KR100854978B1 - Apparatus for storing substrates - Google Patents
Apparatus for storing substrates Download PDFInfo
- Publication number
- KR100854978B1 KR100854978B1 KR1020050027548A KR20050027548A KR100854978B1 KR 100854978 B1 KR100854978 B1 KR 100854978B1 KR 1020050027548 A KR1020050027548 A KR 1020050027548A KR 20050027548 A KR20050027548 A KR 20050027548A KR 100854978 B1 KR100854978 B1 KR 100854978B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- slot
- unit
- loading apparatus
- light
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47J—KITCHEN EQUIPMENT; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; APPARATUS FOR MAKING BEVERAGES
- A47J36/00—Parts, details or accessories of cooking-vessels
- A47J36/02—Selection of specific materials, e.g. heavy bottoms with copper inlay or with insulating inlay
- A47J36/025—Vessels with non-stick features, e.g. coatings
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47G—HOUSEHOLD OR TABLE EQUIPMENT
- A47G19/00—Table service
- A47G19/02—Plates, dishes or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 기판이 순차적으로 적재되는 기판 적재 장치에 있어서, 상기 기판 수납 장치의 외곽 틀을 이루는 프레임; 상기 프레임에 대향되게 마련되어 기판을 지지하되, 상하 방향으로 소정 간격 이격되어 다수층으로 형성되는 슬롯(Slot); 상기 슬롯마다 내부에 각각 마련되어 기판의 수납 여부를 검출하는 검출부; 상기 검출부에서 검출한 출력값에 대해 기판의 수납 여부를 판단하며, 판단 결과에 따라 반송 로봇을 제어하는 제어부;로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate loading apparatus in which a substrate is sequentially stacked, the frame forming an outer frame of the substrate accommodating apparatus; A slot provided to face the frame to support a substrate, the slot being spaced apart by a predetermined interval in a vertical direction and formed in a plurality of layers; A detection unit provided inside each of the slots to detect whether or not the substrate is accommodated; And a control unit for determining whether to accommodate the substrate based on the output value detected by the detection unit, and controlling the transfer robot according to the determination result.
평판표시소자, 기판 수납 장치, 검출부, 수납여부, 제어부, 통신부 Flat panel display element, substrate storage device, detection unit, storage unit, control unit, communication unit
Description
도 1은 종래의 기판 적재 장치를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional substrate loading apparatus.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate loading apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3은 상기 도 2의 정면도이다.3 is a front view of FIG. 2.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
110 : 기판 적재 장치 112 : 프레임110: substrate loading device 112: frame
114 : 슬롯(Slot) 126 : 검출부114: slot 126: detector
S : 기판S: Substrate
본 발명은 기판 적재 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 적재 과정에서 기판의 존재 유무를 검출할 수 있는 기판 적재 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate loading apparatus, and more particularly, to a substrate loading apparatus capable of detecting the presence or absence of a substrate in the process of loading the substrate.
LCD, PDP, OLED 등의 평판표시소자를 제조하는 과정에서는 대면적 유리 기판을 취급한다. 따라서 평판표시소자 제조 과정 중에는 대면적 유리 기판 다수장을 이동시키고, 적재하는 과정이 여러 공정에서 계속하여 반복된다. 이때 평판표시소자 제조에 대한 대부분의 과정은 클린룸 내에서 이루어지므로, 유리 기판을 적재함 에 있어서 그 사용 면적을 감소시키는 것이 클린룸의 유지 비용을 감소시킬 수 있어서 유리하다. 따라서 유리 기판의 적재시에 여러 장의 기판을 상하 방향으로 적재시켜 사용면적을 감소시키되, 각 기판이 접촉되지 않도록 각 기판을 소정 간격 이격시켜 적재시킨다. In manufacturing flat panel display devices such as LCD, PDP and OLED, large-area glass substrates are handled. Therefore, during the manufacturing process of the flat panel display device, the process of moving and stacking a large number of large glass substrates is repeated continuously in various processes. In this case, since most of the processes for manufacturing the flat panel display device are performed in a clean room, it is advantageous to reduce the use cost of the clean room in loading the glass substrate, which is advantageous. Therefore, when loading a glass substrate, several substrates are stacked in the vertical direction to reduce the use area, but each substrate is spaced apart by a predetermined interval so that each substrate does not come into contact with each other.
이렇게 여러 장의 기판이 서로 접촉되지 않도록 하면서, 기판을 상하 방향으로 적재하는 데에는 기판 적재 장치가 사용된다. 종래의 기판 적재 장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(12)과 슬롯(Slot : 14)과 검출수단과 제어부(도면에 미도시)로 구성된다. Thus, a board | substrate loading apparatus is used for loading a board | substrate in the up-down direction, preventing several board | substrates from contacting each other. As shown in FIG. 1, the conventional
여기에서 상술한 프레임(12)은 기판 적재 장치(10)의 외곽 틀을 이루는 구성요소로서 기판 적재 장치(10)의 전체적인 형태를 이룬다. 그리고 상술한 슬롯(14)은 기판(S)이 적재될 때 기판(S)과 직접 접촉되어 기판(S)을 지지하는 구성요소로서, 상술한 프레임(12)의 양 측벽에 각각 대향된 상태로 수평하게 마련된다. 상술한 프레임(12)이 기판 적재 장치(10)의 전체적인 형태를 유지하기 위해 경도가 우수한 재질의 소재로 이루어짐에 반해, 슬롯(14)은 기판(S)과 접촉하는 과정에서 기판(S)에 손상을 주지않기 위해 기판(S)보다 경도가 낮은 재질의 소재로 이루어진다. The
그리고 상술한 슬롯(14)은 이웃한 슬롯(14)과 상당 간격 이격되도록 다층으로 마련되는데, 이때 상술한 슬롯(14) 사이의 간격은, 슬롯(14) 상부에 기판(S)을 반입하거나 슬롯(14) 상부에 지지가 되어 있는 기판(S)을 반출할 수 있을 정도의 크기를 가지도록 유지된다. 즉, 상술한 반송 로봇(30)의 로봇 핸드가 기판(S)을 탑 재한 채로 슬롯(14) 사이로 진입하고, 약간 하강하여 탑재한 기판(S)을 슬롯(14)의 상부 영역으로 이전할 수 있게 각 슬롯(14) 사이가 이격되어 배치되는 것이다. And the above-described
상술한 검출수단은 프레임(12)의 높이 영역과 유사한 높이 영역을 갖으며, 직립된 이송대(20)와, 상술한 이송대(20)를 기판 적재 장치(10) 내부로 왕복 이동할 수 있게 구동력을 제공하는 구동부(22)와, 상술한 이송대(20)에 적재되는 기판(S)의 수만큼 수평 방향으로 돌출되는 수평대(24)와, 상술한 수평대(24)의 내부 상단에 마련되는 검출부(26)로 이루어진다.The detection means described above has a height region similar to that of the height of the
여기서, 상술한 수평대(24)는 슬롯(14)에 수납되어 적재되는 기판(S)의 사이인 중간 영역에 각각 개재되어 그 수평대(24)가 기판 적재 장치(10)의 내부로 반입 또는 반출할 때 기판(S)과 충돌하는 것을 방지하기 위함이다.Here, the
그리고 상기 기판 적재 장치(10)의 전면에는, 기판(S)을 이 기판 적재 장치(10)에 반입하거나 적재된 기판(S)을 반출하는 반송 로봇(30)이 마련된다. 이 반송 로봇(30)에서 기판(S)을 탑재하는 로봇 핸드의 하측에 반송 로봇(30)의 구동을 위한 구동 수단 등 여러 가지 구성요소가 마련되므로 그 구동 수단에 의해 기판 적재 장치(10)의 하부 영역 슬롯(14)에서 상부 영역 슬롯(14)까지 기판(S)을 적재하게 된다.And the
그러나 상술한 기판 적재 장치(10)에 적재된 기판(S)의 존재 유무를 검사하기 위해서는 별도의 검출부(26)가 다수 구비된 검출수단이 필요하여 제작 시간과 소요 비용이 증가하며, 기판 적재 장치(10)내에 검출수단이 진입하여 기판(S)의 존재 유무를 각각의 검출부(26)에 의해 검사한 다음 제어부에 검출값을 발신한 후 반 출하고 이에 상술한 제어부는 검출값에 기초하여 기판(S)을 기판 적재 장치(10) 내부로 반입할 것을 명령받은 반송 로봇(30)이 이를 수행하는 등 기판(S)의 적재 시간이 증가하는 문제점이 있었다.However, in order to inspect the presence or absence of the substrate S loaded on the
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 기판 검출부를 기판이 적재되는 기판 적재 장치에 일체로 마련하여 제작 비용 절감 및 기판 적재 시간이 감소할 수 있게 한 기판 적재 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a substrate loading apparatus in which a substrate detection unit is integrally provided with a substrate loading apparatus on which a substrate is loaded, thereby reducing manufacturing cost and reducing substrate loading time. In providing.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판이 순차적으로 적재되는 기판 적재 장치에 있어서, 상기 기판 적재 장치의 외곽 틀을 이루는 프레임; 상기 프레임에 대향되게 마련되어 기판을 지지하되, 상하 방향으로 소정 간격 이격되어 다수층으로 형성되는 슬롯(Slot); 상기 슬롯마다 내부에 각각 마련되어 기판의 적재 여부를 검출하는 검출부; 상기 검출부에서 검출한 출력값에 대해 기판의 적재 여부를 판단하며, 판단 결과에 따라 반송 로봇을 제어하는 제어부;로 이루어짐으로써, 상술한 기판 적재 장치에 기판마다 존재 유무를 판단할 수 있는 검출부를 프레임의 슬롯에 각각 마련함에 따라 별도의 검출수단이 필요하지 않고 반입 즉시 기판의 적재 여부를 알 수 있으므로 비용 절감 및 기판 적재시 소요 시간이 감소하므로 바람직하다. In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate loading apparatus in which a substrate is sequentially loaded, the frame forming an outer frame of the substrate loading apparatus; A slot provided to face the frame to support a substrate, the slot being spaced apart by a predetermined interval in a vertical direction and formed in a plurality of layers; A detection unit provided inside each of the slots to detect whether a substrate is loaded; The control unit for determining whether the substrate is loaded on the output value detected by the detection unit, and controls the transport robot according to the determination result, the detection unit that can determine the presence or absence of each substrate in the above-described substrate loading apparatus of the frame Since it is possible to know whether or not the board is loaded immediately after the loading, the separate detection means is not required as it is provided in each slot, which is preferable because the cost reduction and the time required for loading the board are reduced.
또한, 본 발명에서는 검출부는, 빛을 발광하는 발광부와, 상기 발광부에서 발광하는 빛을 수광하는 수광부로 이루어지며, 그 발광부와 수광부의 사이에 기판이 위치됨으로써, 발광부에서 발광하는 빛이 기판이 존재하면 수광부에 전달되지 못하여 기판의 존재로 판단되고, 상술한 발광부와 수광부의 사이에 기판이 존재하지 않아 발광부에서 발광하는 빛이 수광부에 전달되면 기판의 무존재로 판단되므로 바람직하다.Further, in the present invention, the detection unit is composed of a light emitting unit for emitting light and a light receiving unit for receiving the light emitted from the light emitting unit, the substrate is positioned between the light emitting unit and the light receiving unit, the light emitted from the light emitting unit If this substrate is present, it is judged that there is a substrate because it is not transmitted to the light-receiving unit, and when the light emitted from the light-emitting unit is transmitted to the light-receiving unit because no substrate exists between the light-emitting unit and the light-receiving unit, it is determined that the substrate is absent. Do.
또한, 본 발명에서는 검출부에는 이 검출부의 신호를 제어부로 발신할 수 있도록 무선 또는 유선 중 어느 하나에 의해 통신하는 통신부가 더 마련되므로 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the detection unit is further provided with a communication unit for communicating by either wireless or wired so as to transmit a signal of the detection unit to the control unit.
이하, 본 발명의 기판 적재 장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the substrate loading apparatus of the present invention will be described with reference to an embodiment as follows.
본 발명의 바람직한 실시예의 기판 적재 장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 크게는 프레임(112); 슬롯(114); 검출부(126); 통신부(도면에 미도시); 제어부(도면에 미도시)로 구성된다.A substrate loading apparatus of a preferred embodiment of the present invention includes a
상술한 프레임(112)은 기판 적재 장치(110)의 외곽 틀을 이루며, 입체 형상을 갖도록 마련된다.The above-described
상술한 슬롯(Slot : 114)은 기판(S)이 적재될 때 기판(S)과 직접 접촉되어 기판(S)을 지지하는 기능을 하며, 상술한 프레임(12)의 양 측벽에 각각 대향된 상 태로 수평하게 마련된다. 상술한 프레임(12)이 기판 적재 장치(10)의 전체적인 형태를 유지하기 위해 경도가 우수한 재질의 소재로 이루어짐에 반해, 슬롯(114)은 기판(S)과 접촉하는 과정에서 기판(S)에 손상을 주지않기 위해 기판(S)보다 경도가 낮은 재질의 소재로 이루어진다.The above-described slot (Slot) 114 is in direct contact with the substrate (S) when the substrate (S) is loaded to support the substrate (S), the image opposite to each side wall of the above-described
여기서, 상술한 슬롯(114)의 일단 상, 하부 영역을 부분 절개하고 그 절개된 부분에 검출부(126)가 마련되며, 이러한 검출부(126)는 빛을 발광하는 발광부와, 상기 발광부에서 발광하는 빛을 수광하는 수광부로 이루어진다. 그리고 빛을 전달하여 연계 동작하기 위한 발광부와 수광부는 각각 이웃한 상하 슬롯(114)에 마련되며, 이 발광부와 수광부는 발광부가 상측에 수광부가 하측에 마련되거나, 발광부가 하측에 수광부가 상측에 마련될 수 있다. 다만, 상술한 검출부(126)의 발광부와 수광부는 그 사이에 위치된 기판(S)의 존재 유무를 판별하기 위해 발광부에서 발광하는 빛이 기판(S)의 존재 유무로 수광부에 전달되고 미전달되고의 차이에 따라 기판(S)의 존재 유무를 판별하기 때문이다.Here, the upper and lower regions of one end of the
상술한 통신부는 상술한 검출부(126)의 검출 신호를 제어부로 발신할 수 있도록 기판 적재 장치(110)의 일측에 마련되며, 각각의 검출부(126)를 한데 묶어 전기적으로 연결한다. 그리고 상술한 통신부는 검출부(126)의 출력 신호를 제어부에 전달하기 위해 무선 또는 유선 통신 중 어느 하나에 의해 실시된다.The above-described communication unit is provided at one side of the
상술한 제어부는 각각의 검출부(126)에서 출력하는 검출 신호를 일괄적으로 통신부에서 수신한 후 그 수신된 검출 신호로 기판(S)의 존재 여부를 판단하고 반송 로봇(130)으로 하여금 기판(S)의 존재 여부를 인식하게 하여 다수의 슬롯(114) 중 기판(S)이 존재하다는 신호가 출력된 슬롯(114)을 제외한 나머지 슬롯(114)에 기판(S)을 반입시킨다.The above-described control unit collectively receives the detection signal output from each
즉, 상술한 제어부는 검출부(126)의 수광부에 의한 수광량을 데이터화하여 그 데이터화된 출력값에 따라 기판(S)의 존재 유무를 판단하는 것이다.In other words, the above-described control unit data-receives the amount of light received by the light-receiving unit of the
여기서, 상술한 검출부(126)의 수광부에는 그 수광부와 전기적으로 연결되어 상술한 수광부에 의한 출력값이 설정값을 초과할 때 음성으로 출력하여 기판(S)이 기판 적재 장치(110)의 어느 한 부분에 존재하지 않을 경우 작업자에게 청각적으로 인지시키는 알람부(도면에 미도시)가 더 마련될 수 있다.Here, the light receiving unit of the above-described
그러므로 본 발명에 따른 기판 적재 장치의 기판 존재 유무 판별은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 기판(S)이 다수 적재되는 기판 적재 장치(110)에 있어 상술한 기판(S)의 적재 여부를 판별하는 검출부(126)를 기판(S)이 안착되는 슬롯(114)내에 각각 마련하여 기판(S)이 슬롯(114)에 안착되는 동시에 적재 여부 판별을 수행할 수 있다.Therefore, whether the substrate is present or not in the substrate loading apparatus according to the present invention determines whether the substrate S described above is loaded in the
즉, 상술한 기판(S)을 기판 적재 장치(110)내로 반입하기 전 각각의 슬롯(114)에 마련된 검출부(126) 각각마다 기판(S)의 존재 여부를 검출한 검출값이 통신부로 발신되며, 상술한 통신부에서 유선 또는 무선에 의해 제어부로 검출부(126)의 검출값을 발신하여 이 검출값을 제어부에서 의해 비교·연산하고 기판(S)의 존재 유무를 판단한다.That is, the detection value detecting the presence or absence of the substrate S is transmitted to the communication unit for each of the
그후, 상술한 제어부에서 반송 로봇(130)의 구동을 제어하여 기판 적재 장치 (110)내 기판(S)이 적재되지 않았다고 제어부에 의해 판단되는 슬롯(114)에만 기판(S)을 반송 로봇(130)에 의해 반입시킨다.Thereafter, the above-described control unit controls the driving of the
이와 같은 본 발명의 기판 적재 장치는 다수 기판을 기판 적재 장치에 적재하는 과정에서 프레임의 슬롯마다 적재되는 기판의 존재 유무를 검출하는 검출부를 각각 마련함으로써, 기판 적재 장치 자체에서 기판의 존재 유무의 판단이 가능하여 기판 적재 시간과 제조 단가 절감 및 작업 공정을 감소할 수 있는 효과가 있다.Such a substrate loading apparatus of the present invention provides a detection unit for detecting the presence or absence of a substrate loaded for each slot of a frame in the process of loading a plurality of substrates into the substrate loading apparatus, thereby determining the presence or absence of the substrate in the substrate loading apparatus itself. This can reduce the board loading time, manufacturing cost and work process can be reduced.
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050027548A KR100854978B1 (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | Apparatus for storing substrates |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050027548A KR100854978B1 (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | Apparatus for storing substrates |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060105134A KR20060105134A (en) | 2006-10-11 |
KR100854978B1 true KR100854978B1 (en) | 2008-08-28 |
Family
ID=37634972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050027548A KR100854978B1 (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | Apparatus for storing substrates |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100854978B1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970030607A (en) * | 1995-11-27 | 1997-06-26 | 김광호 | Semiconductor Wafer Transfer Device |
KR100260118B1 (en) | 1992-10-20 | 2000-07-01 | 다카시마 히로시 | Apparatus and method for detector substrate |
KR20000043522A (en) * | 1998-12-29 | 2000-07-15 | 윤종용 | Wafer cassette transfer device with wafer counter |
KR20050006425A (en) * | 2003-07-08 | 2005-01-17 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for Ttransfering Wafer |
-
2005
- 2005-04-01 KR KR1020050027548A patent/KR100854978B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100260118B1 (en) | 1992-10-20 | 2000-07-01 | 다카시마 히로시 | Apparatus and method for detector substrate |
KR970030607A (en) * | 1995-11-27 | 1997-06-26 | 김광호 | Semiconductor Wafer Transfer Device |
KR20000043522A (en) * | 1998-12-29 | 2000-07-15 | 윤종용 | Wafer cassette transfer device with wafer counter |
KR20050006425A (en) * | 2003-07-08 | 2005-01-17 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for Ttransfering Wafer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060105134A (en) | 2006-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7199003B2 (en) | Carrier device, carrier device with receiving function, carrier system, host system, carrier device control method, and program | |
US20010014267A1 (en) | Wafer processing apparatus, method of operating the same and wafer detecting system | |
KR20150105229A (en) | Article support deviec | |
JP6531629B2 (en) | Goods transport equipment | |
TW201628945A (en) | Article storage facility | |
KR101683711B1 (en) | Flatness level inspection apparatus of metal thin plate | |
KR100854978B1 (en) | Apparatus for storing substrates | |
CN117775747A (en) | Substrate carrying system | |
KR100948300B1 (en) | An apparatus for transmitting a wafer cassette and a method of transmitting the wafer cassette | |
CN112447563A (en) | Wafer placing device and wafer taking and placing equipment | |
CN113437004A (en) | Wafer transmission device and wafer transmission system | |
JP2003252406A (en) | Stacker crane and automated warehouse | |
KR20070095308A (en) | Board material storing method and apparatus | |
JPH06135685A (en) | Overhead traveling vehicle | |
JP4023205B2 (en) | Automatic warehouse | |
KR101574202B1 (en) | Substrates detecting apparatus and substrate processing apparatus uing it | |
JP6732622B2 (en) | Ring frame transfer mechanism | |
KR20070021802A (en) | Robot arm for wafer transfer | |
KR100654772B1 (en) | Apparatus for trasferring panel | |
KR100342397B1 (en) | Wafer counting apparatus and method of SMIF | |
KR20070042812A (en) | Wafer transfering system | |
JP2006176331A (en) | Double storage preventive method and double storage preventive device in automated warehouse | |
KR20080045878A (en) | Apparatus to prevent boat drop in horizontal shuttle cage | |
KR200151330Y1 (en) | Position fixing apparatus of wafer cassette | |
JP2000075048A (en) | Residual component detecting mechanism |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120801 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130823 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |