블(6)상의 기판(4)의 위치결정이 실시된 후, 기판(4)을 진공흡착한다.Next, the lift pins are lowered, the substrate 4 is placed on the table top surface, and the substrate 4 is vacuumed after the positioning of the substrate 4 on the table 6 is performed by an alignment device (not shown). Adsorb.

다음에, 테이블(6)은 기판(4)의 격벽부가, 카메라(72)와 높이센서(40)의 밑으로 올때까지 이동하여, 정지한다. 카메라(72)는, 테이블(6)상에 위치결정된 기판(4)상의 격벽단부를 베기내도록 미리위치조정되어 있고, 화상처리에 의하여 1번끝의 격벽간의 위치를 검출하고, 카메라(72)의 기준점에서의 거리를 산출하였다. 한편, 카메라(72)의 기준점과, 소정의 Y축좌표위치에 있는 구금(20)의 최단부에 위치하는 토출구(44)간의 거리는, 사전이 조정시에 측정되고, 정보로서 전체콘트롤러(60)에 입력되어 있다. 따라서, 카메라기준점과 격벽간의 거리가 화상처리장치(7)로 전송되면, 구금(20)의 최단부의 토출공(44)이, 격벽단부의 격벽간의 위로되는 Y축좌표치를 계산하고, 구금(20)를 그 위치로 이동시킨다. 이것에 의하여, 구금(20)의 모든 토출구의 중심은 형광체 페이스트를 도포하는 각각의 격벽간의 위로 이동된 것으로 되고, 구금(20)와 기판(4)의 상대위치결정이 완료한다.Next, the table 6 moves until the partition part of the board | substrate 4 comes under the camera 72 and the height sensor 40, and it stops. The camera 72 is pre-positioned so as to cut the partition wall end portion on the substrate 4 positioned on the table 6, and detects the position between the partition walls at the first end by image processing, and the reference point of the camera 72 is detected. The distance at was calculated. On the other hand, the distance between the reference point of the camera 72 and the discharge port 44 located at the shortest end of the cap 20 at the predetermined Y-axis coordinate position is measured at the time of prior adjustment, and the entire controller 60 as information. Is entered. Therefore, when the distance between the camera reference point and the partition wall is transmitted to the image processing apparatus 7, the discharge hole 44 of the shortest part of the detention part 20 calculates the Y-axis coordinate value which is extended between the partition walls of the partition part end part, and the detention part 20 ) To the position. As a result, the centers of all the ejection openings of the caps 20 are moved above the respective partition walls for applying the phosphor paste, and the relative positioning of the caps 20 and the substrate 4 is completed.

또, 별도의 위치결정방법으로서, 카메라(72)가, 기판(4)상의 격벽부 이외로 있는 원점마아크를 검지하는 방법도 있다. 카메라 기준점과 구금(20)의 최단부에 위치하는 토출구(44)간의 거리와, 원점마아크와 도포해야할 격벽간의 단부의 거리는, 사전의 조정시에 측정되고, 정보로서 전체콘트롤러(60)에 입력되어 있다. 따라서, 카메라기준점과 원점마아크의 거리가 화상처리장치(74)로 전송되면, 구금(20)는 도포해야할 위치로 이동된다.In addition, as another positioning method, there is also a method in which the camera 72 detects an origin mark that is other than the partition portion on the substrate 4. The distance between the camera reference point and the discharge port 44 located at the shortest end of the cap 20 and the distance between the origin mark and the partition wall to be applied are measured at the time of prior adjustment, and are input to the entire controller 60 as information. have. Therefore, when the distance between the camera reference point and the origin mark is transmitted to the image processing apparatus 74, the detention 20 is moved to the position to be applied.

또, 카메라기준점과 구금(20)의 토출구의 거리의 산출법으로서, 표면이 평면형상인 평활기판상으로, 구금(20)에서 형광체 페이스트를 토출하여 형광체 페이스트의 스트라이프를 형성하고, 이 스트라이프의 위치를, 화상처리에서 위치검지하여 측정되고, 그 절대위치를 산출해도 좋다. 이것에 의하여, 구금(20)의 토출구의 위치가 알 수 있으므로, 결과로서 구금의 절대위치를 산출할 수 있다. 이 방법에 의하여, 기판(4)표면의 격벽사이로, 구금(20)의 토출구를 맞춰서 도포할 수도 있다.In addition, as a method of calculating the distance between the camera reference point and the discharge port of the cap 20, the phosphor paste is discharged from the cap 20 to form a stripe of the phosphor paste on a smooth substrate having a flat surface, and the position of the stripe is The position may be measured and measured in the image processing, and the absolute position may be calculated. As a result, since the position of the discharge port of the cap 20 can be known, the absolute position of the cap can be calculated as a result. By this method, it can also apply | coat with the discharge opening of the metal mold | die 20, between the partitions of the surface of the board | substrate 4.

높이센서(40)는, 기판(4)의 격벽상단부의 수직방향의 위치를 검지하고, 테이블상면과의 위치의 차로부터 기판(4)의 격벽상단부의 높이를 산출한다. 이 높이로, 미리 부여하여둔 구금(20)의 통출구부분에서 기판(4)의 격벽상단부까지의 간격을 가산하여, 구금(20)의 Z축리니어센서상에서의 하강해야할 값을 연산하고, 그 위치에 구금(20)를 이동시킨다. 이것에 의하여, 테이블(6)상에서의 기판(4)의 격벽상단부위치가 기판마다 변화하여도, 도포에 중요한 구금(20)의 토출구부분에서 기판(4)의 격벽상단부까지의 간격을 항상 일정하게 유지하도록 된다.The height sensor 40 detects the position in the vertical direction of the partition upper end of the substrate 4, and calculates the height of the partition upper end of the substrate 4 from the difference in position with the table top surface. At this height, the distance from the outlet portion of the inlet 20 previously provided to the upper end of the partition wall of the substrate 4 is added to calculate the value to be lowered on the Z-axis linear sensor of the inlet 20. Move the detention 20 to position. Thereby, even if the position of the partition upper end part of the board | substrate 4 on the table 6 changes for every board | substrate, the space | interval from the discharge port part of the detention part 20 which is important for application | coating to the partition upper end part of the board | substrate 4 will always be constant To maintain.

본 발명이 적용할 수 있는 높이센서(40)로서는, 레이저나 초음파 등을 이용한 비접촉측정형식인 것, 다이얼게이지나 차동트랜스 등을 이용한 접촉측정형식인 것 등, 측정가능한 원리인 것이라면 어떠한 것을 사용해도 좋다.The height sensor 40 to which the present invention can be applied may be any type of measuring device such as a non-contact measurement type using a laser or ultrasonic wave or a contact measurement type using a dial gauge or differential transformer. good.

다음에, 테이블(6)을 구금(20)쪽으로 향해서 동작을 개시시켜, 구금(20)의 토출구부분의 밑으로 기판(4)의 도포개시위치가 도달하기 전에, 소정의 도포속도까지 테이블(6)을 증속시켜 둔다. 테이블(6)의 동작개시위치와 도포개시위치까지의 거리는, 테이블(6)이 도포속도까지 증속할 수 있도록 충분히 확보할 수 있지 않으면 안된다.Next, the operation of the table 6 toward the detention part 20 is started, and before the application start position of the substrate 4 reaches under the discharge port portion of the detention part 20, the table 6 is applied to a predetermined application speed. )). The distance between the operation start position and the application start position of the table 6 must be sufficiently secured so that the table 6 can accelerate to the application speed.

더욱이, 기판(4)의 도포개시위치가 구금(20)의 토출구부분이 밑으로 도착할 때까지의 곳으로, 테이블(6)의 위치를 검지하는 위치센서(68)를 배치하여 두고, 테이블(6)이 이 위치에 도달하면, 공급유니트의 동작을 개시하여 형광체 페이스트(42)의 구금(20)로의 공급을 개시한다. 위치센서(68)대신에, 모터 혹은 피드스크루우에 인코더를 접속하고, 인코더의 값으로 위치를 검지하여도 마찬가지인 것이 가능하게 된다.Furthermore, the position sensor 68 which detects the position of the table 6 is arrange | positioned in the place until the application start position of the board | substrate 4 reaches the discharge port part of the detention | base_side down, and the table 6 When () reaches this position, the operation of the supply unit is started and the supply of the phosphor paste 42 to the detention 20 is started. It is also possible to connect the encoder to a motor or feed screw instead of the position sensor 68 and to detect the position by the value of the encoder.

형광체 페이스트의 도포는, 기판(4)의 도포종료위치가 구금(20)의 토출구부분의 밑부근으로 올때까지 실시된다. 즉, 기판(4)은 항상 테이블(6)상의 정해진 위치에 두어져 있으므로, 기판의 도포종료위치가 정확히 바로 밑으로 되는 위치에 상당하는 테이블(6)의 위치에, 위치센서나 그 인코더값을 미리 설정하여 두고, 테이블(6)이 대응하는 위치로 오면, 전체콘트롤러(60)로부터 공급장치콘트롤러(58)에 정지지령을 내어서 형광체 페이스트(42)의 구금(20)로의 공급을 정지한다. 이 때, 구금(20)를 상승시켜서 완전히 형광체 페이스트의 공급을 단절하여도 좋다.Application of the phosphor paste is carried out until the application end position of the substrate 4 comes to the bottom of the discharge port portion of the cap 20. That is, since the board | substrate 4 is always placed in the fixed position on the table 6, the position sensor or its encoder value is placed in the position of the table 6 corresponding to the position where the application | coating end position of a board | substrate is just underneath. After setting in advance, when the table 6 comes to the corresponding position, the supply controller 58 is given a stop command from the entire controller 60 to stop the supply of the phosphor paste 42 to the detention 20. At this time, the supply of the phosphor paste may be cut off completely by raising the cap 20.

형광체 페이스트(42)가 비교적 고점도의 액체인 경우는, 단지 페이스트의 공급을 정지한 것만으로는, 잔압의 작용에 의하여, 구금(20)의 토출구로 부터의 토출을 순간으로 정지하는 것은 곤란하다. 그 때문에, 형광체 페이스트(42)의 공급을 정지함과 동시에, 구금(20)의 매니폴드(41)의 압력을 대기압으로 한다. 또는, 매니폴드(41)의 압력을 부압으로하여, 구금(20)의 토출구에서 형광체 페이스트를 흡인하므로서, 단시간에서 토출구로 부터의 형광체 페이스트의 토출정지가 가능하게 된다. 매니폴드(41)의 압력을 부압으로 하는 수단으로서는, 공급유니트(50)에 펌프를 사용하는 경우는, 펌프를 역동작, 결국, 형광체 페이스트를 흡인하는 방향으로 동작시키면 되고, 압송의 경우는, 공급유니트(50)에 진공원이 연관되도록하여 매니폴드(41)의 압력을 부압으로 하면 좋다.In the case where the phosphor paste 42 is a relatively high viscosity liquid, it is difficult to stop the discharge from the discharge port of the cap 20 at the moment by the action of the residual pressure only by stopping the supply of the paste. Therefore, while supplying the phosphor paste 42 is stopped, the pressure of the manifold 41 of the detention 20 is made atmospheric pressure. Alternatively, the discharge of the phosphor paste from the discharge port can be stopped in a short time by sucking the phosphor paste at the discharge port of the die 20 with the pressure of the manifold 41 at a negative pressure. As a means for setting the pressure of the manifold 41 to a negative pressure, when the pump is used for the supply unit 50, the pump may be operated in the reverse operation and eventually in the direction of sucking the phosphor paste. The pressure of the manifold 41 may be made negative so that a vacuum source may be associated with the supply unit 50.

또 매니폴드(41)의 압력을 부압으로 하는 별도의 수단으로서는, 토출용전자변환밸브(48)로부터 구금(20)의 사이, 또는, 구금(20) 그 자체에, 진공원과 접촉되는 전자변환밸브를 설치하고, 이 변환에 의해서도 압력을 부압으로 할 수 있게 된다.As another means for setting the pressure of the manifold 41 to negative pressure, an electron conversion between the discharge electron conversion valve 48 and the detention 20 or between the detention 20 itself and the vacuum source is in contact with the vacuum source. By installing a valve, the pressure can be made negative by this conversion.

이 때, 진공원의 압력을 대기압으로부터 임의의 부압으로 조정할 수 있도록하여 두면, 토출구에서 형광체 페이스트(42)를 흡인하는 속도를 조정할 수 있다. 진공원으로서는, 진공펌프, 흡입기나 피스톤형인 펌프를 역동작시키는 것이 있다.At this time, if the pressure of the vacuum source can be adjusted from the atmospheric pressure to any negative pressure, the speed at which the phosphor paste 42 is sucked at the discharge port can be adjusted. As a vacuum source, there exists a thing which reversely operates a vacuum pump, an inhaler, and a piston type pump.

또, 이들 압력조정의 타이밍은 공급장치콘트롤러(58)와 전체콘트롤러(60)에서 제어할 수 있다.The timing of these pressure adjustments can be controlled by the supply controller 58 and the entire controller 60.

테이블(6)은 도포종료위치를 통과하여도 동작을 계속하며, 종점위치에 와서는 처음으로 정지한다. 이 때 도포해야할 부분이 아직 잔존하고 있는 경우에는, 다음의 도포해야할 개시위치까지 구금(20)를 Y축방향으로 이동시키고, 그 후는, 테이블(6)을 반대방향으로 이동시키는 것을 제외하고는 동일한 수순으로 도포를 실시한다. 1회째와 동일한 테이블(6)의 이동방향으로 도포를 실시할 때에는, 구금(20)는 다음의 도포해야할 개시위치까지 Y축방향으로 이동시켜, 테이블(6)을 X축준비위치까지 복귀시킨다.The table 6 continues to operate even after passing through the application end position, and stops for the first time after reaching the end position. At this time, if the part to be applied still remains, the detention 20 is moved in the Y-axis direction to the next starting position to be applied, except that the table 6 is moved in the opposite direction. Application is carried out in the same procedure. When applying in the moving direction of the same table 6 as the first time, the detention 20 moves in the Y-axis direction to the next starting position to be applied, and returns the table 6 to the X-axis ready position.

이와 같이하여 도포공정이 완료된 후, 기판(4)을 언로우더에서 옮겨 얹히는 장소까지 테이블(6)을 이동하여 정지시켜, 기판(4)의 흡착을 해제함과 아울러 대기개방을 한 후에, 리프트핀을 상승시켜서 기판(4)을 테이블(6)의 면에서 떼어놓고, 들어올린다.After the coating process is completed in this way, the table 6 is moved and stopped to the place where the substrate 4 is removed from the unloader, the release of the substrate 4 is released, and the air is released. The board 4 is lifted off from the surface of the table 6 by raising the pins.

이 때, 도시되지 않는 언로우더에 의하여 기판(4)의 하면이 유지되고, 기판은 다음의 공정으로 반송된다. 기판(4)을 언로우더에 이동한 후, 테이블(6)은 리프트핀을 하강시켜 원점위치로 복귀한다.At this time, the lower surface of the board | substrate 4 is hold | maintained by the unloader which is not shown in figure, and a board | substrate is conveyed to the next process. After moving the substrate 4 to the unloader, the table 6 returns to the home position by lowering the lift pins.

이 때, 토출용전자변환밸브(48)를 닫힌 상태로 하고, 흡인용전자변화밸브(54)를 열림상태로하여 공급유니트(50)을 동작시켜, 형광체 페이스트탱크(56)로부터 1장의 기판의 도포에 필요한 양만큼의 형광체 페이스트(42)를 구금(20)로 공급한다.At this time, the discharge electron conversion valve 48 is closed, the suction electron change valve 54 is opened, and the supply unit 50 is operated so that one substrate of the substrate is discharged from the phosphor paste tank 56. The phosphor paste 42 in an amount necessary for the application is supplied to the detention 20.

이상의 도포공정에서는, 부여된 유효영역에서의 도포두께정밀도를 향상시키기 위하여, 도포개시위치에 대한 구금(20)로의 형광체 페이스트공급개시의 타이밍, 및 도포종료위치에 대한 구금(20)로의 형광체 페이스트공급정지의 타이밍이 중요하게 되므로, 각각의 동작을 최적한 포인트에서 실시하지 않으면 안된다.In the above application step, in order to improve the coating thickness precision in the given effective area, the timing of the start of supplying the phosphor paste to the detention 20 at the application start position, and the supply of the phosphor paste to the detention 20 at the application end position Since the timing of stopping becomes important, each operation must be performed at an optimal point.

또 본 발명의 본 실시예에서는, 구금(20)의 토출구부분과 기판(4)의 격벽상단부와의 간격치를 설정한 다음, 형광체 페이스트(42)의 공급개시를 실시하고 있다. 이것은 양자간의 간격을 설정하기 전의 상태에서 형광체 페이스트(42)의 공급을 개시하면, 형광체 페이스트(42)가, 토출구에서 토출된 시점에서 토출구부분선단면으로 확대되고, 토출구 이외의 부분을 오염하고, 너무 심한 경우에는 이웃끼리의 토출구에서 토출되는 형광체 페이스트(42)가 합류한다고 하는 불편함이 발생하고, 정밀도가 높은 도포가 될 수 없기 때문이다. 구금(20)의 토출구부분 선단면을 기판(4)에 근접시킨 다음 형광체 페이스트(42)의 공급을 개시하면, 선단면에서 형광체 페이스트(42)가 확대되기 전에 격벽간으로 형광체 페이스트(42)가 안내되는 것으로 되므로, 이와 같은 불편함은 발생하지 않는다.In this embodiment of the present invention, the gap value between the discharge port portion of the cap 20 and the upper end of the partition wall of the substrate 4 is set, and then the phosphor paste 42 is started to be supplied. This starts supplying the phosphor paste 42 in the state before setting the distance between them, and the phosphor paste 42 expands to the discharge port portion end face at the time of discharge from the discharge port, contaminating parts other than the discharge port, This is because, if too severe, the inconvenience that the phosphor pastes 42 discharged from the discharge ports of neighbors join together occurs, and application of high precision cannot be achieved. When the tip end surface of the discharge port portion of the cap 20 is brought close to the substrate 4 and the phosphor paste 42 is supplied, the phosphor paste 42 is interposed between the partition walls before the phosphor paste 42 is expanded at the tip surface. Since it is to be guided, such inconvenience does not occur.

또 본 실시예에서는, 기판(4)은 X축방향으로 이동되고, 구금(20)이 Y축과 Z축방향으로 이동하는 경우의 적용예에 대하여 설명했지만, 구금(20)과 기판(4)이 상대적으로 3차원적으로 이동할 수 있는 구조, 형식인 것으로 되어 있는 것이며, 테이블 및 구금의 이동형식은 어떠한 것이라도 좋다.In addition, in this embodiment, the application example in the case where the board | substrate 4 moves to an X-axis direction, and the metal mold | die 20 moves to a Y-axis and Z-axis direction was demonstrated, but the metal mold | die 20 and the board | substrate 4 were demonstrated. It is a structure and a form which can move relatively three-dimensionally, and the movement form of a table and a detention may be any.

또, 여기서는 1종류의 형광체 페이스트를 도포하는 경우에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은 적, 청 및 녹 등의 3색의 형광체를 동시에 도포하는 경우에는 적용할 수 있다.In addition, although the case where one kind of fluorescent substance paste is apply | coated was demonstrated in detail here, this invention can be applied when applying three colors of fluorescent substance, such as red, blue, and green simultaneously.

도 5 및 도 6는, 본 발명에서 사용되는 구금을 예시하고 있는 개략사시도이다. 도 5에서는, 평탄한 면중에 소정피치로 지름의 구멍이 토출구(501)로서 설치되어 있다. 또 토출구를, 도 6와 같이, 동일형상인 파이프(601)를 배치하여 구성하여도 좋고, 이 구금의 경우는 구금이 오염되기 어려우므로 바람직하다.5 and 6 are schematic perspective views illustrating the detention used in the present invention. In Fig. 5, a hole having a diameter at a predetermined pitch is provided as the discharge port 501 in the flat surface. In addition, the discharge port may be configured by arranging a pipe 601 having the same shape as in FIG. 6, and in the case of the detention, the detention is hardly contaminated.

또, 구금의 모든 토출구는, 그 중심이 형광체 페이스트를 도포하는 각각의 격벽간의 위로 위치하도록 배치되는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that all the discharge ports of the cap are disposed so that the center thereof is located above each partition wall to which the phosphor paste is applied.

구금의 토출구의 평균구멍지름은 10㎛ 이상 500㎛ 이하이고, 격벽의 간격이하로 하는 것이 바람직하며, 이것에 의하여 이웃의 색과의 혼색을 방지할 수 있다.The average hole diameter of the discharge port of the mold is preferably 10 µm or more and 500 µm or less, and preferably equal to or less than the gap between the partition walls, whereby color mixing with neighboring colors can be prevented.

더욱이, 구금의 토출구형상이 원형이 아니고, 격벽과 대략 직교하는 개구길이가, 10㎛ 이상 500㎛ 이하이고, 격벽의 간격보다 작게하여도 좋다. 이 때의 토출구형상으로서는, 긴구멍, 타원 및 직사각형 등이 있다. 또, 구금의 토출구면 및/또는 토출구내벽으로, 폴리테트라플루오로에틸렌과 같은 불소계수지의 피막을 코팅하므로서, 토출구면 및 토출구내벽의 형광체 페이스트의 이 형성이 향상하고, 토출구면의 오염을 방지할 수 있다.Further, the discharge port shape of the mold is not circular, and the opening length substantially perpendicular to the partition wall is 10 µm or more and 500 µm or less, and may be smaller than the gap between the partitions. The discharge port shape at this time includes long holes, ellipses, rectangles, and the like. In addition, by coating a film of a fluorine-based resin such as polytetrafluoroethylene on the discharge port surface and / or the discharge port inner wall, the formation of the phosphor paste on the discharge port surface and the discharge port inner wall can be improved, and contamination of the discharge port surface can be prevented. Can be.

또, 구금의 토출구면 및/또는 토출구내멱으로, 비정질의 탄소피막(DLC)을 코팅하므로서, 토출구면 및 토출구내벽의 표면강도가 향상되고, 내마모성이 향상한다.In addition, by coating the amorphous carbon film (DLC) on the discharge port surface and / or the discharge port inside of the mold, the surface strength of the discharge port surface and the discharge port inner wall is improved, and the wear resistance is improved.

도 7은 본 발명의 다른 구금의 1예를 표시하는 단면도와 저면도이다. 1기의 구금에는, 복수의 형광체 페이스트저장부(704,705,706)와, 형광체 페이스트저장부(704,705,706)에 형광체 페이스트를 공급하는 형광체 페이스트공급구(701,702,703)와, 저장부(704,705,706)와 토출구(710,711,712)를 유체적으로 연결하는 패스부(707,708,709)를 보유한다. 더욱이, 저면도에 표시되어 있듯이, 토출구(710,711,712) 보다도 수가 많으며, 직선상에 배열되어 있다. 이것에 의하여, 1기의 구금으로부터, 달리하는 종류의 형광체 페이스트를 토출할 수 있다. 또, 달리하는 색의 형광체 페이스트를 토출하는 토출구의 최단거리가 600㎛ 이상으로 하므로서, 타색과의 혼색을 방지할 수 있다.Fig. 7 is a sectional view and a bottom view showing an example of another cage of the present invention. In one detention, a plurality of phosphor paste storage units 704, 705, 706, phosphor paste supply holes 701, 702, 703 for supplying phosphor paste to the phosphor paste storage units 704, 705, 706, storage units 704, 705, 706, and discharge ports 710, 711, 712 are provided. Retaining path portions 707,708, 709 that fluidly connect. Furthermore, as shown in the bottom view, the number is larger than the discharge ports 710, 711, 712, and is arranged in a straight line. Thereby, the phosphor paste of a different kind can be discharged from one set of detention. Moreover, since the shortest distance of the discharge port which discharges fluorescent substance paste of a different color is 600 micrometers or more, mixing with other colors can be prevented.

도 8는, 본 발명의 다른 실시예에 관한 플라즈마 디스플레이의 제조장치의 요부를 설명하기 위한 개략 사시도이다. 구금은 1기 뿐만 아니고, 이것을 Y방향으로 2기 이상 배치하여도 좋다. 구금(801,802)는 X방향 및 Y방향과 아울러 동기(同期)하여 혹은 비동기에서 구동되도록, 도시하지 않은 제어장치에 의하여 구동되도록 되어 있다. 이와 같이, 2기이상의 구금에 의하여, 테이블(6)상의 기판(4)으로의 형광체 페이스트의 도포가 분담되므로, 도포시간을 단축시킬 수 있다.8 is a schematic perspective view for explaining a main part of an apparatus for manufacturing a plasma display according to another embodiment of the present invention. Not only one piece of detention, but two or more of them may be arranged in the Y direction. The detainers 801 and 802 are driven by a control device (not shown) so as to be driven synchronously or asynchronously with the X and Y directions. As described above, since the application of the phosphor paste to the substrate 4 on the table 6 is shared by two or more groups of detention, the application time can be shortened.

이 때, 2기이상의 구금으로서는, 동일색을 발광하는 형광체 페이스트를 토출하는 구금, 달리하는 색을 발광하는 형광체 페이스트를 토출하는 구금, 혹은 2색이상의 달리하는 색으로 발광하는 형광체 페이스트를 토출하는 구금의 어느 것이라도 좋다.At this time, as the detention of two or more groups, the detention for discharging the phosphor paste emitting the same color, the detention for discharging the phosphor paste for emitting different colors, or the discharging for discharging the phosphor paste emitting in two or more different colors May be either.

또, 이들 2기이상의 구금를, 격벽방향에 대하여 수직방향으로 격벽간격의 정수배로 옮겨서 위치시켜, 서로 이웃하는 2기이상의 위치가 「엇갈림」<「구금본체의 바깥치수」인 때는, 격벽에 대하여 평행방향으로 엇갈려서 위치하도록 효율적이고 바람직하다.In addition, two or more of these detentions are moved to an integer multiple of the partition spacing in the vertical direction with respect to the partition wall direction, and when two or more neighboring positions are "crossed" <"outer dimension of the detention body", they are parallel to the partition wall. Efficient and desirable to stagger in the direction.

더욱이, 상기한 도포장치를, 형광체 페이스트의 적색, 녹색, 청색에 대응하여 3대 직렬로 배치하므로서, 격벽간에 3색의 형광체층을 효율 양호하게 형성할 수 있다.Furthermore, by arranging the above three coating apparatuses in series corresponding to red, green, and blue of the phosphor paste, it is possible to efficiently form three-color phosphor layers between partition walls.

도 9는, 구금의 토출구면의 청정장치를 예시하는 개략도측면이다.9 is a schematic side view illustrating a cleaning apparatus of the discharge port surface of the mold.

청정장치(901)는, 구금(20)의 토출구면(902)에 닦아내는 부재(903)가 접촉하는 위치로 배치되어 있다. 닦아내는 부재(903)는, 토출구면선단부를 감싸게 하는 형상을 하고 있지만, 토출구면(902)만으로 접촉하는 형상으로 하여도 좋다. 닦아내는 부재(903)는, 트레이(905)에 장착되어 있는 브래킷(904)에 고정되어 있고, 트레이(905)와 아울러 폭방향(Y축방향)으로 이동한다. 닦아내는 부재(903)가, 토출구면(902)에 접촉하여 폭방향으로 이동하는 동작에 의하여, 토출구면에 부착하고 있는 형광체 페이스트가 벗겨진다. 벗겨진 형광체 페이스트는, 배출구(906)로부터 이것과 접속되어 있는 튜브(907)를 개재하여 도시하지 않는 폐액탱크로 안내된다. 중력만으로 폐액탱크까지 도달하지 않는 때에는, 진공펌프 등의 진공원을 사용하여 흡인하는 것이 바람직하다. 또한, 닦아내는 부재(903)는, 트레이(905)가 도9의 1번 오른쪽단으로 도달했을 때에, 구금(20)의 개구부보다 우측에 있고, 구금(20)로부터 토출된 형광체 페이스트가 걸려들지 않는 위치에 배치되어 있다. 또 트레이(905)는, 구금(20)로부터 토출되는 형광체 페이스트를 전부 회수할 수 있는 크기를 보유하고 있다.The cleaning device 901 is disposed at a position at which the member 903 wiping the discharge port surface 902 of the detention 20 contacts. The wiping member 903 has a shape that encloses the discharge spherical surface end portion, but may be a shape in which only the discharge spherical surface 902 contacts. The wiping member 903 is fixed to the bracket 904 attached to the tray 905 and moves in the width direction (Y axis direction) together with the tray 905. The phosphor paste adhering to the discharge port surface is peeled off by the wiping member 903 moving in the width direction in contact with the discharge port surface 902. The peeled phosphor paste is guided from the discharge port 906 to a waste liquid tank (not shown) via a tube 907 connected thereto. When gravity does not reach the waste tank only by gravity, it is preferable to draw using a vacuum source such as a vacuum pump. Further, the wiping member 903 is located on the right side of the opening of the cap 20 when the tray 905 reaches the right end of No. 1 in FIG. 9, and the phosphor paste discharged from the cap 20 is caught. It is placed in a position not to. The tray 905 has a size capable of recovering all of the phosphor paste discharged from the detention 20.

더욱이, 트레이(905)는, 승강부(908)에 연결되어 있다. 승강부(908)는, 가이드(909)에 따라서 도시하지 않는 에어실린더에 의하여 상하방향으로 이동유니트(910)상을 승강한다. 승강부(908)가 최하점에 있을 때, 닦아내는 부재(903)는 최하점에 있고, 구금(20)의 토출구면(902)과 일정거리 떨어져서 접촉하지 않는다. 승강부(908)는, 닦아내는 부재(903)가 구금(20)의 토출구면(902)과 접촉하는 곳까지 상승하도록 조정된다.Furthermore, the tray 905 is connected to the lifting unit 908. The lifting unit 908 moves up and down the moving unit 910 in an up and down direction by an air cylinder (not shown) along the guide 909. When the lifting portion 908 is at the lowest point, the wiping member 903 is at the lowest point and does not contact the discharge port surface 902 of the detention 20 at a predetermined distance. The lifting unit 908 is adjusted to ascend to the place where the wiping member 903 is in contact with the discharge port surface 902 of the cage 20.

이동유니트(910)은 가대(911)상의 도시하지 않는 가이드에 따라서, 보올나사(912)로 구동되어서 폭방향으로 이동한다. 보올나사(912)는, 도시하지 않는 서보모터에 연결되어 있고, 이 동작 제어에 의하여 임의의 동작을 시킬 수 있다.The moving unit 910 is driven by the bowl screw 912 and moves in the width direction according to a guide (not shown) on the mount 911. The bowl screw 912 is connected to a servomotor (not shown), and any operation can be performed by this operation control.

닦아내는 부재(903)의 재질은 어떠한 것이라도 좋지만, 구금의 토출구면을 상처입히지 않도록, 수지나 고무가 바람직하며, 그 중에서 형광체 페이스트에 대한 내약품성을 고려하여 선정하면 좋다.The material of the wiping member 903 may be any material, but a resin or rubber is preferable so as not to damage the discharge port surface of the detention, and may be selected in consideration of chemical resistance to the phosphor paste.

이 닦아내는 장치(901)를 사용한 도포시퀀스는 다음과 같이 된다. 우선, 닦아내는 부재(903)를 최하점에 둔상태에서, 트레이(905)를 구금(20)의 밑으로 이동시켜, 형광체 페이스트공급장치를 동작시켜서 형광체 페이스트를 구금(20)로부터 토출하여 블리드를 실시한다. 블리드가 종료된 후, 승강부(908)를 상승하여 닦아내는 부재(903)를 구금(20)의 토출구면(902)과 접촉시킨다. 다음에, 도시하지 않는 서보모터를 구동하여, 닦아내는 부재(903)를 폭방향으로 도 8의 좌측으로 이동시켜, 토출구면(902)에 부착하고 있는 형광체 페이스트를 닦아내어서 제거한다. 다음에, 구금(20)를 소정의 위치로 이동시켜, 격벽간으로의 형광체 페이스트의 도포를 실시한다.The application sequence using this wiping device 901 is as follows. First, while the wiping member 903 is placed at the lowest point, the tray 905 is moved below the cap 20, and the phosphor paste supplying device is operated to discharge the phosphor paste from the cap 20 to bleed. do. After the bleed is finished, the member 903 that lifts and wipes the lifting unit 908 is brought into contact with the discharge port surface 902 of the cage 20. Next, a servomotor (not shown) is driven to move the wiping member 903 to the left side in FIG. 8 in the width direction to wipe off the phosphor paste attached to the discharge port surface 902. Next, the detention 20 is moved to a predetermined position, and the phosphor paste is applied to the partition walls.

이하에서, 1회의 격벽간으로의 형광체 페이스트의 도포가 종료할때마다, 상기의 닦아내는 동작을 실시하여도 좋고, 수회의 도포작업 후에 닦아내는 동작을 실시하여도 좋다. 어떠한 타이밍에서 닦아내는 동작을 실시하는 지는, 토출구면(902)으로의 형광체 페이스트의 부착정도에 의존한다.In the following, each time the application of the phosphor paste to the partition walls is completed, the above wiping operation may be performed or the wiping operation may be performed after several application operations. The timing at which the wiping operation is performed depends on the degree of adhesion of the phosphor paste to the discharge port surface 902.

이 닦아내는 동작에 의하여, 구금의 토출구면이 항상 청정화된 상태에서 도포작업을 실시할 수 있으므로, 기판의 격벽상단부에 남은 형광체 페이스트가 부착하거나, 도포해야할 격벽간의 이웃의 격벽간에 형광체 페이스트가 도포되거나 하는 등의 불편함을 방지할 수 있고, 균일하고 안정된 격벽 사이로의 형광체 페이스트도포를 실시할 수 있다.This wiping operation enables the coating operation to be carried out in a state where the discharge port surface of the detention is always clean, so that the phosphor paste remaining on the upper partition wall of the substrate is attached, or the phosphor paste is applied between neighboring partition walls between the partition walls to be applied. It is possible to prevent discomfort, such as, and to apply phosphor paste between uniform and stable partition walls.

또, 격벽의 상단부에 형광체 페이스트가 부착된 경우 등, 소정의 도포위치이외의 형광체 페이스트를 제거하는 수단을 설치하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to provide means for removing the phosphor paste other than the predetermined coating position, such as when the phosphor paste is attached to the upper end of the partition.

형광체 페이스트를 제거하는 수단으로서는, 주걱에 의한 긁어냄과 점착체를 격벽상단부와 접촉시켜서 제거하거나, 혹은 공기노즐에 의하여 압축공기를 불어넣어서 제거하는 수단이 있다. 점착체의 재질로서는, 상술한 특성을 보유하는 것이라면 특히 한정하는 것은 아니지만, 예컨대, 폴리우레탄고무, 폴리에틸렌고무, 실리콘고무 및 이들의 겔체를 열거할 수 있다.As a means for removing the phosphor paste, there are means for scraping off with a spatula and removing the adhesive by contacting the upper end of the partition wall, or by blowing compressed air with an air nozzle. The material of the pressure-sensitive adhesive is not particularly limited as long as it possesses the above-described characteristics, but examples thereof include polyurethane rubber, polyethylene rubber, silicone rubber, and gels thereof.

상기한 점성물질로 구성된 점착체의 구성은 특히 한정되는 것은 아니지만, 바람직하게는 기판의 표면에 대하여 접촉하게 되는 형상인 벨트 혹은 로울러로 하는 것이 좋다. 벨트는, 송출로울과 권취로울사이에서 회전하면서, 반송중의 가판과 접촉하면 좋다. 그 접촉에 의하여, 기판의 격벽의 정상부에 놓은 형광체 페이스트를 점착하고, 제거할 수 있다.Although the structure of the adhesive body which consists of said viscous material is not specifically limited, Preferably, it is good to set it as the belt or roller which is a shape which comes into contact with the surface of a board | substrate. The belt may be in contact with the substrate being conveyed while rotating between the feeding roll and the winding roll. By the contact, the phosphor paste placed on the top of the partition wall of the substrate can be adhered and removed.

본 발명자 등은 상기 결점이 없는 플라즈마 디스플레이의 제조수단에 대하여 예의 검토한 결과, 하기의 본 발명에 도달하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM The present inventors reached | attained the following this invention as a result of earnestly examining about the manufacturing means of the plasma display without the said fault.

본 발명의 목적은 형광체층을 고정밀한 격벽간에 고정밀도, 또항 간편하게 형성할 수 있는 플라즈마 디스플레이의 제조방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a plasma display which can form a phosphor layer between high precision partition walls easily and with high accuracy.

본 발명의 다른 목적은 상기의 고품질인 플라즈마 디스플레이를 연속적으로 높은 생산성 레벨로 생산하기 위한 제조장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus for continuously producing the high quality plasma display at a high productivity level.

본 발명의 또 다른 목적은 이하의 설명에서 명백하게 될 것이다.Still other objects of the present invention will become apparent from the following description.

본 발명의 이들의 목적은 하기의 구성을 가지는 플라즈마 디스플레이의 제조방법과 제조장치에 의하여 공업적으로 유리하게 달성되었다.These objects of the present invention have been industrially advantageously achieved by a method and apparatus for manufacturing a plasma display having the following constitution.

본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조방법은 복수의 격벽을 형성한 기판상에, 형광체분말과 유기화합물을 함유하는 형광체 페이스트를 복수의 토출구를 가지는 구금(口金, paste applicator)으로부터 연속적으로 토출하며 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 한다. 또, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조방법은 복수의 격벽을 형성한 기판상에, 적색, 녹색, 청색으로 발광하는 형광체분말을 각각 포함하는 3종류의 형광체 페이스트를, 토출구를 가지는 구금으로부터 기판상의 격벽간에 스트라이프 형상으로 각각 도포한 후, 가열하는 것에 의하여 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 제조방법이다.In the method of manufacturing a plasma display according to the present invention, a phosphor paste containing a phosphor powder and an organic compound is continuously discharged from a paste applicator having a plurality of discharge ports on a substrate on which a plurality of partition walls are formed, and a phosphor layer is formed. It is characterized by forming. In the method of manufacturing a plasma display of the present invention, three kinds of phosphor pastes each containing phosphor powders emitting red, green, and blue light are formed on a substrate on which a plurality of partitions are formed, and a partition on a substrate is formed from a mold having a discharge port. It is a manufacturing method characterized by forming a fluorescent substance layer by apply | coating each in stripe shape in between, and heating.

또한 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조방법은 다음의 바람직한 실시형태를 포함하고 있다.Moreover, the manufacturing method of the plasma display of this invention contains the following preferable embodiment.

(1) 격벽간격(S)과 토출구의 평균구멍 지름(D)이, 하기 식의 조건을 충족하는 것,(1) The partition gap (S) and the average hole diameter (D) of the discharge port satisfy the conditions of the following formula,

10㎛≤D≤S≤500㎛,10 μm ≦ D ≦ S ≦ 500 μm,

(2) 토출구가 평판, 노즐 또는 니들인 것,(2) the discharge port is a flat plate, a nozzle or a needle,

(3) 20∼2,000개, 보다 바람직하게는 150∼2,000개의 토출구를 가지는 구금을 사용하는 것,(3) using a mold having 20 to 2,000 discharge holes, more preferably 150 to 2,000 discharge holes,

(4) 토출구수가 16n±5(n는 자연수)의 범위인 구금을 사용하는 것,(4) The use of detention whose discharge port is in the range of 16n ± 5 (n is a natural number),

(5) 토출구의 피치가, 0.12∼3㎜인 구금을 사용하는 것,(5) the pitch of the discharge port is used in the mold of 0.12 ~ 3mm,

(6) 토출구의 피치가, 격벽피치의 3m배(m는 1∼10의 정수)인 구금을 사용한는 것,(6) The pitch of the discharge port is to use a detention which is 3m times the partition pitch (m is an integer of 1 to 10),

(7) 토출구의 길이(L)와 토출구의 평균구멍 지름(D)이, 하기 식을 충족하는 구금을 사용하는 것,(7) The use of the mold in which the length L of the discharge port and the average hole diameter D of the discharge port satisfy the following formula,

L/D=1.0∼600,L / D = 1.0 to 600,

(8) 토출구의 평균구멍 지름(D)이, 60∼400㎛의 구금에 의하여 도포하는 것,(8) coating the average hole diameter (D) of the discharge port by means of a detention of 60 to 400 mu m,

(9) 유리기판상에 형성된 격벽의 상단부로부터 구금의 토출구선단부의 간격이 0.01∼2㎜의 상태로 형광체 페이스트를 도포하는 것,(9) Applying a phosphor paste in a state where the interval between the discharge port end portions of the detention portion from the upper end of the partition formed on the glass substrate is 0.01 to 2 mm;

(10) 하나의 구금으로부터 다른색으로 발색하는 형광체를 함유하는 페이스트를 토출하고, 또한 그 다른색의 형광체 페이스트를 토출하는 토출구의 최단간격이 600㎛ 이상인 것,(10) The shortest interval between the discharge ports for discharging the paste containing phosphors of different colors from one mold and discharging the phosphor pastes of other colors is 600 µm or more;

(11) 독립한 2기이상의 구금으로부터 동시에 도포하는 것, 그리고 2기이상의 구금을 같은 속도로 주행시켜서 도포하는 것,(11) applying at the same time from two or more independent detentions, and applying two or more detentions at the same speed;

(12) 1색마다에 도포하여, 1색 도포할 때마다 건조공정을 거치는 것,(12) Apply to every one color and go through drying process every time one color is applied

(13) 구금과 기판을 그 유리기판상의 격벽에 대하여 평행하게 상대이동시키는 것,(13) relative movement of the detention and the substrate relative to the partition on the glass substrate,

(14) 형광체 페이스트의 토출을 멈출 때에, 구금내부를 부압의 상태로 하는 것,(14) When the discharge of the phosphor paste is stopped, the inside of the detention is brought to a negative pressure state,

(15) 구금과 기판의 그 기판상의 격벽에 대하여 평행으로 상대이동을 개시한 이후에 형광체 페이스트 토출을 개시하고, 또한 상기 상대 이동 종료 이전에 토출을 멈추는 것,(15) starting discharge of the phosphor paste after initiating relative movement in parallel to the partition on the substrate of the detention and the substrate, and stopping the discharge before the relative movement ends;

(16) 형과체분말로서, 50중량% 입자지름이 0.5∼10㎛, 비표면적 0.1∼2㎡/g인 형광체분말을 사용하는 것,(16) A mold powder having a 50 wt% particle diameter of 0.5 to 10 µm and a phosphor powder having a specific surface area of 0.1 to 2 m 2 / g,

(17) 형광체분말 30∼60중량%, 바인더수지 5∼20중량% 및 용매로 구성되고, 또한, 형광체분말과 바인더수지와의 중량비가 6:1∼3:1인 형광체 페이스트를 사용하는 것,(17) A phosphor paste composed of 30 to 60 wt% of a phosphor powder, 5 to 20 wt% of a binder resin and a solvent, and having a weight ratio of the phosphor powder to the binder resin of 6: 1 to 3: 1,

(18) 바인더수지가 셀룰로오스 화합물인 것,(18) the binder resin is a cellulose compound,

(19) 용매가, 테르피네올을 포함하는 용매인 것,(19) The solvent is a solvent containing terpineol,

(20) 적색, 녹색, 청색으로 발광하는 형광체분말을 각각 포함하는 3종류의 형광체 페이스트를, 유리기판상의 격벽간에 각각 도포하는 것에 의하여 형광면을 형성하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법으로서, 소정의 도포위치 이외에 존재하는 형광체를, 점착체에 부착시키는 것에 의해 제거하는 것,(20) A method of manufacturing a plasma display in which a fluorescent surface is formed by applying three kinds of phosphor pastes each containing phosphor powders emitting red, green, and blue light, respectively, between partition walls on a glass substrate, except for a predetermined application position. Removing the existing phosphor by attaching it to the adhesive;

(21) 격벽의 상단부에 위치하는 형광체를, 점착체에 부착시키는 것에 의해 제거하는 것,(21) Removing the fluorescent substance located in the upper end part of a partition by attaching to an adhesive,

(22) 격벽높이 H㎛, 격벽피치 P㎛, 격벽선폭 W㎛, 형광체 페이스트중에 함유되는 형광체분말의 비율a(vo1%)의 사이에 하기의 관계가 성립하는 형광체 페이스트를 사용하는 것,(22) Use of a phosphor paste having the following relationship holds between the partition height H mu m, the barrier pitch P mu m, the partition line width W mu m, and the ratio a (vo1%) of the phosphor powder contained in the phosphor paste;

(2H+P-W)×5≤H×(P-W)×a/100≤(2H+P-W)×30(2H + P-W) × 5≤H × (P-W) × a / 100≤ (2H + P-W) × 30

(23) 형광체 페이스트로서, 점도가 2∼50㎩·S의 페이스트를 사용하는 것,(23) using a paste having a viscosity of 2 to 50 Pa · S as the phosphor paste;

(24) 형광체 페이스트가 감광성 형광체 페이스트인 것,(24) the phosphor paste is a photosensitive phosphor paste,

(25) 감광성 형광체 페이스트로서, 하기 조성의 페이스트를 사용하는 것,(25) using a paste of the following composition as the photosensitive phosphor paste,

유기성분: 15∼60중량부Organic Ingredients: 15-60 parts by weight

형광체분말: 40∼85중량부Phosphor Powder: 40 to 85 parts by weight

용매: 10∼50중량부Solvent: 10-50 parts by weight

(26) 격벽층이 하기의 디멘션을 가지는 스트라이프형상인 것,(26) The partition layer has a stripe shape having the following dimensions,

피치: 100∼250㎛Pitch: 100-250 μm

선폭: 15∼40㎛Line width: 15-40㎛

높이: 60∼170㎛Height: 60 ~ 170㎛

(27) 격벽의 상면이 흑색인 것,(27) The upper surface of the bulkhead is black,

(28) 형광체층의 격벽높이의 반분의 위치에서의 측면두께(T1)와 저부두께(T2)의 사이에서, 하기의 관계를 충족하는 것,(28) The following relationship is satisfied between the side thickness T1 and the bottom thickness T2 at the position of half the height of the partition wall of the phosphor layer,

10≤T1≤50㎛10≤T1≤50㎛

10≤T2≤50㎛10≤T2≤50㎛

0.2≤T1/T2≤50.2≤T1 / T2≤5

또, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 제조장치는, 표면에 복수의 격벽이 형성되어 있는 기판을 고정하는 테이블과, 상기 기판의 격벽과 대면하여 복수의 토출구를 가지는 구금과, 싱기 구금에 형광체 페이스트를 공급하는 공급수단과, 상기 테이불과 상기 구금을 3차원으로 상대이동시키는 이동수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the plasma display manufacturing apparatus of the present invention provides a table for fixing a substrate having a plurality of partition walls formed thereon, a cap having a plurality of discharge ports facing the partition walls of the substrate, and supplying a phosphor paste to the thin metal mold. And supply means and a moving means for relatively moving the table and the detention in three dimensions.

본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조장치에 있어서는, 다음의 바람직한 실시형태를 포함하고 있다.The apparatus for manufacturing a plasma display of the present invention includes the following preferred embodiments.

(29) 상기 구금의 토출구의 평균구멍 지름(D)이, 격벽간격(S)에 대하여 이하의 조건을 충족하고 있는 것,(29) The average hole diameter (D) of the discharge port of the said mold | membrane satisfy | fills the following conditions with respect to the partition space | interval S,

10㎛≤D≤S≤500㎛10 μm ≦ D ≦ S ≦ 500 μm

(30) 상기 구금의 토출구의 형상이 원형이 아니고, 또한 격벽과 직교하는 개구길이(B)가, 격벽간격(S)에 대하여 하기의 조건을 충족하는 것,(30) The shape of the discharge port of the detention is not circular, and the opening length B orthogonal to the partition wall satisfies the following conditions with respect to the partition wall spacing S;

10㎛≤B≤S≤500㎛10 μm ≦ B ≦ S ≦ 500 μm

(31) 상기 구금의 토출구의 피치가, 격벽피치의 3m배(m은 1∼10의 정수인 것,(31) The pitch of the discharge port of the said detention is 3m times the partition pitch (m is an integer of 1-10,

(32) 상기 구금의 토출구가 동일면상에 있는 것,(32) the outlets of the detention are on the same plane,

(33) 상기 구금의 토출구를 동일 형상의 파이프를 배치하여 구성한 것,(33) The discharge port of the said cage is comprised by arrange | positioning the pipe of the same shape,

(34) 상기 구금의 토출구수가 20∼2000개인 것,(34) The discharge port of the said detention is 20-2000,

(35) 상기 구금의 토출구수가 16n±5(n는 자연수)의 범위인 것,(35) the number of discharge ports of the detention is in the range of 16n ± 5 (n is a natural number),

(36) 상기 구금의 토출구의 피치가 0.12∼3㎜인 것,(36) The pitch of the discharge port of the said mold is 0.12-3 mm,

(37) 상기 구금의 토출구의 평균공경(D)과 토출구의 길이(L)가 하기식을 충족하는 것,(37) The average pore diameter D and the length L of the discharge port of the detention satisfies the following formula,

L/D=0.1∼600L / D = 0.1 to 600

(38) 상기 구금의 토출구의 평균공경이 60∼400㎛인 것,(38) The average pore size of the discharge port of the cap is 60 to 400 µm,

(39) 상기 구금의 토출구의 중심이 각각의 격벽간의 위에 있도록 배치된 것,(39) Arranged so that the center of the discharge port of the detention is above each partition wall,

(40) 상기 구금의 토출구면 및/또는 토출구 내벽에 불소계수지 피막이 코팅되어 있는 것,(40) The fluorine resin film is coated on the discharge port surface and / or the inner wall of the discharge port;

(41) 상기 구금의 토출구면 및/또는 토출구 내벽에, 비결정질의 탄소피막이 코팅되어 있는 것,(41) An amorphous carbon film is coated on the discharge port surface and / or the inner wall of the discharge port;

(42) 상기 구금은 복수의 형광체 페이스트저장부와, 상기 저장부에 형광체 페이스트를 공급하는 형광체 페이스트공급구와, 상기 저장부와 상기 토출구를 유체적으로 연결하는 통로부를 가지고, 더욱이, 상기 토출구는 그 저장부 보다도 수가 많고, 또한, 각각 상기 저장부에 대응하는 상기 토출구가 일정한 순번으로 주기적으로 대략 일직선상에 배열되어 있는 것,(42) The detention has a plurality of phosphor paste storage sections, a phosphor paste supply port for supplying a phosphor paste to the storage section, and a passage portion for fluidly connecting the storage section and the discharge port. More than the storage section, and the discharge ports corresponding to the storage section are arranged in a substantially straight line periodically in a certain order,

(43) 2기 이상의 구금을 배치한 것,(43) Having placed two or more detentions,

(44) 복수의 다른 종류의 형광체 페이스트에 대응하여, 복수의 구금과, 각각의 구금에 대응하여 형광체 페이스트를 공급하는 복수의 형광체 페이스트공급장치를 가지며, 기판의 격벽간에 복수종류의 형광체 페이스트를 동시에 도포하도록한 것,(44) A plurality of phosphor pastes and a plurality of phosphor paste supplying apparatuses for supplying phosphor pastes corresponding to each of the molds are provided in response to a plurality of different kinds of phosphor pastes, and a plurality of phosphor pastes are simultaneously placed between the partition walls of the substrate. To be applied,

(45) 상기 구금내의 압력을 대기압부터 부압까지 임의로 설정할 수 있는 압력조정수단과, 압력조정의 타이밍을 제어하는 제어수단을 가지는 것,(45) having pressure adjusting means for arbitrarily setting the pressure in the detention from atmospheric pressure to negative pressure, and controlling means for controlling timing of pressure adjusting,

(46) 상기 구금이 토출구의 위치를 검지하는 검지수단과, 기판의 격벽 또는 격벽간의 위치를 검지하는 검지수단과, 기판상의 격벽의 상단부의 위치를 검지하는 검지수단과, 구금의 토출구선단부의 위치를 검지하는 검지수단과, 상기 구금의 토출구에 대한 기판의 상대위치에 따라서 형광체 페이스트의 토출개시 및 종료의 실행을 제어하는 제어수단을 설치한 것,(46) detecting means for detecting the position of the discharge port of the cap, detecting means for detecting the position of the partition wall or partition walls of the substrate, detecting means for detecting the position of the upper end portion of the partition wall on the substrate, and position of the discharge port end portion of the cap A detecting means for detecting the discharge and control means for controlling the execution of the discharge start and end of the phosphor paste in accordance with the relative position of the substrate with respect to the discharge port of the cap;

(47), 상기 구금의 경도(기울기도)를 기판의 격벽 상단부에 대하여 조정하는 조정수단과, 상기 구금의 토출구선단부를 기판의 격벽 상단부에 대하여 대략 평행으로 소정 간격을 두고 설치시키는 제어수단을 가지는 것,(47), an adjusting means for adjusting the hardness (degree) of the cap with respect to the upper end of the partition wall, and a control means for providing the discharge port leading end of the cap with a predetermined interval approximately parallel to the upper end of the partition wall of the substrate. that,

(48) 상기 구금으로부터 기판상에 토출된 형광체 페이스트의 기판내에서의 위치를 검출하는 검출수단을 설치한 것,(48) providing detection means for detecting a position in the substrate of the phosphor paste discharged onto the substrate from the detention,

(49) 기판상의 격벽 또는 기판간의 수를 검지하는 검지수단과, 검지한 격벽수 또는 격벽간수로부터 도포할 격벽간을 인지하는 인지수단을 설치한 것,(49) Detecting means for detecting the number of partitions on the substrate or between the substrates and recognition means for recognizing between the partitions to be applied from the number of detected partitions or the number of partition walls,

(50) 기판상에 설치된 원점마크를 검지하는 원점마크검지수단과, 검지한 원점마크를 기준으로, 구금의 토출구가 형광체 페이스트를 도포할 격벽간의 위에 있도록, 상기 구금과 격벽을 상대적으로 이동시키는 이동수단 및 제어수단을 설치한 것,(50) A movement for moving the detention and the partition wall relatively so that the origin mark detection means for detecting the origin mark provided on the substrate and the discharge port of the detention is above the partition wall on which the phosphor paste is to be applied, based on the detected origin mark. Installing means and control means,

(51) 상기 구금의 토출구면을 청정화하는 수단을 설치한 것,(51) Provided with means for cleaning the discharge port surface of the detention,

(52) 기판의 소정의 도포위치 이외에 존재하는 형광체 페이스트를 제거하는 수단을 설치한 것,(52) Means provided for removing the phosphor paste existing outside the predetermined coating position of the substrate,

(53) 표면에 격벽이 형성되고 있는 기판을 고정하는 테이불과, 기판의 격벽과 대면하여 복수의 토출구를 가지는 구금과, 상기 구금에 형광체 페이스트를 공급하는 공급수단과, 상기 테이불과 상기 구금을 3차원적으로 상대이동시키는 이동수단을 구비한 도포장치를 3종류의 형광체 페이스트에 대응하여 3대직렬로 배치한 것,(53) a table fixing a substrate on which a partition is formed on a surface thereof, a cap having a plurality of discharge ports facing the partition wall of the substrate, supply means for supplying a phosphor paste to the cap, and the table and the cap Arranged in three series in correspondence with three kinds of phosphor pastes, each having an application means for moving relative in dimensions

아래에서, 본 발명을 실시예를 사용하여 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들의 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 실시예, 비교예중의 농도(%)는 특별하게 언급하지 않는 한 중량%이다. 또, 형성된 형광체층의 평가는, 아래의 7항목에서 실시되었다.In the following, the present invention will be described in detail using Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In addition, the density | concentration (%) in an Example and a comparative example is weight% unless there is particular notice. In addition, evaluation of the formed phosphor layer was performed by the following seven items.

·토출구에서의 페이스트토출성Paste discharge property at discharge port

·도포시간(형광체 페이스트도포에 소요된 합계시간(건조시간은 제외)· Coating time (Total time spent on phosphor paste coating (excluding drying time)

·측면두께(격벽높이중앙부에서의 면내 9개소의 평균두께)Side thickness (average thickness of 9 in-plane at the center of bulkhead height)

·저부두께(유전체층상에서의 면내 9개소의 평균두께)Bottom thickness (average of 9 in-plane thicknesses on the dielectric layer)

·두께의 분포(9개소 측정된 경우의 최대두께와 최저두께의 차)Thickness distribution (difference between maximum thickness and minimum thickness when 9 measurements are made)

·격벽상부로의 페이스트부착의 유무· Whether paste adheres to the upper part of bulkhead

·혼색(형성해야할 격벽간의 이웃의 격벽 사이로의 형광체 페이스트의 누출)Mixed color (leakage of phosphor paste between neighboring partitions between partitions to be formed)

(실시예1)Example 1

폭 340㎜×앞쪽에서 뒤끝까지의 거리 440㎜×두께 2.8㎜의 소다글라스기판상의 전면에, 감광성은 페이스트를 5㎛의 두께로 스크리인인쇄한 후, 포토마스크를 사용하여 노광되고, 현상 및 소성의 각 공정을 거쳐서, 피치 220㎛의 스트라이프형상인 1920개의 은전극을 형성하였다. 그 전극상에, 글라스와 바인더로된 글라스페이스트를 스크리인 인쇄한 후에, 소성하여 유전체층을 형성하였다. 다음에, 글라스분말과 감광성유기성분으로된 감광성글라스페이스트를, 두께 200㎛로 되도록 스크리인인쇄하여 건조되었다. 계속하여, 서로 이웃하는 전극간에 격벽이 형성되도록 설계된 포토마스크를 사용하여 노광되고, 현상과 소성을 실시하여 형성하였다. 격벽의 형상은 피치 220㎛, 선폭 30㎛, 높이 130㎛이고, 격벽개수는 1921개 였다.Photosensitive to the entire surface on a soda glass substrate of width 340 mm x front to back end 440 mm x thickness 2.8 mm, after screen printing the paste to a thickness of 5 m, exposed using a photomask, developing and firing Through each step of, 1920 silver electrodes having a stripe shape with a pitch of 220 μm were formed. On the electrodes, glass paste made of glass and a binder was printed on screen, and then fired to form a dielectric layer. Next, the photosensitive glass space containing the glass powder and the photosensitive organic component was screen printed to a thickness of 200 µm and dried. Subsequently, it exposed using the photomask designed so that a partition might be formed between neighboring electrodes, and formed by developing and baking. The partitions had a pitch of 220 µm, a line width of 30 µm, and a height of 130 µm, and the number of partitions was 1921.

이와 같이하여 격벽을 형성한 글라스기판에, 도 3에 표시된 장치를 사용하여, 다음 조성의 형광체 페이스트를 도포하였다.Thus, the fluorescent substance paste of the following composition was apply | coated to the glass substrate in which the partition was formed, using the apparatus shown in FIG.

형광체 페이스트: 다음의 형광체분말각 40g을 에틸셀룰로오스 10g, 테르피네오올 10g, 및 벤질알코올 40g과 혼합한 후, 세라믹스제의 3본로울러로 혼련하여, RGB각색의 형광체 페이스트를 제작하였다.Phosphor paste: 40 g of the following phosphor powder angles were mixed with 10 g of ethyl cellulose, 10 g of terpineool, and 40 g of benzyl alcohol, and then kneaded with a three-roller made of ceramics to prepare a phosphor-colored phosphor paste.

형광체분말:Phosphor Powder:

적색: (Y,Gd,Eu)BO3 Red: (Y, Gd, Eu) BO 3

50체적% 입자지름 2.5㎛, 비표면적 2.3㎡/g50 volume% particle diameter 2.5㎛, specific surface area 2.3㎡ / g

녹색: (Zn,Mn)2SiO4 Green: (Zn, Mn) 2 SiO 4

50체적% 입자지름 2.9㎛, 비표면적 1.8㎡/g50% by volume Particle diameter 2.9µm, specific surface area 1.8㎡ / g

청색: (Ba,Eu)MgAl10O17 Blue: (Ba, Eu) MgAl 10 O 17

50체적% 입자지름 3.1㎛, 비표면적 2.5㎡/g50% by volume Particle diameter 3.1㎛, specific surface area 2.5㎡ / g

얻어진 형광체 페이스트의 점도는, 각각, 적색 14㎩·S, 녹색 18㎩·S, 청색 15㎩·S 였다.The viscosity of the obtained fluorescent substance paste was red 14 Pa.S, green 18 Pa.S, and blue 15 Pa.S, respectively.

형광체 페이스트의 도포에 사용된 구금는, 토출구의 평균구멍지름 150㎛의 구멍을 피치간격 660㎛에서 64개 형성된 구금이고, 토출구의 길이는 2㎜의 구금을 1기 사용하였다.The mold used for the application of the phosphor paste was formed of 64 holes having an average hole diameter of 150 µm at a pitch interval of 660 µm, and one nozzle having a length of 2 mm was used.

상기한 적색형광체 페이스트와 구금을 사용하여, 글라스기판상에 형성된 격벽의 상단부로부터 구금의 토출구선단부의 간격을 0.1㎜로 유지한 상태에서, 도포를 실시하였다. 도포는, 형광체 페이스트를 충전된 구금에 압력을 가하여 연속적으로 토출을 실시하고, 구금을 격벽에 평행하게 되도록 50㎜/sec의 속도로 이동하면서 실시하였다.Using the above-mentioned red phosphor paste and the metal mold | die, application | coating was performed in the state which maintained the space | interval of the discharge port tip part of a metal mold | die from the upper end of the partition formed on the glass substrate at 0.1 mm. Application | coating was performed continuously by applying pressure to the mold which filled the fluorescent paste, and discharging it at the speed of 50 mm / sec so that it may become parallel to a partition.

도포개시이후에 적, 청 2.6㎏/㎠, 녹 3㎏/㎠의 압력을 가한 후, 구금이 기판의 단부까지 전진한 시점에서 도포를 정지하지만, 격벽단부에 도달하는 0.1초전에 부압을 작용시켜 구금 내를 감압하였다. 다음에, 구금을 격벽의 수직방향으로 42.24㎜ 이동시켜서, 형광체 페이스트를 도포하였다. 10회의 도포를 실시하므로서, 서로 이웃하는 격벽간에 2개 간격으로 되도록 640개의 도포를 실시하였다. 다음에, 80℃에서 15분 건조한 후에, 마찬가지로하여, 적색형광체 페이스트를 도포한 우측으로된 격벽사이로, 녹색형광체를 도포하고, 좌측으로된 격벽사이로 청색형광체를 도포하였다.After application of red, blue 2.6 kg / cm 2 and green 3 kg / cm 2, the application is stopped at the time when the detention is advanced to the end of the substrate, but the negative pressure is applied 0.1 seconds before reaching the end of the partition wall. The detention was depressurized. Next, the detention was moved 42.24 mm in the vertical direction of the partition to apply the phosphor paste. By applying the coating 10 times, 640 coatings were applied so as to have two spaces between adjacent partitions. Next, after 15 minutes of drying at 80 ° C, the green phosphor was applied between the partitions on the right side where the red phosphor paste was applied, and the blue phosphor was applied between the partitions on the left side.

RGB의 형광체 페이스트를 도포한 기판을 460℃에서 15분 소성한 후, 평가를 실시하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.Evaluation was performed after baking the board | substrate which apply | coated the RGB fluorescent substance paste at 460 degreeC for 15 minutes. The evaluation results are shown in Table 1.

(실시예2)Example 2

구금의 수를 1기에서 2기로 변경하여, 각각의 구금을 50㎜/sec로 이동하여 도포된 이외는, 실시예1과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.The phosphor layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the number of detentions was changed from one to two groups, and each of the detentions was moved at 50 mm / sec and applied. The evaluation results are shown in Table 1.

(실시예3)Example 3

구금의 수를 1기에서 3기로 변경하여, 각각의 구금에 RGB각색의 형광체 페이스트를 충전하여, 토출하므로서 도포된 이외는, 실시예1과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.The phosphor layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the number of detentions was changed from one to three groups, and each of the detentions was applied by filling and discharging the phosphor paste of RGB color. The evaluation results are shown in Table 1.

(실시예4)Example 4

토출구의 수를 64개에서 640개로 변경하고, 1색의 형광체 페이스트의 도포를 1회의 구금이동으로 도포를 완료한 이외는, 실시예1과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.The phosphor layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the number of discharge ports was changed from 64 to 640, and the application of the phosphor paste of one color was completed by one detention movement. The evaluation results are shown in Table 1.

(실시예5)Example 5

전극피치를 120㎛로, 격벽피치 120㎛, 선폭 30㎛, 높이 90㎛로 변경한 기판을 사용하여, 토출구를 구멍지름 75㎛, 피치 720㎛로하여 1회도포를 실시한 후, 구금을 0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜ 이동하여, 합계 10회의 도포를 실시한 이외는, 실시예1과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다. 평과결과를 표1에 표시한다.Using a substrate with an electrode pitch of 120 μm, a barrier pitch of 120 μm, a line width of 30 μm, and a height of 90 μm, the discharge port was once coated with a hole diameter of 75 μm and a pitch of 720 μm. A fluorescent substance layer was formed like Example 1 except having moved -46.08 mm-0.36 mm-46.08 mm-0.36 mm-46.08 mm-0.36 mm-46.08 mm-0.36 mm, and apply | coated ten times in total. Results of the evaluation are shown in Table 1.

(실시예6)Example 6

전극피치를 120㎛로, 격벽피치 120㎛, 선폭 30㎛, 높이 90㎛로 변경된 기판을 사용하여, 토출구를 구멍지름 150㎛, 피치 720㎛로하여 1회도포를 실시한 후, 구금의 이동량 0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜-46.08㎜-0.36㎜ 구금을 이동하여, 합계 10회의 도포를 실시한 이외는, 실시예1과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다. 더욱이, 형광체층을 소성한 후에, 폭 500㎜, 250㎜ 지름의 점착로울러를 사용하여, 격벽상부전체가 로울러에 접촉하도록 로울러를 운전시켰다. 평가결과를 표1에 표시한다.Using a substrate with an electrode pitch of 120 µm, a barrier pitch of 120 µm, a line width of 30 µm, and a height of 90 µm, the discharge port was coated with a hole diameter of 150 µm and a pitch of 720 µm. A phosphor layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the detention was moved to apply a total of 10 times of -46.08 mm-0.36 mm-46.08 mm-0.36 mm-46.08 mm-0.36 mm-46.08 mm-0.36 mm. Furthermore, after firing the phosphor layer, the rollers were operated so that the entire upper partition wall contacted the rollers using an adhesive roller having a width of 500 mm and a 250 mm diameter. The evaluation results are shown in Table 1.

(실시예7)Example 7

형광체 페이스트를 이하에서 조성한 페이스트로 변경된 이외는, 실시예5와 마찬가지로하여 형광체 페이스트를 도포하고, 그 후에, 피치120㎛, 개구부선폭 80㎛, 선수 1920개의 포토마스크를 사용하여 노광을 실시하였다. 다음에, 트리에타놀아민 0.5중량%수용액에서 현상된 후에 소성하여, 형광체층을 형성하였다. 평과결과를 표1에 표시한다.The phosphor paste was applied in the same manner as in Example 5 except that the phosphor paste was changed to the paste prepared in the following. Then, exposure was performed using a photomask of pitch 120 mu m, opening line width 80 mu m, and 1920 pixels. Next, after developing in 0.5 weight% aqueous solution of triethanolamine, it baked and formed the phosphor layer. Results of the evaluation are shown in Table 1.

형광체 페이스트: 다음의 형광체분말 각 50g을 바인더(메타크릴산이소부틸아크릴산의 1:1공중합체, 중량평균분자량 2.4만) 20g, 감광성모노머(트리메틸롤프로판트리아크릴레이트) 15g, 감마브티롤락톤 20g, 중합개시제(치바가이기사제이르가큐어 907) 3g을 혼합한 후에, 3본 로울러로 혼련하여 페이스트를 제작하였다.Phosphor paste: 20 g of each of the following phosphor powders is 20 g of a binder (1: 1 copolymer of isobutyl methacrylate, a weight average molecular weight of 2.40,000), 15 g of a photosensitive monomer (trimethylolpropane triacrylate), and 20 g of gamma tyrolactone. After mixing 3 g of a polymerization initiator (irgacure 907 manufactured by Chiba Chemical Co., Ltd.), a paste was prepared by kneading with three rollers.

형광체분말:Phosphor Powder:

적색: (Y,Gd,Eu)BO3 Red: (Y, Gd, Eu) BO 3

50체적% 입자지름 2.5㎛, 비표면적 2.3㎡/g50 volume% particle diameter 2.5㎛, specific surface area 2.3㎡ / g

녹색: (Zn,Mn)2SiO4 Green: (Zn, Mn) 2 SiO 4

50체적% 입자지름 2.9㎛, 비표면적 1.8㎡/g50% by volume Particle diameter 2.9µm, specific surface area 1.8㎡ / g

청색: (Ba,Eu)MgAl10O17 Blue: (Ba, Eu) MgAl 10 O 17

50체적% 입자지름 3.1㎛, 비표면적 2.5㎡/g50% by volume Particle diameter 3.1㎛, specific surface area 2.5㎡ / g

얻어진 형광체 페이스트의 점도는, 적 20㎩·S, 녹 32㎩·S, 청 19㎩·S 였다.The viscosity of the obtained phosphor paste was red 20 Pa.S, green 32 Pa.S, blue 19 Pa.S.

(실시예8)Example 8

실시예1의 형광체 페이스트의 조성을, 형광체분말 50g 및 바인더폴리머(40% 메타크릴산, 30% 메틸메타크릴레이트, 30% 스틸렌으로된 공중합체의 칼복실기에 대하여 0.4당량의 글리시딜메타크릴레이트를 부가반응시킨 중량평균 43,000, 산가 95의 감광성폴리머) 40g, 용매(γ-브티롤락톤) 30g과 분산제 4g로된 형광체 페이스트로 변경하였다. 유기성분의 각 성분을 80℃로 가열하면서 용해하고, 그후 형광체분말을 첨가하며, 혼련기로 혼련하므로서 페이스트를 제작하였다. 형광체 페이스트의 점도는, 적, 녹, 청 함께 0.05㎩·S 였다.The composition of the phosphor paste of Example 1 was 0.4 equivalent glycidyl methacrylate relative to the carboxyl group of the copolymer of phosphor powder 50 g and binder polymer (40% methacrylic acid, 30% methyl methacrylate, 30% styrene). Was changed to a phosphor paste composed of a weight average of 43,000, a photosensitive polymer having an acid value of 95), 30 g of a solvent (γ-butyrolactone), and 4 g of a dispersant. Each component of the organic component was dissolved while heating to 80 ° C., a phosphor powder was then added, and a paste was prepared by kneading with a kneader. The viscosity of the phosphor paste was 0.05 Pa.S with red, green, and blue.

또, 기판을 피치 150㎛, 높이 120㎛, 폭 30㎛의 격벽 2000개가 형성된 글라스기판으로 변환되고, 구금을 구멍지름 80㎛이 토출구 640개를 피치 450㎛로 형성된 구금으로 변환하여, 적색형광체 페이스트를 토출한 후, 도포면을 밑으로하여 80℃에서 60분건조하여, 다음에 녹색형광체 페이스트를 토출한 후, 도포면을 밑으로하여 80℃에서 60분건조하고, 더욱 청색형광체 페이스트를 토출한 후, 도포면을 밑으로하여 80℃에서 60분건조한 후, 500℃에서 30분 소성을 실시하였다. 기타의 조건은 실시예1과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.In addition, the substrate was converted into a glass substrate on which 2000 barrier ribs having a pitch of 150 µm, a height of 120 µm, and a width of 30 µm were formed, and a mold having a diameter of 80 µm was converted into a mold having a discharge hole of 640 discharge holes having a pitch of 450 µm. After discharging the powder, the coated surface is dried at 80 ° C. for 60 minutes, and then the green phosphor paste is discharged, and then the coated surface is dried at 80 ° C. for 60 minutes, and then the blue phosphor paste is discharged. It dried for 60 minutes at 80 degreeC with an applied surface underneath, and baked at 500 degreeC for 30 minutes. Other conditions were performed in the same manner as in Example 1 to form a phosphor layer. The evaluation results are shown in Table 1.

(실시예9)Example 9

형광체 페이스트의 조성을, 형광체분말 50g, 바인더폴리머 40g, 용매(γ-브티롤락톤) 30g과 분산제 4g로 된 형광체 페이스트로 변경하고, 형광체 페이스트의 점도를, 적, 녹, 청 함께 0.03㎩·S로 한 이외는, 실시예8과 마찬가지로하여 형광체 페이스트를 제작하였다.The composition of the phosphor paste was changed to a phosphor paste consisting of 50 g of phosphor powder, 40 g of binder polymer, 30 g of solvent (γ-butyrolactone), and 4 g of a dispersant, and the viscosity of the phosphor paste was 0.03 Pa.S together with red, green, and blue. A phosphor paste was produced in the same manner as in Example 8 except for the above.

또, 기판을 피치 360㎛, 높이 140㎛, 폭 50㎛의 격벽 2000개가 형성된 글라스기판으로 변환하여, 구금을 구멍지름 100㎛의 토출구 1940개를 피치 360㎛로 형성하고, 적색형광체 페이스트, 청색형광체 페이스트, 녹색형광체 페이스트를 각각 동시에 토출하도록 설계된 구금으로 변환하여, 각색형광체를 토출한 후, 80℃에서 45분의 건조를 실시한 이외는 실시예8과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.In addition, the substrate was converted into a glass substrate on which 2000 barrier ribs having a pitch of 360 µm, a height of 140 µm, and a width of 50 µm were formed, and 1940 discharge holes having a hole diameter of 100 µm were formed at a pitch of 360 µm, and a red phosphor paste and a blue phosphor The phosphor layer was formed in the same manner as in Example 8 except that the paste and the green phosphor paste were converted into molds designed to simultaneously discharge each, and the respective phosphors were discharged, followed by drying at 80 ° C. for 45 minutes. The evaluation results are shown in Table 1.

(실시예10)Example 10

형광체 페이스트의 조성을, 형광체분말 50g, 바인더폴리머 20g, 트리메티로울프로판트리아크릴레이트 20g, 용매(γ-브티롤락톤) 30g과 분산제 4g, 광중합개시제("이르가큐어 907", 치바가이기사제)로 된 형광체 페이스트로 변경하고, 형광체 페이스트의 점도를, 적, 녹, 청 함께 0.03㎩·S로 한 이외는, 실시예8과 마찬가지로하여 형광체층을 형성하였다.The composition of the phosphor paste is 50g of a phosphor powder, 20g of a binder polymer, 20g of trimethoololpropane triacrylate, 30g of a solvent (γ-butyrolactone), a dispersant 4g, a photopolymerization initiator ("Irgacure 907", manufactured by Chiba Co., Ltd.). The phosphor layer was formed in the same manner as in Example 8 except that the phosphor paste was changed to 0.03 Pa · S in combination with red, green, and blue.

그 후에, 피치 120㎛, 개구부선폭 80㎛, 선수 1920개의 포토마스크를 사용하여 노광을 실시한 후에, 트리에타놀아민 0.5중량%수용액으로 현상된 후에 소성하여, 형광체층을 형성하였다.Thereafter, exposure was performed using a pitch of 120 mu m, an opening line width of 80 mu m, and a 1920 photomask, and then developed with 0.5 wt% aqueous triethanolamine solution, followed by baking to form a phosphor layer.

그 후에, 피치 150㎛, 개구부선폭 60㎛, 선수 1920개의 포토마스크를 사용하여 노광을 실시한 후에, 트리에타놀아민 0.5중량%수용액으로 현상된 후에 500℃에서 30분 소성하여, 형광체층을 형성하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.Thereafter, exposure was performed using a pitch of 150 mu m, an opening line width of 60 mu m, and 1920 photomasks, followed by development with a 0.5 wt% aqueous triethanolamine solution, followed by baking at 500 DEG C for 30 minutes to form a phosphor layer. The evaluation results are shown in Table 1.

(비교예1)(Comparative Example 1)

전극피치를 120㎛, 격벽피치 120㎛, 선폭 30㎛, 높이 90㎛로 변경된 기판상에, 피치 360㎛, 개구부 80㎛의 스크리인판을 사용하여, RGB의 각색형광체 페이스트를 스크리인 인쇄하였다. 다음에, 이 기판을 460℃에서 15분간 소성하여 형광체층을 형성하였다. 평가결과를 표1에 표시한다.Screen-printed RGB phosphorescent paste was screened on a substrate having an electrode pitch of 120 µm, a partition pitch of 120 µm, a line width of 30 µm, and a height of 90 µm using a screen panel of pitch 360 µm and opening 80 µm. . Next, the substrate was baked at 460 ° C. for 15 minutes to form a phosphor layer. The evaluation results are shown in Table 1.

형광체층의 평가결과Evaluation result of the phosphor layer 페이스트의 토출성Dischargeability of Paste 도포시간(초)Application time (seconds) 측면두께(㎛)Side thickness (㎛) 저부두께(㎛)Bottom thickness (㎛) 두께분포(㎛)Thickness distribution (㎛) 격벽상부로의 부착Attachment on top of bulkhead 혼 색Horn color 실시예1Example 1 양호Good 280280 1717 1919 33 radish radish 실시예2Example 2 양호Good 155155 1919 1919 44 radish radish 실시예3Example 3 양호Good 103103 2121 2020 33 radish radish 실시예4Example 4 양호Good 2424 2020 2020 33 radish radish 실시예5Example 5 양호Good 310310 1818 1616 00 radish radish 실시예6Example 6 양호Good 310310 1717 1717 1One radish radish 실시예7Example 7 양호Good 330330 1818 1818 33 radish radish 실시예8Example 8 양호Good 2424 2020 3030 44 radish radish 실시예9Example 9 양호Good 1010 1010 4040 44 radish radish 실시예10Example 10 양호Good 2424 2323 3030 66 radish radish 비교예1Comparative Example 1 5858 88 2727 88 U U

본 발명에 의하면, 고정밀한 격벽 사이로 고정밀도의 형광체층을 간편하게 형성할 수 있으므로, 고정밀한 플라즈마 디스플레이에 대응하는 형광체층을 구비한 응용전개가 넓은 고품질의 플라즈마 디스플레이가 얻어진다. 게다가, 이 플라즈마 디스플레이는, 연속적으로 높은 생산성 레벨에서 제조할 수 있으므로, 공업적으로도 유리하다.According to the present invention, since a high-precision phosphor layer can be easily formed between high-precision partitions, a high-quality plasma display having a wide range of developments having a phosphor layer corresponding to a high-precision plasma display can be obtained. In addition, this plasma display can be manufactured at a continuously high productivity level, which is also industrially advantageous.

본 발명에서 얻어지는 고정밀한 플라즈마 디스플레이는, 예컨대, 벽에 걸린텔레비젼이나 정보표시용 등의 디스플레이분야에 있어서 널리 사용된다.The high-precision plasma display obtained in the present invention is widely used in display fields such as TVs or information displays on walls, for example.

Claims (58)

복수의 격벽을 형성한 기판상에, 형광체분말과 유기화합물을 함유하는 형광체 페이스트를 복수의 토출구를 보유하는 구금(口金, paste applicator)으로부터 연속적으로 토출하여 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.On a substrate on which a plurality of barrier ribs are formed, a phosphor layer is formed by continuously discharging a phosphor paste containing a phosphor powder and an organic compound from a paste applicator having a plurality of discharge ports to form a phosphor layer. Manufacturing method. 복수의 격벽을 형성한 기판상에, 적색, 녹색, 청색으로 발광하는 형광체분말을 각각 함유하는 3종류의 형광체 페이스트를, 토출구를 보유하는 구금으로부터 기판상의 격벽간에 스트라이프형상으로 각각 도포된 후, 가열하므로서 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.Three types of phosphor pastes each containing phosphor powders emitting red, green, and blue light are applied onto the substrate on which the plurality of barrier ribs are formed, in a stripe shape between the barrier ribs on the substrate from the mold holding the discharge ports, and then heated. Thereby forming a phosphor layer. 제1항 또는 제2항에 있어서, 격벽간격(S)과 토출구의 평균구멍지름(D)이, 하기 식의 조건을 만족시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the partition gap (S) and the average hole diameter (D) of the discharge port satisfy conditions of the following formula. 10㎛≤D≤S≤500㎛10 μm ≦ D ≦ S ≦ 500 μm 제1항 또는 제2항에 있어서, 토출구가 평판, 노즐 또는 니들인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the discharge port is a flat plate, a nozzle, or a needle. 제1항 또는 제2항에 있어서, 20∼2000개의 토출구를 보유하는 구금을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein a detention holding 20 to 2000 discharge ports is used. 제5항에 있어서, 150∼2000개의 토출구를 보유하는 구금을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.6. A method of manufacturing a plasma display according to claim 5, wherein a cap having 150 to 2000 discharge ports is used. 제1항 또는 제2항에 있어서, 토출구수가, 16n±5(n은 자연수)의 범위인 구금을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the number of discharge holes is in the range of 16 n ± 5 (n is a natural number). 제1항 또는 제2항에 있어서, 토출구의 피치가, 0.12∼3㎜인 구금을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the pitch of the discharge holes is 0.12 to 3 mm. 제1항 또는 제2항에 있어서, 토출구의 피치가, 격벽피치의 3m배(m은 1∼10의 정수)인 구금을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the pitch of the ejection openings is made of a detention portion 3m times the partition pitch (m is an integer of 1 to 10). 제1항 또는 제2항에 있어서, 토출구의 길이(L)와 토출구의 평균구멍지름(D)이, 하기 식을 만족시키는 구금을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the length L of the discharge port and the average hole diameter D of the discharge port are used to satisfy the following formula. L/D=0.1∼600L / D = 0.1 to 600 제1항 또는 제2항에 있어서, 토출구의 평균구멍지름(D)이, 60∼400㎛의 구금에 의하여 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the average hole diameter (D) of the discharge port is applied by a mold of 60 to 400 mu m. 제1항 또는 제2항에 있어서, 글라스기판상에 형성된 격벽의 상단부에서 구금의 토출구선단부의 간격이, 0.01∼2㎜의 상태에서 형광체 페이스트를 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the phosphor paste is applied in a state in which the interval between the discharge port end portions of the cap at the upper end of the partition formed on the glass substrate is 0.01 to 2 mm. 제1항 또는 제2항에 있어서, 1개의 구금으로부터 다른 색으로 발색하는 형광체를 함유하는 페이스트를 토출하고, 또한, 그 다른 색의 형광체 페이스트를 토출하는 토출구의 최단간격이 600㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The discharge gap for discharging a paste containing phosphors emitting colors of different colors from one mold and further discharging phosphor pastes of different colors is 600 µm or more. Method of manufacturing a plasma display. 제1항 또는 제2항에 있어서, 독립된 2기 이상의 구금을 보유하고, 그 2기 이상의 구금으로부터 동시에 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein two or more independent detentions are retained and applied simultaneously from the two or more detentions. 제14항에 있어서, 2기 이상의 구금을 동일속도에서 주행시켜서 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.15. The method of manufacturing a plasma display according to claim 14, wherein two or more sets of detention are run at the same speed and applied. 제2항에 있어서, 1색마다 도포하여, 1색도포할 때마다 건조공정을 거치는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 2, wherein the plasma display is applied for one color and subjected to a drying step for each application of one color. 제1항 또는 제2항에 있어서, 구금과 기판을 그 글라스기판상의 격벽에 대하여 평행하게 상대이동시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the detention and the substrate are relatively moved in parallel with the partition on the glass substrate. 제1항 또는 제2항에 있어서, 형광체 페이스트의 토출을 멈출 때에, 구금 내부를 부압의 상태로 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein when the discharge of the phosphor paste is stopped, the inside of the cap is brought into a negative pressure state. 제1항 또는 제2항에 있어서, 구금과 기판의 그 기판상의 격벽에 대하여 평행하게 상대이동을 개시 이하로 형광체 페이스트토출을 개시하고, 또한, 상기한 상대이동종료 이전에 토출을 멈추는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of claim 1 or 2, wherein discharging the phosphor paste is started below the start of relative movement in parallel with the partition on the substrate of the detention and the substrate, and further, the discharge is stopped before the end of the relative movement. Method of manufacturing a plasma display. 제1항 또는 제2항에 있어서, 형광체분말로서, 50중량% 입자지름이 0.5∼10㎛, 비표면적 0.1∼2㎡/g인 형광체분말을 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method for producing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein a phosphor powder having a 50 wt% particle diameter of 0.5 to 10 µm and a specific surface area of 0.1 to 2 m 2 / g is used. 제1항 또는 제2항에 있어서, 형광체분말 30∼60중량%, 바인더수지 5∼20중량% 및 용매를 함유하고, 또한, 형광체분말과 바인더수지와의 중량비가 6:1∼3:1인 형광체 페이스트를 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.A phosphor powder according to claim 1 or 2, which contains 30 to 60% by weight of the phosphor powder, 5 to 20% by weight of the binder resin and a solvent, and the weight ratio of the phosphor powder to the binder resin is 6: 1 to 3: 1. A method of manufacturing a plasma display, characterized by using a phosphor paste. 제21항에 있어서, 바인더수지가, 셀룰로오스화합물인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method for manufacturing a plasma display according to claim 21, wherein the binder resin is a cellulose compound. 제21항에 있어서, 용매가, 테르피네올을 함유하는 용매인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method for manufacturing a plasma display according to claim 21, wherein the solvent is a solvent containing terpineol. 제2항에 있어서, 적색, 녹색, 청색으로 발광하는 형광체분말을 각각 함유하는 3종류의 형광체 페이스트를, 글라스기판상의 격벽간에 각각 도포하므로서 형광면을 형성하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법에 있어서, 소정의 도포위치 이외에 존재하는 형광체를 점착체에 부착시키므로서, 제거하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 2, wherein a fluorescent surface is formed by applying three kinds of phosphor pastes each containing phosphor powders emitting red, green, and blue light, respectively, between partition walls on a glass substrate. A method of manufacturing a plasma display, characterized in that it removes by attaching the fluorescent substance which exists other than a position to an adhesive. 제1항 또는 제2항에 있어서, 격벽의 상단부에 위치하는 형광체를, 점착체에 부착시키므로서, 제거하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the phosphor located at the upper end of the partition wall is removed while being attached to the adhesive. 제1항 또는 제2항에 있어서, 격벽높이 H㎛, 격벽피치 P㎛, 격벽선폭 W㎛, 형광체 페이스트중에 함유되는 형광체분말의 비율 a(vol%)의 사이로 하기의 관계가 성립하는 형광체 페이스트를 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The phosphor paste according to claim 1 or 2, wherein the phosphor paste having the following relationship holds between the partition height H mu m, the partition pitch P mu m, the partition line width W mu m, and the ratio a (vol%) of the phosphor powder contained in the phosphor paste. Method for producing a plasma display, characterized in that used. (2H+P-W)×5≤H×(P-W)×a/100≤(2H+P-W)×30(2H + P-W) × 5≤H × (P-W) × a / 100≤ (2H + P-W) × 30 제1항 또는 제2항에 있어서, 형광체 페이스트로서, 점도가 2∼50㎩·S의 페이스트를 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The plasma display manufacturing method according to claim 1 or 2, wherein a paste having a viscosity of 2 to 50 Pa · S is used as the phosphor paste. 제1항 또는 제2항에 있어서, 형광체 페이스트가 감광성 형광체 페이스트인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the phosphor paste is a photosensitive phosphor paste. 제28항에 있어서, 감광성 형광체 페이스트로서, 하기의 조성된 페이스트를 사용하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.29. The method of manufacturing a plasma display according to claim 28, wherein the following composition paste is used as the photosensitive phosphor paste. 유기성분: 15∼60중량부Organic Ingredients: 15-60 parts by weight 형광체분말: 40∼85중량부Phosphor Powder: 40 to 85 parts by weight 용매: 10∼50중량부Solvent: 10-50 parts by weight 제1항 또는 제2항에 있어서, 격벽층이, 하기한 디멘션을 보유하는 스트라이프형상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the partition layer has a stripe shape having the following dimensions. 피치: 100∼250㎛Pitch: 100-250 μm 선폭: 15∼40㎛Line width: 15-40㎛ 높이: 60∼170㎛Height: 60 ~ 170㎛ 제1항 또는 제2항에 있어서, 격벽의 윗면이 흑색인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The method of manufacturing a plasma display according to claim 1 or 2, wherein the upper surface of the partition wall is black. 제1항 또는 제2항에 있어서, 형광체층의 격벽높이의 절반분의 위치에서의 측면두께(T1)와 밑부분두께(T2) 사이에서, 하기의 관계를 만족시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조방법.The plasma display device according to claim 1 or 2, wherein the following relationship is satisfied between the side thickness T1 and the bottom thickness T2 at the position of half the height of the partition wall of the phosphor layer. Manufacturing method. 10≤T1≤50㎛10≤T1≤50㎛ 10≤T2≤50㎛10≤T2≤50㎛ 0.2≤T1/T2≤50.2≤T1 / T2≤5 표면에 복수의 격벽이 형성되어 있는 기판을 고정하는 테이블과, 상기한 기판의 격벽과 대면하여 복수의 토출구를 보유하는 구금과, 상기한 구금에 형광체 페이스트를 공급하는 공급수단과, 상기한 테이블과 상기한 구금을 3차원적으로 상대이동시키는 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.A table for holding a substrate having a plurality of partition walls formed on its surface, a cap holding a plurality of discharge ports facing the partition wall of the substrate, supply means for supplying a phosphor paste to the cap, and the table; And a means for relatively moving the detention in three dimensions. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구의 평균구멍지름(D)이, 격벽간격(S)에 대하여 이하의 조건을 만족시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the average hole diameter (D) of the discharge port of the detention meets the following conditions with respect to the partition space (S). 10㎛≤D≤S≤500㎛10 μm ≦ D ≦ S ≦ 500 μm 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구의 형상이 원형이 아니고, 또한, 격벽과 대략 직교하는 개구길이(B)가, 격벽간격(S)에 대하여 하기의 조건을 만족시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The plasma as claimed in claim 33, wherein the shape of the discharge port of the cap is not circular, and the opening length B substantially orthogonal to the partition wall satisfies the following conditions with respect to the partition wall spacing S. Display manufacturing apparatus. 10㎛≤B≤S≤500㎛10 μm ≦ B ≦ S ≦ 500 μm 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구의 피치가, 격벽피치의 3m배(m은 1∼10의 정수)인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the pitch of the discharge holes of the detention is 3 m times (m is an integer of 1 to 10) of the partition pitch. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구가 동일면상에 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the discharge port of the detention is on the same plane. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구를 동일형상인 파이프를 배치하여 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the discharge port of the detention is arranged by arranging pipes having the same shape. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구수가 20∼2000개인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the number of discharge holes of the detention is 20 to 2000. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구수가 16n±5(n은 자연수)의 범위인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the number of discharge holes of the detention is in the range of 16n ± 5 (n is a natural number). 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구의 피치가 0.12∼3㎜인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the pitch of the discharge port of said cap is 0.12 to 3 mm. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구의 평균구멍지름(D)과 토출구의 길이(L)가, 아래 식을 만족시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the average hole diameter (D) of the discharge port of the cap and the length (L) of the discharge port satisfy the following formula. L/D=0.1∼600L / D = 0.1 to 600 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구의 평균구멍지름이, 60∼400㎛인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the average hole diameter of said discharge hole of said cap is 60 to 400 mu m. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구의 중심이 각각의 격벽 사이의 위에 있도록 배치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein the center of the discharge port of the detention is disposed above each of the partition walls. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구면 및/또는 토출구내벽으로, 블소계수지피막이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein a bloso resin film is coated on the discharge port surface and / or the discharge port inner wall. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구면 및/또는 토출구내벽으로, 비결정질의 탄소피막이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein an amorphous carbon film is coated on the discharge hole surface and / or the discharge hole inner wall. 제33항에 있어서, 상기한 구금은 복수의 형광체 페이스트 저장부와, 상기한 저장부에 형광체 페이스트를 공급하는 형광체 페이스트 공급구와, 상기한 토출구를 유체적으로 연결하는 통로부를 보유하고, 더욱이 상기한 토출구는 그 저장부 보다도 수가 많으며, 또한, 각각의 상기한 저장부에 대응하는 상기한 토출구가 일정한 순번에서 주기적으로 대략 일직선상으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus of claim 33, wherein the detention includes a plurality of phosphor paste storage portions, a phosphor paste supply port for supplying phosphor paste to the storage portion, and a passage portion for fluidly connecting the discharge port. The number of discharge ports is larger than that of the storage portion, and the discharge holes corresponding to each of the storage portions are arranged in a substantially straight line periodically in a certain order. 제33항에 있어서, 2기 이상의 구금을 배치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein two or more detention units are arranged. 제33항에 있어서, 복수의 다른 종류의 형광체 페이스트에 대응하여, 복수의 구금과, 각각의 구금에 대응하여 형광체 페이스트를 공급하는 복수의 형광체 페이스트 공급장치를 보유하고, 기판의 격벽 사이로 여러 종류의 형광체 페이스트를 동시에 도포하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus according to claim 33, further comprising a plurality of detaining devices corresponding to a plurality of different kinds of phosphor pastes, and a plurality of phosphor paste supplying devices for supplying the phosphor pastes corresponding to each of the detaining devices. An apparatus for producing a plasma display, characterized in that the phosphor paste is applied at the same time. 제33항에 있어서, 상기한 구금 내의 압력을 대기압에서 부압까지 임의로 설정할 수 있는 압력조정수단과, 압력조정의 타이밍을 제어하는 제어수단을 보유하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, further comprising pressure adjusting means for arbitrarily setting the pressure in the detention from atmospheric pressure to negative pressure, and control means for controlling timing of pressure adjustment. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 위치를 검지하는 검지수단과, 기판의 격벽 또는 격벽사이의 위치를 검지하는 검지수단과, 기판상의 격벽의 상단부의 위치를 검지하는 검지수단과, 구금의 토출구선단부의 위치를 검지하는 검지수단과, 상기한 구금의 토출구에 대한 기판의 상대위치에 따라서 형광체 페이스트의 토출개시 및 종료의 실행을 제어하는 제어수단을 설치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus according to claim 33, wherein the detecting means detects the position of the detention, the detecting means detects the position of the partition wall or the partition wall, the detecting means detects the position of the upper end of the partition wall on the substrate, and the discharge port of the detention. Detecting means for detecting the position of the tip portion and control means for controlling the start and end of the discharge of the phosphor paste in accordance with the relative position of the substrate with respect to the discharge port of the detention. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 경사도를 기판의 격벽상단부에 대하여 조정하는 조정수단과, 상기한 구금의 토출구선단부를 기판의 격벽상단부에 대하여 대략 평행으로 소정 간격을 두고 설치시키는 제어수단을 보유하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus according to claim 33, further comprising: an adjusting means for adjusting the inclination of the cap with respect to the upper end of the partition wall, and a control means for providing the discharge port leading end of the cap with a predetermined interval approximately parallel to the upper wall of the partition. Apparatus for producing a plasma display, characterized in that. 제33항에 있어서, 상기한 구금으로부터 기판상으로 토출된 형광체 페이스트의 기판 내에서의 위치를 검출하는 검출수단을 설치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein detection means for detecting a position in the substrate of the phosphor paste discharged onto the substrate from the above-described detention is provided. 제33항에 있어서, 기판상의 격벽 또는 격벽간의 수를 검지하는 검지수단과, 검지된 격벽수 또는 격벽간 수로부터 도포해야할 격벽간을 인지하는 인지수단을 설치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein detection means for detecting the number of partition walls or partition walls on the substrate and recognition means for recognizing the partition walls to be applied from the detected number of partition walls or the number of partition walls are provided. . 제33항에 있어서, 기판상에 설치된 원점마아크를 검지하는 원점마아크검지수단과, 검지된 원점마아크를 기준으로, 구금의 토출구가 형광체 페이스트를 도포해야할 격벽간의 위에 있도록, 상기한 구금과 격벽을 상대적으로 이동시키는 이동수단 및 제어수단을 설치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus of claim 33, wherein the above-mentioned detention and the partition wall are disposed so that the origin mark detection means for detecting the origin mark installed on the substrate and the discharge port of the detention are on the partition wall to which the phosphor paste should be applied, based on the detected origin mark. An apparatus for manufacturing a plasma display, characterized in that a moving means and a control means for moving the apparatus are provided. 제33항에 있어서, 상기한 구금의 토출구면을 청정화하는 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein means for cleaning the discharge port surface of the detention is provided. 제33항에 있어서, 기판의 소정의 도포위치 이외에 존재하는 형광체 페이스트를 제거하는 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.34. The apparatus for manufacturing a plasma display according to claim 33, wherein means for removing the phosphor paste existing outside the predetermined application position of the substrate is provided. 표면에 격벽이 형성되어 있는 기판을 고정하는 테이블과, 기판의 격벽과 대면하여 복수의 토출구를 보유하는 구금과, 상기한 구금에 형광체 페이스트를 공급하는 공급장치와, 상기한 테이블과 상기한 구금을 3차원적으로 상대이동시키는 이동수단을 구비한 도포장치를 3종류의 형광체 페이스트에 대응하여 3대가 직렬로 배치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이의 제조장치.A table for holding a substrate having a partition formed on its surface, a detention holding a plurality of discharge ports facing a partition of the substrate, a supply device for supplying the phosphor paste to the detention, the table and the detention An apparatus for manufacturing a plasma display, characterized in that three apparatuses are arranged in series to correspond to three kinds of phosphor pastes.
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