KR19990059976A - Wafer Cassette Recognition Device - Google Patents
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Abstract
프레임에 놓여 있는 웨이퍼 카세트를 인식하는 장치. 프레임 위에 하나의 센서만이 설치되어 있고 센서는 제1 및 제2 제어기에 연결되어 있다. 제1 및 제2 제어기 사이에는 절연 장치가 연결되어 두 제어기가 서로 전기적으로 간섭하지 않도록 한다. 제1 제어기가 센서를 통하여 감지 동작을 하는 동안 절연 장치는 제2 제어기로 신호가 들어오지 않도록 하고, 반대로 제2 제어기가 센서를 통하여 감지 동작을 하는 동안 절연 장치는 제1 제어기로 신호가 들어오지 않도록 한다.A device for recognizing a wafer cassette placed in a frame. Only one sensor is installed on the frame and the sensor is connected to the first and second controllers. An isolation device is connected between the first and second controllers so that the two controllers do not electrically interfere with each other. While the first controller performs the sensing operation through the sensor, the isolation device prevents the signal from entering the second controller, and conversely, the isolation device prevents the signal from entering the first controller while the second controller performs the sensing operation through the sensor. .
Description
본 발명은 웨이퍼 카세트 인식 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 센서를 통해 프레임에 카세트가 올려져 있는지를 감지하고 프레임 위에 카세트를 올려놓거나 프레임 위의 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer cassette recognition apparatus, and more particularly, to a device for detecting whether a cassette is mounted on a frame through a sensor and placing the cassette on the frame or removing the wafer from the cassette on the frame.
하나의 웨이퍼는 여러 단계의 공정을 거치면서 제품화되는데, 각 단계로 이동할 때에는 다수의 웨이퍼가 카세트에 담겨져 이동하게 된다. 각 단계에서 웨이퍼 카세트는 제어 로봇(robot)에 의해 프레임(frame) 위에 올려지고, 다른 제어 로봇에 의해 카세트 내의 웨이퍼가 한 장씩 꺼내져 정해진 작업대 위에 놓여지게 된다.One wafer is commercialized through several steps, and in each step, a plurality of wafers are moved in a cassette. In each step, the wafer cassette is mounted on a frame by a control robot, and the wafers in the cassette are taken out one by one by another control robot and placed on a work bench.
이러한 동작을 수행하는 종래의 웨이퍼 카세트 인식 장치에 대하여 도 1을 참고로 하여 설명한다.A conventional wafer cassette recognition apparatus for performing such an operation will be described with reference to FIG.
도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 인식 장치를 개략적으로 도시한 블럭도이다.1 is a block diagram schematically showing a conventional wafer cassette recognition device.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 웨이퍼 카세트 인식 장치는 프레임(30) 위에 설치되어 있는 두 쌍의 센서(41, 42; 51, 52)와 각 센서(41, 42: 51, 52)에 각각 연결되어 있는 한 쌍의 제어기(10, 20)로 이루어진다.As shown in FIG. 1, the conventional wafer cassette recognition apparatus is provided to two pairs of sensors 41, 42; 51, 52 and each of the sensors 41, 42: 51, 52 provided on the frame 30, respectively. It consists of a pair of controllers 10, 20 that are connected.
한 쌍의 센서 중 제1 센서(41, 42)는 발광부(41)와 수광부(42)로 이루어지며, 발광부(41)로부터의 빛을 수광부(42)가 받을 수 있도록 사각형 모양 프레임(30)의 마주보는 모서리 중앙에 설치되어 있다. 프레임(30)의 다른 두 모서리 중앙에는 각각 발광부(51)와 수광부(52)로 이루어지는 제2 센서가 설치되어 있다.Among the pair of sensors, the first sensors 41 and 42 may include a light emitting part 41 and a light receiving part 42, and may have a rectangular frame 30 so that the light receiving part 42 may receive light from the light emitting part 41. It is installed in the center of the opposite corner of the). In the centers of the other two corners of the frame 30, a second sensor including a light emitting unit 51 and a light receiving unit 52 is provided.
한편, 제1 및 제2 센서(41, 42; 51, 52)는 각각 제1 및 제2 제어기(10, 20)와 연결되어 제어기(10, 20)와 신호를 주고받을 수 있도록 되어 있다.Meanwhile, the first and second sensors 41, 42; 51, 52 are connected to the first and second controllers 10 and 20, respectively, to exchange signals with the controllers 10 and 20.
여기에서, 제1 센서(41, 42)와 제1 제어기(10)는 웨이퍼 카세트를 올려놓을 때 사용되고, 제2 센서(51, 52)와 제2 제어기(20)는 프레임(30) 위의 카세트로부터 웨이퍼를 꺼낼 때 사용되는 것으로서, 이러한 종래의 웨이퍼 카세트 인식 장치의 동작을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Here, the first sensors 41 and 42 and the first controller 10 are used to place the wafer cassette, and the second sensors 51 and 52 and the second controller 20 are cassettes on the frame 30. The operation of such a conventional wafer cassette recognizing apparatus, which is used when removing a wafer from the wafer, will be described in detail as follows.
작업이 끝난 웨이퍼 카세트가 발생하면, 먼저 제1 제어기(10)는 제1 센서(41, 42)를 통하여 프레임(30) 위에 이미 놓여진 웨이퍼 카세트가 있는지를 확인한다. 프레임(30) 위에 카세트가 있으면 다음 프레임으로 이동하여 같은 동작을 반복하고, 프레임 위에 카세트가 없을 경우 로봇을 제어하여 작업이 끝난 웨이퍼 카세트를 프레임(30) 위에 올려놓는다.When the finished wafer cassette occurs, the first controller 10 first checks whether there is a wafer cassette already placed on the frame 30 through the first sensors 41 and 42. If there is a cassette on the frame 30, it moves to the next frame and repeats the same operation. If there is no cassette on the frame, the robot is controlled to place the finished wafer cassette on the frame 30.
작업을 시작할 웨이퍼 카세트가 필요하면, 먼저 제2 제어기(20)가 제2 센서(50)를 통해 프레임(30) 위에 웨이퍼 카세트가 있는지를 확인한다. 프레임(30) 위에 웨이퍼 카세트가 없으면 카세트가 올려질 때까지 기다리고, 카세트가 있을 경우 로봇을 제어하여 카세트에서 웨이퍼를 한 장씩 꺼내어 정해진 작업대 위로 이동시킨다.If a wafer cassette is needed to start the operation, the second controller 20 first checks whether there is a wafer cassette on the frame 30 via the second sensor 50. If there is no wafer cassette on the frame 30, it waits for the cassette to be loaded, and if there is a cassette, the robot is controlled to take out the wafers one by one from the cassette and move them onto the work bench.
이러한 방식으로 프레임 위에 웨이퍼 카세트가 놓여 있는지 그렇지 않은지를 확인하고, 웨이퍼를 올려놓거나 웨이퍼를 꺼내어 작업대로 이동시키는 경우, 동일한 기능을 하는 센서가 2개가 사용되므로 센서의 개수가 불필요하게 늘어나게 되어 장비의 제작비용이 증가하는 문제점이 있다.In this way, if the wafer cassette is placed on the frame or not, and the wafer is placed or the wafer is removed and moved to the workbench, two sensors having the same function are used, thus increasing the number of sensors unnecessarily. There is a problem that the cost increases.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼 카세트 인식 장치의 제작비용을 줄이는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to reduce the manufacturing cost of the wafer cassette recognition device.
도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 인식 장치를 개략적으로 도시한 블럭도이고,1 is a block diagram schematically showing a conventional wafer cassette recognition device;
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 인식 장치를 개략적으로 도시한 블럭도이고,2 is a block diagram schematically showing a wafer cassette recognition device according to an embodiment of the present invention;
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 인식 장치를 개략적으로 도시한 블럭도이다3 is a block diagram schematically illustrating a wafer cassette recognition device according to another embodiment of the present invention.
본 발명을 이러한 과제를 해결하기 위한 것으로서, 하나의 센서만을 이용하여 프레임 위에 웨이퍼 카세트가 놓여 있는지 아닌지를 검출한다. 이때, 두 제어기의 신호가 서로 간섭하지 않도록 두 제어기의 사이에 절연 장치를 연결하며, 절연 장치는 첫째 제어기가 센서를 이용하여 감지 동작을 하는 동안 둘째 제어기로 신호가 들어가지 않도록 하며 반대로 둘째 제어기가 센서를 이용하여 감지 동작을 하는 동안 첫째 제어기로 신호가 들어가지 않도록 한다. 이러한 절연 장치로는 스위치 블록을 사용할 수 있으며, 이 중 한 스위치 블록은 첫째 제어기에 연결되어 둘째 제어기나 센서로부터의 신호를 차단하는 역할을 하며 나머지 한 스위치 블록은 둘째 제어기에 연결되어 첫째 제어기나 센서로부터의 신호를 차단하는 역할을 한다.In order to solve this problem, the present invention uses only one sensor to detect whether or not a wafer cassette is placed on a frame. At this time, the isolation device is connected between the two controllers so that the signals of the two controllers do not interfere with each other, and the isolation device prevents the signal from entering the second controller while the first controller uses the sensor to detect. Make sure no signal enters the first controller during the sensing operation using the sensor. This isolation device can be used as a switch block, one of which is connected to the first controller to block the signal from the second controller or sensor, the other switch block is connected to the second controller to the first controller or sensor It blocks the signal from.
그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 인식 장치의 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Next, an embodiment of a wafer cassette recognition apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 인식 장치를 개략적으로 도시한 블록도이다.2 is a block diagram schematically showing a wafer cassette recognition apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도 2에 도시한 바와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 카세트 웨이퍼 인식 장치는 종래 기술과는 달리 센서를 하나밖에 사용하지 않는다. 즉, 웨이퍼가 담긴 카세트가 놓여지는 프레임(300)의 마주보는 가장자리 위에 각각 설치되어 있는 발광부(410)와 수광부(420)로 이루어지는 센서를 하나만 사용한다.As shown in FIG. 2, the cassette wafer recognition apparatus according to the first embodiment of the present invention uses only one sensor unlike the prior art. That is, only one sensor including the light emitting part 410 and the light receiving part 420 is provided on the opposite edge of the frame 300 on which the cassette containing the wafer is placed.
발광부(410)와 수광부(420)는 제1 제어기(100) 및 제2 제어기(200)에 연결되어 있으며 제1 제어기(100)와 제2 제어기(200)의 사이에는 절연 장치(600)가 연결되어 있다. 여기에서 제1 제어기(100)와 제2 제어기(200)는 각각 웨이퍼가 담긴 카세트를 프레임(300) 위에 올려놓거나 프레임(300) 위에 놓여있는 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 작업대로 가져가도록 제어하는 장치이다. 또한, 절연 장치(600)는 제1 제어기(100)와 제2 제어기(200)로부터의 신호 또는 센서로부터의 신호를 분리하여 제1 제어기(100)와 제2 제어기(200)가 전기적으로 간섭을 받지 않도록 하는 역할을 한다.The light emitter 410 and the light receiver 420 are connected to the first controller 100 and the second controller 200, and an insulation device 600 is disposed between the first controller 100 and the second controller 200. It is connected. Here, each of the first controller 100 and the second controller 200 is a device for controlling a wafer containing a wafer on the frame 300 or taking a wafer out of the cassette placed on the frame 300 and bringing the wafer to a workbench. In addition, the isolation device 600 separates a signal from the first controller 100 and the second controller 200 or a signal from the sensor so that the first controller 100 and the second controller 200 can electrically interfere with each other. It serves to prevent receiving.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 인식 장치를 개략적으로 도시한 블록도이다.3 is a block diagram schematically showing a wafer cassette recognition device according to a second embodiment of the present invention.
도 3에 도시한 웨이퍼 카세트 인식 장치 또한 제1 실시예와 마찬가지로 하나밖에 사용하지 않는다.In the same manner as the first embodiment, only one wafer cassette recognition device shown in Fig. 3 is used.
프레임(300) 위에 설치되어 있는 발광부(410) 및 수광부(420)는 제1 및 제2 제어기(100, 200)에 연결되어 있다. 발광부(410)와 수광부(420)는 각각 입력단과 출력단을 하나씩밖에 가지고 있지 않으므로, 제1 제어기(100)와 제2 제어기(200)도 서로 연결되어 있다. 제1 제어기(100)와 제2 제어기(200)의 신호가 서로 영향을 미치는 것을 방지하기 위하여 제1 제어기(100)에서 발광부(410)로 향하는 신호선 및 수광부(420)로부터 제1 제어기(100)로 향하는 신호선에는 스위치(s1, s2)가 각각 연결되어 있다. 마찬가지로 제2 제어기(200)에서 발광부(410)로 향하는 신호선 및 수광부(420)로부터 제2 제어기(200)로 향하는 신호선에도 스위치(s3, s4)가 각각 연결되어 있다. 스위치(s1, s2)로 이루어지는 제1 스위치 블록(600)과 스위치(s3, s4)로 이루어지는 제2 스위치 블록(700)은 각각 제어기(500)에 연결되어 있으며, 제어기(500)는 제1 및 제2 제어기(100, 200)에 연결되어 있다.The light emitting unit 410 and the light receiving unit 420 provided on the frame 300 are connected to the first and second controllers 100 and 200. Since the light emitter 410 and the light receiver 420 have only one input terminal and one output terminal, the first controller 100 and the second controller 200 are also connected to each other. In order to prevent the signals of the first controller 100 and the second controller 200 from affecting each other, the first controller 100 from the signal line and the light receiving unit 420 directed from the first controller 100 to the light emitting unit 410. The switches s1 and s2 are respectively connected to the signal line toward (). Similarly, the switches s3 and s4 are connected to the signal line from the second controller 200 toward the light emitting unit 410 and the signal line from the light receiving unit 420 to the second controller 200, respectively. The first switch block 600 composed of the switches s1 and s2 and the second switch block 700 composed of the switches s3 and s4 are connected to the controller 500, respectively. It is connected to the second controller (100, 200).
그러면, 이러한 웨이퍼 카세트 인식 장치의 동작을 상세하게 설명한다.The operation of the wafer cassette recognition device will now be described in detail.
작업이 끝난 웨이퍼가 담겨 있는 카세트가 발생하면 제1 제어기(100)는 발광부(410)로 신호를 보내어 프레임(300) 위에 카세트가 놓여있는지를 확인하고 카세트가 놓여 있으면 다음 프레임으로 이동하여 같은 동작을 반복하고 그렇지 않으면 로봇을 이용하여 카세트를 프레임(300) 위에 올려놓는다.When the cassette containing the finished wafer is generated, the first controller 100 sends a signal to the light emitting unit 410 to check whether the cassette is placed on the frame 300, and if the cassette is placed, moves to the next frame to perform the same operation. Repeat and otherwise put the cassette on the frame 300 using a robot.
그러기 위해서는 먼저, 제1 제어기(100)는 제어기(500)로 신호를 보내어 오프 상태에 있는 제1 스위치 블록(600)의 스위치(s1, s2)들을 온 상태로 만들고, 제2 스위치 블록(700)의 스위치(s3, s4)들은 오프 상태를 계속해서 유지하도록 한다. 그 후 제1 제어기(100)는 발광부(410)로 신호를 보내어 빛을 발광하도록 하고 수광부(420)는 발광부(410)로부터의 광신호를 받아 이를 전기적 신호로 변환하여 제1 제어기(100)로 출력한다. 이때, 제1 제어기(100)로부터의 신호 및 수광부(420)로부터의 신호는 제2 스위치 블록(700)에 의하여 차단되므로 제2 제어기(200)로는 입력되지 않는다.To this end, first, the first controller 100 sends a signal to the controller 500 to turn on the switches s1 and s2 of the first switch block 600 in the off state, and the second switch block 700. The switches s3 and s4 maintain the off state. After that, the first controller 100 transmits a signal to the light emitting unit 410 to emit light, and the light receiving unit 420 receives an optical signal from the light emitting unit 410 and converts it into an electrical signal to convert the first controller 100 into an electrical signal. ) In this case, the signal from the first controller 100 and the signal from the light receiver 420 are blocked by the second switch block 700 and thus are not input to the second controller 200.
수광부(420)로부터의 신호를 받은 제1 제어기(100)는 이 신호로부터 카세트가 프레임(300) 위에 있는지 없는지를 확인하고, 카세트가 없을 경우에는 제어 신호를 출력하여 로봇을 제어하여 프레임(300) 위에 카세트를 올려놓고, 카세트가 있을 경우에는 다른 프레임으로 이동한다.The first controller 100 receiving the signal from the light receiving unit 420 checks whether or not the cassette is on the frame 300 from the signal, and if there is no cassette, outputs a control signal to control the robot to control the frame 300. Place a cassette on top of it and move to another frame if one is present.
제2 제어기(200)의 동작도 이와 유사하며 이를 상세히 설명한다.The operation of the second controller 200 is similar and will be described in detail.
작업대에 들어갈 웨이퍼가 필요하면 제2 제어기(100)는 발광부(410)로 신호를 보내어 프레임(300) 위에 카세트가 놓여있는지를 확인하고 카세트가 놓여 있지 않으면 카세트가 놓여질 때까지 기다리고 그렇지 않으면 로봇을 이용하여 프레임(300) 위의 카세트 내의 웨이퍼를 꺼내어 작업대로 운반한다.If a wafer is required to enter the workbench, the second controller 100 sends a signal to the light emitting unit 410 to check whether the cassette is placed on the frame 300. If the cassette is not placed, the second controller 100 waits until the cassette is placed. The wafer in the cassette on the frame 300 is taken out and transported to a workbench.
그러기 위해서는 먼저, 제2 제어기(200)는 제어기(500)로 신호를 보내어 오프 상태에 있는 제2 스위치 블록(700)의 스위치(s3, s4)들을 온 상태로 만들고, 제1 스위치 블록(600)의 스위치(s1, s2)들은 오프 상태를 계속해서 유지하도록 한다. 그 후 제2 제어기(200)는 발광부(410)로 신호를 보내어 빛을 발광하도록 하고 수광부(420)는 발광부(410)로부터의 광신호를 받아 이를 전기적 신호로 변환하여 제2 제어기(200)로 출력한다. 이때, 제2 제어기(200)로부터의 신호 및 수광부(420)로부터의 신호는 제1 스위치 블록(600)에 의하여 차단되므로 제1 제어기(100)로는 입력되지 않는다.To this end, first, the second controller 200 sends a signal to the controller 500 to turn on the switches s3 and s4 of the second switch block 700 in the off state, and the first switch block 600. Switches (s1, s2) to keep the OFF state. After that, the second controller 200 sends a signal to the light emitting unit 410 to emit light, and the light receiving unit 420 receives an optical signal from the light emitting unit 410 and converts it into an electrical signal to convert the second controller 200. ) In this case, the signal from the second controller 200 and the signal from the light receiving unit 420 are blocked by the first switch block 600 and thus are not input to the first controller 100.
수광부(420)로부터의 신호를 받은 제2 제어기(200)는 이 신호로부터 카세트가 프레임(300) 위에 있는지 없는지를 확인하고, 카세트가 있을 경우에는 제어 신호를 출력하여 로봇을 제어하여 프레임(300) 위의 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 작업대로 운반하고, 카세트가 없을 경우에는 카세트가 놓여질 때까지 기다린다.The second controller 200 receiving the signal from the light receiving unit 420 checks whether or not the cassette is on the frame 300 from the signal, and if there is a cassette, outputs a control signal to control the robot to control the frame 300. Remove the wafer from the cassette above and transport it to the workbench. If there is no cassette, wait for the cassette to be loaded.
앞의 실시예에서는 센서로 발광부와 수광부로 이루어진 광센서만을 언급하였으나, 광센서뿐 아니라 프레임에 카세트가 놓여지면 바로 감지할 수 있는 압력 센서나 기타 다른 센서도 사용될 수 있다.In the above embodiment, only the light sensor composed of the light emitting part and the light receiving part is referred to as a sensor. In addition to the light sensor, a pressure sensor or other sensor which can be detected immediately when the cassette is placed in the frame may be used.
이와 같이 본 발명에서는 센서를 하나만 사용하고 대신 두 제어기 사이에 절연 장치를 연결하여 두 제어기 사이의 신호를 차단함으로써 장비의 제작비용을 줄일 수 있다.As described above, in the present invention, only one sensor is used and instead, an isolation device is connected between the two controllers to cut off the signal between the two controllers, thereby reducing the manufacturing cost of the equipment.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20080918 Year of fee payment: 9 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |