KR100854978B1

KR100854978B1 - Apparatus for storing substrates

Info

Publication number: KR100854978B1
Application number: KR1020050027548A
Authority: KR
Inventors: 이영종; 최준영; 이강규
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2005-04-01
Filing date: 2005-04-01
Publication date: 2008-08-28
Also published as: KR20060105134A

Abstract

본 발명은 기판이 순차적으로 적재되는 기판 적재 장치에 있어서, 상기 기판 수납 장치의 외곽 틀을 이루는 프레임; 상기 프레임에 대향되게 마련되어 기판을 지지하되, 상하 방향으로 소정 간격 이격되어 다수층으로 형성되는 슬롯(Slot); 상기 슬롯마다 내부에 각각 마련되어 기판의 수납 여부를 검출하는 검출부; 상기 검출부에서 검출한 출력값에 대해 기판의 수납 여부를 판단하며, 판단 결과에 따라 반송 로봇을 제어하는 제어부;로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 적재 장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate loading apparatus in which a substrate is sequentially stacked, the frame forming an outer frame of the substrate accommodating apparatus; A slot provided to face the frame to support a substrate, the slot being spaced apart by a predetermined interval in a vertical direction and formed in a plurality of layers; A detection unit provided inside each of the slots to detect whether or not the substrate is accommodated; And a control unit for determining whether to accommodate the substrate based on the output value detected by the detection unit, and controlling the transfer robot according to the determination result.

평판표시소자, 기판 수납 장치, 검출부, 수납여부, 제어부, 통신부 Flat panel display element, substrate storage device, detection unit, storage unit, control unit, communication unit

Description

Substrate loading device {APPARATUS FOR STORING SUBSTRATES}

도 1은 종래의 기판 적재 장치를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional substrate loading apparatus.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate loading apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 상기 도 2의 정면도이다.3 is a front view of FIG. 2.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110 : 기판 적재 장치 112 : 프레임110: substrate loading device 112: frame

114 : 슬롯(Slot) 126 : 검출부114: slot 126: detector

S : 기판S: Substrate

본 발명은 기판 적재 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 적재 과정에서 기판의 존재 유무를 검출할 수 있는 기판 적재 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate loading apparatus, and more particularly, to a substrate loading apparatus capable of detecting the presence or absence of a substrate in the process of loading the substrate.

LCD, PDP, OLED 등의 평판표시소자를 제조하는 과정에서는 대면적 유리 기판을 취급한다. 따라서 평판표시소자 제조 과정 중에는 대면적 유리 기판 다수장을 이동시키고, 적재하는 과정이 여러 공정에서 계속하여 반복된다. 이때 평판표시소자 제조에 대한 대부분의 과정은 클린룸 내에서 이루어지므로, 유리 기판을 적재함 에 있어서 그 사용 면적을 감소시키는 것이 클린룸의 유지 비용을 감소시킬 수 있어서 유리하다. 따라서 유리 기판의 적재시에 여러 장의 기판을 상하 방향으로 적재시켜 사용면적을 감소시키되, 각 기판이 접촉되지 않도록 각 기판을 소정 간격 이격시켜 적재시킨다. In manufacturing flat panel display devices such as LCD, PDP and OLED, large-area glass substrates are handled. Therefore, during the manufacturing process of the flat panel display device, the process of moving and stacking a large number of large glass substrates is repeated continuously in various processes. In this case, since most of the processes for manufacturing the flat panel display device are performed in a clean room, it is advantageous to reduce the use cost of the clean room in loading the glass substrate, which is advantageous. Therefore, when loading a glass substrate, several substrates are stacked in the vertical direction to reduce the use area, but each substrate is spaced apart by a predetermined interval so that each substrate does not come into contact with each other.

이렇게 여러 장의 기판이 서로 접촉되지 않도록 하면서, 기판을 상하 방향으로 적재하는 데에는 기판 적재 장치가 사용된다. 종래의 기판 적재 장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(12)과 슬롯(Slot : 14)과 검출수단과 제어부(도면에 미도시)로 구성된다. Thus, a board | substrate loading apparatus is used for loading a board | substrate in the up-down direction, preventing several board | substrates from contacting each other. As shown in FIG. 1, the conventional substrate loading apparatus 10 includes a frame 12, a slot 14, a detection unit, and a controller (not shown).

여기에서 상술한 프레임(12)은 기판 적재 장치(10)의 외곽 틀을 이루는 구성요소로서 기판 적재 장치(10)의 전체적인 형태를 이룬다. 그리고 상술한 슬롯(14)은 기판(S)이 적재될 때 기판(S)과 직접 접촉되어 기판(S)을 지지하는 구성요소로서, 상술한 프레임(12)의 양 측벽에 각각 대향된 상태로 수평하게 마련된다. 상술한 프레임(12)이 기판 적재 장치(10)의 전체적인 형태를 유지하기 위해 경도가 우수한 재질의 소재로 이루어짐에 반해, 슬롯(14)은 기판(S)과 접촉하는 과정에서 기판(S)에 손상을 주지않기 위해 기판(S)보다 경도가 낮은 재질의 소재로 이루어진다. The frame 12 described above forms the overall form of the substrate loading apparatus 10 as a component forming the outer frame of the substrate loading apparatus 10. In addition, the aforementioned slot 14 is a component that directly contacts the substrate S to support the substrate S when the substrate S is loaded, and is opposed to both sidewalls of the frame 12 described above. It is provided horizontally. While the above-described frame 12 is made of a material of high hardness in order to maintain the overall shape of the substrate loading apparatus 10, the slot 14 contacts the substrate S in a process of contacting the substrate S. In order to avoid damage, the material is made of a material having a lower hardness than the substrate (S).

그리고 상술한 슬롯(14)은 이웃한 슬롯(14)과 상당 간격 이격되도록 다층으로 마련되는데, 이때 상술한 슬롯(14) 사이의 간격은, 슬롯(14) 상부에 기판(S)을 반입하거나 슬롯(14) 상부에 지지가 되어 있는 기판(S)을 반출할 수 있을 정도의 크기를 가지도록 유지된다. 즉, 상술한 반송 로봇(30)의 로봇 핸드가 기판(S)을 탑 재한 채로 슬롯(14) 사이로 진입하고, 약간 하강하여 탑재한 기판(S)을 슬롯(14)의 상부 영역으로 이전할 수 있게 각 슬롯(14) 사이가 이격되어 배치되는 것이다. And the above-described slot 14 is provided in a multi-layer so as to be spaced apart from the adjacent slot 14 by a considerable distance, wherein the interval between the slots 14, the substrate (S) is carried on the slot 14 or slots (14) It is maintained to have a magnitude | size enough to carry out the board | substrate S supported by the upper part. That is, the above-mentioned robot hand of the transfer robot 30 enters between the slots 14 with the board S mounted thereon, and the board S slightly lowered and transferred to the upper region of the slot 14. The slots 14 are spaced apart from each other.

상술한 검출수단은 프레임(12)의 높이 영역과 유사한 높이 영역을 갖으며, 직립된 이송대(20)와, 상술한 이송대(20)를 기판 적재 장치(10) 내부로 왕복 이동할 수 있게 구동력을 제공하는 구동부(22)와, 상술한 이송대(20)에 적재되는 기판(S)의 수만큼 수평 방향으로 돌출되는 수평대(24)와, 상술한 수평대(24)의 내부 상단에 마련되는 검출부(26)로 이루어진다.The detection means described above has a height region similar to that of the height of the frame 12, and a driving force to reciprocate the upright conveyer 20 and the conveyer 20 described above into the substrate loading apparatus 10. It is provided on the inner upper end of the drive unit 22 for providing a, a horizontal stage 24 protruding in the horizontal direction by the number of substrates (S) to be loaded on the transfer table 20, the above-described horizontal stage 24 Consisting of a detection unit 26.

여기서, 상술한 수평대(24)는 슬롯(14)에 수납되어 적재되는 기판(S)의 사이인 중간 영역에 각각 개재되어 그 수평대(24)가 기판 적재 장치(10)의 내부로 반입 또는 반출할 때 기판(S)과 충돌하는 것을 방지하기 위함이다.Here, the horizontal stage 24 described above is interposed in an intermediate region between the substrates S to be stored and loaded in the slot 14 so that the horizontal stage 24 is carried in or inside the substrate loading apparatus 10. This is to prevent collision with the substrate S when carrying out.

그리고 상기 기판 적재 장치(10)의 전면에는, 기판(S)을 이 기판 적재 장치(10)에 반입하거나 적재된 기판(S)을 반출하는 반송 로봇(30)이 마련된다. 이 반송 로봇(30)에서 기판(S)을 탑재하는 로봇 핸드의 하측에 반송 로봇(30)의 구동을 위한 구동 수단 등 여러 가지 구성요소가 마련되므로 그 구동 수단에 의해 기판 적재 장치(10)의 하부 영역 슬롯(14)에서 상부 영역 슬롯(14)까지 기판(S)을 적재하게 된다.And the transfer robot 30 which carries in the board | substrate S to this board | substrate stacking apparatus 10, or carries out the board | substrate S loaded is provided in the front surface of the said board | substrate stacking apparatus 10. As shown in FIG. Since various components such as driving means for driving the transfer robot 30 are provided under the robot hand on which the substrate S is mounted in the transfer robot 30, the driving means of the substrate loading apparatus 10 is provided. The substrate S is loaded from the lower region slot 14 to the upper region slot 14.

그러나 상술한 기판 적재 장치(10)에 적재된 기판(S)의 존재 유무를 검사하기 위해서는 별도의 검출부(26)가 다수 구비된 검출수단이 필요하여 제작 시간과 소요 비용이 증가하며, 기판 적재 장치(10)내에 검출수단이 진입하여 기판(S)의 존재 유무를 각각의 검출부(26)에 의해 검사한 다음 제어부에 검출값을 발신한 후 반 출하고 이에 상술한 제어부는 검출값에 기초하여 기판(S)을 기판 적재 장치(10) 내부로 반입할 것을 명령받은 반송 로봇(30)이 이를 수행하는 등 기판(S)의 적재 시간이 증가하는 문제점이 있었다.However, in order to inspect the presence or absence of the substrate S loaded on the substrate loading apparatus 10 described above, a detection means including a plurality of separate detection units 26 is required, which increases manufacturing time and cost, and increases the substrate loading apparatus. The detection means enters into (10) and checks the presence or absence of the board | substrate S by each detection part 26, and then sends out a detection value to a control part, and exports it, and the above-mentioned control part is based on a detection value, There was a problem in that the loading time of the substrate S is increased, such as the transfer robot 30 commanded to carry (S) into the substrate loading apparatus 10 to do this.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 기판 검출부를 기판이 적재되는 기판 적재 장치에 일체로 마련하여 제작 비용 절감 및 기판 적재 시간이 감소할 수 있게 한 기판 적재 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a substrate loading apparatus in which a substrate detection unit is integrally provided with a substrate loading apparatus on which a substrate is loaded, thereby reducing manufacturing cost and reducing substrate loading time. In providing.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판이 순차적으로 적재되는 기판 적재 장치에 있어서, 상기 기판 적재 장치의 외곽 틀을 이루는 프레임; 상기 프레임에 대향되게 마련되어 기판을 지지하되, 상하 방향으로 소정 간격 이격되어 다수층으로 형성되는 슬롯(Slot); 상기 슬롯마다 내부에 각각 마련되어 기판의 적재 여부를 검출하는 검출부; 상기 검출부에서 검출한 출력값에 대해 기판의 적재 여부를 판단하며, 판단 결과에 따라 반송 로봇을 제어하는 제어부;로 이루어짐으로써, 상술한 기판 적재 장치에 기판마다 존재 유무를 판단할 수 있는 검출부를 프레임의 슬롯에 각각 마련함에 따라 별도의 검출수단이 필요하지 않고 반입 즉시 기판의 적재 여부를 알 수 있으므로 비용 절감 및 기판 적재시 소요 시간이 감소하므로 바람직하다. In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate loading apparatus in which a substrate is sequentially loaded, the frame forming an outer frame of the substrate loading apparatus; A slot provided to face the frame to support a substrate, the slot being spaced apart by a predetermined interval in a vertical direction and formed in a plurality of layers; A detection unit provided inside each of the slots to detect whether a substrate is loaded; The control unit for determining whether the substrate is loaded on the output value detected by the detection unit, and controls the transport robot according to the determination result, the detection unit that can determine the presence or absence of each substrate in the above-described substrate loading apparatus of the frame Since it is possible to know whether or not the board is loaded immediately after the loading, the separate detection means is not required as it is provided in each slot, which is preferable because the cost reduction and the time required for loading the board are reduced.

또한, 본 발명에서는 검출부는, 빛을 발광하는 발광부와, 상기 발광부에서 발광하는 빛을 수광하는 수광부로 이루어지며, 그 발광부와 수광부의 사이에 기판이 위치됨으로써, 발광부에서 발광하는 빛이 기판이 존재하면 수광부에 전달되지 못하여 기판의 존재로 판단되고, 상술한 발광부와 수광부의 사이에 기판이 존재하지 않아 발광부에서 발광하는 빛이 수광부에 전달되면 기판의 무존재로 판단되므로 바람직하다.Further, in the present invention, the detection unit is composed of a light emitting unit for emitting light and a light receiving unit for receiving the light emitted from the light emitting unit, the substrate is positioned between the light emitting unit and the light receiving unit, the light emitted from the light emitting unit If this substrate is present, it is judged that there is a substrate because it is not transmitted to the light-receiving unit, and when the light emitted from the light-emitting unit is transmitted to the light-receiving unit because no substrate exists between the light-emitting unit and the light-receiving unit, it is determined that the substrate is absent. Do.

또한, 본 발명에서는 검출부에는 이 검출부의 신호를 제어부로 발신할 수 있도록 무선 또는 유선 중 어느 하나에 의해 통신하는 통신부가 더 마련되므로 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the detection unit is further provided with a communication unit for communicating by either wireless or wired so as to transmit a signal of the detection unit to the control unit.

이하, 본 발명의 기판 적재 장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the substrate loading apparatus of the present invention will be described with reference to an embodiment as follows.

본 발명의 바람직한 실시예의 기판 적재 장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 크게는 프레임(112); 슬롯(114); 검출부(126); 통신부(도면에 미도시); 제어부(도면에 미도시)로 구성된다.A substrate loading apparatus of a preferred embodiment of the present invention includes a frame 112, as shown in Figs. Slot 114; Detection unit 126; A communication unit (not shown in the figure); Control unit (not shown).

상술한 프레임(112)은 기판 적재 장치(110)의 외곽 틀을 이루며, 입체 형상을 갖도록 마련된다.The above-described frame 112 forms an outer frame of the substrate loading apparatus 110 and is provided to have a three-dimensional shape.

상술한 슬롯(Slot : 114)은 기판(S)이 적재될 때 기판(S)과 직접 접촉되어 기판(S)을 지지하는 기능을 하며, 상술한 프레임(12)의 양 측벽에 각각 대향된 상 태로 수평하게 마련된다. 상술한 프레임(12)이 기판 적재 장치(10)의 전체적인 형태를 유지하기 위해 경도가 우수한 재질의 소재로 이루어짐에 반해, 슬롯(114)은 기판(S)과 접촉하는 과정에서 기판(S)에 손상을 주지않기 위해 기판(S)보다 경도가 낮은 재질의 소재로 이루어진다.The above-described slot (Slot) 114 is in direct contact with the substrate (S) when the substrate (S) is loaded to support the substrate (S), the image opposite to each side wall of the above-described frame 12 It is arranged horizontally in the shape. While the above-described frame 12 is made of a material of high hardness in order to maintain the overall shape of the substrate loading apparatus 10, the slot 114 is connected to the substrate S in a process of contacting the substrate S. In order to avoid damage, the material is made of a material having a lower hardness than the substrate (S).

여기서, 상술한 슬롯(114)의 일단 상, 하부 영역을 부분 절개하고 그 절개된 부분에 검출부(126)가 마련되며, 이러한 검출부(126)는 빛을 발광하는 발광부와, 상기 발광부에서 발광하는 빛을 수광하는 수광부로 이루어진다. 그리고 빛을 전달하여 연계 동작하기 위한 발광부와 수광부는 각각 이웃한 상하 슬롯(114)에 마련되며, 이 발광부와 수광부는 발광부가 상측에 수광부가 하측에 마련되거나, 발광부가 하측에 수광부가 상측에 마련될 수 있다. 다만, 상술한 검출부(126)의 발광부와 수광부는 그 사이에 위치된 기판(S)의 존재 유무를 판별하기 위해 발광부에서 발광하는 빛이 기판(S)의 존재 유무로 수광부에 전달되고 미전달되고의 차이에 따라 기판(S)의 존재 유무를 판별하기 때문이다.Here, the upper and lower regions of one end of the slot 114 described above are partially cut and a detector 126 is provided at the cut portion, and the detector 126 is configured to emit light and emit light from the emitter. It consists of a light receiving unit for receiving light. In addition, the light emitting unit and the light receiving unit for transmitting and linking the light are provided in adjacent upper and lower slots 114, respectively, and the light emitting unit and the light receiving unit are provided at the upper side of the light receiving unit, or at the bottom of the light emitting unit. Can be provided. However, in order to determine the presence or absence of the substrate S positioned between the light emitting portion and the light receiving portion of the detector 126 described above, the light emitted from the light emitting portion is transmitted to the light receiving portion with or without the substrate S. This is because the presence or absence of the substrate S is determined according to the difference of the transmission.

상술한 통신부는 상술한 검출부(126)의 검출 신호를 제어부로 발신할 수 있도록 기판 적재 장치(110)의 일측에 마련되며, 각각의 검출부(126)를 한데 묶어 전기적으로 연결한다. 그리고 상술한 통신부는 검출부(126)의 출력 신호를 제어부에 전달하기 위해 무선 또는 유선 통신 중 어느 하나에 의해 실시된다.The above-described communication unit is provided at one side of the substrate loading apparatus 110 to transmit the detection signal of the above-described detection unit 126 to the control unit, and electrically connects each detection unit 126 together. In addition, the communication unit described above is implemented by either wireless or wired communication to deliver the output signal of the detector 126 to the control unit.

상술한 제어부는 각각의 검출부(126)에서 출력하는 검출 신호를 일괄적으로 통신부에서 수신한 후 그 수신된 검출 신호로 기판(S)의 존재 여부를 판단하고 반송 로봇(130)으로 하여금 기판(S)의 존재 여부를 인식하게 하여 다수의 슬롯(114) 중 기판(S)이 존재하다는 신호가 출력된 슬롯(114)을 제외한 나머지 슬롯(114)에 기판(S)을 반입시킨다.The above-described control unit collectively receives the detection signal output from each detection unit 126 in the communication unit, and then determines whether the substrate S is present using the received detection signal, and causes the transfer robot 130 to transmit the substrate S. ) To recognize whether or not the presence of the ()) and to bring the substrate (S) to the remaining slot 114 except for the slot 114, the output signal of the presence of the substrate (S).

즉, 상술한 제어부는 검출부(126)의 수광부에 의한 수광량을 데이터화하여 그 데이터화된 출력값에 따라 기판(S)의 존재 유무를 판단하는 것이다.In other words, the above-described control unit data-receives the amount of light received by the light-receiving unit of the detector 126 and determines whether the substrate S is present according to the data output value.

여기서, 상술한 검출부(126)의 수광부에는 그 수광부와 전기적으로 연결되어 상술한 수광부에 의한 출력값이 설정값을 초과할 때 음성으로 출력하여 기판(S)이 기판 적재 장치(110)의 어느 한 부분에 존재하지 않을 경우 작업자에게 청각적으로 인지시키는 알람부(도면에 미도시)가 더 마련될 수 있다.Here, the light receiving unit of the above-described detection unit 126 is electrically connected to the light receiving unit, and outputs by voice when the output value of the above-described light receiving unit exceeds the set value, so that the substrate S is any part of the substrate stacking device 110. An alarm unit (not shown in the drawing) may be further provided to visually recognize the worker when not present.

그러므로 본 발명에 따른 기판 적재 장치의 기판 존재 유무 판별은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 기판(S)이 다수 적재되는 기판 적재 장치(110)에 있어 상술한 기판(S)의 적재 여부를 판별하는 검출부(126)를 기판(S)이 안착되는 슬롯(114)내에 각각 마련하여 기판(S)이 슬롯(114)에 안착되는 동시에 적재 여부 판별을 수행할 수 있다.Therefore, whether the substrate is present or not in the substrate loading apparatus according to the present invention determines whether the substrate S described above is loaded in the substrate loading apparatus 110 in which a plurality of substrates S are stacked, as shown in FIGS. 2 and 3. The detecting unit 126 for discriminating may be provided in the slot 114 in which the substrate S is seated, so that the substrate S may be seated in the slot 114 and may be loaded or not.

즉, 상술한 기판(S)을 기판 적재 장치(110)내로 반입하기 전 각각의 슬롯(114)에 마련된 검출부(126) 각각마다 기판(S)의 존재 여부를 검출한 검출값이 통신부로 발신되며, 상술한 통신부에서 유선 또는 무선에 의해 제어부로 검출부(126)의 검출값을 발신하여 이 검출값을 제어부에서 의해 비교·연산하고 기판(S)의 존재 유무를 판단한다.That is, the detection value detecting the presence or absence of the substrate S is transmitted to the communication unit for each of the detection units 126 provided in each slot 114 before bringing the above-mentioned substrate S into the substrate loading apparatus 110. The detection unit 126 transmits the detection value of the detection unit 126 to the control unit by wire or wireless from the communication unit described above, and compares and calculates the detection value by the control unit to determine the presence or absence of the substrate S. FIG.

그후, 상술한 제어부에서 반송 로봇(130)의 구동을 제어하여 기판 적재 장치 (110)내 기판(S)이 적재되지 않았다고 제어부에 의해 판단되는 슬롯(114)에만 기판(S)을 반송 로봇(130)에 의해 반입시킨다.Thereafter, the above-described control unit controls the driving of the transfer robot 130 to transfer the substrate S only to the slot 114 determined by the control unit that the substrate S in the substrate loading apparatus 110 is not loaded. Bring in by).

이와 같은 본 발명의 기판 적재 장치는 다수 기판을 기판 적재 장치에 적재하는 과정에서 프레임의 슬롯마다 적재되는 기판의 존재 유무를 검출하는 검출부를 각각 마련함으로써, 기판 적재 장치 자체에서 기판의 존재 유무의 판단이 가능하여 기판 적재 시간과 제조 단가 절감 및 작업 공정을 감소할 수 있는 효과가 있다.Such a substrate loading apparatus of the present invention provides a detection unit for detecting the presence or absence of a substrate loaded for each slot of a frame in the process of loading a plurality of substrates into the substrate loading apparatus, thereby determining the presence or absence of the substrate in the substrate loading apparatus itself. This can reduce the board loading time, manufacturing cost and work process can be reduced.

Claims

In a substrate loading apparatus in which substrates are sequentially loaded,

A frame forming an outer frame of the substrate loading apparatus;

A slot provided to face the frame to support a substrate, the slot being spaced apart by a predetermined interval in a vertical direction and formed in a plurality of layers;

Each slot is provided inside each slot to detect whether a substrate is loaded , the light emitting unit emitting light, a light receiving unit receiving light emitted from the light emitting unit, and a substrate positioned between the light emitting unit and the light receiving unit to detect a detection signal. A detection unit having a communication unit configured to communicate by either wireless or wired so as to make an outgoing call ;

And a controller configured to determine whether to load the substrate based on the output value detected by the detector, and to control the transfer robot according to the determination result.

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