JPH11185636A - Substrate for plasma display and its manufacture - Google Patents

Substrate for plasma display and its manufacture

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Publication number
JPH11185636A
JPH11185636A JP9358127A JP35812797A JPH11185636A JP H11185636 A JPH11185636 A JP H11185636A JP 9358127 A JP9358127 A JP 9358127A JP 35812797 A JP35812797 A JP 35812797A JP H11185636 A JPH11185636 A JP H11185636A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phosphor
paste
plasma display
display substrate
phosphor paste
Prior art date
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Application number
JP9358127A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoko Mikami
友子 三上
Yuichiro Iguchi
雄一朗 井口
Masahiro Matsumoto
正廣 松本
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH11185636A publication Critical patent/JPH11185636A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate having a high-accuracy phosphor layer by setting the maximum grain size of the inorganic phosphor powder forming the phosphor layer to a specific value or below, and stably discharging a phosphor paste from a base. SOLUTION: The maximum grain size of inorganic phosphor powder is set to 40 μm or below, preferably 30 μm or below, and the average grain size is preferably set to 0.5-15 μm, and the specific surface area is preferably set to 0.1-5 m<2> /cc. One or two or more kinds of [(Y, Gd, Eu)BO3 ], [(Y, Eu)2 O3 ], [(Zn, Mn)2 SiO4 ], [(Ba, Eu) MgAl10 O17 ], [(Ba, Sr, Mg)O.aAl2 O3 :Mn] and [BaAl12 O19 :Mn] are preferably used for the phosphor powder. Three kinds of red, green and blue phosphor pastes are discharged from a base and applied into a stripe shape between barrier ribs on a glass substrate to form a fluorescent screen. A phosphor layer is uniformly applied to the side faces and bottom sections of barrier ribs, thus a PDP excellent in luminance can be manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル(以下PDPと略す)用基板に関し、特に、
高精度に蛍光体層が形成されたPDP用基板に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for a plasma display panel (hereinafter abbreviated as "PDP").
The present invention relates to a PDP substrate on which a phosphor layer is formed with high precision.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、大型ディスプレイとしてPDPが
注目されている。PDPは液晶パネルに比べて高速の表
示が可能で、且つ大型化が容易であることから、OA機
器および広報表示装置などの分野に浸透し、さらには高
品位テレビジョンの分野などでの進展が期待されてい
る。このような用途の拡大にともなって、微細で多数の
表示セルを有し、高精細表示が可能なカラーPDPが特
に注目されている。
2. Description of the Related Art In recent years, PDPs have attracted attention as large displays. PDPs can display at higher speeds than liquid crystal panels, and are easy to increase in size. Therefore, PDPs have penetrated the fields of OA equipment and public relations display devices, and have also made progress in the field of high-definition television. Expected. With the expansion of such uses, color PDPs having a large number of fine display cells and capable of high-definition display have attracted particular attention.

【0003】PDPを構成する1つの表示セルは、プラ
ズマ放電により3原色、すなわち赤色(R)、緑色
(G)、青色(B)に発光する3種の蛍光体層から形成
される1つの画素を有している。
One display cell constituting a PDP is a single pixel formed from three kinds of phosphor layers that emit light in three primary colors, ie, red (R), green (G), and blue (B) by plasma discharge. have.

【0004】このような蛍光体層の形成法としては、従
来から、スクリーン印刷法が知られているが、蛍光体層
形成するために、印刷を繰り返す必要があり、これによ
りスクリーン版の形状が変化するため、精度の高いパタ
ーンが形成できなかったり、スクリーン版の洗浄等の管
理面などにおいて量産に対応しきれない等の問題があっ
た。
As a method of forming such a phosphor layer, a screen printing method has been conventionally known. However, in order to form the phosphor layer, it is necessary to repeat printing, whereby the shape of the screen plate is reduced. Because of the change, there were problems that a highly accurate pattern could not be formed, and that it was not possible to cope with mass production in terms of management such as cleaning of a screen plate.

【0005】その他、フォトリソグラフィーを用いる方
法も知られているが、この場合、赤色、緑色、青色の各
色蛍光体層を形成するために、各色についてペースト塗
布、露光、現像、乾燥等の工程を3回繰り返す必要があ
り、各色を全面塗布して露光した後に不必要な部分のペ
ーストを現像により除去するため、蛍光体粉末が無駄に
消費され、さらにその蛍光体粉末の回収、再生を行うた
めのコスト面の問題がある。また、各色を全面に塗布す
るため、重ね塗りした色の現像残りによる混色を避けら
れないといった問題もある。
[0005] In addition, a method using photolithography is also known. In this case, in order to form phosphor layers of red, green and blue, paste coating, exposure, development, drying and the like are performed for each color. It is necessary to repeat three times, and after applying and exposing each color, unnecessary portions of the paste are removed by development after the exposure, so that the phosphor powder is wasted and the phosphor powder is recovered and regenerated. There is a cost problem. In addition, since each color is applied to the entire surface, there is a problem that color mixing due to undeveloped portions of the overcoated colors cannot be avoided.

【0006】このため、インクジェットノズルの先端か
ら蛍光体ペーストを噴射し、蛍光体層を形成する方法等
も提案されたが、インクジェットの場合は、圧電素子な
どにより蛍光体ペーストを噴射する機構のため、粘度を
0.02Pa・s以下程度にする必要があり、ペースト
中の蛍光体粉末量を多くできないため、形成した蛍光体
層の厚みが薄くなるという問題があり、また、インクジ
ェットノズルの径が小さいため、蛍光体粉末が詰まると
いう欠点もあった。
For this reason, a method of injecting a phosphor paste from the tip of an ink jet nozzle to form a phosphor layer has been proposed. However, in the case of an ink jet, a mechanism for ejecting the phosphor paste by a piezoelectric element or the like has been proposed. It is necessary to reduce the viscosity to about 0.02 Pa · s or less, and the amount of the phosphor powder in the paste cannot be increased. Therefore, there is a problem that the thickness of the formed phosphor layer is reduced. Due to the small size, there was also a disadvantage that the phosphor powder was clogged.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は上記
従来技術の問題点を改良し、トラブルが発生することな
く安定して製造でき、高精度の蛍光体層を有するプラズ
マディスプレイ基板を提供することをその目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and provides a plasma display substrate having a high-accuracy phosphor layer which can be manufactured stably without any trouble. That is its purpose.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ガラス
基板上に少なくとも電極、隔壁および該隔壁間にストラ
イプ状に設けた赤色、緑色、青色に発光する3種類の蛍
光体層を有するPDP用基板であって、蛍光体層が、最
大粒子径40μm以下の無機蛍光体粉末からなることを
特徴とするPDP用基板によって達成することができ
る。
An object of the present invention is to provide a PDP having, on a glass substrate, at least electrodes, partition walls, and three types of phosphor layers provided in stripes between the partition walls and emitting red, green, and blue light. A PDP substrate, wherein the phosphor layer is made of an inorganic phosphor powder having a maximum particle diameter of 40 μm or less.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明のPDP基板は、ガラス基
板上に少なくとも電極、隔壁および該隔壁間にストライ
プ状に設けた赤色、緑色、青色に発光する3種類の蛍光
体層を有するものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The PDP substrate of the present invention comprises a glass substrate having at least electrodes, partition walls, and three types of phosphor layers provided in stripes between the partition walls and emitting red, green, and blue light. is there.

【0010】本発明においてガラス基板は、特に限定さ
れないが、一般的なソーダライムガラスやソーダライム
ガラスをアニール処理したガラス、または、高歪み点ガ
ラス等を用いることができる。またガラス基板のサイズ
には特に限定はなく、1〜5mmの厚みのガラスを用い
ることができる。さらに、ガラス基板上に誘電体層が形
成されたものでもよい。
In the present invention, the glass substrate is not particularly limited, but general soda lime glass, glass obtained by annealing soda lime glass, high strain point glass, or the like can be used. The size of the glass substrate is not particularly limited, and glass having a thickness of 1 to 5 mm can be used. Further, a dielectric layer may be formed on a glass substrate.

【0011】電極は、銀やアルミ、銅、金、ニッケル、
酸化錫、ITO等をスクリーン印刷法や感光性導電ペー
ストを用いた方法で基板上に形成することができる。
The electrodes are silver, aluminum, copper, gold, nickel,
Tin oxide, ITO, or the like can be formed on a substrate by a screen printing method or a method using a photosensitive conductive paste.

【0012】隔壁としては、ストライプ状に形成された
ものであればよく、隔壁のピッチとしては、100〜5
00μmが好ましい。隔壁の高さとしては、50〜20
0μmが好ましい。
The partition may be formed in a stripe shape, and the pitch of the partition may be 100 to 5
00 μm is preferred. The height of the partition is 50 to 20
0 μm is preferred.

【0013】さらに隔壁間には赤色、緑色、青色に発光
する3種類の蛍光体層がストライプ状に形成されてい
る。1つの画素ラインが、赤色(R)、青色(B)、緑
色(G)3種類のストライプで形成されるため、蛍光体
層は、RGBもしくはRBGの繰り返しで設けられるの
が一般的である。蛍光体層は、後で詳しく述べるが、例
えば蛍光体ペーストを口金から吐出することによりガラ
ス基板上に塗布し、焼成することにより形成することが
できる。
Further, three types of phosphor layers which emit red, green and blue light are formed in stripes between the partition walls. Since one pixel line is formed by three types of stripes of red (R), blue (B), and green (G), the phosphor layer is generally provided by repeating RGB or RBG. As will be described in detail later, the phosphor layer can be formed, for example, by applying a phosphor paste from a die, applying the phosphor paste on a glass substrate, and baking.

【0014】本発明においては、蛍光体層は最大粒子径
が40μm以下の無機蛍光体粉末により形成される必要
があり、最大粒子径が30μm以下が好ましい。
In the present invention, the phosphor layer must be formed of an inorganic phosphor powder having a maximum particle diameter of 40 μm or less, and preferably has a maximum particle diameter of 30 μm or less.

【0015】無機蛍光体粉末の最大粒子径が40μmを
越えると、口金から蛍光体ペーストを吐出する方法で蛍
光体層を形成する場合、吐出孔に蛍光体粉末が詰まり、
安定な塗布が行えない。
When the maximum particle size of the inorganic phosphor powder exceeds 40 μm, when the phosphor layer is formed by discharging the phosphor paste from the die, the discharge holes are clogged with the phosphor powder,
Stable coating cannot be performed.

【0016】さらに、累積平均粒子径が0.5〜15μ
m、より好ましくは0.5〜6μm、比表面積0.1〜
5m2 /ccであることが好ましい。さらに好ましくは
累積平均粒子径1〜6μm、比表面積0.5〜4m2
ccである。この範囲にあると、蛍光体ペーストを口金
から吐出する方法で蛍光体層を形成する場合、吐出孔詰
まりが生じにくく、安定な吐出が可能であり、高精度な
パターン形状が得られる点で好ましい。また、蛍光体の
発光効率がよく、高寿命になるので好ましい。累積平均
粒子径が0.5μm未満、比表面積が5m2 /ccを越
えると粉末が細かくなりすぎ、粉末の凝集が生じやす
く、特にフォトリソグラフィーによりパターン加工をす
る場合には、露光時に光が散乱され未露光部分が光硬化
することがある。このため現像時にパターンの残膜(未
露光部に余分な蛍光体が残存すること)の発生が起こ
り、高精細なパターンが得られにくく、蛍光体の発光効
率や寿命も低下する傾向がある。
Further, the cumulative average particle diameter is 0.5 to 15 μm.
m, more preferably 0.5-6 μm, specific surface area 0.1-
It is preferably 5 m 2 / cc. More preferably, the cumulative average particle diameter is 1 to 6 μm, and the specific surface area is 0.5 to 4 m 2 /
cc. When the thickness is in this range, when forming the phosphor layer by a method of discharging the phosphor paste from the die, it is preferable in that clogging of discharge holes hardly occurs, stable discharge is possible, and a highly accurate pattern shape can be obtained. . Further, it is preferable because the luminous efficiency of the phosphor is good and the life is long. If the cumulative average particle diameter is less than 0.5 μm and the specific surface area exceeds 5 m 2 / cc, the powder becomes too fine and the powder is likely to aggregate. In particular, when patterning is performed by photolithography, light is scattered during exposure. In some cases, the unexposed portions are light-cured. For this reason, a residual film of the pattern (excess phosphor remaining in the unexposed portion) occurs during development, and it is difficult to obtain a high-definition pattern, and the luminous efficiency and life of the phosphor tend to decrease.

【0017】蛍光体粉末の形状としては、多面体状(粒
状)のものが挙げられるが、凝集のない粉末が好まし
い。その中で球状の粉末であることが、蛍光体ペースト
を口金から吐出する方法で蛍光体層を形成する場合、吐
出孔詰まりが生じ難く、安定な吐出ができる点で好まし
く、また、フォトリソグラフィーによりパターン加工を
する場合には、露光時に光の散乱の影響を少なくできる
点で好ましい。
The shape of the phosphor powder may be a polyhedral (granular) shape, but a powder having no aggregation is preferable. Among them, spherical powder is preferable in the case where a phosphor layer is formed by a method of discharging a phosphor paste from a base, since clogging of discharge holes is unlikely to occur and stable discharge can be performed. The pattern processing is preferable because the influence of light scattering during exposure can be reduced.

【0018】さらに球状粉末が球形率80個数%以上の
粒子形状を有していると好ましい。さらに好ましくは、
球形率90個数%以上である。球形率80個数%未満で
ある場合には、フォトリソグラフィーによりパターン加
工をする場合、露光時に蛍光体粉末による光の散乱の影
響を受けて高精細なパターンが得られにくくなる。なお
球形率の測定は、蛍光体粉末を光学顕微鏡で300倍の
倍率にて撮影し、このうち計数可能な粒子を計数し、球
形のものの比率を球形率とする。
Further, it is preferable that the spherical powder has a particle shape having a sphericity of 80% by number or more. More preferably,
The sphericity is 90% by number or more. When the sphericity is less than 80% by number, when performing pattern processing by photolithography, it is difficult to obtain a high-definition pattern due to the influence of light scattering by the phosphor powder during exposure. The sphericity is measured by taking an image of the phosphor powder with an optical microscope at a magnification of 300 times, counting the particles that can be counted, and defining the ratio of spherical particles as the sphericity.

【0019】また本発明において、蛍光体粉末は無機蛍
光体粉末であり、無機蛍光体粉末としては、例えば、赤
色では、(Y,Eu)23、Y23:Eu、YVO4
Eu、(Y,Gd,Eu)BO3 、Y23S:Eu、γ
−Zn3(PO42 :Mn、(ZnCd)S:Ag+I
23などが、緑色では、Zn2GeO2:Mn、BaA
1219:Mn、(Ba,Sr,Mg)O・aAl
23:Mn、(Zn,Mn)2SiO4、Zn2SiO4
Mn、LaPO4 :Tb、ZnS:Cu,Al、Zn
S:Au,Cu,Al、(ZnCd)S:Cu,Al、
Zn2SiO4:Mn,As、Y3Al512:Ce、Ce
MgAl1119:Tb、Gd22S:Tb、Y3Al5
12:Tb、ZnO:Znなどが、青色では、Sr5(P
43Cl:Eu、(Ba,Eu)MgAl1017、B
aMgAl1423:Eu、BaMgAl1627:Eu、
BaMg2 Al1424:Eu、ZnS:Ag+赤色顔
料、Y2SiO3:Ceなどが挙げられる。特に[(Y,
Gd,Eu)BO3]、[(Y,Eu)23]、[(Z
n,Mn)2SiO4]、[(Ba,Eu)MgAl10
17]、[(Ba,Sr,Mg)O・aAl23:Mn]
および[BaAl1219:Mn]のいずれかの1種また
は2種以上であることが好ましい。
In the present invention, the phosphor powder is an inorganic phosphor powder. For example, in the case of red, (Y, Eu) 2 O 3 , Y 2 O 3 : Eu, YVO 4 :
Eu, (Y, Gd, Eu) BO 3 , Y 2 O 3 S: Eu, γ
-Zn 3 (PO 4 ) 2 : Mn, (ZnCd) S: Ag + I
When n 2 O 3 and the like are green, Zn 2 GeO 2 : Mn, BaA
l 12 O 19 : Mn, (Ba, Sr, Mg) O · aAl
2 O 3 : Mn, (Zn, Mn) 2 SiO 4 , Zn 2 SiO 4 :
Mn, LaPO 4 : Tb, ZnS: Cu, Al, Zn
S: Au, Cu, Al, (ZnCd) S: Cu, Al,
Zn 2 SiO 4 : Mn, As, Y 3 Al 5 O 12 : Ce, Ce
MgAl 11 O 19 : Tb, Gd 2 O 2 S: Tb, Y 3 Al 5 O
12 : Tb, ZnO: Zn, etc., in blue, Sr 5 (P
O 4 ) 3 Cl: Eu, (Ba, Eu) MgAl 10 O 17 , B
aMgAl 14 O 23 : Eu, BaMgAl 16 O 27 : Eu,
BaMg 2 Al 14 O 24 : Eu, ZnS: Ag + red pigment, Y 2 SiO 3 : Ce, and the like. In particular, [(Y,
Gd, Eu) BO 3 ], [(Y, Eu) 2 O 3 ], [(Z
n, Mn) 2 SiO 4 ], [(Ba, Eu) MgAl 10 O
17], [(Ba, Sr , Mg) O · aAl 2 O 3: Mn]
And [BaAl 12 O 19 : Mn].

【0020】さらに、ツリウム(Tm)、テルビウム
(Tb)およびユーロピウム(Eu)からなる群より選
ばれた少なくとも1つの元素で、イットリウム(Y)、
ガドリウム(Gd)およびルテチウム(Lu)から選ば
れた少なくとも1つの母体構成稀土類元素を置換したタ
ンタル酸稀土類蛍光体が挙げられる。
Further, at least one element selected from the group consisting of thulium (Tm), terbium (Tb), and europium (Eu), yttrium (Y),
A rare earth tantalate phosphor in which at least one rare earth element constituting a base selected from gadolinium (Gd) and lutetium (Lu) is used.

【0021】タンタル酸稀土類蛍光体としては、組成式
1-xEuxTaO4 (式中、Xはおよそ0.005〜
0.1である)で表されるユーロピウム付活タンタル酸
イットリウム蛍光体が好ましく挙げられる。赤色蛍光体
には、ユーロピウム付活タンタル酸イットリウムが好ま
しく、緑色蛍光体には、タンタル酸稀土類蛍光体が組成
式Y1-x Tbx TaO4 (式中、Xはおよそ0.001
〜0.2である)で表されるテルビウム付活タンタル酸
イットリウムが好ましい。青色蛍光体には、タンタル酸
稀土類蛍光体がY1-x Tmx TaO4 (式中、Xはおよ
そ0.001〜0.2である)で表されるツリウム付活
タンタル酸イットリウムが好ましい。
Examples of the tantalate rare earth phosphor, the composition formula Y 1-x Eu x TaO 4 ( where, X is approximately 0.005
0.1) is preferably exemplified by a europium-activated yttrium tantalate phosphor represented by the following formula: For the red phosphor, europium-activated yttrium tantalate is preferable, and for the green phosphor, a rare earth tantalate phosphor is represented by a composition formula Y 1-x Tb x TaO 4 (where X is approximately 0.001 to 0.001).
Terbium-activated yttrium tantalate represented by the following formula: The blue phosphor, (wherein, X is approximately 0.001 to 0.2) tantalate rare earth phosphor Y 1-x Tm x TaO 4 is preferably thulium-activated yttrium tantalate represented by .

【0022】また、緑色蛍光体として、Mnがケイ酸亜
鉛(Zn2SiO4)母体量に対して0.2重量%以上、
0.1重量%未満付活された平均粒子径2μm以上8μ
m以下のマンガン付活亜鉛蛍光体(Zn2SiO4:M
n)および一般式が(Zn1-xMnx)O・αSiO
2 (式中、Xおよびαは、0.01≦X≦0.2、0.
5<α≦1.5の範囲の値である)で表されるマンガン
付活ケイ酸亜鉛蛍光体も好ましく挙げられる。
As a green phosphor, Mn is at least 0.2% by weight based on the amount of zinc silicate (Zn 2 SiO 4 ).
Average particle size activated less than 0.1% by weight 2 μm or more and 8 μm
m or less manganese-activated zinc phosphor (Zn 2 SiO 4 : M
n) and the general formula is (Zn 1-x M n x ) O · αSiO
2 (where X and α are 0.01 ≦ X ≦ 0.2, 0.
A manganese-activated zinc silicate phosphor represented by the following formula: 5 <α ≦ 1.5) is also preferable.

【0023】次に本発明のPDP用基板の製造法につい
て説明する。
Next, a method for manufacturing the PDP substrate of the present invention will be described.

【0024】本発明のPDP用基板は、例えば、隔壁の
形成されたガラス基板の隔壁間に蛍光体層を形成し、こ
れを焼成することにより製造することができる。以下、
好ましい製造法の一例について図を用いて詳しく説明す
る。
The PDP substrate of the present invention can be manufactured, for example, by forming a phosphor layer between partitions of a glass substrate having partitions formed thereon and firing the phosphor layer. Less than,
An example of a preferred manufacturing method will be described in detail with reference to the drawings.

【0025】図1は電極1および隔壁3が形成されたガ
ラス基板2の例を示すもので、このようなガラス基板の
それぞれ隔壁間の所定の位置にストライプ状に各色の蛍
光体ペーストを塗布することにより、図2に示すよう
に、ガラス基板上に赤色蛍光体ペースト層4、青色蛍光
体ペースト層5、緑色蛍光体ペースト層6を設けること
ができる。
FIG. 1 shows an example of a glass substrate 2 on which electrodes 1 and partition walls 3 are formed. Phosphor pastes of various colors are applied in stripes at predetermined positions between the partition walls of such a glass substrate. Thereby, as shown in FIG. 2, the red phosphor paste layer 4, the blue phosphor paste layer 5, and the green phosphor paste layer 6 can be provided on the glass substrate.

【0026】蛍光体層を隔壁間の所定の位置にストライ
プ状に形成する方法としては、スクリーン印刷法、フォ
トリソグラフィー法、インクジェット法、口金塗布法等
を適宜用いればよいが、本発明では、口金塗布法が好ま
しく用いられる。
As a method of forming the phosphor layer in a stripe shape at a predetermined position between the partition walls, a screen printing method, a photolithography method, an ink jet method, a die coating method, or the like may be used as appropriate. A coating method is preferably used.

【0027】口金塗布法を用いて蛍光体ペーストを塗布
する方法としては、例えば、最大粒子径が40μm以下
の赤色、緑色、青色に発光する無機蛍光体粉末をそれぞ
れ含む3種類の蛍光体ペーストを、ノズルまたはニード
ルの吐出孔を有する口金からそれぞれ吐出させ、ガラス
基板上に形成された隔壁間にストライプ状に塗布するこ
とにより蛍光面を形成する方法が好ましく挙げられる。
この時、R、G、Bの各色ごとに配置された吐出孔を有
する口金および/またはガラス基板を、隔壁形成方向に
走行させて、各色の所定位置の隔壁間に蛍光体ペースト
を塗布することができる。
As a method of applying the phosphor paste using the spinneret coating method, for example, three kinds of phosphor pastes each containing an inorganic phosphor powder which emits red, green and blue light having a maximum particle diameter of 40 μm or less are used. Preferably, a method of forming a phosphor screen by ejecting from a nozzle having an ejection hole of a nozzle or a needle, and applying the phosphor in a stripe shape between partition walls formed on a glass substrate is preferably used.
At this time, a base and / or a glass substrate having discharge holes arranged for each of the colors R, G, and B are caused to travel in the direction of forming the partition walls, and the phosphor paste is applied between the partition walls at predetermined positions of the respective colors. Can be.

【0028】図5はこの時用いられる口金10の吐出孔
の断面形状の一例を示すものであるが、図6、図7に示
すように吐出孔先端にさらにノズルを有する口金11、
またはニードルを有する口金12であると、口金が汚れ
にくくなり好ましい。
FIG. 5 shows an example of the cross-sectional shape of the discharge hole of the die 10 used at this time. As shown in FIGS.
Alternatively, the base 12 having a needle is preferable because the base is hardly stained.

【0029】吐出口の内径は、塗布対象の隔壁の間隔1
00〜400μmに対し、隔壁間隔以下であることが好
ましく、蛍光体粉末の粒子径よりも大きい必要がある。
The inner diameter of the discharge port is determined by the distance 1 between partition walls to be coated.
It is preferable that the distance between the partition walls is not more than 00 to 400 μm, and it is necessary to be larger than the particle diameter of the phosphor powder.

【0030】さらに、塗布する際は、図4に示すよう
に、口金の吐出部7先端と隔壁上端との距離9を0.0
1〜2mmの状態に保ち、一定の速度で口金および/ま
たはガラス基板を走行させながら蛍光体ペースト8を一
定流量で吐出して隔壁間に塗布することが好ましい。距
離は0.03〜1mmであることがより好ましい。この
間隔で塗布することにより、隔壁の上端部との接触を避
けながら、蛍光体ペーストを隔壁の間に流し込むことが
できる。
Further, at the time of coating, as shown in FIG. 4, the distance 9 between the tip of the discharge section 7 of the die and the upper end of the partition wall is set to 0.0.
It is preferable that the phosphor paste 8 is discharged at a constant flow rate and applied between the partition walls while running the die and / or the glass substrate at a constant speed while maintaining the state of 1 to 2 mm. More preferably, the distance is between 0.03 and 1 mm. By coating at this interval, the phosphor paste can be poured between the partition walls while avoiding contact with the upper end of the partition walls.

【0031】なおディスプレイあたりの表示セル、すな
わち画素ラインの数は、ディスプレイに求められる精細
度や、サイズなどによって異なるが、一般的に640、
800、1024、1280、1920など、その多く
が16の倍数である。このため、口金単位あたりの吐出
孔の数は(16n−5)〜(16n+5)の範囲内にあ
ることが好ましい。ここで、nは任意の自然数を表す
が、5の倍数であることが好ましい。口金単位あたりの
吐出孔の数がこの条件を満足すると、各種基板の画素ラ
イン数に対応することができ、効率的な塗布が可能であ
る。また、1本のストライプ状隔壁間に塗布された蛍光
体ペースト厚をさらに精度よくし、塗布速度を上げるた
めには、図8に示すように1本のストライプあたり2個
以上の吐出孔を隔壁15形成方向16に有する口金13
を用いて、複数の吐出孔から同時に塗布する方法を採用
することも好ましい。さらに図8のように、各色所定の
塗布位置間隔に1列の直線上に並んだ2個以上の吐出孔
を隔壁形成方向に2列以上有することも好ましい。
The number of display cells per display, that is, the number of pixel lines, varies depending on the definition and size required for the display.
Most are multiples of 16, such as 800, 1024, 1280, and 1920. For this reason, it is preferable that the number of discharge holes per die unit be in the range of (16n-5) to (16n + 5). Here, n represents an arbitrary natural number, but is preferably a multiple of 5. When the number of discharge holes per base unit satisfies this condition, it is possible to correspond to the number of pixel lines on various substrates, and efficient coating is possible. In order to further improve the thickness of the phosphor paste applied between the stripe-shaped partition walls and increase the coating speed, as shown in FIG. 15 Base 13 having forming direction 16
It is also preferable to employ a method of simultaneously applying the ink from a plurality of ejection holes by using the above method. Further, as shown in FIG. 8, it is preferable that two or more discharge holes arranged in a line in a line at predetermined application position intervals of each color have two or more rows in the partition wall forming direction.

【0032】また、図9に示すような、1基の口金に、
2色以上の異なる色に発光する蛍光体ペーストの吐出孔
を同時に有する口金23も用いることができるが、この
場合は、他色との混色を避けるために、異なる色の蛍光
体ペーストを吐出する孔間隔は600μm以上であるこ
とが好ましい。例えば高精細のプラズマディスプレイパ
ネルでは、隔壁の間隔は100〜400μmになるが、
例えば、孔間隔が直線距離で600μm以上の間隔とな
るように隔壁25形成方向26にずらして3色連続に3
列配置することが好ましい。
In addition, as shown in FIG.
It is also possible to use a base 23 having discharge holes for phosphor pastes that emit light of two or more different colors at the same time. In this case, phosphor pastes of different colors are discharged in order to avoid mixing with other colors. The hole spacing is preferably at least 600 μm. For example, in a high-definition plasma display panel, the interval between partition walls is 100 to 400 μm,
For example, the holes are shifted in the forming direction 26 of the partition wall 25 so that three holes are continuously formed in three colors so that the hole interval becomes a linear distance of 600 μm or more.
It is preferable to arrange them in rows.

【0033】異なる色の蛍光体ペーストを吐出する口金
が、それぞれ独立である場合には、同速度でそれぞれの
口金を、および/またはガラス基板を隔壁の形成方向に
走行させ蛍光体ペーストを塗布することができる。
When the bases for discharging phosphor pastes of different colors are independent of each other, the respective bases and / or the glass substrate are moved at the same speed in the direction in which the partition walls are formed, and the phosphor paste is applied. be able to.

【0034】さらに効率的な方法として、図10に示す
ように、蛍光体ペーストを吐出する口金18を、それぞ
れの色について2基以上配置し、または2色以上の異な
る色に発光する蛍光体ペーストを同時に吐出する口金を
2基以上配置し、同期させながら、または、連結した状
態で、同方向に同速度で移動させながらガラス基板17
全面に塗布する方法を用いることにより、それぞれの色
用口金が1基ずつの場合に対し、塗布時間を半分以下に
短縮することができる。
As a more efficient method, as shown in FIG. 10, two or more bases 18 for discharging a phosphor paste are arranged for each color, or a phosphor paste for emitting two or more different colors is used. And two or more bases for discharging the glass substrate 17 at the same speed in the same direction while being synchronized or connected.
By using the method of coating the entire surface, the coating time can be reduced to half or less of the case where each color base is one.

【0035】また、口金が2基以上の場合、口金を隔壁
方向に対し垂直方向に隔壁間隔の整数倍にずらして配置
するが、図11に示すように、口金28を隔壁に対し平
行方向にずらして配置し、隣り合う2基の位置が「ず
れ」<「口金本体の外寸」とし、ガラス基板27にペー
ストを塗布することも効率的であり好ましい。なお図1
0、図11において、軌跡19、29は、この時の口金
の移動の方向の一例を示すものである。
When there are two or more bases, the bases are arranged so as to be shifted by an integral multiple of the space between the partitions in the direction perpendicular to the direction of the partitions, but as shown in FIG. It is also efficient and preferable to dispose the paste so that the position of two adjacent groups is “displaced” <“outer dimension of the base body” and the paste is applied to the glass substrate 27. FIG. 1
In FIG. 0 and FIG. 11, trajectories 19 and 29 show an example of the direction of movement of the base at this time.

【0036】なお、前記した口金から吐出する方法にお
いて使用される蛍光体ペーストの粘度は0.1〜50P
a・sであることが塗布がし易い点で好ましい。より好
ましくは、0.5〜40Pa・sである。
The viscosity of the phosphor paste used in the method of discharging from the above-mentioned base is 0.1 to 50P.
a · s is preferable in that the coating is easy. More preferably, it is 0.5 to 40 Pa · s.

【0037】次に蛍光体ペーストの組成は、焼成後に蛍
光体のみで構成される蛍光体層を形成するために、蛍光
体粉末以外の成分は、塗布後の乾燥および焼成工程にお
いて蒸発もしくは分解して除去されるものが好ましい。
Next, the composition of the phosphor paste is such that components other than the phosphor powder evaporate or decompose during the drying and firing steps after application in order to form a phosphor layer composed of only the phosphor after firing. Is preferably removed.

【0038】本発明に使用される蛍光体ペーストの蛍光
体粉末以外の成分としては、有機バインダー、溶媒およ
び必要に応じて分散剤、可塑剤、レベリング剤などが挙
げられる。
The components other than the phosphor powder of the phosphor paste used in the present invention include an organic binder, a solvent, and if necessary, a dispersant, a plasticizer, a leveling agent and the like.

【0039】さらにこのような組成物に感光性を付与す
ることにより、フォトリソグラフィーによるパターン加
工も可能である。この方法は、塗布工程において隔壁の
上部や隔壁形成部以外などの不要な部分に形成された蛍
光体を取り除くのに有効である。すなわち蛍光体ペース
トを塗布した後、フォトマスクを介して露光し、露光部
分のペーストを現像液に対して可溶化または不溶化する
ことにより、現像工程で不要な部分を取り除き、蛍光体
層を形成することができる。
Further, by imparting photosensitivity to such a composition, pattern processing by photolithography is also possible. This method is effective for removing the phosphor formed in unnecessary portions such as the upper portion of the partition and the portion other than the partition forming portion in the coating step. That is, after the phosphor paste is applied, the exposed portion is exposed through a photomask, and the exposed portion of the paste is solubilized or insolubilized in a developing solution, thereby removing unnecessary portions in a developing process to form a phosphor layer. be able to.

【0040】有機バインダーの具体的な例としては、
(ポリ)ビニルブチラール、(ポリ)ビニルアセテー
ト、(ポリ)ビニルアルコール、セルロース系ポリマー
(例えば、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒド
ロキシエチルセルロース、メチルヒドロキシエチルセル
ロース)、ポリエチレン、シリコンポリマー(例えば、
(ポリ)メチルシロキサン、(ポリ)メチルフェニルシ
ロキサン)、ポリスチレン、ブタジエン/スチレンコポ
リマー、ポリスチレン、(ポリ)ビニルピロリドン、ポ
リアミド、高分子量ポリエーテル、エチレンオキシドと
プロピレンオキシドのコポリマーポリアクリルアミドお
よび種々のアクリルポリマー(例えば、ポリアクリル酸
ナトリウム、(ポリ)低級アルキルアクリレート、(ポ
リ)低級アルキルメタクリレートおよび低級アルキルア
クリレートおよびメタクリレートの種々のコポリマーお
よびマルチポリマーが挙げられる。
Specific examples of the organic binder include:
(Poly) vinyl butyral, (poly) vinyl acetate, (poly) vinyl alcohol, cellulosic polymers (eg, methylcellulose, ethylcellulose, hydroxyethylcellulose, methylhydroxyethylcellulose), polyethylene, silicone polymers (eg,
(Poly) methylsiloxane, (poly) methylphenylsiloxane), polystyrene, butadiene / styrene copolymer, polystyrene, (poly) vinylpyrrolidone, polyamide, high molecular weight polyether, polyacrylamide copolymer of ethylene oxide and propylene oxide and various acrylic polymers ( Examples include sodium polyacrylate, (poly) lower alkyl acrylates, (poly) lower alkyl methacrylates and various copolymers and multipolymers of lower alkyl acrylates and methacrylates.

【0041】可塑剤の具体的な例としては、ジブチルフ
タレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコ
ール、グリセリンなどが挙げられる。
Specific examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.

【0042】溶媒の具体的な例としては、メチルセロソ
ルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエ
チルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノ
ン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプ
ロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ブチルカルビ
トールアセテート、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチ
ロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロ
モベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロ
ロ安息香酸、テルピネオールなどやこれらのうちの1種
以上を含有する有機溶媒が挙げられる。
Specific examples of the solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, butyl carbitol acetate, dimethyl sulfoxide, Examples include γ-butyrolactone, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, terpineol, and organic solvents containing at least one of these.

【0043】分散剤として、アニオン性や非イオン性界
面活性剤などが挙げられる。
Examples of the dispersant include anionic and nonionic surfactants.

【0044】特に、フォトリソグラフィーにより蛍光体
層のパターン加工をする場合には、感光性化合物を含む
有機成分と蛍光体粉末を必須成分とする感光性の蛍光体
ペーストを用いる。
In particular, when patterning a phosphor layer by photolithography, a photosensitive phosphor paste containing an organic component containing a photosensitive compound and a phosphor powder as essential components is used.

【0045】感光性の蛍光体ペーストに用いられる感光
性化合物を含む有機成分は、感光性化合物を10重量%
以上、より好ましくは25重量%以上含む有機成分であ
ることが好ましい。感光性化合物を含む有機成分とは、
感光性ポリマー、感光性モノマー、感光性オリゴマーの
うち少なくとも1種類から選ばれる感光性成分と、必要
に応じて添加される光重合開始剤、増感剤、紫外線吸光
剤などから構成される。
The organic component containing the photosensitive compound used in the photosensitive phosphor paste is 10% by weight of the photosensitive compound.
Preferably, the organic component contains at least 25% by weight or more. The organic component containing a photosensitive compound,
It is composed of a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive polymer, a photosensitive monomer, and a photosensitive oligomer, and a photopolymerization initiator, a sensitizer, an ultraviolet absorber, and the like that are added as needed.

【0046】感光性の蛍光体ペースト中、感光性化合物
を含む有機成分量は、15〜60重量%であることが好
ましい。15重量%未満では感光不足のためパターン性
が劣化する傾向があり、60重量%を越えると焼成時の
脱バインダー性が悪く焼成不足となる傾向がある。
The amount of the organic component containing the photosensitive compound in the photosensitive phosphor paste is preferably 15 to 60% by weight. If the amount is less than 15% by weight, the patternability tends to be deteriorated due to insufficient photosensitivity.

【0047】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、光不溶化型のものとして、 (1)分子内に不飽和基などを1つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマーを含有するもの (2)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの (3)ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どいわゆるジアゾ樹脂といわれるもの等がある。
The photosensitive component includes a photo-insolubilizing type and a photo-solubilizing type. The photo-insolubilizing type includes: (1) a functional monomer having at least one unsaturated group in the molecule. (2) those containing photosensitive compounds such as aromatic diazo compounds, aromatic azide compounds and organic halogen compounds (3) so-called diazo resins such as condensates of diazo-based amines and formaldehyde And others.

【0048】また、光可溶型のものとしては、 (4)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの (5)キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン1,2−ジアジド−5−スルフォン酸エステル等
がある。
Examples of the photo-soluble type include (4) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, and a quinone diazo compound containing the quinone diazo compound. For example, there are naphthoquinone 1,2-diazido-5-sulfonic acid ester of phenol and novolak resin.

【0049】本発明において感光性成分は、上記のすべ
てのものを用いることができるが、蛍光体粉末と混合し
て簡便に用いることができる点で、(1)のものが好ま
しい。
In the present invention, all of the above-mentioned photosensitive components can be used. However, the photosensitive component (1) is preferred in that it can be easily mixed with a phosphor powder and used.

【0050】(1)の感光性モノマーとしては、炭素−
炭素不飽和結合を含有する化合物が好ましく、その具体
的な例として、メチルアクリレート、エチルアクリレー
ト、n−プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレ
ート、n−ブチルアクリレート、sec−ブチルアクリ
レート、sec−ブチルアクリレート、イソ−ブチルア
クリレート、tert−ブチルアクリレート、n−ペン
チルアクリレート、アリルアクリレート、ベンジルアク
リレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシトリ
エチレングリコールアクリレート、シクロヘキシルアク
リレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロ
ペンテニルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレ
ート、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレ
ート、ヘプタデカフロロデシルアクリレート、2−ヒド
ロキシエチルアクリレート、イソボニルアクリレート、
2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデシルアク
リレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリ
レート、2−メトキシエチルアクリレート、メトキシエ
チレングリコールアクリレート、メトキシジエチレング
リコールアクリレート、オクタフロロペンチルアクリレ
ート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアク
リレート、トリフロロエチルアクリレート、アリル化シ
クロヘキシルジアクリレート、1,4−ブタンジオール
ジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジアクリ
レート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレ
ングリコールジアクリレート、トリエチレングリコール
ジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレー
ト、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、グ
リセロールジアクリレート、メトキシ化シクロヘキシル
ジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレー
ト、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピ
レングリコールジアクリレート、トリグリセロールジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、アクリルアミド、アミノエチルアクリレート、フェ
ニルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ベ
ンジルアクリレート、1−ナフチルアクリレート、2−
ナフチルアクリレート、ビスフェノールAジアクリレー
ト、ビスフェノールA−エチレンオキサイド付加物のジ
アクリレート、ビスフェノールA−プロピレンオキサイ
ド付加物のジアクリレート、チオフェノールアクリレー
ト、ベンジルメルカプタンアクリレート、また、これら
の芳香環の水素原子のうち、1〜5個を塩素または臭素
原子に置換したモノマー、もしくは、スチレン、p−メ
チルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレ
ン、塩素化スチレン、臭素化スチレン、α−メチルスチ
レン、塩素化α−メチルスチレン、臭素化α−メチルス
チレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチ
レン、カルボキシメチルスチレン、ビニルナフタレン、
ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、および、上
記化合物の分子内のアクリレートを一部もしくはすべて
をメタクリレートに変えたもの、γ−メタクリロキシプ
ロピルトリメトキシシラン、1−ビニル−2−ピロリド
ンなどが挙げられる。本発明ではこれらを1種または2
種以上使用することができる。
As the photosensitive monomer (1), carbon-
Compounds containing a carbon unsaturated bond are preferable, and specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, and iso-butyl. Acrylate, tert-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, Glycidyl acrylate, heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl Rate, isobornyl acrylate,
2-hydroxypropyl acrylate, isodecyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafluoropentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allyl Cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, Pentaerythrito Monohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, Aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, benzyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-
Naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct, diacrylate of bisphenol A-propylene oxide adduct, thiophenol acrylate, benzyl mercaptan acrylate, and hydrogen atoms of these aromatic rings A monomer in which 1 to 5 are substituted with chlorine or bromine atoms, or styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methylstyrene, chlorinated α- Methylstyrene, brominated α-methylstyrene, chloromethylstyrene, hydroxymethylstyrene, carboxymethylstyrene, vinylnaphthalene,
Examples thereof include vinyl anthracene, vinyl carbazole, and those obtained by partially or entirely changing acrylate in the molecule of the above compound to methacrylate, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-pyrrolidone, and the like. In the present invention, one or two of these are used.
More than one species can be used.

【0051】感光性化合物を含む有機成分中には、前記
感光性モノマーに加え、不飽和カルボン酸等の不飽和酸
を含むことが、感光後の現像性が向上する点で好まし
い。不飽和カルボン酸の具体的な例としては、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン
酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれらの酸無水物な
どが挙げられる。
It is preferable that the organic component containing a photosensitive compound contains an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid in addition to the photosensitive monomer in that the developability after exposure is improved. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0052】またバインダーとして、ポリビニルアルコ
ール、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重
合体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル
−メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン
重合体、ブチルメタクリレート樹脂などを含むことがで
きる。
The binder may contain polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate-methacrylate copolymer, α-methylstyrene polymer, butyl methacrylate resin, etc. Can be.

【0053】また、前記の炭素−炭素不飽和結合を有す
る化合物のうち少なくとも1種類を重合して得られたオ
リゴマーやポリマーを含むことができる。
Further, it may include an oligomer or a polymer obtained by polymerizing at least one of the compounds having a carbon-carbon unsaturated bond.

【0054】さらに重合する際に、これらのモノマーの
含有率が10重量%以上、さらに好ましくは35重量%
以上になるように、他のモノマーと共重合することがで
きる。
In the polymerization, the content of these monomers is 10% by weight or more, more preferably 35% by weight.
As described above, it can be copolymerized with another monomer.

【0055】共重合するモノマーとして、前記したのと
同様の不飽和カルボン酸等の不飽和酸を使用すると、感
光後の現像性を向上することができる点で好ましい。
As the monomer to be copolymerized, the use of an unsaturated acid such as the same unsaturated carboxylic acid as described above is preferable because the developability after exposure can be improved.

【0056】こうして得られた側鎖にカルボキシル基等
の酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価
(AV)は50〜180、さらには70〜140の範囲
が好ましい。酸価が180を越えると、現像許容幅が狭
くなる。また、酸価が50未満であると、未露光部の現
像液に対する溶解性が低下する傾向があり、現像液濃度
を濃くすると露光部まで剥がれが発生し、高精細なパタ
ーンが得られにくい。
The polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained has an acid value (AV) of preferably from 50 to 180, more preferably from 70 to 140. When the acid value exceeds 180, the allowable development width becomes narrow. If the acid value is less than 50, the solubility of the unexposed portion in the developing solution tends to decrease. If the developing solution concentration is high, peeling occurs even in the exposed portion, making it difficult to obtain a high-definition pattern.

【0057】以上示した、ポリマーもしくはオリゴマー
に対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させ
ることによって、感光性を付与することができ、感光性
ポリマーもしくはオリゴマーとして用いることができ
る。
Photosensitivity can be imparted to the polymer or oligomer shown above by adding a photoreactive group to a side chain or a molecular terminal, and the polymer or oligomer can be used as a photosensitive polymer or oligomer.

【0058】好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和
基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、
ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが
挙げられる。
Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. As the ethylenically unsaturated group,
Examples include a vinyl group, an allyl group, an acryl group, and a methacryl group.

【0059】このような側鎖をオリゴマーやポリマーに
付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ
基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基や
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やア
クリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはア
リルクロライドを付加反応させる方法がある。
A method for adding such a side chain to an oligomer or a polymer is based on a method in which an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, an acrylic acid, or There is a method in which chloride, methacrylic chloride or allyl chloride is subjected to an addition reaction.

【0060】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどがあげられる。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, glycidyl ether crotonic acid, glycidyl ether isocrotonic acid, and the like. .

【0061】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアネー
ト、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート等があ
る。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate.

【0062】また、グリシジル基やイソシアネート基を
有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライ
ド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して0.05〜1モル当量付加させる
ことが好ましい。
The ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is used in an amount of from 0.05 to 0.05 to the mercapto group, amino group, hydroxyl group and carboxyl group in the polymer. It is preferable to add one molar equivalent.

【0063】また光重合開始剤としては、ベンゾフェノ
ン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジ
メチルアミン)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフ
ェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニルケト
ン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,2−ジエト
キシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニ
ル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2
−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルジクロロア
セトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサン
トン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチ
オキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジル、ベ
ンジルジメチルケタノール、ベンジルメトキシエチルア
セタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベ
ンゾインブチルエーテル、アントラキノン、2−t−ブ
チルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、β−
クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロ
ン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、4−アジ
ドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−アジド
ベンジリデン)シクロヘキサノン、2,6−ビス(p−
アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、
2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキ
シカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオ
ン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、1,3
−ジフェニル−プロパントリオン−2−(o−エトキシ
カルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−
プロパントリオン−2−(o−ベンゾイル)オキシム、
ミヒラーケトン、2−メチル−[4−(メチルチオ)フ
ェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、ナフタ
レンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロラ
イド、N−フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビス
イソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズ
チアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カ
ンファーキノン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルス
ルホン、過酸化ベンゾインおよびエオシン、メチレンブ
ルーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタ
ノールアミンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられ
る。本発明ではこれらを1種または2種以上使用するこ
とができる。
Examples of photopolymerization initiators include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, Benzoyl-4-methyldiphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2
-Methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl, benzyldimethylketanol, benzylmethoxyethylacetal, benzoin, benzoinmethyl Ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, 2-amyl anthraquinone, β-
Chloranthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-
Azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone,
2-phenyl-1,2-butadione-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3
-Diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-
Propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime,
Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, diphenyl Combination of photoreducing dyes such as disulfide, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoin peroxide and eosin, and methylene blue with reducing agents such as ascorbic acid and triethanolamine And the like. In the present invention, one or more of these can be used.

【0064】光重合開始剤は、感光性成分に対し、0.
1〜6重量%の範囲で添加されることが好ましく、より
好ましくは、0.2〜5重量%である。光重合開始剤の
量が少なすぎると光に対する感度が鈍くなり、光重合開
始剤の量が多すぎれば、露光部の残存率が大きくなりす
ぎるおそれがある。
The photopolymerization initiator is added to the photosensitive component in an amount of 0.1%.
It is preferably added in the range of 1 to 6% by weight, more preferably 0.2 to 5% by weight. If the amount of the photopolymerization initiator is too small, the sensitivity to light becomes low, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion may become too large.

【0065】増感剤は、感度を向上させるために添加さ
れる。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオ
キサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、
2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘ
キサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザ
ル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、
4,4−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、
4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビ
ス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシ
ンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリ
デンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビ
ニレン)−イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−
ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニ
ル−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、
3,3−カルボニル−ビス(7−ジエチルアミノクマリ
ン)、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N
−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノール
アミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチル
アミノ安息香酸イソアミル、3−フェニル−5−ベンゾ
イルチオテトラゾール、1−フェニル−5−エトキシカ
ルボニルチオテトラゾールなどが挙げられる。本発明で
はこれらを1種または2種以上使用することができる。
なお、増感剤の中には光重合開始剤としても使用できる
ものがある。増感剤の添加量は感光性成分に対して0.
05〜10重量%が好ましく、より好ましくは0.1〜
10重量%である。増感剤の量が少なすぎれば光感度を
向上させる効果が発揮されず、増感剤の量が多すぎれば
露光部の残存率が小さくなりすぎるおそれがある。
A sensitizer is added to improve the sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone,
2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone,
4,4-bis (diethylamino) -benzophenone,
4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylideneindanone, p-dimethylaminobenzylideneindanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene)- Isonaphthothiazole, 1,3-bis (4-
Dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone,
3,3-carbonyl-bis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N
-Phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like. In the present invention, one or more of these can be used.
Some sensitizers can also be used as photopolymerization initiators. The amount of the sensitizer to be added is 0.1 to the photosensitive component.
It is preferably from 0.05 to 10% by weight, more preferably from 0.1 to 10% by weight.
10% by weight. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

【0066】また紫外線吸光剤を添加することも有効で
ある。紫外線吸収効果の高い吸光剤を添加することによ
って高精細、高解像度が得られる。紫外線吸光剤として
は有機系染料からなるもの、中でも350〜450nm
の波長範囲で高UV吸収係数を有する有機系染料が好ま
しく用いられる。
It is also effective to add an ultraviolet absorber. High definition and high resolution can be obtained by adding a light absorbing agent having a high ultraviolet absorbing effect. UV absorbers composed of organic dyes, especially 350 to 450 nm
Organic dyes having a high UV absorption coefficient in the above wavelength range are preferably used.

【0067】具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系
染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アミノケト
ン系染料、アントラキノン系、ベンゾフェノン系、ジフ
ェニルシアノアクリレート系、トリアジン系、p−アミ
ノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は紫外
線吸光剤として添加した場合にも、焼成後の絶縁膜中に
残存しないで吸光剤による絶縁膜特性の低下を少なくで
きるので好ましい。これらの中でもアゾ系およびベンゾ
フェノン系染料が好ましい。有機系染料の添加量は蛍光
体ペーストに対し0.05〜5重量%が好ましい。0.
05重量%未満では紫外線吸光剤の添加効果が減少し、
5重量%を越えると焼成後の絶縁膜特性が低下するので
好ましくない。より好ましくは0.15〜1重量%であ
る。
Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, aminoketone dyes, anthraquinone, benzophenone, diphenylcyanoacrylate, triazine, p-aminobenzoic acid dyes, etc. Can be used. Even when the organic dye is added as an ultraviolet light absorber, it is preferable because deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced without remaining in the insulating film after firing. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferred. The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 5% by weight based on the phosphor paste. 0.
If the content is less than 05% by weight, the effect of adding the ultraviolet light absorber decreases,
If it exceeds 5% by weight, the properties of the insulating film after firing deteriorate, which is not preferable. More preferably, it is 0.15 to 1% by weight.

【0068】有機系染料からなる紫外線吸光剤の添加方
法の一例を挙げると、有機系染料を予め有機溶媒に溶解
した溶液を作製し、次に該有機溶媒中に蛍光体粉末を混
合後、乾燥することによって、蛍光体粉末の個々の粉末
表面に有機の膜をコートした、いわゆるカプセル状の粉
末を作製し、これをペーストに添加する方法が挙げられ
る。
As an example of the method of adding the ultraviolet light absorber composed of an organic dye, a solution in which the organic dye is dissolved in an organic solvent in advance is prepared, and then the phosphor powder is mixed in the organic solvent and then dried. By doing so, a method of producing a so-called capsule-like powder in which an organic film is coated on the surface of each powder of the phosphor powder and adding this to a paste can be mentioned.

【0069】これらを用いた蛍光体ペーストまたは感光
性の蛍光体ペーストは、蛍光体粉末、有機バインダー、
紫外線吸光剤、感光性ポリマー、感光性モノマー、光重
合開始剤、分散剤、可塑剤、溶剤などの各種成分を所定
の組成となるように調合した後、3本ローラーや混練機
で均質に混合分散し作製することができるが、予め、分
散剤を溶剤に溶解しておいたり、蛍光体粉末を分散剤や
紫外線吸光剤で表面処理した後に、他の成分と混合して
もよい。
A phosphor paste or a photosensitive phosphor paste using the same is composed of a phosphor powder, an organic binder,
After blending various components such as UV absorber, photosensitive polymer, photosensitive monomer, photopolymerization initiator, dispersant, plasticizer, solvent, etc. to the specified composition, they are mixed homogeneously with three rollers or kneader. Although it can be prepared by dispersing, the dispersant may be dissolved in a solvent in advance, or the phosphor powder may be surface-treated with a dispersant or an ultraviolet absorber, and then mixed with other components.

【0070】電極と隔壁を形成したガラス基板上に前記
したペーストを用いて蛍光体層を形成することによっ
て、本発明のプラズマディスプレイ用基板を得ることが
できる。
The substrate for a plasma display of the present invention can be obtained by forming a phosphor layer using the above-mentioned paste on a glass substrate on which electrodes and partition walls are formed.

【0071】なお蛍光体層は隔壁底部および側面(隔壁
高さの半分の位置)に10〜50μmの厚みを有するこ
とが好ましく、使用する蛍光体ペーストまたは感光性の
蛍光体ペーストは、ペースト中の蛍光体粉末比率による
乾燥や焼成後の収縮を考慮した厚みで塗布することが好
ましい。
The phosphor layer preferably has a thickness of 10 to 50 μm at the bottom and side surfaces of the partition (half the height of the partition), and the phosphor paste or photosensitive phosphor paste used is It is preferable to apply in a thickness in consideration of shrinkage after drying or firing depending on the phosphor powder ratio.

【0072】特に吐出孔を有する口金またはノズルまた
はニードルにより蛍光体ペーストを塗布した場合、ペー
ストの乾燥工程において、ガラス基板の蛍光体塗布面を
下にした状態で保持して行うことが好ましい。これは、
蛍光体ペーストが隔壁側面を伝うことにより、隔壁側面
に蛍光体層を形成することができる。蛍光体層を隔壁間
だけでなく隔壁側面にも形成することによって、蛍光体
面の面積を大きくでき、プラズマディスプレイの輝度向
上に有効である。この場合、具体的には、ガラス基板が
水平面に対して0〜30度であることが好ましい。乾燥
温度、乾燥時間はペースト組成や粘性によって異なる
が、50〜200℃で5〜60分行うことが好ましい。
In particular, when the phosphor paste is applied by a base having a discharge hole, a nozzle or a needle, it is preferable that the paste is dried while the phosphor applied surface of the glass substrate is kept down. this is,
The phosphor layer can be formed on the side wall of the partition wall by the phosphor paste traveling along the side wall of the partition wall. By forming the phosphor layer not only between the partition walls but also on the side surfaces of the partition walls, the area of the phosphor surface can be increased, which is effective for improving the brightness of the plasma display. In this case, specifically, the glass substrate is preferably at 0 to 30 degrees with respect to the horizontal plane. The drying temperature and drying time vary depending on the paste composition and viscosity, but it is preferable to perform the drying at 50 to 200 ° C. for 5 to 60 minutes.

【0073】一方、感光性の蛍光体ペーストを使用し
て、フォトリソグラフィーによるパターン加工を行う場
合は、塗布した後、露光と現像を行う。すなわちフォト
マスクを介して露光し、露光部分のペーストを現像液に
対して可溶化または不溶化し、現像工程で不要な部分を
取り除く。
On the other hand, when performing pattern processing by photolithography using a photosensitive phosphor paste, exposure and development are performed after application. That is, exposure is performed through a photomask, and the exposed portion of the paste is solubilized or insolubilized in a developer, and unnecessary portions are removed in the developing process.

【0074】この時の露光方法については特に限定され
ないが、通常のフォトリソグラフィーで行われるよう
に、フォトマスクを用いてマスク露光する方法が挙げら
れる。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によっ
て、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。ま
た、フォトマスクを用いずに、レーザー光などで直接描
画する方法を用いても良い。露光装置としては、ステッ
パー露光機、プロキシミティ露光機等を用いることがで
きる。
The exposure method at this time is not particularly limited, and a method of performing mask exposure using a photomask as in usual photolithography is used. As the mask to be used, either a negative type or a positive type is selected depending on the type of the photosensitive organic component. Alternatively, a method of directly drawing with a laser beam or the like without using a photomask may be used. As the exposure device, a stepper exposure device, a proximity exposure device, or the like can be used.

【0075】また、大面積の露光を行う場合は、ガラス
基板などの基板上に感光性の蛍光ペーストを塗布した後
に、搬送しながら露光を行うことによって、小さな有効
露光面積の露光機で、大きな面積を露光することができ
る。
In the case of exposing a large area, a photosensitive fluorescent paste is applied onto a substrate such as a glass substrate and then exposed while being conveyed. The area can be exposed.

【0076】この際使用される活性光源は、たとえば、
可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザー
光などが挙げられるが、これらの中で紫外線が好まし
く、その光源としてはたとえば低圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用
できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。
The active light source used at this time is, for example,
Visible light, near-ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, laser light, etc. are preferable. Among them, ultraviolet light is preferable. Etc. can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferred.

【0077】フォトマスクを用いる場合は、パターン幅
の設計が重要である。通常は、隔壁ピッチから隔壁幅を
ひいた幅(スペース)と同じ幅を用いるが、アライメン
ト精度および露光時の光散乱を考慮して、スペースより
0〜30μm狭くしたパターンのフォトマスクを用いて
もよい。
When a photomask is used, the design of the pattern width is important. Normally, the same width (space) as the width obtained by subtracting the partition width from the partition pitch is used. However, in consideration of alignment accuracy and light scattering at the time of exposure, a photomask having a pattern narrower than the space by 0 to 30 μm may be used. Good.

【0078】さらに、露光後、現像液を使用して現像を
行うが、この場合、浸漬法やスプレー法、ブラシ法など
を用いることができる。
Further, after exposure, development is carried out using a developing solution. In this case, an immersion method, a spray method, a brush method or the like can be used.

【0079】現像液は、感光性の蛍光ペースト中の有機
成分が溶解可能である有機溶媒を使用できる。また該有
機溶媒にその溶解力が失われない範囲で水を添加しても
よい。とくに感光性の蛍光ペースト中にカルボキシル基
等の酸性基を持つ化合物が存在する場合は、アルカリ水
溶液で現像できる。アルカリ水溶液として水酸化ナトリ
ウムや水酸化カルシウム水溶液などのような金属アルカ
リ水溶液を使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた
方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好まし
い。
As the developer, an organic solvent in which an organic component in the photosensitive fluorescent paste can be dissolved can be used. Water may be added to the organic solvent as long as the solvent does not lose its solubility. In particular, when a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive fluorescent paste, development can be performed with an aqueous alkali solution. As the alkali aqueous solution, a metal alkali aqueous solution such as a sodium hydroxide or calcium hydroxide aqueous solution can be used, but it is preferable to use an organic alkali aqueous solution since the alkali component can be easily removed at the time of firing.

【0080】有機アルカリとしては、アミン化合物を用
いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウム
ヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノール
アミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は通常
0.01〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量
%である。アルカリ濃度が低すぎれば未露光部が除去さ
れずに、アルカリ濃度が高すぎれば、パターン部を剥離
させ、また露光部を腐食させるおそれがある。また現像
温度は、20〜50℃であることが工程管理上好まし
い。
As the organic alkali, an amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine and the like. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the unexposed portions will not be removed, and if the alkali concentration is too high, the pattern portions may be peeled off and the exposed portions may be corroded. The development temperature is preferably from 20 to 50 ° C. in terms of process control.

【0081】以上の工程中に、乾燥、予備反応の目的
で、50〜300℃加熱工程を導入しても良い。
In the above steps, a heating step at 50 to 300 ° C. may be introduced for the purpose of drying and preliminary reaction.

【0082】さらに蛍光体以外の有機成分を除去するた
めに、焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気や、温度はペ
ーストや基板の種類によって異なるが、具体的には空気
中、窒素、水素等の雰囲気中、400〜550℃の焼成
温度が好ましい。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉や
ベルト式またはローラーハース式の連続型焼成炉などを
用いることができる。
Further, firing is performed in a firing furnace to remove organic components other than the phosphor. The firing atmosphere and the temperature vary depending on the type of the paste or the substrate, but specifically, a firing temperature of 400 to 550 ° C. in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like is preferable. As the firing furnace, a batch type firing furnace, a belt type or a roller hearth type continuous firing furnace, or the like can be used.

【0083】上記のような焼成行程を経ることにより、
図3に示すようなガラス基板上の隔壁間に赤色蛍光体層
4’、青色蛍光体層5’、緑色蛍光体層6’を形成した
PDP用基板を作製することができ、特にPDP背面用
基板として好ましく用いることができる。
Through the above-described firing step,
A PDP substrate having a red phosphor layer 4 ', a blue phosphor layer 5', and a green phosphor layer 6 'formed between partitions on a glass substrate as shown in FIG. 3 can be produced. It can be preferably used as a substrate.

【0084】以上のようにして得られたPDP用基板を
背面用とし、前背面のガラス基板と合わせて封着し、ヘ
リウム、ネオン、キセノン等の希ガスを封入することに
よって、PDPのパネル部分を製造できる。さらに、駆
動用のドライバーICを実装することによって、PDP
を製造することができる。
The PDP substrate obtained as described above is used for the back surface, sealed together with the front and back glass substrates, and sealed with a rare gas such as helium, neon, or xenon to form a panel portion of the PDP. Can be manufactured. Furthermore, by mounting a driver IC for driving, the PDP
Can be manufactured.

【0085】以下、本発明の実施例を挙げて具体的に説
明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。な
お、実施例中の濃度(%)は特に断らない限り重量%で
ある。
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the present invention is not limited to this. The concentration (%) in the examples is% by weight unless otherwise specified.

【0086】[0086]

【実施例】実施例1 蛍光体ペーストを作製するため、蛍光体粉末47g、バ
インダーポリマー(メチルメタクリレート、メタクリル
酸、スチレン共重合体)20gおよび溶媒(γーブチロ
ラクトン)33gを準備した。
Example 1 To prepare a phosphor paste, 47 g of a phosphor powder, 20 g of a binder polymer (methyl methacrylate, methacrylic acid, styrene copolymer) and 33 g of a solvent (γ-butyrolactone) were prepared.

【0087】蛍光体粉末としては、赤:(Y,Gd,E
u)BO3 (最大粒子径27μm、累積平均粒子径2.
7μm、比表面積3.1m2/cc)、緑:(Zn,M
n)2SiO4 (最大粒子径25μm、累積平均粒子径
3.6μm、比表面積2.5m2/cc)、青:(B
a,Eu)MgAl1017(最大粒子径27μm、累積
平均粒子径3.7μm、比表面積2.3m2/cc)を
用いた。
As the phosphor powder, red: (Y, Gd, E
u) BO 3 (maximum particle diameter 27 μm, cumulative average particle diameter 2.
7 μm, specific surface area 3.1 m 2 / cc), green: (Zn, M
n) 2 SiO 4 (maximum particle diameter 25 μm, cumulative average particle diameter 3.6 μm, specific surface area 2.5 m 2 / cc), blue: (B
(a, Eu) MgAl 10 O 17 (maximum particle diameter 27 μm, cumulative average particle diameter 3.7 μm, specific surface area 2.3 m 2 / cc) was used.

【0088】まず、バインダーポリマーおよび溶媒を6
0℃に加熱しながら溶解し、その後蛍光体粉末を添加
し、混練機で混練することによって3色の蛍光体ペース
トを作製した。粘度は12Pa・sであった。
First, the binder polymer and the solvent
It melt | dissolved, heating at 0 degreeC, and after that, phosphor powder was added and it knead | mixed with the kneading machine, and the phosphor paste of three colors was produced. The viscosity was 12 Pa · s.

【0089】該ペーストをピッチ220μm、高さ15
0μm、幅60μmの隔壁961本が形成されたガラス
基板上に、赤、緑、青の各ペーストをストライプ状に塗
布した。
A paste having a pitch of 220 μm and a height of 15 μm was prepared.
Red, green, and blue pastes were applied in a stripe shape on a glass substrate on which 961 partition walls of 0 μm and 60 μm width were formed.

【0090】塗布は、孔径150μmの吐出口を16個
有するノズルにより行った。ノズルは、赤色、青色、緑
色の蛍光体ペーストのそれぞれに1基ずつ使用した。ノ
ズルの先端と隔壁の上端の距離は、50μmにセットし
た。そして、ディスペンサーにより吐出圧を3kg/c
2に調節し、ノズルを隔壁と平行に一定速度で走行さ
せながら蛍光体ペーストを一定量吐出して隔壁間に塗布
した。
The coating was performed by a nozzle having 16 discharge ports with a hole diameter of 150 μm. One nozzle was used for each of the red, blue, and green phosphor pastes. The distance between the tip of the nozzle and the upper end of the partition was set to 50 μm. Then, the discharge pressure is adjusted to 3 kg / c by a dispenser.
m 2 , and a predetermined amount of the phosphor paste was discharged and applied between the partition walls while running the nozzle at a constant speed in parallel with the partition walls.

【0091】まず、赤色蛍光体ペーストを所定の隔壁間
に塗布した。このとき、1回(16本)塗布が終了した
位置において隔壁形成方向と垂直方向にノズルを10,
560μm移動させ、次は1回目と逆方向にノズルを走
行させながら2回目の隔壁間に塗布した。これを20回
繰り返して、赤色蛍光体の所定位置の320本を塗布し
た。塗布終了後、塗布面を上にして80℃で40分乾燥
した。
First, a red phosphor paste was applied between predetermined partition walls. At this time, at the position where one coating (16 coatings) is completed, the nozzle is set at 10 in the direction perpendicular to the partition wall forming direction.
The coating was moved by 560 μm and then applied between the partition walls for the second time while the nozzle was running in the direction opposite to the first time. This was repeated 20 times, and 320 red phosphors at predetermined positions were applied. After completion of the coating, the coating was dried at 80 ° C. for 40 minutes with the coated surface facing upward.

【0092】次に、赤色蛍光体ペーストを塗布した隣の
隔壁間に青色蛍光体ペーストを同様に320本塗布して
乾燥した。さらに次に、青色蛍光体ペーストを塗布した
隣の隔壁間に緑色蛍光体ペーストを同様に320本塗布
して乾燥した。以上の塗布の間、口金の吐出孔詰まりは
なく、安定な塗布を行うことができた。そして、得られ
たガラス基板を500℃で30分焼成を行った。
Next, 320 blue phosphor pastes were similarly applied between the adjacent partitions coated with the red phosphor paste and dried. Next, 320 green phosphor pastes were similarly applied between the adjacent partitions coated with the blue phosphor paste and dried. During the above application, there was no clogging of the discharge holes of the die, and stable application could be performed. Then, the obtained glass substrate was baked at 500 ° C. for 30 minutes.

【0093】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に20±5μm、底
部に20±5μmの厚みでストライプ状に形成できた。
Observation of the thickness of the side surface and the thickness of the bottom portion by an electron microscope revealed that the phosphors of each color could be formed in a stripe shape with a thickness of 20 ± 5 μm on the side surface and 20 ± 5 μm on the bottom portion.

【0094】実施例2 蛍光体ペーストを作製するため、蛍光体粉末39g、バ
インダーポリマー(エチルセルロース)8gおよび溶媒
(テルピネオール)53gを用意した。なお蛍光体粉末
は実施例1と同じもの(赤:(Y,Gd,Eu)B
3 、緑:(Zn,Mn)2SiO4、青:(Ba,E
u)MgAl1017)を用いた。
Example 2 To prepare a phosphor paste, 39 g of a phosphor powder, 8 g of a binder polymer (ethyl cellulose) and 53 g of a solvent (terpineol) were prepared. The phosphor powder was the same as in Example 1 (red: (Y, Gd, Eu) B
O 3 , green: (Zn, Mn) 2 SiO 4 , blue: (Ba, E
u) MgAl 10 O 17 ) was used.

【0095】まず、有機成分の各成分を水に60℃で加
熱しながら溶解し、その後蛍光体粉末を添加し、混練機
で混練することによって蛍光体ペーストを作製した。粘
度は35Pa・sだった。
First, each of the organic components was dissolved in water while heating at 60 ° C., and then phosphor powder was added and kneaded with a kneader to prepare a phosphor paste. The viscosity was 35 Pa · s.

【0096】該ペーストをピッチ220μm、高さ15
0μm、幅60μmの隔壁961本が形成されたガラス
基板上に赤、緑、青の各ペーストをストライプ状に塗布
した。
The paste was prepared with a pitch of 220 μm and a height of 15 μm.
Red, green, and blue pastes were applied in a stripe shape on a glass substrate on which 961 partition walls of 0 μm and 60 μm width were formed.

【0097】塗布は、孔径100μmの吐出孔20個を
ピッチ660μmで1列に形成した口金により行った。
口金は、赤色、青色、緑色の蛍光体ペーストのそれぞれ
に対し2基ずつ使用した。口金の吐出孔部と隔壁の上端
の距離は、50μmにセットした。そして、ディスペン
サーにより吐出圧を4kg/cm2に調節し、口金を隔
壁と平行に一定速度で走行させながら20個の吐出孔か
ら蛍光体ペーストを一定量吐出して20本の隔壁間に同
時に塗布した。
The coating was performed by a die having 20 discharge holes having a hole diameter of 100 μm and formed in a line at a pitch of 660 μm.
Two caps were used for each of the red, blue, and green phosphor pastes. The distance between the discharge hole of the base and the upper end of the partition was set to 50 μm. The discharge pressure is adjusted to 4 kg / cm 2 by a dispenser, and a predetermined amount of the phosphor paste is discharged from the 20 discharge holes while the base is running at a constant speed in parallel with the partition walls, and is simultaneously applied between the 20 partition walls. did.

【0098】まず、赤色蛍光体ペーストを所定の隔壁間
に塗布したが、このとき、赤色蛍光体ペーストを吐出す
る2基の口金を、それぞれ隔壁の形成された端に隔壁方
向と垂直方向に20個の吐出孔が並び、2基の口金の中
心の吐出孔間隔が105.6mmとなるようにセットし
た。2基の口金は、同期させ、同時に同速度で同方向に
走行させた。2基の口金についてそれぞれ20本塗布が
終了した位置において、隔壁形成方向と垂直方向に2基
の口金を同時に同方向に13,200μm移動させた。
次は逆方向に2基の口金を同様に走行させながらそれぞ
れ20本の隔壁間に塗布した。これを8回繰り返して、
赤色蛍光体ペーストの所定位置に1基の口金により16
0本、2基合わせて320本を塗布した。塗布終了後、
塗布面を下にして80℃で40分乾燥した。
First, the red phosphor paste was applied between predetermined partition walls. At this time, two bases for discharging the red phosphor paste were respectively attached to the ends where the partition walls were formed, in a direction perpendicular to the partition wall direction. The discharge holes were arranged so that the distance between the discharge holes at the center of the two bases was 105.6 mm. The two bases were synchronized and simultaneously run in the same direction at the same speed. At the position where the application of 20 pieces was completed for each of the two bases, the two bases were simultaneously moved in the same direction by 13,200 μm in the direction perpendicular to the partition wall forming direction.
Next, the coating was applied between the 20 partition walls while the two caps were running in the opposite direction in the same manner. Repeat this eight times,
A single base is used to fix the red phosphor paste at a predetermined position.
A total of 320 pieces were applied, including zero and two sets. After application,
It was dried at 80 ° C. for 40 minutes with the coated side down.

【0099】次に、赤色蛍光体ペーストを塗布した隣の
隔壁間に青色蛍光体ペーストを同様に2基の口金により
320本塗布して乾燥した。さらに次に、青色蛍光体ペ
ーストを塗布した隣の隔壁間に緑色蛍光体ペーストを同
様に2基の口金により320本塗布して乾燥した。以上
の塗布の間、口金の吐出孔詰まりはなく、安定な塗布を
行うことができた。そして、得られたガラス基板を50
0℃で30分焼成を行った。
Next, 320 pieces of blue phosphor paste were similarly applied between two adjacent partitions to which the red phosphor paste was applied by using two bases and dried. Next, 320 green phosphor pastes were similarly applied between the adjacent partitions coated with the blue phosphor paste by two bases and dried. During the above application, there was no clogging of the discharge holes of the die, and stable application could be performed. Then, the obtained glass substrate is
Baking was performed at 0 ° C. for 30 minutes.

【0100】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に20±5μm、底
部に20±5μmの厚みでストライプ状に形成できた。
When the thickness of the side surface and the thickness of the bottom portion were observed by an electron microscope, the phosphors of each color could be formed in a stripe shape with a thickness of 20 ± 5 μm on the side surface and 20 ± 5 μm on the bottom portion.

【0101】実施例3 実施例1と同じ蛍光体ペーストを用い、実施例1と同様
の隔壁に赤、青、緑のストライプ状に塗布した。
Example 3 The same phosphor paste as in Example 1 was applied to the same partition walls as in Example 1 in the form of red, blue and green stripes.

【0102】塗布は、孔径150μmの吐出孔を有する
ニードルを、ピッチ660μmで1列に80本、これを
ピッチ650μmで3列として先端に圧入した口金(ニ
ードル数240本、長さ6mm)により行った。口金
は、赤色、青色、緑色の蛍光体ペーストのそれぞれに対
し4基ずつ使用した。口金のニードル部先端と隔壁の上
端の距離は、80μmにセットした。そして、ディスペ
ンサーにより吐出圧を4kg/cm2 に調節し、口金を
隔壁と平行に一定速度で走行させながら240個の吐出
孔から蛍光体ペーストを一定量吐出して80本の隔壁間
に同時に塗布した。まず、赤色蛍光体ペーストを所定の
隔壁間に塗布した。このとき、赤色蛍光体ペーストを吐
出する4基の口金を、それぞれ隔壁形成方向と垂直方向
に3列80本のニードルが並び、隣接する口金が接触し
ない本体間隔(1mm)で交互の位置となるようにセッ
トした。4基の口金は、同期させ、同時に同速度で同方
向に走行させた。蛍光体ペーストの吐出開始と終了は、
ニードル先端が隔壁の上部に位置する時のみ行った。こ
れにより隔壁間320本を1度に塗布した。
The coating was performed by a die (240 needles, length 6 mm) having 80 needles having a discharge diameter of 150 μm in a row at a pitch of 660 μm, and press-fitting the tips into three rows at a pitch of 650 μm. Was. Four caps were used for each of the red, blue, and green phosphor pastes. The distance between the tip of the needle part of the base and the upper end of the partition was set to 80 μm. The discharge pressure is adjusted to 4 kg / cm 2 by a dispenser, and a predetermined amount of the phosphor paste is discharged from 240 discharge holes while the base is running at a constant speed in parallel with the partition walls, and the phosphor paste is simultaneously applied between the 80 partition walls. did. First, a red phosphor paste was applied between predetermined partition walls. At this time, the four bases for discharging the red phosphor paste are arranged alternately at intervals of the main body (1 mm) in which three rows of 80 needles are arranged in a direction perpendicular to the partition wall forming direction and adjacent bases do not contact. Was set as follows. The four bases were synchronized and simultaneously run in the same direction at the same speed. The discharge start and end of the phosphor paste
This was performed only when the tip of the needle was located above the partition wall. Thereby, 320 lines between the partition walls were applied at one time.

【0103】塗布終了後、塗布面を下にして80℃で4
0分乾燥した。次に、赤色蛍光体ペーストを塗布した隣
の隔壁間に青色蛍光体ペーストを同様に4基の口金によ
り320本塗布して乾燥した。さらに次に、青色蛍光体
ペーストを塗布した隣の隔壁間に緑色蛍光体ペーストを
同様に4基の口金により320本塗布して乾燥した。以
上の塗布の間、口金の吐出孔詰まりはなく、安定な塗布
を行うことができた。そして、得られたガラス基板を5
00℃で30分焼成を行った。
After completion of the coating, the coated surface was
Dried for 0 minutes. Next, 320 blue phosphor pastes were similarly applied between the adjacent partitions to which the red phosphor paste was applied using four bases and dried. Next, 320 green phosphor pastes were similarly applied between the adjacent partitions to which the blue phosphor paste was applied by using four bases and dried. During the above application, there was no clogging of the discharge holes of the die, and stable application could be performed. Then, the obtained glass substrate is
Baking was performed at 00 ° C. for 30 minutes.

【0104】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に20±5μm、底
部に20±5μmの厚みでストライプ状に形成できた。
Observation of the side thickness and the bottom thickness by an electron microscope revealed that the phosphors of each color could be formed in a stripe shape with a thickness of 20 ± 5 μm on the side and 20 ± 5 μm on the bottom.

【0105】実施例4 蛍光体ペーストを作製するために、蛍光体粉末45g、
バインダーポリマー(メチルメタクリレート、メタクリ
ル酸、スチレン共重合体)15g、トリメチロールプロ
パントリアクリレート9g、溶媒(γーブチロラクト
ン)30g、ベンゾフェノン系染料0.05g、光重合
開始剤(”イルガキュア”907、チバガイギー社製)
1gを用意した。
Example 4 To prepare a phosphor paste, 45 g of a phosphor powder was prepared.
Binder polymer (methyl methacrylate, methacrylic acid, styrene copolymer) 15 g, trimethylolpropane triacrylate 9 g, solvent (γ-butyrolactone) 30 g, benzophenone dye 0.05 g, photopolymerization initiator (“Irgacure” 907, Ciba Geigy) Made)
1 g was prepared.

【0106】蛍光体粉末は実施例1と同じもの(赤:
(Y,Gd,Eu)BO3 、緑:(Zn,Mn)2Si
4、青:(Ba,Eu)MgAl1017)を用いた。
The phosphor powder was the same as in Example 1 (red:
(Y, Gd, Eu) BO 3 , green: (Zn, Mn) 2 Si
O 4 , blue: (Ba, Eu) MgAl 10 O 17 ) was used.

【0107】まず、蛍光体粉末以外の各成分を60℃に
加熱しながら溶解し、その後蛍光体粉末を添加し、混練
機で混練することによって蛍光体ペーストを作製した。
粘度は3.5Pa・sだった。
First, each component other than the phosphor powder was dissolved while heating to 60 ° C., and then the phosphor powder was added and kneaded with a kneader to prepare a phosphor paste.
The viscosity was 3.5 Pa · s.

【0108】該ペーストを実施例1と同様の隔壁に赤、
緑、青のストライプ状に塗布した。塗布は、孔径150
μmの吐出孔を有するニードルを、ピッチ660μmで
1列に80本、これを220μmピッチずつずらして3
列(列ピッチ15mm)として先端に圧入した口金(ニ
ードル数240本、長さ3mm)により行った。口金
は、4基使用した。口金のニードル部先端と隔壁の上端
の距離は、50μmにセットした。そして、ディスペン
サーにより吐出圧を3kg/cm2に調節し、口金を隔
壁と平行に一定速度で走行させながら240個の吐出孔
から蛍光体ペーストを一定量吐出して240本の隔壁間
に同時に塗布した。口金の1列目のニードルからは赤色
蛍光体ペーストを、2列目のニードルからは緑色蛍光体
ペーストを、3列目のニードルからは青色蛍光体ペース
トを吐出させ、各色所定の隔壁間に塗布した。このと
き、4基の口金を、それぞれ隔壁方向と垂直方向に3列
80本のニードルが並び、隣接する口金が接触しない間
隔(1mm)で交互の位置となるようにセットした。4
基の口金は、同期させ、同時に同速度で同方向に走行さ
せた。蛍光体ペーストの吐出開始と終了は、ニードル先
端が隔壁の上部に位置する時のみ行った。これにより隔
壁間960本を1度に塗布した。以上の塗布の間、口金
の吐出孔詰まりはなく、安定な塗布を行うことができ
た。塗布終了後、塗布面を下にして80℃で40分乾燥
した。
The paste was applied to the same partition walls as in Example 1 in red,
It was applied in green and blue stripes. Coating is 150 hole diameter
80 needles having a discharge hole of μm are arranged in a line at a pitch of 660 μm, and the needles are shifted by a pitch of 220 μm.
As a row (row pitch: 15 mm), a die (240 needles, length: 3 mm) pressed into the tip was used. Four caps were used. The distance between the tip of the needle part of the base and the upper end of the partition was set at 50 μm. The discharge pressure is adjusted to 3 kg / cm 2 by a dispenser, and a predetermined amount of the phosphor paste is discharged from 240 discharge holes while the base is running at a constant speed in parallel with the partition walls, and the phosphor paste is simultaneously applied between the 240 partition walls. did. A red phosphor paste is discharged from the first row of needles of the base, a green phosphor paste is discharged from the second row of needles, and a blue phosphor paste is discharged from the third row of needles. did. At this time, the four bases were set so that 80 needles in three rows were arranged in the direction of the partition wall and the direction perpendicular to the partition wall, respectively, and alternately positioned at an interval (1 mm) at which adjacent bases did not come into contact with each other. 4
The base caps were synchronized and simultaneously run in the same direction at the same speed. The discharge start and end of the phosphor paste were performed only when the tip of the needle was positioned above the partition. Thereby, 960 lines between the partition walls were applied at once. During the above application, there was no clogging of the discharge holes of the die, and stable application could be performed. After completion of the coating, the coating was dried at 80 ° C. for 40 minutes with the coated surface facing down.

【0109】次に、ピッチ220μm、線幅70μmの
ネガ型フォトマスクをアライメント露光した後、0.5
%炭酸ナトリウム水溶液で現像した後、500℃で30
分焼成を行った。
Next, after aligning and exposing a negative photomask having a pitch of 220 μm and a line width of 70 μm,
And then developed at 500 ° C for 30%.
A minute firing was performed.

【0110】側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観
察したところ、各色蛍光体が、側面に23±2μm、底
部に30±6μmの厚みでストライプ状に形成できた。
Observation of the thickness of the side surface and the thickness of the bottom portion by an electron microscope revealed that the phosphors of each color could be formed in a stripe shape with a thickness of 23 ± 2 μm on the side surface and a thickness of 30 ± 6 μm on the bottom portion.

【0111】[0111]

【発明の効果】本発明のPDP用基板は、ガラス基板上
に少なくとも電極、隔壁および該隔壁間にストライプ状
に設けた赤色、緑色、青色に発光する3種類の蛍光体層
を有するPDP用基板であって、蛍光体層が、最大粒子
径40μm以下の無機蛍光体粉末からなるため、蛍光体
層を形成するに際し、蛍光体ペーストを口金より吐出す
る方法を採用しても、吐出孔の詰まりなどが発生するこ
とがなく安定的に塗布することが可能であり、高精度の
蛍光体層を有するPDP用基板である。さらに蛍光体層
が隔壁の側面、底部に均一に塗布されるため、本発明の
PDP用基板を背面板としPDPを製造することにより
輝度の優れたものが得られる。
The substrate for a PDP of the present invention is a substrate for a PDP having at least electrodes, partition walls, and three types of phosphor layers for emitting red, green, and blue light which are provided in stripes between the partition walls on a glass substrate. In addition, since the phosphor layer is made of an inorganic phosphor powder having a maximum particle diameter of 40 μm or less, the clogging of the ejection holes is not restricted even when a method of ejecting the phosphor paste from the base when forming the phosphor layer is adopted. This is a PDP substrate having a high-precision phosphor layer, which can be stably applied without generation of the like. Further, since the phosphor layer is uniformly applied to the side and bottom portions of the partition walls, an excellent brightness can be obtained by manufacturing a PDP using the PDP substrate of the present invention as a back plate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプラズマディスプレイ用基板を製造す
るために好ましく用いられる隔壁を形成したガラス基板
の模式図である。
FIG. 1 is a schematic view of a glass substrate having a partition wall preferably used for manufacturing a plasma display substrate of the present invention.

【図2】蛍光体層を塗布した後のガラス基板を示す模式
図である。
FIG. 2 is a schematic view showing a glass substrate after a phosphor layer is applied.

【図3】本発明のプラズマディスプレイ用基板を示す模
式図である。
FIG. 3 is a schematic view showing a substrate for a plasma display of the present invention.

【図4】蛍光体ペーストの塗布方法を模式的に示した図
である。
FIG. 4 is a diagram schematically showing a method of applying a phosphor paste.

【図5】蛍光体ペーストの塗布に用いる口金の1例を模
式的に示す断面概略図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view schematically showing one example of a die used for applying a phosphor paste.

【図6】蛍光体ペーストの塗布に用いるノズル付き口金
の1例を模式的に示す断面概略図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view schematically showing one example of a nozzle with a nozzle used for applying a phosphor paste.

【図7】蛍光体ペーストの塗布に用いるニードル付き口
金の1例を模式的に示す断面概略図である。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view schematically showing one example of a base with a needle used for applying a phosphor paste.

【図8】口金の吐出孔配置の一例を模式的に示すもので
あり、ガラス基板上の隔壁に対する位置関係を示す平面
概略図である。
FIG. 8 is a schematic plan view showing an example of an arrangement of discharge holes of a base, showing a positional relationship with respect to a partition on a glass substrate.

【図9】口金の吐出孔配置の他の例を模式的に示すもの
であり、ガラス基板上の隔壁に対する位置関係を示す平
面概略図である。
FIG. 9 is a schematic plan view showing another example of the arrangement of the discharge holes of the base, showing a positional relationship with respect to a partition on a glass substrate.

【図10】本発明において好ましい蛍光体ペーストの塗
布方法の一例を模式的に示すものである。
FIG. 10 schematically shows an example of a preferred method of applying a phosphor paste in the present invention.

【図11】本発明において好ましい蛍光体ペーストの塗
布方法の他の例を模式的に示すものである。
FIG. 11 schematically shows another example of a preferred method of applying a phosphor paste in the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:電極 2:ガラス基板 3:隔壁 4:赤色蛍光体ペースト層 5:青色蛍光体ペースト層 6:緑色蛍光体ペースト層 4’:赤色蛍光体層 5’:青色蛍光体層 6’:緑色蛍光体層 7:吐出部 8:蛍光体ペースト 9:吐出部先端と隔壁上部の距離 10:多孔口金 11:多孔ノズル 12:多孔ニードル 13:1列配置孔の1色塗布用口金またはノズルまたは
ニードル 23:3列配置孔の1色塗布用口金またはノズルまたは
ニードル 15、25:隔壁 16、26:隔壁形成方向 17、27:ガラス基板 18、28:口金 19、29:軌跡
1: electrode 2: glass substrate 3: partition wall 4: red phosphor paste layer 5: blue phosphor paste layer 6: green phosphor paste layer 4 ': red phosphor layer 5': blue phosphor layer 6 ': green phosphor Body layer 7: Ejector 8: Phosphor paste 9: Distance between tip of ejector and upper part of partition 10: Perforated base 11: Perforated nozzle 12: Perforated needle 13: One-color application base or nozzle or needle 23 in one row arrangement hole : One-color coating base or nozzle or needle having three rows of holes 15, 25: Partition 16, 26: Partition forming direction 17, 27: Glass substrate 18, 28: Base 19, 29: Locus

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ガラス基板上に少なくとも電極、隔壁およ
び該隔壁間にストライプ状に設けた赤色、緑色、青色に
発光する3種類の蛍光体層を有するプラズマディスプレ
イ用基板であって、蛍光体層が、最大粒子径40μm以
下の無機蛍光体粉末からなることを特徴とするプラズマ
ディスプレイ用基板。
1. A plasma display substrate comprising at least an electrode, a partition, and three types of phosphor layers which emit red, green and blue light between the partition on a glass substrate. Consisting of an inorganic phosphor powder having a maximum particle diameter of 40 μm or less.
【請求項2】無機蛍光体粉末の最大粒子径が30μm以
下であることを特徴とする請求項1記載のプラズマディ
スプレイ用基板。
2. The plasma display substrate according to claim 1, wherein the maximum particle size of the inorganic phosphor powder is 30 μm or less.
【請求項3】無機蛍光体粉末の累積平均粒子径が0.5
〜15μm、比表面積0.1〜5m2 /ccであること
を特徴とする請求項1または2記載のプラズマディスプ
レイ基板。
3. An inorganic phosphor powder having a cumulative average particle size of 0.5
3. The plasma display substrate according to claim 1, wherein the substrate has a specific surface area of 0.1 to 5 m 2 / cc.
【請求項4】無機蛍光体粉末が[(Y,Gd,Eu)B
3]、[(Y,Eu)23]、[(Zn,Mn)2Si
4]、[(Ba,Eu)MgAl1017]、[(B
a,Sr,Mg)O・aAl23:Mn]および[Ba
Al1219:Mn]のいずれか1種または2種以上であ
ることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載のプ
ラズマディスプレイ用基板。
4. The method according to claim 1, wherein the inorganic phosphor powder is [(Y, Gd, Eu) B].
O 3 ], [(Y, Eu) 2 O 3 ], [(Zn, Mn) 2 Si
O 4 ], [(Ba, Eu) MgAl 10 O 17 ], [(B
a, Sr, Mg) O · aAl 2 O 3: Mn] and [Ba
Al 12 O 19 : Mn], and the plasma display substrate according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】最大粒子径が40μm以下の赤色、緑色、
青色に発光する無機蛍光体粉末をそれぞれ含む3種類の
蛍光体ペーストを、ノズルまたはニードルの吐出孔を有
する口金からそれぞれ吐出させ、ガラス基板上に形成さ
れた隔壁間にストライプ状に塗布することにより蛍光面
を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ基板
の製造方法。
5. A red, green or green color having a maximum particle size of 40 μm or less.
By discharging three types of phosphor pastes each containing an inorganic phosphor powder that emits blue light from a die having nozzles or needle discharge holes, and applying the paste in the form of stripes between partition walls formed on a glass substrate. A method for manufacturing a plasma display substrate, comprising forming a phosphor screen.
【請求項6】口金一基あたりの吐出孔の数が、(16n
−5)〜(16n+5)の範囲(ただしnは任意の自然
数を表す)であることを特徴とする請求項5記載のプラ
ズマディスプレイ基板の製造方法。
6. The number of discharge holes per base is (16n)
6. The method according to claim 5, wherein the value is in the range of (-5) to (16n + 5) (where n represents an arbitrary natural number).
【請求項7】nが5の倍数であることを特徴とする請求
項6記載のプラズマディスプレイ基板の製造方法。
7. The method according to claim 6, wherein n is a multiple of 5.
【請求項8】口金および/またはガラス基板を、隔壁の
形成方向に走行させることを特徴とする請求項5〜7い
ずれか1項記載のプラズマディスプレイ基板の製造方
法。
8. The method for manufacturing a plasma display substrate according to claim 5, wherein the base and / or the glass substrate is moved in a direction in which the partition walls are formed.
【請求項9】蛍光体ペースト塗布中の吐出孔先端部と隔
壁の上端部の距離が0.01〜2mmであることを特徴
とする請求項5〜8いずれか1項記載のプラズマディス
プレイ基板の製造方法。
9. The plasma display substrate according to claim 5, wherein the distance between the tip of the discharge hole and the upper end of the partition wall during the application of the phosphor paste is 0.01 to 2 mm. Production method.
【請求項10】蛍光体ペーストの粘度が0.1〜50P
a・sであることを特徴とする請求項5〜9いずれか1
項記載のプラズマディスプレイ基板の製造方法。
10. The phosphor paste has a viscosity of 0.1 to 50P.
a.s, characterized by the above-mentioned.
13. The method for producing a plasma display substrate according to the above item.
【請求項11】蛍光体ペーストを塗布した後、蛍光体塗
布面を下向きにして乾燥することを特徴とする請求項5
〜10いずれか1項記載のプラズマディスプレイ基板の
製造方法。
11. The method according to claim 5, wherein after the phosphor paste is applied, the phosphor paste is dried with the phosphor applied surface facing downward.
11. The method for manufacturing a plasma display substrate according to any one of claims 10 to 10.
【請求項12】蛍光体ペーストが、感光性の蛍光体ペー
ストであることを特徴とする請求項5〜11いずれか1
項記載のプラズマディスプレイ基板の製造方法。
12. The phosphor paste according to claim 5, wherein the phosphor paste is a photosensitive phosphor paste.
13. The method for producing a plasma display substrate according to the above item.
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