KR19990056774A - 클린룸의 환경평가 시스템 - Google Patents
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Abstract
클린룸의 환경조건이 측정기기의 이동에 의해 수시로 측정되고, 측정이 곤란한 부분은 자동반송로봇을 이용하며, 특히 측정자료를 무선으로 송수신하여 환경평가가 이루어지도록 하는 클린룸의 환경평가 시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 클린룸의 특정위치에 설치되어 클린룸의 환경조건들을 측정할 수 있는 복수 개의 측정수단, 상기 복수 개의 측정수단에 각각 연결되어 측정자료를 신호변환하여 무선으로 전송시키는 복수 개의 송신부, 상기 클린룸 내에 설치되어 상기 송신부로부터 전송되는 무선신호를 수신하여 신호변환하는 수신부 및 상기 수신부에 연결되고 상기 측정자료를 분석하여 기설정된 소정 범위의 값과 비교평가하는 호스트컴퓨터를 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 측정기기의 위치가 자유자재인 상태에서 지속적인 환경평가가 이루어지고, 무선을 통해 측정자료를 송출하여 환경평가가 이루어짐으로써 시설비용이 감소하며, 이로 인한 클린룸 활용이 극대화되어 일정한 수준의 환경을 유지하여 생산효율을 높이는 효과가 있다.
Description
본 발명은 클린룸의 환경평가 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 클린룸의 환경조건이 측정기기의 이동에 의해 수시로 측정되고, 측정이 곤란한 부분은 자동반송로봇을 이용하며, 특히 측정자료를 무선으로 송수신하여 환경평가가 이루어지도록 하는 클린룸의 환경평가 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조공정 등이 수행되는 클린룸에는 청정도에 따라 여러 등급으로 구분되어진다. 청정도는 단위 면적당 존재하는 일정 크기의 파티클의 개수에 의해 구분되는데, 일정 수준의 청정도를 유지하기 위해 수시로 측정이 이루어져야 한다.
또한 파티클 뿐만 아니라 온도, 습도 및 압력을 일정하게 유지하는 것도 클린룸의 관리를 위해서 대단히 중요하다.
특히 우발적인 사고가 예상되어 청정도에 영향을 줄 수 있는 지점을 파악하여 상시 측정이 이루어져야 하고, 부유(浮游)하는 클린룸 내부를 이동하면서 지속적인 청정도 측정이 요구된다.
종래의 클린룸의 환경평가는 환경평가용 호스트컴퓨터에 케이블을 통해 연결된 센서, 카운터 및 분석기가 연결되고, 사전에 셋업(Set-up)되어서 이에 대한 자료를 수신할 수 있는 적절한 펌웨어(Firmware)를 채용한 FMS(Facility Monitoring System)를 이용하여 이루어졌다. 그리고, 국부적인 구역이나 시스템이 감지하기 어려운 설비내부는 작업자의 조작에 의한 이동용 평가설비를 이용하여 직접문제가 발생되는 지역에 접근하여 환경평가가 이루어졌다.
그런데 이와 같은 방식에 의한 평가방법은 다음과 같은 몇가지 문제점을 안고 있다.
먼저, 시스템에 채용된 센서 및 분석기는 대부분 고정형으로 사용되기 때문에 설치된 구역에 대한 클린룸의 전반적인 수준파악에는 용이하게 이루어지나, 시스템이 미치지 못하는 국부(局部)에 대해서는 작업자가 직접 이동용 평가설비를 이용하여 측정하였다. 이는 장기간의 모니터링(Monitoring) 시에는 별도의 시스템을 구축해야 하는 문제점이 있었다.
그리고, 외부의 오염원으로부터 영향을 최소화하기 위한 고집적 제품을 제조하기 위한 제조설비의 평가는 특성상 공정진행 조건을 방해하지 않는 범위내에서 이루어져야 하는데, 제조설비의 도어(Door)를 열고 측정하거나, 실제 공정은 진행하지 않으면서 측정이 이루어지는 등의 제조설비의 내부평가가 공정이 진행되는 실제 상황에서 이루어지지 않아서 측정이 제한되는 문제점이 있었다.
전술한 바와 같이 종래에는, 클린룸 및 제조설비의 청정도와 같은 환경평가시 장기간 모니터링을 위한 새로운 시스템이 요구되었고, 국소부분 등의 환경평가가 제한적으로 이루어져서 정확한 평가가 수행되지 못하는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 클린룸의 환경을 측정하는 측정기기에 송신부를 연결하고, 클린룸을 관리하는 호스트컴퓨터에 수신부를 연결하여 측정기기로부터 측정된 자료를 무선으로 수신하여 환경평가하는 클린룸의 환경평가 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 자동반송되는 차량에 측정설비를 장착하여 소정 영역의 환경을 이동중에도 평가되도록 하는 클린룸의 환경평가 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 이동하면서 환경측정이 이루어지는 측정기기와 호스트컴퓨터가 서로 무선으로 송수신되어 동작이 제어되는 클린룸의 환경평가 시스템을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 클린룸의 환경평가 시스템에 따른 실시예를 개략적을 나타내는 블록도이다.
도2는 본 발명에 따른 이송에 의한 클린룸의 환경평가 시스템의 실시예를 나타내는 블록도이다.
도3은 도2를 구현하기 위한 클린룸의 일부를 나타내는 평면도이다.
도4는 본 발명에 따른 레일에 설치된 이송장치에 측정기기가 설치된 상태를 나타내는 부분도이다.
도5는 본 발명에 따른 자동반송로봇을 이용한 환경평가의 실시예를 나타내는 도면이다.
도6은 본 발명에 따른 무선과 자동반송에 의한 환경평가의 실시예를 나타내는 블록도이다.
도7은 도6의 구체적인 실시예를 나타내는 도면이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10, 22, 36, 40, 46, 52, 66, 80 : 측정기기 12 : 송신기
14 : 수신기 16, 24, 60, 76 : 호스트컴퓨터
18, 32, 62 : 레일 20, 34, 64 : 이송차량
26 : 클린룸(Clean Room) 28 : 설비영역
30 : 서비스영역 38, 44, 78 : 자동반송로봇
42 : 필터 48 : 제조설비
50 : 차량구동부 54, 58, 68, 74, 82 : 송수신부
56 : 중계부 72 : 제 1 컴퓨터
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸 환경평가 시스템은, 클린룸의 특정위치에 설치되어 클린룸의 환경조건들을 측정할 수 있는 복수 개의 측정수단, 상기 복수 개의 측정수단에 각각 연결되어 측정자료를 신호변환하여 무선으로 전송시키는 복수 개의 송신부, 상기 클린룸 내에 설치되어 상기 송신부로부터 전송되는 무선신호를 수신하여 신호변환하는 수신부 및 상기 수신부에 연결되고 상기 측정자료를 분석하여 기설정된 소정 범위의 값과 비교평가하는 호스트컴퓨터를 구비하여 이루어진다.
그리고, 상기 측정수단을 미리 설정된 프로그램에 의해 이동하는 자동반송로봇에 설치되어 환경조건이 측정된다.
그리고, 상기 복수 개의 측정수단은 파티클측정기, 온도측정기, 습도측정기, 압력측정기 등이 포함되어 측정된다.
그리고, 상기 복수 개의 송신기는 각각의 상기 측정수단의 위치 및 측정품목을 구분하는 식별부호를 포함하여 송신되도록 함이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸 환경평가 시스템은, 클린룸에 설치되어 소정 경로를 형성하는 레일, 상기 레일에 설치되어 상기 소정경로를 설정된 바에 따라 움직이는 이송수단, 상기 이송수단에 설치되어 상기 클린룸 내부의 환경조건들을 측정하는 복수 개의 측정수단 및 상기 측정수단에 유선으로 연결되어서 측정된 결과의 소정 설정기준에 따라 평가하는 호스트 컴퓨터를 구비하여 이루어진다.
그리고, 상기 소정 경로는 하나의 폐루프를 형성함이 바람직하다.
그리고, 상기 레일은 둘 이상의 서로 다른 경로를 갖는 레일들로 이루어진다.
그리고, 상기 레일은 상기 클린룸의 상층부에 설치되어 소정 높이를 유지함이 바람직하다.
그리고, 상기 이송수단은 상기 레일위를 일정한 속도를 유지하며 움직이도록 한다.
그리고, 상기 이송수단은 상기 레일위를 불규칙한 속도로 움직이도록 함이 바람직하다.
그리고, 상기 이송수단은 상기 레일의 특정 위치에 소정 시간동안 정지되게 한다.
또한, 상기 클린룸에 별도로 자동반송로봇에 상기 측정수단을 설치하여 환경평가가 이루어질 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸 환경평가 시스템은, 클린룸에 설치되어 소정 경로를 형성하는 레일, 상기 레일에 설치되어 상기 소정경로를 설정된 바에 따라 움직이는 이송수단, 상기 이송수단에 설치되어 상기 클린룸 내부의 환경조건들을 측정하는 복수 개의 측정수단, 상기 복수 개의 측정수단에 각각 일대 일로 연결되어 측정자료를 신호변환하여 무선으로 전송시키는 복수 개의 송신부, 상기 클린룸 내에 설치되어 상기 송신부로부터 전송되는 무선신호를 수신하여 신호변환하는 수신부 및 상기 수신부에 연결되어 상기 측정자료를 분석하여 소정 기준에 비교평가하는 호스트컴퓨터를 구비하여 이루어진다.
그리고, 상기 레일은 두 개 이상으로 형성된다.
그리고 , 상기 이송수단은 이송속도를 자유자재로 설정되도록 이루어짐이 바람직하다.
그리고, 상기 송신부의 출력신호에 의해 발생되는 자계의 크기는 1 밀리가우스(mG) 이하가 되도록 한다.
그리고, 상기 복수 개의 송신부는 각각의 송신자료, 상기 측정수단의 위치 및 측정분야를 구분하는 식별기호가 포함되어 송신이 이루어짐이 바람직하다.
그리고, 상기 송신부와 상기 수신부 사이에는 송수신 거리의 연장 및 중계를 위한 중계용 송수신부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 호스트컴퓨터는 상기 클린룸을 감시 및 환경평가되도록 이루어진다.
또한, 상기 호스트컴퓨터는 상기 환경평가 결과에 의해 상기 측정수단 및 상기 이송수단에 제어용 피드백신호를 출력하도록 이루어짐이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 제 1 실시예는 도1을 참조하면, 특정 영역에 고정되어 설치되어 있는 측정기(10)에 송신기(12)가 연결되고, 송신기(12)의 무선송신을 수신하는 수신기(14)를 통해 호스트컴퓨터(16)가 연결되어 구성된다.
구체적으로, 클린룸의 특정영역에 고정설치되어 클린룸의 환경을 측정하는 측정기기(10)에 측정자료를 입력받아서 무선으로 송신하기 위해 반송파와 함께 변조하는 송신기(12)가 연결되어 있다.
송신기(12)를 통해 무선전송된 신호는 수신기(14)를 통해 호스트컴퓨터(16)에 입력된다. 송신기(12)와 수신기(14)에서의 신호변환방식은 통상의 통신방식을 수행하는 송수신방식의 변조 및 복조에 의한 것이다.
본 발명에 따른 제 2 실시예는 도2 내지 도6을 참조하여 설명한다.
도2에 의하면 클린룸내의 소정 경로를 갖는 레일(18)위에 이송차량(20)이 설치되고, 여기에 측정기기(22)가 설치된다. 그리고 측정기기(22)에는 호스트컴퓨터(24)가 최종적으로 연결되어 있다.
이와 같은 구성에 의하여 측정기기(22)가 레일(18)위를 움직이는 이송차량(20)에 설치됨으로써 이동중에도 측정동작이 수행됨을 추구하는 것이다. 그리고 측정된 자료는 유선을 통해 연결되어 있는 호스트컴퓨터(24)에 연결되어 분석되어 소정 설정기준에 의해 적절한 조치를 취한다.
도3은 클린룸(26)내에서 자동반송에 의해 실시되는 예를 나타낸 것으로서, 클린룸(26) 내부에는 설비가 놓이는 설비영역(28)과 서비스를 위한 서비스영역(30)이 구분되어 대칭으로 나뉘어 있다.
서로 대칭되는 영역의 사이에는 복선의 레일(18, 32)이 설치되어 있다. 레일(18, 32)에는 물체를 이동시키기 위한 이송차량(20, 34)이 설치되고, 이송차량(20, 34)에는 환경요소를 측정하는 측정기기(22, 36)가 설치되어 있다.
또한 서비스영역(30)에는 프로그램에 의해 구동되는 자동반송로봇(38)이 측정기기(40)를 탑재한 채 설치되어 있다.
전술한 바와 같이 구성된 자동반송에 의한 클린룸의 환경평가 시스템은 레일(18, 32)을 따라 클린룸(26)을 순환하는 이송차량(20, 34)에 설치된 측정기기(22, 36)가 이동하면서 지속적으로 환경요소가 측정되고, 자동반송로봇(38)에 의해 측정이 용이하지 않는 설비의 국부의 환경요소를 측정하여 이루어진다.
구체적으로 이송차량(20, 34)에는 파티클측정기, 온도 및 습도측정기, 압력측정기 및 차압측정기 등이 탑재되고, 레일(18, 32)이 설치되어 이동하는 임의의 동선(動線)에서의 오염정도가 측정된다. 측정기기(22, 36)에는 측정시간, 주기 및 장소가 작업자에 의해 미리 설정되고, 특히 동선상의 특정부위의 측정이 요구되는 경우에는 레일(18) 또는 레일(32)를 선택하여 이송차량(20) 또는 이송차량(34)을 정지시킨 상태에서 지속적으로 측정이 이루어지도록 할 수 있다.
또한 자동반송로봇(38)에 측정기기(40)를 탑재하여 국부의 측정이나, 측정이 용이하지 않는 부위를 측정함으로써 측정영역이 확대되어서 클린룸(26) 내부의 전체적인 환경평가가 이루어진다.
도4에 의하면, 도3의 일부를 측면에서 바라본 도면으로 필터(42)로부터 소정거리 이격된 하부에 이송차량(20)이 레일(18)위에 설치되고, 측정기기(22)를 탑재한 채 이동하면서 측정이 이루어진다.
또한 도5에 의하면, 자동반송로봇(44)에 탑재된 측정기기(46)가 제조설비(48)의 국부에 진입하여 환경요소가 측정된다. 즉 설비의 구석진 부위나 측정이 용이하지 않는 부위의 환경요소의 측정은 자동반송로봇(44)에 측정기기(46)가 장착되어서 측정이 이루어진다.
이와 같이 레일(18, 32)위를 움직이는 이송차량(20, 34)을 이용한 측정과 자동반송로봇(44)에 의한 측정이 이루어져서 클린룸(26)의 구석구석을 감시하여 항상 적정한 수준의 환경요소를 유지하도록 평가, 감시하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 제 3 실시예는 도6 및 도7을 참조하면, 도6의 블록도에 의하면 차량구동부(50)와 측정기기(52)가 제 1 송수신부(54)에 연결되고, 제 1 송수신부(54)에서는 무선을 통해 중계부(56)에 송신한다. 중계부(56)는 제 2 송수신부(58)에 무선을 통해 신호를 주고 받으며, 최종적으로 호스트컴퓨터(60)에 연결되어 구성된다.
전술한 바와 같은 구성에 의하여 차량의 구동과 측정기기(52)의 측정자료 전송이 무선을 통해 호스트컴퓨터(60)와 송수신 및 제어되며, 중계부(56)를 통해 전송거리의 확장이 이루어진다.
이를 도7을 참조하여 상세히 설명한다.
필터(42)의 하부에 설치된 레일(62)위를 움직이는 이송차량(64)에 설치된 측정기기(66)에는 측정자료를 송신하는 송수신기(68)가 내장되고, 송수신기(68)로부터 송출되는 전파를 수신하는 중계기(70)가 클린룸의 상부에 설치되어 있다.
중계기(70)는 송수신기(68)로부터 송출된 전파를 수신하여 제 1 컴퓨터(72)에 다시 송신한다. 제 1 컴퓨터(72)는 송수신부(74)를 내장하고 있고, 유선을 통해 클린룸을 감시하는 호스트컴퓨터(76)에 연결되어 있다.
자동반송로봇(78)에 탑재된 측정기기(80)도 역시 송수신기(82)를 내장하고 있으며, 중계기(70)를 통해 제 1 컴퓨터(72)에 측정자료를 송신하고, 결국 호스트컴퓨터(76)에 전달되도록 구성된다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예는 측정기기(80)를 통해 얻어진 측정자료가 무선을 통해 송출되고, 중계기(70)를 통해 제 1 컴퓨터(72)에 전달되며, 유선을 통해 호스트컴퓨터(76)로 입력되어서 환경평가가 이루어진다.
구체적으로 레일(62) 및 자동반송로봇(78)에 탑재되어 미리 프로그램된 명령에 따라 클린룸의 환경요소 파악을 위한 측정이 각각 이루어진다. 측정기기(80)를 통해 얻어진 측정자료는 자체 내장된 송수신부(68)를 통해 적당한 신호로 변조되어서 중계기(70)로 송출된다. 이 때의 송출되는 전파는 전계기준으로 1 밀리가우스(mG) 이하의 출력을 갖는다.
중계기(70)에서는 측정기기(66)에서 송출된 신호를 다시 제 1 컴퓨터(72)로 송출한다. 송수신부(74)를 자체 내장하고 있는 제 1 컴퓨터(72)는 수신이 이루어지면 측정자료만을 갖는 신호로 복조하여 유선을 통해 연결되어 있는 호스트컴퓨터(76)에 전달한다. 그러면 호스트 컴퓨터(76)는 측정자료를 파악하여 적절한 조치를 취하게 된다.
여기에서 각각의 측정기기(66, 80)는 그 위치가 서로 다르므로 송출되는 전파에는 측정자료 뿐만 아니라 각 측정기기(66, 80) 고유의 식별부호가 포함되어 있어서 제 1 컴퓨터(72)는 고유의 식별부호를 복조하여 인식한 다음 측정기기(66, 80) 각각을 구별하는 코드와 함께 유선을 통해 연결되어 있는 호스트컴퓨터(76)에 측정자료가 전송된다.
또한 호스트컴퓨터(76)는 각 측정기기(66, 80)로부터 수신되어 입력된 자료를 분석, 평가하여 소정 설정기준을 초과하면 경보를 발생시키고, 필요시 각 측정기기(66, 80)에 이송차량(64) 또는 자동반송로봇(78)에 제어신호를 발생하여 환경평가를 위한 측정을 지시할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 실시예에 따르면, 청정도 등의 환경평가를 상시 관리할 수 있고, 무선으로 측정자료를 평가함으로써 시설비용이 감소하는 이점이 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 측정기기의 위치가 자유자재인 상태에서 지속적인 환경평가가 이루어지고, 무선을 통해 측정자료를 송출하여 환경평가가 이루어짐으로써 시설비용이 감소하며, 이로 인한 클린룸 활용이 극대화되어 일정한 수준의 환경을 유지하여 생산효율을 높이는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (20)
- 클린룸의 특정위치에 설치되어 클린룸의 환경조건들을 측정할 수 있는 복수 개의 측정수단;상기 복수 개의 측정수단에 각각 연결되어 측정자료를 신호변환하여 무선으로 전송시키는 복수 개의 송신부;상기 클린룸 내에 설치되어 상기 송신부로부터 전송되는 무선신호를 수신하여 신호변환하는 수신부; 및상기 수신부에 연결되고 상기 측정자료를 분석하여 기설정된 소정 범위의 값과 비교평가하는 호스트컴퓨터;를 구비함을 특징으로 하는 클린룸 환경평가 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 측정수단을 미리 설정된 프로그램에 의해 이동하는 자동반송로봇에 설치되어 환경조건이 측정됨을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 복수 개의 측정수단은,파티클측정기, 온도측정기, 습도측정기, 압력측정기 등이 포함됨을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 복수 개의 송신기는,각각의 상기 측정수단의 위치 및 측정품목을 구분하는 식별부호를 포함하여 송신되도록 함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 클린룸에 설치되어 소정 경로를 형성하는 레일;상기 레일에 설치되어 상기 소정경로를 설정된 바에 따라 움직이는 이송수단;상기 이송수단에 설치되어 상기 클린룸 내부의 환경조건들을 측정하는 복수 개의 측정수단; 및상기 측정수단에 유선으로 연결되어서 측정된 결과의 소정 설정기준에 따라 평가하는 호스트 컴퓨터;를 구비함을 특징으로 하는 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 소정 경로는,하나의 폐루프를 형성함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 레일은,둘 이상의 서로 다른 경로를 갖는 레일들로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 레일은,상기 클린룸의 상층부에 설치되어 소정 높이를 유지함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 이송수단은,상기 레일위를 일정한 속도를 유지하며 움직이도록 함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 이송수단은,상기 레일위를 불규칙한 속도로 움직이도록 함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 이송수단은,상기 레일의 특정 위치에 소정 시간동안 정지됨을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 5 항에 있어서, 상기 클린룸에 별도로 자동반송로봇에 상기 측정수단을 설치하여 환경평가가 이루어짐을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 클린룸에 설치되어 소정 경로를 형성하는 레일;상기 레일에 설치되어 상기 소정경로를 설정된 바에 따라 움직이는 이송수단;상기 이송수단에 설치되어 상기 클린룸 내부의 환경조건들을 측정하는 복수 개의 측정수단;상기 복수 개의 측정수단에 각각 일대 일로 연결되어 측정자료를 신호변환하여 무선으로 전송시키는 복수 개의 송신부;상기 클린룸 내에 설치되어 상기 송신부로부터 전송되는 무선신호를 수신하여 신호변환하는 수신부; 및상기 수신부에 연결되어 상기 측정자료를 분석하여 소정 기준에 비교평가하는 호스트컴퓨터;를 구비함을 특징으로 하는 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 레일은,두 개 이상으로 형성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 이송수단은,이송속도를 자유자재로 설정되도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 13 항에 있어서,상기 송신부의 출력신호에 의해 발생되는 자계의 크기는 1 밀리가우스(mG) 이하임을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 복수 개의 송신부는,각각의 송신자료, 상기 측정수단의 위치 및 측정분야를 구분하는 식별기호가 포함되어 송신이 이루어짐을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 13 항에 있어서,상기 송신부와 상기 수신부 사이에는 송수신 거리의 연장 및 중계를 위한 중계용 송수신부를 더 구비함을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 호스트컴퓨터는,상기 클린룸을 감시 및 환경평가되도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 호스트컴퓨터는,상기 환경평가 결과에 의해 상기 측정수단 및 상기 이송수단에 제어용 피드백신호를 출력하도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 클린룸의 환경평가 시스템.
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| KR20220164976A (ko) * | 2021-06-07 | 2022-12-14 | 충북대학교 산학협력단 | 머신러닝 기반 클린룸 관리 시스템 및 방법 |
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